CN217859384U - 一种用于激光切割裂片的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于激光切割裂片的装置,属于激光加工技术领域,包括支撑架、载物台、激光切割系统和激光裂片系统,载物台和支撑架活动连接;激光切割系统包括第一X轴驱动部件和Z轴切割机构,第一X轴驱动部件设置于支撑架,Z轴切割机构安装于第一X轴驱动部件,以通过第一X轴驱动部件驱动Z轴切割机构朝向X轴方向移动;激光裂片系统包括第二X轴驱动部件、Z轴裂片机构和定位机构,第二X轴驱动部件设置于支撑架,Z轴裂片机构安装于第二X轴驱动部件,定位机构安装于第二X轴驱动部件,以通过第二X轴驱动部件驱动Z轴裂片机构和定位机构朝向X轴方向移动。本实用新型达到提高产品良率,降低加工成本高,提升生产效率的技术效果。
Description
技术领域
本实用新型属于激光加工技术领域,特别涉及一种用于激光切割裂片的装置。
背景技术
激光加工技术是利用激光束与物质相互作用的特性,对包括金属与非金属的材料进行切割、焊接、表面处理、打孔及微加工等的加工技术。在玻璃等成品的生产中,常需要运用激光加工技术进行切割和裂片。
目前,在现有的激光切割技术中,通常是依据所需要的形状和大小,采用精雕、研磨的方式对玻璃进行加工。但是,在采用精雕、研磨方式进行加工的过程中,容易在玻璃边缘处发生微裂纹、玻璃强度变化等不利影响,会使得产品良率较低,加工成本高,生产效率低。综上所述,在现有的激光切割技术中,存在着产品良率较低,加工成本高,生产效率低的技术问题。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是产品良率较低,加工成本高,生产效率低的技术问题。
为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种用于激光切割裂片的装置,所述装置包括:支撑架和载物台,所述载物台和所述支撑架活动连接;激光切割系统,所述激光切割系统安装于所述支撑架,所述激光切割系统包括第一X轴驱动部件和Z轴切割机构,所述第一X轴驱动部件设置于所述支撑架,所述Z轴切割机构安装于所述第一X轴驱动部件,以通过所述第一X轴驱动部件驱动所述Z轴切割机构朝向X轴方向移动,所述载物台位于所述Z轴切割机构和所述支撑架之间;激光裂片系统,所述激光裂片系统安装于所述支撑架,所述激光裂片系统包括第二X轴驱动部件、Z轴裂片机构和定位机构,所述第二X轴驱动部件设置于所述支撑架,所述Z轴裂片机构安装于所述第二X轴驱动部件,所述定位机构安装于所述第二X轴驱动部件,以通过所述第二X轴驱动部件驱动所述Z轴裂片机构和所述定位机构朝向X轴方向移动,所述载物台位于所述Z轴裂片机构和所述支撑架之间。
进一步地,所述支撑架设置有平台、横梁和立柱,所述横梁通过所述立柱和所述平台连接,所述第一X轴驱动部件设置于所述横梁的一侧,所述第二X轴驱动部件设置于所述横梁的另一侧。
进一步地,所述载物台包括:第一Y轴驱动部件和第一吸附平台,所述第一Y轴驱动部件安装于所述平台,所述第一吸附平台设置于所述第一Y轴驱动部件,以通过所述第一Y轴驱动部件驱动所述第一吸附平台朝向Y轴方向移动。
进一步地,所述载物台还包括:第二Y轴驱动部件和第二吸附平台,所述第二Y轴驱动部件安装于所述平台,所述第二吸附平台设置于所述第二Y轴驱动部件,以通过所述第二Y轴驱动部件驱动所述第二吸附平台朝向Y轴方向移动,所述第二吸附平台和所述第一吸附平台相互平行。
进一步地,所述第一X轴驱动部件是直线电机,所述第二X轴驱动部件是直线电机。
进一步地,所述Z轴切割机构包括:红外激光部件,所述红外激光部件安装于所述支撑架;Z轴切割部件,所述Z轴切割部件安装于第一X轴驱动部件。
进一步地,所述红外激光部件包括红外激光器、第一反射镜和第一扩束镜,所述红外激光器、所述第一反射镜和所述第一扩束镜均安装于所述支撑架;所述Z轴切割部件包括第一Z轴驱动部件和切割头,所述第一Z轴驱动部件安装于所述第一X轴驱动部件,所述切割头安装于所述第一Z轴驱动部件,以通过所述第一Z轴驱动部件驱动所述切割头朝着Z轴方向移动。
