CN218580133U - 一种硅外延设备的托盘支撑结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种硅外延设备的托盘支撑结构，属于硅外延设备技术领域，转轴、三个支撑杆以及石英支撑柱；支撑杆沿转轴的周向均匀连接在转轴的外周壁上，石英支撑柱与支撑杆一一对应，且石英支撑柱固定在支撑杆的自由端；其特征在于，托盘支撑结构还包括若干耐磨套，耐磨套与石英支撑柱一一对应，且套设在石英支撑柱上；耐磨套为多边形结构；其中，耐磨套适于插入环形槽内，耐磨套的外周壁设有适于抵紧环形槽两侧壁的抵紧结构。通过耐磨套和抵紧结构的配合，能够填补石英支撑柱与环形槽内壁面之间的缝隙，进而减少石英支撑柱与托盘之间的滑动摩擦；通过上述设置，能够减少托盘横向滑动以及出现倾斜的情况，便于保证产品质量。

Description

一种硅外延设备的托盘支撑结构

技术领域

本实用新型属于硅外延设备技术领域，具体涉及一种硅外延设备的托盘支撑结构。

背景技术

硅外延是指在单晶硅衬底上沉积一层单晶硅的化学气相沉积工艺，为了改变外延层的导电特性，外延层可能的掺杂源包括AsH3、B2H6或PH3等。上述工艺需要对石英进行加热，在对石英进行上述工艺之前，需要先将石英安放到硅外延设备腔室内的托盘上，托盘底部设有支撑架；支撑架能够对托盘进行支撑，并且通过支撑架的转动，能够带动托盘转动。具体的，托盘的底部具有环形槽，支撑架包括转轴和固定在转轴外周壁上的三个支撑杆，三个支撑杆均匀分布在转轴上；每一个支撑杆的自由端均具有石英支撑柱，石英支撑柱用于插入到环形槽内。

现有技术中的石英支撑柱插入到环形槽内之后，石英支撑柱与环形槽的两内壁之间具有间隙；在转轴转动过程中，通过石英支撑柱与环形槽之间的静摩擦，带动托盘转动；在转轴停止转动后，托盘由于惯性会继续转动一定角度，因此石英支撑柱与环形槽之间产生滑动摩擦，会使石英支撑柱产生磨损。

在其中一个石英支撑柱出现磨损后，三个石英支撑柱的支撑面之间存在高度差，因此托盘会存在横向滑移的情况，此时托盘处于倾斜的状态。在托盘转动过程中会出现上下起伏的情况，会影响产品质量。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种硅外延设备的托盘支撑结构，旨在解决现有技术中由于石英支撑柱的磨损而影响产品质量的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

提供一种硅外延设备的托盘支撑结构，包括转轴、三个支撑杆以及石英支撑柱；所述支撑杆沿所述转轴的周向均匀连接在所述转轴的外周壁上，所述石英支撑柱与所述支撑杆一一对应，且所述石英支撑柱固定在所述支撑杆的自由端；托盘支撑结构还包括若干耐磨套，所述耐磨套与所述石英支撑柱一一对应，且套设在所述石英支撑柱上；所述耐磨套为多边形结构；

其中，所述耐磨套适于插入环形槽内，所述耐磨套的外周壁设有适于抵紧环形槽两侧壁的抵紧结构。

在一种可能的实现方式中，所述抵紧结构包括第一抵紧部和固定部，所述固定部适于连接所述第一抵紧部和所述耐磨套；所述第一抵紧部具有小端和大端，所述第一抵紧部的小端适于插入所述环形槽内，且所述第一抵紧部小端的两侧分别与所述耐磨套和所述环形槽内壁面抵接。

