CN218579839U - 一种电子玻璃多产线激光切割设备 - Google Patents

Abstract

本公开提供一种电子玻璃多产线激光切割设备，包括：龙门平台，其包括基台和龙门架；X轴运动模组、Y轴运动模组和Z轴运动模组；玻璃载台；激光切割系统，其包括切割激光头；激光裂片系统，其包括裂片激光头；以及定位系统；多个Y轴运动模组并列设置于基台，一Y轴运动模组带动一玻璃载台沿Y轴方向做往复运动；每一X轴运动模组带动至少一Z轴运动模组沿X轴方向做往复运动；一Z轴运动模组带动一切割激光头、一定位系统沿Z轴方向同步做往复运动，一Z轴运动模组带动一裂片激光头沿Z轴方向做往复运动。本公开集成化、自动化和智能化程度高；切割精度高、速度快、切割无(低)粉尘且高产能。

Description

一种电子玻璃多产线激光切割设备

技术领域

本公开涉及电子玻璃切割技术领域，尤其涉及一种电子玻璃多产线激光切割设备。

背景技术

电子玻璃，一般是指可应用于电子、微电子、光电子领域的一类高技术玻璃产品，主要用于制作显示面板、集成电路以及具有光电、热电、声光、磁光等功能元器件的玻璃材料。

目前电子玻璃切割方式主要机械刀轮切割，但是刀轮切割具有产生玻璃粉尘、切割后玻璃边部质量较差仍需磨边、难开孔等问题，并且对于0.1mm一下的超薄玻璃，刀轮很难进行切割操作。除了机械刀轮切割外，部分电子玻璃还会采用激光切割，其优点是切割无粉尘、边部质量优良、可切割异形孔，且对于0.1mm以下玻璃同样具有优良的切割性能。但现有的激光切割设备一般不同时具有裂片、测厚等功能，且切割厚度兼容性不高，功能单一，所以激光切割设备还有很大的提升空间。

实用新型内容

本公开所要解决的一个技术问题是：提供一种适用于于电子玻璃且功能齐备的高集成化且自动化和智能化程度高，切割精度高、速度快、切割无(低)粉尘的高产能激光切割设备。

为解决上述技术问题，本公开实施例提供一种电子玻璃多产线激光切割设备，包括：龙门平台，其包括基台和龙门架，龙门架架设于基台的上方；直线运动系统，其包括X轴运动模组、Y轴运动模组和Z轴运动模组；玻璃载台，其用于承载电子玻璃；激光切割系统，其包括第一激光输送系统和切割激光头；激光裂片系统，其包括第二激光输送系统和裂片激光头；以及，定位系统；其中，多个Y轴运动模组并列设置于基台，一Y轴运动模组带动一玻璃载台沿Y轴方向做往复运动以形成一条电子玻璃产线；龙门架沿Y轴方向的两侧分别设有X轴运动模组，每一X轴运动模组带动至少一Z轴运动模组沿X轴方向做往复运动；位于电子玻璃产线前端的一Z轴运动模组带动一切割激光头、一定位系统沿Z轴方向同步做往复运动以靠近或远离玻璃载台，位于电子玻璃产线后端的一Z轴运动模组带动一裂片激光头沿Z轴方向做往复运动以靠近或远离玻璃载台。

在一些实施例中，还包括激光测厚系统，激光测厚系统与切割激光头或裂片激光头同步运动。

在一些实施例中，激光测厚系统包括测厚镜头、激光光源和分析处理器；测厚镜头和激光光源同步运动。

在一些实施例中，还包括电气工控系统，电气工控系统分别与X轴运动模组、Y轴运动模组、Z轴运动模组、激光切割系统、激光裂片系统和定位系统连接。

在一些实施例中，玻璃载台包括载台面板、侧板和底板，载台面板和底板沿Z轴方向相对设置，侧板分别连接载台面板和底板，使得载台面板、侧板和底板围设形成真空腔室，侧板设有连通真空腔室的真空抽吸孔，载台面板设有连通真空腔室的真空吸附孔，载台面板远离真空腔室一侧的表面形成用于承托电子玻璃的支撑面。