进一步地,所述Z轴裂片机构包括:二氧化碳激光部件,所述二氧化碳激光部件安装于所述支撑架;Z轴裂片部件,所述Z轴裂片部件安装于所述第二X轴驱动部件。
进一步地,所述二氧化碳激光部件包括二氧化碳激光器、第二反射镜和第二扩束镜,所述二氧化碳激光器、所述第二反射镜和所述第二扩束镜均安装于所述支撑架;所述Z轴裂片部件包括第二Z轴驱动部件和二氧化碳聚焦镜,所述第二Z轴驱动部件安装于所述第二X轴驱动部件,所述二氧化碳聚焦镜安装于所述第二Z轴驱动部件,以通过所述第二Z轴驱动部件驱动所述二氧化碳聚焦镜朝着Z轴方向移动。
进一步地,所述定位机构包括相机和镜头,所述相机和所述镜头均安装于所述第二X轴驱动部件。
有益效果:
本实用新型提供一种用于激光切割裂片的装置,通过载物台和支撑架活动连接,在支撑架上安装激光切割系统,激光切割系统中第一X轴驱动部件设置于支撑架上,Z轴切割机构安装于第一X轴驱动部件上,以通过第一X轴驱动部件驱动Z轴切割机构朝向X轴方向移动,载物台位于Z轴切割机构和支撑架之间。在支撑架上安装激光裂片系统,激光裂片系统中第二X轴驱动部件设置于支撑架上,激光裂片系统中Z轴裂片机构安装于第二X轴驱动部件,激光裂片系统中定位机构也安装于第二X轴驱动部件,以通过第二X轴驱动部件驱动Z轴裂片机构和定位机构朝向X轴方向移动,载物台位于Z轴裂片机构和支撑架之间。这样当需要对玻璃进行激光切割裂片时,载物台将玻璃移动至Z轴切割机构处,通过在朝着X轴方向和Z轴方向上移动Z轴切割机构来对玻璃进行切割。再将切割后玻璃移动至定位机构处,通过在朝着X轴方向和Z轴方向上移动定位机构来对玻璃进行抓标定位。然后在朝着X轴方向和Z轴方向上移动Z轴裂片机构来对抓标定位后的玻璃进行裂片。继而实现了将对玻璃的激光切割和裂片集成于一体,激光切割和裂片能够避免在玻璃边缘处发生微裂纹、玻璃强度变化等不利情况,有利于提高产品良率,降低加工成本高,提升生产效率。从而达到了提高产品良率,降低加工成本高,提升生产效率的技术效果。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例提供的一种用于激光切割裂片的装置的示意图一;
图2为本实用新型实施例提供的一种用于激光切割裂片的装置的示意图二;
图3为本实用新型实施例提供的一种用于激光切割裂片的装置的示意图三;
图4为本实用新型实施例提供的一种用于激光切割裂片的装置的示意图四。
具体实施方式
本实用新型公开了一种用于激光切割裂片的装置,通过载物台和支撑架活动连接,在支撑架上安装激光切割系统,激光切割系统中第一X轴驱动部件6设置于支撑架上,Z轴切割机构安装于第一X轴驱动部件6上,以通过第一X轴驱动部件6驱动Z轴切割机构朝向X轴方向移动,载物台位于Z轴切割机构和支撑架之间。在支撑架上安装激光裂片系统,激光裂片系统中第二X轴驱动部件17设置于支撑架上,激光裂片系统中Z轴裂片机构安装于第二X轴驱动部件17,激光裂片系统中定位机构19也安装于第二X轴驱动部件17,以通过第二X轴驱动部件17驱动Z轴裂片机构和定位机构19朝向X轴方向移动,载物台位于Z轴裂片机构和支撑架之间。这样当需要对玻璃进行激光切割裂片时,载物台将玻璃移动至Z轴切割机构处,通过在朝着X轴方向和Z轴方向上移动Z轴切割机构来对玻璃进行切割。再将切割后玻璃移动至定位机构19处,通过在朝着X轴方向和Z轴方向上移动定位机构19来对玻璃进行抓标定位。然后在朝着X轴方向和Z轴方向上移动Z轴裂片机构来对抓标定位后的玻璃进行裂片。继而实现了将对玻璃的激光切割和裂片集成于一体,激光切割和裂片能够避免在玻璃边缘处发生微裂纹、玻璃强度变化等不利情况,有利于提高产品良率,降低加工成本高,提升生产效率。从而达到了提高产品良率,降低加工成本高,提升生产效率的技术效果。