在一种可能的实现方式中，所述固定部包括限位框，所述限位框固定在所述耐磨套上；所述限位框上具有轴线垂直于石英支撑柱的限位孔；

所述第一抵紧部穿设于所述限位框内，且所述第一抵紧部上具有与所述限位孔对齐的通孔；所述固定部还包括适于与限位孔和通孔插接配合的定位销。

在一种可能的实现方式中，所述耐磨套上具有连接环，所述石英支撑柱的外周壁上具有连接槽；托盘支撑结构还包括耐高温连接绳，所述耐高温连接绳的一端连接在所述连接环上，另一端连接在所述连接槽上。

在一种可能的实现方式中，所述耐磨套的内部具有容置腔，所述耐磨套朝向所述环形槽侧壁的两侧均具有与所述容置腔连通的开口；

所述容置腔内设有适于滑出所述开口的第二抵紧部，所述容置腔内还具有适于顶推所述第二抵紧部的顶推结构；所述第二抵紧部在所述顶推结构的顶推作用下滑出所述容置腔，并抵紧所述环形槽的侧壁。

在一种可能的实现方式中，所述容置腔内滑动设有驱动部，所述驱动部的两侧均为斜面，所述驱动部两侧的斜面分别与两个所述第二抵紧部的内侧端接触；

所述顶推结构包括一端与所述第二抵紧部转动配合的螺杆，所述耐磨套上具有与所述螺杆螺纹配合的螺纹孔；

其中，在所述耐磨套与所述环形槽插接时，所述第二抵紧部在所述驱动部的顶推作用下抵紧所述环形槽的内壁面。

在一种可能的实现方式中，所述转轴上沿其轴线方向设有三个T形连接槽，所述支撑杆上具有与所述T形连接槽插接配合的T形块；其中，所述T形连接槽的底壁适于支撑所述T形块。

在一种可能的实现方式中，所述转轴上具有适于与所述T形连接槽连通的螺纹孔，所述T形块上具有与所述螺纹孔对齐的通孔；托盘支撑结构还包括连接螺栓，所述连接螺栓适于与所述转轴螺纹配合，并与所述T形块的通孔插接配合。

在一种可能的实现方式中，所述转轴的低端具有锥形套，所述锥形套适于与硅外延设备的驱动轴连接；所述锥形套与所述转轴可拆卸连接。

在一种可能的实现方式中，所述锥形套与所述转轴为卡接、插接和螺栓连接中的其中任意一种连接方式；

在一种可能的实现方式中，所述耐磨套具有适于与所述石英支撑柱插接配合的插孔，所述插孔的内周壁与所述石英支撑柱的外周壁接触。

本申请实施例中，在将托盘放在耐磨套上后，三个耐磨套的上表面处于同一个平面，因此托盘处于水平的状态；在耐磨套与托盘上的环形槽插接配合后，抵紧结构能够抵紧环形槽的内壁，进而能够加强耐磨套与环形槽内壁之间的连接，减少托盘与耐磨套之间的相对滑动，因此能够减少耐磨套的磨损，并且能够减少托盘出现倾斜的情况，便于保证产品质量。

本实用新型提供的一种硅外延设备的托盘支撑结构，与现有技术相比，通过耐磨套和抵紧结构的配合，能够填补石英支撑柱与环形槽内壁面之间的缝隙，进而减少石英支撑柱与托盘之间的滑动摩擦；通过上述设置，能够减少托盘横向滑动以及出现倾斜的情况，便于保证产品质量。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种硅外延设备的托盘支撑结构的与托盘配合的示意图；

图2为图1中A部的放大示意图；

图3为本实用新型实施例提供的一种硅外延设备的托盘支撑结构的示意图；

图4为图3中B部的放大示意图；

图5为图3中C部的放大示意图；

图6为本实用新型实施例提供的一种硅外延设备的托盘支撑结构的耐磨套部分的示意图；

图7为图6中D部的放大示意图；

图8为本实用新型实施例提供的一种硅外延设备的托盘支撑结构的第一抵紧部的示意图；

图9为本实用新型实施例提供的一种硅外延设备的托盘支撑结构的螺杆部分的示意图。

附图标记说明：1、转轴；11、T形连接槽；2、支撑杆；21、T形块；3、石英支撑柱；4、耐磨套；41、容置腔；42、开口；5、托盘；51、环形槽；6、抵紧结构；61、第一抵紧部；611、小端；612、大端；62、限位框；621、限位孔；63、定位销；64、第二抵紧部；65、驱动部；651、斜面；66、螺杆；7、锥形套。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