在一些实施例中，支撑面的外周侧设有限位部。

在一些实施例中，支撑面的外周侧设有废料收集槽。

在一些实施例中，第一激光输送系统的光路设有第一护罩，第二激光输送系统的光路设有第二护罩。

在一些实施例中，定位系统包括视觉镜头、光源和视觉处理器；视觉镜头和光源同步运动。

在一些实施例中，基台为大理石基台，玻璃载台为大理石玻璃载台。

在一些实施例中，位于电子玻璃产线前端的一Z轴运动模组对应两条以上电子玻璃产线，位于电子玻璃产线后端的一Z轴运动模组对应一条以上电子玻璃产线。

在一些实施例中，第一激光输送系统安装于龙门架；第一激光输送系统包括皮秒激光器、第一扩束镜和第一反射镜；由皮秒激光器射出的激光经由第一扩束镜扩束，再经第一反射镜反射至切割激光头。

在一些实施例中，第二激光输送系统安装于龙门架，第二激光输送系统包括二氧化碳激光器和第二反射镜，由二氧化碳激光器射出的激光经由第二反射镜反射至裂片激光头。

在一些实施例中，二氧化碳激光器和第二反射镜之间设有第二扩束镜，由二氧化碳激光器射出的激光经由第二扩束镜扩束，再经第二反射镜反射至裂片激光头。

通过上述技术方案，本公开提供的电子玻璃多产线激光切割设备。能够带来以下至少一种有益效果：

1、本公开采用多条产线并列设置并共用相同的部件(共用龙门平台、X轴运动模组、Y轴运动模组、Z轴运动模组、激光切割系统、激光裂片系统、定位系统、激光测厚系统中的一个或多个)，使得电子玻璃的切割和裂片均采用激光且沿产线方向前后布置实现，并通过三维运动(X轴方向、Y轴方向和Z轴方向)实现对电子玻璃不同位置的定位切割、裂片和测厚，集成化较高且空间占用面积较小，自动化和智能化程度高，切割精度高、速度快、切割无(低)粉尘，且切割后玻璃边部质量优良；切割厚度和尺寸兼容性高，既可以切割常规电子玻璃(厚度尺寸一般为0.1～1mm)，同时也适用于0.1mm以下的超薄玻璃(UTG)；还可实现异形孔的切割，通过激光先后顺序依次对电子玻璃进行切割和裂片，使得切割和裂片根据各条产线之间的先后顺序有序按照先后顺序对电子玻璃进行对应操作，大大提高了各个产线之间的配合关系，降低机台空闲率，提高机台利用率，每一条电子玻璃产线的进料和下料可同步实现，大大加快了生产线的生产效率，实现了电子玻璃高效率的批量化、工厂化和自动化生产，应用范围广且综合效率高、成本低。

2、本公开采取真空吸附电子玻璃，使得电子玻璃能够完整呈现，避免机械固定对切割、裂片、测厚或定位等过程产生干涉问题，且真空吸附可实现电子玻璃与支撑面之间的牢固贴合，通过反吹还可实现电子玻璃与支撑面的快速分离，降低电子玻璃与支撑面的吸附着力，实现电子玻璃的快速固定和分离，便于电子玻璃的取料和放料。

3、本公开仅切割激光头、裂片激光头、视觉镜头、测厚镜头等必要部件跟随Z轴方向和X轴方向的位移，降低其运输能耗，节约成本。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本公开实施例公开的一种结构示意图；

图2是图1的另一视角结构示意图。

附图标记说明：

1、龙门平台；1-1、基台；1-2、龙门支撑架；1-3、龙门横梁；2、直线运动系统；2-1、X轴运动模组；2-2、Y轴运动模组；2-3、Z轴运动模组；3、玻璃载台；4、激光切割系统；4-1、皮秒激光器；4-2、第一扩束镜；4-3、第一反射镜；4-4、第一护罩；4-5、切割激光头；5、激光裂片系统；5-1、二氧化碳激光器；5-2、第二扩束镜；5-3、第二反射镜；5-4、第二护罩；5-5、裂片激光头；6、激光测厚系统；7、定位系统。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本公开的实施方式作进一步详细描述。以下实施例的详细描述和附图用于示例性地说明本公开的原理，但不能用来限制本公开的范围，本公开可以以许多不同的形式实现，不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