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围;其中本实施中所涉及的“和/或”关键词,表示和、或两种情况,换句话说,本实用新型实施例所提及的A和/或B,表示了A和B、A或B两种情况,描述了A与B所存在的三种状态,如A和/或B,表示:只包括A不包括B;只包括B不包括A;包括A与B。
应当理解,虽然术语“第一”,“第二”等在这里可以用来描述各种元件,部件,区域,层和/或部分,但是这些元件,部件,区域,层和/或部分不应当受到这些术语的限制。这些术语仅用于区分一个元件,部件,区域,层或区段与另一个元件,部件,区域,层或区段。因此,在不背离示例性实施例的教导的情况下,下面讨论的第一元件,部件,区域,层或部分可以被称作第二元件,部件,区域,层或部分。这里可以使用空间上相关的术语,例如“下面”,“上面”等,以便于描述一个元件或特征与另一个元件或特征的关系。可以理解,除了图中所示的方位之外,空间上相对的术语还包括使用或操作中的装置的不同方位。例如,如果图中的设备被翻转,那么被描述为“下面”的元件或特征将被定向为“上面”其它元件或特征。因此,示例性术语“下面”可以包括上面和下面的取向。该设备可以被定向(旋转90度或在其它定向上),并且这里所使用的空间相关描述符被相应地解释。
同时,本实用新型实施例中,当组件被称为“固定于”另一个组件,它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件,它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件,它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本实用新型实施例中所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明目的,并不是旨在限制本实用新型。
请参见图1、图2、图3和图4,图1是本实用新型实施例提供的一种用于激光切割裂片的装置的示意图一,图2是本实用新型实施例提供的一种用于激光切割裂片的装置的示意图二,图3是本实用新型实施例提供的一种用于激光切割裂片的装置的示意图三,图4是本实用新型实施例提供的一种用于激光切割裂片的装置的示意图四。本实用新型实施例提供的一种用于激光切割裂片的装置,包括支撑架、载物台、激光切割系统和激光裂片系统,现分别对支撑架、载物台、激光切割系统和激光裂片系统进行以下详细说明:
支撑架可以安装在机架1上,位于机架1的支撑架上还可以安装有为下述载物台、激光切割系统和激光裂片系统供电的电器柜。载物台和支撑架活动连接,支撑架设置有大理石材质的平台2、大理石材质的横梁7和大理石材质的立柱3,横梁7通过立柱3和平台2连接,第一X轴驱动部件6设置于横梁7的前侧,第二X轴驱动部件17设置于横梁7的后侧。其中,第一X轴驱动部件6可以是直线电机,第二X轴驱动部件17可以是直线电机。直线电机是将电能直接转换成直线运动机械能,而不需要任何中间转换机构的传动装置。载物台包括第一Y轴驱动部件12、第一吸附平台14、第二Y轴驱动部件13和第二吸附平台15,第一吸附平台14上具有吸附玻璃(以下简称第一块玻璃)的空间,能够将玻璃固定安装在第一吸附平台14上,第二吸附平台15上也具有吸附玻璃(以下简称第二块玻璃)的空间,能够将玻璃固定安装在第二吸附平台15上。第一Y轴驱动部件12安装于平台2上,第一吸附平台14设置于第一Y轴驱动部件12上,通过第一Y轴驱动部件12能够将第一吸附平台14朝向Y轴的方向移动,即第一Y轴驱动部件12能够将第一块玻璃移动到切割工位,再将切割后的第一块玻璃移动到裂片工位。第二Y轴驱动部件13和第二吸附平台15,所述第二Y轴驱动部件13安装于所述平台2,所述第二吸附平台15设置于所述第二Y轴驱动部件13,以通过所述第二Y轴驱动部件13驱动所述第二吸附平台15朝向Y轴方向移动,所述第二吸附平台15和所述第一吸附平台14相互平行。即在第一块玻璃完成切割后,第二Y轴驱动部件13能够将第二块玻璃移动到切割工位,再将切割后的第二块玻璃移动到裂片工位。