请一并参阅图1至图9，现对本实用新型提供的一种硅外延设备的托盘支撑结构进行说明。所述一种硅外延设备的托盘支撑结构，包括转轴1、三个支撑杆2以及石英支撑柱3；支撑杆2沿转轴1的周向均匀连接在转轴1的外周壁上，石英支撑柱3与支撑杆2一一对应，且石英支撑柱3固定在支撑杆2的自由端；托盘支撑结构还包括若干耐磨套4，耐磨套4与石英支撑柱3一一对应，且套设在石英支撑柱3上；耐磨套4为多边形结构；其中，耐磨套4适于插入环形槽51内，耐磨套4的外周壁设有适于抵紧环形槽51两侧壁的抵紧结构6。

本申请实施例中，在将托盘5放在耐磨套4上后，三个耐磨套4的上表面处于同一个平面，因此托盘5处于水平的状态；在耐磨套4与托盘5上的环形槽51插接配合后，抵紧结构6能够抵紧环形槽51的内壁，进而能够加强耐磨套4与环形槽51内壁之间的连接，减少托盘5与耐磨套4之间的相对滑动，因此能够减少耐磨套4的磨损，并且能够减少托盘5出现倾斜的情况，便于保证产品质量。

本实用新型提供的一种硅外延设备的托盘5支撑结构，与现有技术相比，通过耐磨套4和抵紧结构6的配合，能够填补石英支撑柱3与环形槽51内壁面之间的缝隙，进而减少石英支撑柱3与托盘5之间的滑动摩擦；通过上述设置，能够减少托盘5横向滑动以及出现倾斜的情况，便于保证产品质量。

在一些实施例中，如图1至图9所示，抵紧结构6包括第一抵紧部61和固定部，固定部适于连接第一抵紧部61和耐磨套4；第一抵紧部61具有小端611和大端612，第一抵紧部61的小端611适于插入环形槽51内，且第一抵紧部61小端611的两侧分别与耐磨套4和环形槽51内壁面抵接。固定部包括限位框62，限位框62固定在耐磨套4上；限位框62上具有轴线垂直于石英支撑柱3的限位孔621；第一抵紧部61穿设于限位框62内，且第一抵紧部61上具有与限位孔621对齐的通孔；固定部还包括适于与限位孔621和通孔插接配合的定位销63。

应当理解的是，在将耐磨套4放入到托盘5的环形槽51内后，通过第一抵紧部61与限位框62的插接配合，能够填补耐磨套4与环形槽51内壁之间的缝隙，同时能够加强耐磨套4与环形槽51内壁面之间的连接，在转轴1由转动状态转换为停止状态时，能够减少托盘5的转动，进而能够减少耐磨套4的磨损，便于提高使用寿命。

需要说明的是，耐磨套4朝向环形槽51两内侧的侧壁上均设有限位框62，通过两个第一抵紧部61分别与耐磨套4两侧的限位框62插接配合，能够加强耐磨套4与环形槽51内壁面之间的连接，进而便于减少托盘5与耐磨套4之间的相对滑动，因此能够减少耐磨套4的磨损。在第一抵紧部61插接到位后，第一抵紧部61上的通孔与限位框62上的限位孔621对齐，此时通过定位销63与限位孔621和第一抵紧部61的通孔插接配合，将第一抵紧部61固定在耐磨套4上。