本公开提供这些实施例是为了使本公开透彻且完整，并且向本领域技术人员充分表达本公开的范围。应注意到：除非另外具体说明，这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、材料的组分、数字表达式和数值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。

需要说明的是，在本公开的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是大于或等于两个；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

此外，本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的部分。“垂直”并不是严格意义上的垂直，而是在误差允许范围之内。“平行”并不是严格意义上的平行，而是在误差允许范围之内。“包括”或者“包含”等类似的词语意指在该词前的要素涵盖在该词后列举的要素，并不排除也涵盖其他要素的可能。

还需要说明的是，在本公开的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可视具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。当描述到特定器件位于第一器件和第二器件之间时，在该特定器件与第一器件或第二器件之间可以存在居间器件，也可以不存在居间器件。

本公开使用的所有术语与本公开所属领域的普通技术人员理解的含义相同，除非另外特别定义。还应当理解，在诸如通用字典中定义的术语应当被解释为具有与它们在相关技术的上下文中的含义相一致的含义，而不应用理想化或极度形式化的意义来解释，除非这里明确地这样定义。

对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。

如图1和2所示，本公开实施例提供一种电子玻璃多产线激光切割设备，包括：龙门平台1，龙门平台1包括基台1-1和龙门架，龙门架架设于基台1-1的上方；直线运动系统2，直线运动系统2包括X轴运动模组2-1、Y轴运动模组2-2和Z轴运动模组2-3；玻璃载台3，玻璃载台3用于承载电子玻璃；激光切割系统4，激光切割系统4包括第一激光输送系统和切割激光头4-5；激光裂片系统5，激光裂片系统5包括第二激光输送系统和裂片激光头5-5；以及，定位系统7；其中，多个Y轴运动模组2-2并列设置于基台1-1，一Y轴运动模组2-2带动一玻璃载台3沿Y轴方向做往复运动以形成一条电子玻璃产线；龙门架沿Y轴方向的两侧分别设有X轴运动模组2-1，每一X轴运动模组2-1带动至少一Z轴运动模组2-3沿X轴方向做往复运动；位于电子玻璃产线前端的一Z轴运动模组2-3带动一切割激光头4-5、一定位系统7沿Z轴方向同步做往复运动以靠近或远离玻璃载台3，位于电子玻璃产线后端的一Z轴运动模组2-3带动一裂片激光头5-5沿Z轴方向做往复运动以靠近或远离玻璃载台3。值得说明的是，X轴方向、Y轴方向和Z轴方向为两两垂直的三个方向，附图所示仅为一种具体实施方式，并非对本公开的方向限定。

在一些实施例中，还包括激光测厚系统6，激光测厚系统6与切割激光头4-5同步运动。在其他的一些实施例中，激光测厚系统6与裂片激光头5-5同步运动。

在一些实施例中，激光测厚系统6包括测厚镜头、激光光源和分析处理器；测厚镜头和激光光源同步运动。通过X轴运动模组2-1和Y轴运动模组2-2的相对运动来实现对电子玻璃的指定位置进行厚度测量记录和分析。当激光测厚系统6与切割激光头4-5同步运动时，则测厚镜头和激光光源、切割激光头4-5、定位系统7共同安装于同一Z轴运动模组2-3。为了便于测厚镜头和激光光源、切割激光头4-5和定位系统7的安装，测厚镜头和激光光源、切割激光头4-5和定位系统7均安装于第一滑移板，然后第一滑移板与Z轴运动模组2-3驱动连接。当激光测厚系统6与裂片激光头5-5同步运动时，则测厚镜头和激光光源、裂片激光头5-5共同安装于同一Z轴运动模组2-3。为了便于测厚镜头和激光光源、裂片激光头5-5的安装，测厚镜头和激光光源、裂片激光头5-5均安装于第二滑移板，然后第二滑移板与Z轴运动模组2-3驱动连接。