同时,激光切割系统安装于支撑架上,激光切割系统包括第一X轴驱动部件6和Z轴切割机构,第一X轴驱动部件6设置于所述支撑架,Z轴切割机构安装于所述第一X轴驱动部件6,通过所述第一X轴驱动部件6能够驱动所述Z轴切割机构朝向X轴方向移动,使得Z轴切割机构能够位于上述第一块玻璃或者第二块玻璃的上方进行切割。载物台位于Z轴切割机构和所述支撑架之间。Z轴切割机构包括红外激光部件8、红外激光部件8和Z轴切割部件10,所述红外激光部件8安装于所述支撑架;所述Z轴切割部件10安装于第一X轴驱动部件6。所述红外激光部件8包括红外激光器、第一反射镜和第一扩束镜,所述红外激光器、所述第一反射镜和所述第一扩束镜均安装于所述支撑架。Z轴切割部件10包括第一Z轴驱动部件和切割头11,所述第一Z轴驱动部件安装于所述第一X轴驱动部件6,所述切割头11安装于所述第一Z轴驱动部件,以通过所述第一Z轴驱动部件驱动所述切割头11朝着Z轴方向移动,例如第一Z轴驱动部件中可以包括有螺纹杆和电机,切割头11安装在螺纹杆(螺纹杆可以沿着与Z轴平行的方向设置)上,通过电机带动螺纹杆转动来驱动切割头11朝着Z轴方向移动。所述激光裂片系统安装于所述支撑架,所述激光裂片系统包括第二X轴驱动部件17、Z轴裂片机构和定位机构19,所述第二X轴驱动部件17设置于所述支撑架,所述Z轴裂片机构安装于所述第二X轴驱动部件17,所述定位机构19安装于所述第二X轴驱动部件17,以通过所述第二X轴驱动部件17驱动所述Z轴裂片机构和所述定位机构19朝向X轴方向移动,所述载物台位于所述Z轴裂片机构和所述支撑架之间。所述Z轴裂片机构包括二氧化碳激光部件4和Z轴裂片部件20,所述二氧化碳激光部件4安装于所述支撑架,所述Z轴裂片部件20安装于所述第二X轴驱动部件17。所述二氧化碳激光部件4包括二氧化碳激光器、第二反射镜和第二扩束镜,所述二氧化碳激光器、所述第二反射镜和所述第二扩束镜均安装于所述支撑架。所述Z轴裂片部件20包括第二Z轴驱动部件和二氧化碳聚焦镜21,所述第二Z轴驱动部件安装于所述第二X轴驱动部件17,所述二氧化碳聚焦镜21安装于所述第二Z轴驱动部件,以通过所述第二Z轴驱动部件驱动所述二氧化碳聚焦镜21朝着Z轴方向移动,例如第二Z轴驱动部件中可以包括有螺纹杆和电机,二氧化碳聚焦镜21安装在螺纹杆(螺纹杆可以沿着与Z轴平行的方向设置)上,通过电机带动螺纹杆转动来驱动二氧化碳聚焦镜21朝着Z轴方向移动。所述定位机构19包括相机和镜头,所述相机和所述镜头均安装于所述第二X轴驱动部件17。
如图1中,X轴方向是指朝着向左的方向或者向右的方向移动,Y轴方向是指朝着向前的方向或者向后的方向移动,Z轴方向是指朝着向上的方向或者向下的方向移动。第一X轴驱动部件6和第二X轴驱动部件17分别固定在横梁7的前后两侧,红外激光部件8固定在横梁7上,红外激光部件8中的红外激光器所发射的激光经反射镜和扩束镜的光路反射后,能够进入切割头11中实现对玻璃的切割。即第一X轴驱动部件6和第一Z轴驱动部件之间还可以安装有一个反射镜,该反射镜跟随切割头11一起移动,平行射入的的激光经过该反射镜后能够沿着垂直的方向射入切割头11中。Z轴切割部件10固定安装在第一X轴驱动部件6上,切割头11安装在Z轴切割部件10上,通过Z轴切割部件10的上、下移动可以调节切割头11的焦距。Z轴裂片部件20安装在第二X轴驱动部件17上,二氧化碳聚焦镜21安装在Z轴裂片部件20上,通过Z轴裂片部件20的上、下移动可以调节二氧化碳聚焦镜21的焦距。二氧化碳激光部件4固定在横梁7上,二氧化碳激光器所发射的激光经反射镜和扩束镜的光路反射后,能够进入二氧化碳聚焦镜21来对玻璃进行裂片,将上述已完成切割加工后的玻璃产品上残留的边角废料去除。即第二X轴驱动部件17和Z轴裂片部件20之间还可以安装有一个反射镜,该反射镜跟随Z轴裂片部件20一起移动,平行射入的的激光经过该反射镜后能够沿着垂直的方向射入二氧化碳聚焦镜21中。