在一些实施例中，如图1至图9所示，耐磨套4上具有连接环(图中未示出)，石英支撑柱3的外周壁上具有连接槽(图中未示出)；托盘5支撑结构还包括耐高温连接绳(图中未示出)，耐高温连接绳的一端连接在连接环上，另一端连接在连接槽上。耐磨套4具有适于与石英支撑柱3插接配合的插孔，插孔的内周壁与石英支撑柱3的外周壁接触。

需要说明的是，连接环固定在耐磨套4的外周壁上，通过耐高温连接绳连接耐磨套4和石英支撑柱3，能够减少出现耐磨套4丢失的情况。在耐高温连接绳收紧时，耐高温连接绳还能够对耐磨套4提供拉力，进而能够加强耐磨套4与石英支撑柱3之间的连接。

在一些实施例中，如图1至图9所示，耐磨套4的内部具有容置腔41，耐磨套4朝向环形槽51侧壁的两侧均具有与容置腔41连通的开口42；容置腔41内设有适于滑出开口42的第二抵紧部64，容置腔41内还具有适于顶推第二抵紧部64的顶推结构；第二抵紧部64在顶推结构的顶推作用下滑出容置腔41，并抵紧环形槽51的侧壁。容置腔41内滑动设有驱动部65，驱动部65的两侧均为斜面651，驱动部65两侧的斜面651分别与两个第二抵紧部64的内侧端接触；顶推结构包括一端与第二抵紧部64转动配合的螺杆66，耐磨套4上具有与螺杆66螺纹配合的螺纹孔；其中，在耐磨套4与环形槽51插接时，第二抵紧部64在驱动部65的顶推作用下抵紧环形槽51的内壁面。

需要说明的是，通过驱动部65的滑动，驱动部65的斜面651能够对第二抵紧部64提供抵紧力，进而使第二抵紧部64抵紧环形槽51的内壁面，因此能够加强耐磨套4与环形槽51内壁面之间的连接。通过上述设置便于减少托盘5与耐磨套4之间的相对滑动，进而减少耐磨套4的磨损。具体的，通过转动螺杆66，螺杆66能够对驱动部65提供顶推力，进而使驱动部65的斜面651抵紧第二抵紧部64，并使第二抵紧部64抵紧环形槽51的内壁面，因此能够减少托盘5与耐磨套4之间的滑动磨损。螺杆66与驱动部65的位置相对固定，因此通过螺杆66与耐磨套4螺纹配合，能够对驱动部65提供推力或拉力，进而使驱动部65在耐磨壳4内滑动。

在一些实施例中，如图1至图9所示，转轴1上沿其轴线方向设有三个T形连接槽11，支撑杆2上具有与T形连接槽11插接配合的T形块21；其中，T形连接槽11的底壁适于支撑T形块21。转轴1上具有适于与T形连接槽11连通的螺纹孔(图中未示出)，T形块21上具有与螺纹孔对齐的通孔(图中未示出)；托盘5支撑结构还包括连接螺栓(图中未示出)，连接螺栓适于与转轴1螺纹配合，并与T形块21的通孔插接配合。

需要说明的是，通过支撑杆2上的T形块21与转轴1上的T形连接槽11插接配合，并通过连接螺栓对T形块21和转轴1进行连接，能够将支撑杆2固定在转轴1上，且便于对支撑杆2进行拆卸。在支撑杆2出现损伤时，便于对支撑杆2进行更换。

在一些实施例中，如图1至图9所示，转轴1的低端具有锥形套7，锥形套7适于与硅外延设备的驱动轴连接；锥形套7与转轴1可拆卸连接。锥形套7与转轴1为卡接、插接和螺栓连接中的其中任意一种连接方式。

本实施例中以螺栓连接的方式为例进行说明，转轴1上沿其轴线方向设有至少两个通孔，锥形套7上设有与通孔对齐的螺纹孔；通过螺栓对转轴1和锥形套7进行连接，能够将锥形套7固定在转轴1上。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种硅外延设备的托盘支撑结构，包括转轴、三个支撑杆以及石英支撑柱；所述支撑杆沿所述转轴的周向均匀连接在所述转轴的外周壁上，所述石英支撑柱与所述支撑杆一一对应，且所述石英支撑柱固定在所述支撑杆的自由端；其特征在于，托盘支撑结构还包括若干耐磨套，所述耐磨套与所述石英支撑柱一一对应，且套设在所述石英支撑柱上；所述耐磨套为多边形结构；