在一些实施例中，还包括电气工控系统，电气工控系统分别与X轴运动模组2-1、Y轴运动模组2-2、Z轴运动模组2-3、激光切割系统4、激光裂片系统5和定位系统7连接。具体地，电气工控系统包括工控机、显示器、驱动器和电气辅料等部分，通过电气工控系统最终实现本激光切割机的激光器开关、激光调整、X/Y/Z轴运动控制、视觉定位、测厚分析等功能。电气工控系统可安装于龙门架或者其他地方，便于工作人员对本公开的激光切割设备运行情况的观察和设置等操作。

在一些实施例中，玻璃载台3包括载台面板、侧板和底板，载台面板和底板沿Z轴方向相对设置，侧板分别连接载台面板和底板，使得载台面板、侧板和底板围设形成真空腔室，侧板设有连通真空腔室的真空抽吸孔，载台面板设有连通真空腔室的真空吸附孔，载台面板远离真空腔室一侧的表面形成用于承托电子玻璃的支撑面。在实际应用中，真空腔室通过真空抽吸孔与真空设备连通，当需要对电子玻璃进行吸附固定时，抽真空使得电子玻璃仅仅贴合于支撑面；当需要对完成加工需求(切割裂片、测厚等)电子玻璃进行取料时，不再抽真空使得电子玻璃能够被轻松取下，甚至于，还可通过真空吸附孔反向吹风，从而使得电子玻璃在风力的作用下降低其自身与支撑面之间的附着力而更易于脱离支撑面。在其他实施例中，电子玻璃的固定也可通过翻转气缸或者定位气缸等从电子玻璃的外周侧或者上表面压紧实现电子玻璃的固定。

在一些实施例中，支撑面的外周侧设有限位部。为了便于电子玻璃的上料，避免其偏移多大而伸出支撑面而给切割、裂片、测厚等过程造成困扰，通过在支撑面的外周侧设置限位部，从而确保电子玻璃能够有效承托于支撑面，从而保证切割、裂片和测厚等过程的顺利进行。在实际应用中，限位部可为设置于支撑面的凸起形成，也可为安装于支撑面的外侧的限位柱或限位螺栓等形成。

在一些实施例中，玻璃载台3设有带有真空度显示屏的压力表和调节真空度的调节装置，便于真空吸力大小的调节。玻璃载台3的外周侧设有废料收集槽，便于收集切割和裂片过程产生的废料。

在一些实施例中，定位系统7包括视觉镜头、光源和视觉处理器；视觉镜头和光源同步运动。在实际应用中，视觉镜头和光源可分开设置或组装于一体。视觉镜头和光源安装于Z轴运动模组2-3(即第一滑移板)上，电子玻璃上料后视觉镜头移动到对应标记点对电子玻璃进行精确定位。值得说明的是，本公开的定位系统7可为视频定位系统、图像帧定位系统、扫描定位系统、光定位系统等。当然，在其他实施例中，视觉处理器、分析处理器、第一激光输送系统、第二激光输送系统也可选择性地安装于第一滑移板或第二滑移板。但为了降低能耗，减少滑动板的移动载重，这些部件选择性地安装于龙门架或其他地方。

在一些实施例中，基台1-1为大理石基台，玻璃载台3为大理石玻璃载台。大理石经长期天然时效，组织结构均匀，线胀系数极小，内应力完全消失，不易变形；而且具有硬度高，刚性好，耐磨性强，温度变形小，使用寿命长等优点。当然，基台1-1和玻璃载台3也可为其他石材或不易于与光发生物化反应的其他材料也可。

在一些实施例中，位于电子玻璃产线前端的一Z轴运动模组2-3对应两条以上电子玻璃产线，位于电子玻璃产线后端的一Z轴运动模组2-3对应一条以上电子玻璃产线。具体地，如图1和2所示，本公开具体实施例具有三条电子玻璃产线，位于电子玻璃产线前端的一Z轴运动模组2-3对应该三条电子玻璃产线(即位于电子玻璃产线前端的Z轴运动模组2-3只有一个)，位于电子玻璃产线后端的一Z轴运动模组2-3对应一条电子玻璃产线(即位于电子玻璃产线后端的一Z轴运动模组2-3有三个，一条电子玻璃产线设置一个Z轴运动模组2-3)。当然，在其他具体实施例中，也可为位于电子玻璃产线前端的一Z轴运动模组2-3对应一条以上电子玻璃产线，位于电子玻璃产线后端的一Z轴运动模组2-3对应两条以上电子玻璃产线。在其他具体实施例中，也可为位于电子玻璃产线前端的一Z轴运动模组2-3对应两条以上电子玻璃产线，位于电子玻璃产线后端的一Z轴运动模组2-3对应两条以上电子玻璃产线。具体设置可根据需要进行设置，本公开并不对其进行限制。