定位机构19可以固定在第二X轴驱动部件17上,即第二X轴驱动部件17带动Z轴裂片机构和定位机构19运动到上述第一吸附平台14上方,定位机构19中的相机和镜头对位于第一吸附平台14上的玻璃抓标定位后,Z轴裂片机构来对第一吸附平台14上的玻璃进行裂片。这样通过第一Y轴驱动部件12、第二Y轴驱动部件13、第一X轴驱动部件6、第二X轴驱动部件17、Z轴切割机构和Z轴裂片机构能够实现在沿着X轴、Y轴、Z轴方向上的移动来将玻璃加工出不同形状的产品。继而实现了将对玻璃的激光切割和裂片集成于一体,激光切割和裂片能够避免在玻璃边缘处发生微裂纹、玻璃强度变化等不利情况,有利于提高产品良率,降低加工成本高,提升生产效率。
在实际操作中,可以通过人工将两块玻璃(即第一块玻璃和第二块玻璃)分别放置第一吸附平台14、第二吸附平台15上。第一Y轴驱动部件12移动位于第一吸附平台14中的玻璃至切割工位后,第一X轴驱动部件6带动Z轴切割机构移动至第一吸附平台14的上方进行切割玻璃。第一Y轴驱动部件12将完成上述切割后的第一吸附平台14移动到裂片工位,第二X轴驱动部件17带动Z轴裂片机构和定位机构19移动至第一吸附平台14中玻璃的上方,先由定位机构19对第一吸附平台14上的玻璃抓标定位,再由Z轴裂片机构对第一吸附平台14上的玻璃进行裂片。第一吸附平台14上的玻璃完成裂片后,第一Y轴驱动部件12将带动完成裂片后的第一吸附平台14移动至上料工位,首先人工取走裂片后的玻璃并且更换新的待切割和裂片的玻璃。另外,在第一Y轴驱动部件12将完成上述切割后的第一吸附平台14移动到裂片工位时,第二Y轴驱动部件13也带动位于第二吸附平台15中的玻璃移动到切割工位。此时,第一X轴驱动部件6再带动Z轴切割机构至第二吸附平台15中玻璃的上方进行切割玻璃。等到第一Y轴驱动部件12带动完成裂片后的第一吸附平台14移动至上料工位时,第二Y轴驱动部件13也带动第二吸附平台15中完成切割后的玻璃移动到裂片工位,第二X轴驱动部件17带动Z轴裂片机构和定位机构19移动至第二吸附平台15中玻璃的上方,先由定位机构19对第二吸附平台15上的玻璃抓标定位,再由Z轴裂片机构对第二吸附平台15上的玻璃裂片。第二Y轴驱动部件13会带动完成裂片后的第二吸附平台15中玻璃移动至上料工位,首先人工取走裂片后的玻璃并且更换新的待切割和裂片的玻璃;然后第二Y轴驱动部件13带动第二吸附平台15上的新玻璃移动至切割工位。循环进行上述步骤即可交替完成多个玻璃的切割和裂片。继而能够达到提高生产效率、降低加工成本、提高产品良率的效果。
本实用新型提供一种用于激光切割裂片的装置,通过载物台和支撑架活动连接,在支撑架上安装激光切割系统,激光切割系统中第一X轴驱动部件6设置于支撑架上,Z轴切割机构安装于第一X轴驱动部件6上,以通过第一X轴驱动部件6驱动Z轴切割机构朝向X轴方向移动,载物台位于Z轴切割机构和支撑架之间。在支撑架上安装激光裂片系统,激光裂片系统中第二X轴驱动部件17设置于支撑架上,激光裂片系统中Z轴裂片机构安装于第二X轴驱动部件17,激光裂片系统中定位机构19也安装于第二X轴驱动部件17,以通过第二X轴驱动部件17驱动Z轴裂片机构和定位机构19朝向X轴方向移动,载物台位于Z轴裂片机构和支撑架之间。这样当需要对玻璃进行激光切割裂片时,载物台将玻璃移动至Z轴切割机构处,通过在朝着X轴方向和Z轴方向上移动Z轴切割机构来对玻璃进行切割。再将切割后玻璃移动至定位机构19处,通过在朝着X轴方向和Z轴方向上移动定位机构19来对玻璃进行抓标定位。然后在朝着X轴方向和Z轴方向上移动Z轴裂片机构来对抓标定位后的玻璃进行裂片。继而实现了将对玻璃的激光切割和裂片集成于一体,激光切割和裂片能够避免在玻璃边缘处发生微裂纹、玻璃强度变化等不利情况,有利于提高产品良率,降低加工成本高,提升生产效率。从而达到了提高产品良率,降低加工成本高,提升生产效率的技术效果。