其中，所述耐磨套适于插入环形槽内，所述耐磨套的外周壁设有适于抵紧环形槽两侧壁的抵紧结构。

2.如权利要求1所述的一种硅外延设备的托盘支撑结构，其特征在于，所述抵紧结构包括第一抵紧部和固定部，所述固定部适于连接所述第一抵紧部和所述耐磨套；所述第一抵紧部具有小端和大端，所述第一抵紧部的小端适于插入所述环形槽内，且所述第一抵紧部小端的两侧分别与所述耐磨套和所述环形槽内壁面抵接。

3.如权利要求2所述的一种硅外延设备的托盘支撑结构，其特征在于，所述固定部包括限位框，所述限位框固定在所述耐磨套上；所述限位框上具有轴线垂直于石英支撑柱的限位孔；

所述第一抵紧部穿设于所述限位框内，且所述第一抵紧部上具有与所述限位孔对齐的通孔；所述固定部还包括适于与限位孔和通孔插接配合的定位销。

4.如权利要求1所述的一种硅外延设备的托盘支撑结构，其特征在于，所述耐磨套的内部具有容置腔，所述耐磨套朝向所述环形槽侧壁的两侧均具有与所述容置腔连通的开口；

所述容置腔内设有适于滑出所述开口的第二抵紧部，所述容置腔内还具有适于顶推所述第二抵紧部的顶推结构；所述第二抵紧部在所述顶推结构的顶推作用下滑出所述容置腔，并抵紧所述环形槽的侧壁。

5.如权利要求4所述的一种硅外延设备的托盘支撑结构，其特征在于，所述容置腔内滑动设有驱动部，所述驱动部的两侧均为斜面，所述驱动部两侧的斜面分别与两个所述第二抵紧部的内侧端接触；

所述顶推结构包括一端与所述第二抵紧部转动配合的螺杆，所述耐磨套上具有与所述螺杆螺纹配合的螺纹孔；

其中，在所述耐磨套与所述环形槽插接时，所述第二抵紧部在所述驱动部的顶推作用下抵紧所述环形槽的内壁面。

6.如权利要求1-5任意一项所述的一种硅外延设备的托盘支撑结构，其特征在于，所述转轴上沿其轴线方向设有三个T形连接槽，所述支撑杆上具有与所述T形连接槽插接配合的T形块；其中，所述T形连接槽的底壁适于支撑所述T形块。

7.如权利要求6所述的一种硅外延设备的托盘支撑结构，其特征在于，所述转轴上具有适于与所述T形连接槽连通的螺纹孔，所述T形块上具有与所述螺纹孔对齐的通孔；托盘支撑结构还包括连接螺栓，所述连接螺栓适于与所述转轴螺纹配合，并与所述T形块的通孔插接配合。

8.如权利要求1-5任意一项所述的一种硅外延设备的托盘支撑结构，其特征在于，所述转轴的低端具有锥形套，所述锥形套适于与硅外延设备的驱动轴连接；所述锥形套与所述转轴可拆卸连接。

9.如权利要求1-5任意一项所述的一种硅外延设备的托盘支撑结构，其特征在于，所述耐磨套上具有连接环，所述石英支撑柱的外周壁上具有连接槽；托盘支撑结构还包括耐高温连接绳，所述耐高温连接绳的一端连接在所述连接环上，另一端连接在所述连接槽上。

10.如权利要求1-5任意一项所述的一种硅外延设备的托盘支撑结构，其特征在于，所述耐磨套具有适于与所述石英支撑柱插接配合的插孔，所述插孔的内周壁与所述石英支撑柱的外周壁接触。

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