在一些实施例中，第一激光输送系统安装于龙门架；第一激光输送系统包括皮秒激光器4-1、第一扩束镜4-2和第一反射镜4-3；由皮秒激光器4-1射出的激光经由第一扩束镜4-2扩束，再经第一反射镜4-3反射至切割激光头4-5，最后在切割激光头4-5内进行聚焦后射出到玻璃载台3上进行电子玻璃切割，由于皮秒激光是对电子玻璃进行打孔切割，孔距之间仍有玻璃连接，此时玻璃并未完全断裂开，需裂片后才可分开。

在一些实施例中，第二激光输送系统安装于龙门架，第二激光输送系统包括二氧化碳激光器5-1和第二反射镜5-3，由二氧化碳激光器5-1射出的激光经由第二反射镜5-3反射至裂片激光头5-5，最后在裂片激光头5-5内进行聚焦后射出到切割平台3-3上的已经过皮秒激光切割过玻璃表面，沿着皮秒激光切割轨迹进行裂片，其原理是二氧化碳激光会射在皮秒激光切割线上产生高温，使孔间连接的玻璃因热膨胀而断开。

在一些实施例中，当二氧化碳激光器5-1射出的激光功率较大时，则二氧化碳激光器5-1和第二反射镜5-3之间设有第二扩束镜5-2，由二氧化碳激光器5-1射出的激光经由第二扩束镜5-2扩束，再经第二反射镜5-3反射至裂片激光头5-5。在其他实施例中，当二氧化碳激光器5-1射出的激光功率较小但满足裂片功率时，可以不用第二扩束镜5-2扩束。

在一些实施例中，第一激光输送系统的光路设有第一护罩4-4，第二激光输送系统的光路设有第二护罩5-4。第一护罩4-4和第二护罩5-4有效防止粉尘等杂质进入到光路，防止外界杂质影响激光品质，确保激光切割系统4和激光裂片系统5运行的稳定性、可靠性和安全性。在一些实施例中，皮秒激光器4-1选用波长1060/1064纳米红外皮秒激光器，脉冲宽度小于15ps，最大单脉冲能量大于300μJ，重复频率在50kHz～1MHz，光束质量(M²)小于1.4；切割激光头4-5光斑直径小于2μm。

在一些实施例中，龙门架包括龙门支撑架1-2和龙门横梁1-3，两个龙门支撑架1-2沿X轴方向分设于基台1-1的两侧，龙门横梁1-3的两端分别与两侧的龙门支撑架1-2，从而使得龙门横梁1-3悬挂于基台1-1的上方(即电子玻璃产线的上方)，第一激光输送系统和第二激光输送系统安装于龙门横梁1-3的上表面，切割激光头4-5设于第一滑移板沿X轴方向的其中一侧，裂片激光头5-5设于第二滑移板沿X轴方向的其中一侧，对应的，第一反射镜4-3安装于切割激光头4-5沿Z轴方向的正上方，第二反射镜5-3安装于裂片激光头5-5沿Z轴方向的正上方。在实际应用中，龙门支撑架1-2可安装于地面或者基台1-1。

在一些实施例中，还包括用于承托基台1-1的底架，底架1可为石质底架、金属底架、塑料底架或木质底架。在本公开的一种具体实施例中，底架1为采用钢管焊接而成的框架结构，牢固可靠稳定，底部装有脚轮和可调脚杯，方便本公开激光切割设备的移动和支撑调整，框架结构四周装有封板和门板，便于放置设备附件。

在一些实施例中，直线运动系统2(即X轴运动模组2-1、Y轴运动模组2-2和Z轴运动模组2-3)可为直线电机、丝杠副、齿轮齿条驱动机构等可实现直线往复运动的驱动机构中的一种或多种组合。当直线运动系统2为直线电机时，Y轴直线电机安装于基台1-1的表面，动子上载有玻璃载台3，使切玻璃载台3实现Y轴运动；X轴直线电机安装在龙门架侧面，动子上安装Z轴直线电机，使Z轴直线电机沿X轴移动；Z轴动子上装有滑移板(第一滑移板(集成安装有测厚镜头和激光光源、切割激光头4-5和定位系统7)或第二滑移板(安装有裂片激光头5-5))，X轴和Y轴水平移动实现切割、裂片、定位、测厚功能，Z轴竖直移动实现各镜头(即切割激光头4-5、裂片激光头5-5、视觉镜头、测厚镜头)焦距调节。各轴(X轴、Y轴、Z轴)机械定位精度均小于5μm，且基台1-1的基准安装面的平面度均小于10μm，具体以各轴的运动精度满足要求为最低标准。在一些实施例中，X轴运动模组2-1、Y轴运动模组2-2和Z轴运动模组2-3的运动定位精度和重现精度不大于10μm，直线电机光栅尺分辨率选用0.1μm，运动方式采用扫描检测运动，各轴加装风琴护罩进行保护。

当直线运动系统2为丝杠副时，则实现Y轴方向运动的丝杠副的螺母安装于玻璃载台3，且该丝杠副的丝杆轴接并安装于基台1-1；实现Z轴方向运动的丝杠副的螺母安装于第一滑移板或第二滑移板，该丝杠副的螺杆轴接并安装于X轴运动模组2-1；实现X轴方向运动的丝杠副的螺母安装于Z轴运动模组2-3，该丝杠副的螺杆轴接并安装于龙门横梁1-3；每一丝杠副的螺母和螺杆螺接。

当直线运动系统2为齿轮齿条驱动机构时，则实现Y轴方向运动的齿轮齿条驱动机构的齿条与玻璃载台3连接，该齿轮齿条驱动机构的齿轮转动安装于基台1-1；实现Z轴方向运动的齿轮齿条驱动机构的齿条与第一滑移板或第二滑移板连接，该齿轮齿条驱动机构的齿轮转动安装于X轴运动模组2-1；实现X轴方向运动的齿轮齿条驱动机构的齿条与Z轴运动模组2-3连接，该齿轮齿条驱动机构的齿轮转动安装于龙门横梁1-3；每一齿轮齿条驱动机构的齿轮和齿条啮合连接。

如图1和2所示，基于该具体实施例的一种电子玻璃切割工艺为：三个玻璃载台3依次循环人工/自动上料→玻璃载台3吸真空固定→定位系统7对电子玻璃进行定位→激光切割系统4按照指定形状对三个玻璃载台3上的电子玻璃依次循环进行切割→激光测厚系统6对电子玻璃进行测厚分析(必要时)→单个载台切割完毕后立即进入各自对应激光裂片系统5对电子玻璃进行裂片→玻璃载台3解除真空固定→三个玻璃载台3依次循环人工/自动下料，各玻璃载台3的上料、切割、裂片、下料循环作业，大大提高了设备利用率和生产效率。

至此，已经详细描述了本公开的各实施例。为了避免遮蔽本公开的构思，没有描述本领域所公知的一些细节。本领域技术人员根据上面的描述，完全可以明白如何实施这里公开的技术方案。

虽然已经通过示例对本公开的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上示例仅是为了进行说明，而不是为了限制本公开的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本公开的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改或者对部分技术特征进行等同替换。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。

Claims (10)

1.一种电子玻璃多产线激光切割设备，其特征在于，包括：

龙门平台(1)，其包括基台(1-1)和龙门架，所述龙门架架设于所述基台(1-1)的上方；

直线运动系统(2)，其包括X轴运动模组(2-1)、Y轴运动模组(2-2)和Z轴运动模组(2-3)；

玻璃载台(3)，其用于承载电子玻璃；

激光切割系统(4)，其包括第一激光输送系统和切割激光头(4-5)；

激光裂片系统(5)，其包括第二激光输送系统和裂片激光头(5-5)；以及，

定位系统(7)；

其中，多个所述Y轴运动模组(2-2)并列设置于所述基台(1-1)，一所述Y轴运动模组(2-2)带动一所述玻璃载台(3)沿Y轴方向做往复运动以形成一条电子玻璃产线；所述龙门架沿Y轴方向的两侧分别设有X轴运动模组(2-1)，每一所述X轴运动模组(2-1)带动至少一所述Z轴运动模组(2-3)沿X轴方向做往复运动；位于所述电子玻璃产线前端的一所述Z轴运动模组(2-3)带动一所述切割激光头(4-5)、一所述定位系统(7)沿Z轴方向同步做往复运动以靠近或远离所述玻璃载台(3)，位于所述电子玻璃产线后端的一所述Z轴运动模组(2-3)带动一所述裂片激光头(5-5)沿Z轴方向做往复运动以靠近或远离所述玻璃载台(3)。

2.根据权利要求1所述的电子玻璃多产线激光切割设备，其特征在于，还包括激光测厚系统(6)，所述激光测厚系统(6)与所述切割激光头(4-5)或所述裂片激光头(5-5)同步运动。

3.根据权利要求2所述的电子玻璃多产线激光切割设备，其特征在于，所述激光测厚系统(6)包括测厚镜头、激光光源和分析处理器；所述测厚镜头和所述激光光源同步运动。

4.根据权利要求1所述的电子玻璃多产线激光切割设备，其特征在于，还包括电气工控系统，所述电气工控系统分别与所述X轴运动模组(2-1)、所述Y轴运动模组(2-2)、所述Z轴运动模组(2-3)、所述激光切割系统(4)、所述激光裂片系统(5)和所述定位系统(7)连接。

5.根据权利要求1所述的电子玻璃多产线激光切割设备，其特征在于，所述玻璃载台(3)包括载台面板、侧板和底板，所述载台面板和所述底板沿Z轴方向相对设置，所述侧板分别连接所述载台面板和所述底板，使得所述载台面板、所述侧板和所述底板围设形成真空腔室，所述侧板设有连通所述真空腔室的真空抽吸孔，所述载台面板设有连通所述真空腔室的真空吸附孔，所述载台面板远离所述真空腔室一侧的表面形成用于承托电子玻璃的支撑面。

6.根据权利要求5所述的电子玻璃多产线激光切割设备，其特征在于，所述支撑面的外周侧设有限位部；和/或，

所述支撑面的外周侧设有废料收集槽。

7.根据权利要求1所述的电子玻璃多产线激光切割设备，其特征在于，

所述第一激光输送系统的光路设有第一护罩(4-4)，所述第二激光输送系统的光路设有第二护罩(5-4)；和/或，

所述定位系统(7)包括视觉镜头、光源和视觉处理器；所述视觉镜头和所述光源同步运动；和/或，

所述基台(1-1)为大理石基台，所述玻璃载台(3)为大理石玻璃载台；和/或，

位于所述电子玻璃产线前端的一所述Z轴运动模组(2-3)对应两条以上所述电子玻璃产线，位于所述电子玻璃产线后端的一所述Z轴运动模组(2-3)对应一条以上所述电子玻璃产线。

8.根据权利要求1所述的电子玻璃多产线激光切割设备，其特征在于，所述第一激光输送系统安装于所述龙门架；所述第一激光输送系统包括皮秒激光器(4-1)、第一扩束镜(4-2)和第一反射镜(4-3)；由所述皮秒激光器(4-1)射出的激光经由所述第一扩束镜(4-2)扩束，再经所述第一反射镜(4-3)反射至所述切割激光头(4-5)。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的电子玻璃多产线激光切割设备，其特征在于，所述第二激光输送系统安装于所述龙门架，所述第二激光输送系统包括二氧化碳激光器(5-1)和第二反射镜(5-3)，由所述二氧化碳激光器(5-1)射出的激光经由所述第二反射镜(5-3)反射至所述裂片激光头(5-5)。

10.根据权利要求9所述的电子玻璃多产线激光切割设备，其特征在于，所述二氧化碳激光器(5-1)和所述第二反射镜(5-3)之间设有第二扩束镜(5-2)，由所述二氧化碳激光器(5-1)射出的激光经由所述第二扩束镜(5-2)扩束，再经所述第二反射镜(5-3)反射至所述裂片激光头(5-5)。

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