最后所应说明的是,以上具体实施方式仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制,尽管参照实例对本实用新型进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围,其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
Claims (10)
1.一种用于激光切割裂片的装置,其特征在于,所述装置包括:
支撑架和载物台,所述载物台和所述支撑架活动连接;
激光切割系统,所述激光切割系统安装于所述支撑架,所述激光切割系统包括第一X轴驱动部件和Z轴切割机构,所述第一X轴驱动部件设置于所述支撑架,所述Z轴切割机构安装于所述第一X轴驱动部件,以通过所述第一X轴驱动部件驱动所述Z轴切割机构朝向X轴方向移动,所述载物台位于所述Z轴切割机构和所述支撑架之间;
激光裂片系统,所述激光裂片系统安装于所述支撑架,所述激光裂片系统包括第二X轴驱动部件、Z轴裂片机构和定位机构,所述第二X轴驱动部件设置于所述支撑架,所述Z轴裂片机构安装于所述第二X轴驱动部件,所述定位机构安装于所述第二X轴驱动部件,以通过所述第二X轴驱动部件驱动所述Z轴裂片机构和所述定位机构朝向X轴方向移动,所述载物台位于所述Z轴裂片机构和所述支撑架之间。
2.如权利要求1所述的用于激光切割裂片的装置,其特征在于:
所述支撑架设置有平台、横梁和立柱,所述横梁通过所述立柱和所述平台连接,所述第一X轴驱动部件设置于所述横梁的一侧,所述第二X轴驱动部件设置于所述横梁的另一侧。
3.如权利要求2所述的用于激光切割裂片的装置,其特征在于,所述载物台包括:
第一Y轴驱动部件和第一吸附平台,所述第一Y轴驱动部件安装于所述平台,所述第一吸附平台设置于所述第一Y轴驱动部件,以通过所述第一Y轴驱动部件驱动所述第一吸附平台朝向Y轴方向移动。
4.如权利要求3所述的用于激光切割裂片的装置,其特征在于,所述载物台还包括:
第二Y轴驱动部件和第二吸附平台,所述第二Y轴驱动部件安装于所述平台,所述第二吸附平台设置于所述第二Y轴驱动部件,以通过所述第二Y轴驱动部件驱动所述第二吸附平台朝向Y轴方向移动,所述第二吸附平台和所述第一吸附平台相互平行。
5.如权利要求4所述的用于激光切割裂片的装置,其特征在于:
所述第一X轴驱动部件是直线电机,所述第二X轴驱动部件是直线电机。
6.如权利要求1所述的用于激光切割裂片的装置,其特征在于,所述Z轴切割机构包括:
红外激光部件,所述红外激光部件安装于所述支撑架;
Z轴切割部件,所述Z轴切割部件安装于第一X轴驱动部件。
7.如权利要求6所述的用于激光切割裂片的装置,其特征在于:
所述红外激光部件包括红外激光器、第一反射镜和第一扩束镜,所述红外激光器、所述第一反射镜和所述第一扩束镜均安装于所述支撑架;
所述Z轴切割部件包括第一Z轴驱动部件和切割头,所述第一Z轴驱动部件安装于所述第一X轴驱动部件,所述切割头安装于所述第一Z轴驱动部件,以通过所述第一Z轴驱动部件驱动所述切割头朝着Z轴方向移动。
8.如权利要求1所述的用于激光切割裂片的装置,其特征在于,所述Z轴裂片机构包括:
二氧化碳激光部件,所述二氧化碳激光部件安装于所述支撑架;
Z轴裂片部件,所述Z轴裂片部件安装于所述第二X轴驱动部件。
9.如权利要求8所述的用于激光切割裂片的装置,其特征在于:
所述二氧化碳激光部件包括二氧化碳激光器、第二反射镜和第二扩束镜,所述二氧化碳激光器、所述第二反射镜和所述第二扩束镜均安装于所述支撑架;
所述Z轴裂片部件包括第二Z轴驱动部件和二氧化碳聚焦镜,所述第二Z轴驱动部件安装于所述第二X轴驱动部件,所述二氧化碳聚焦镜安装于所述第二Z轴驱动部件,以通过所述第二Z轴驱动部件驱动所述二氧化碳聚焦镜朝着Z轴方向移动。
10.如权利要求1所述的用于激光切割裂片的装置,其特征在于:
所述定位机构包括相机和镜头,所述相机和所述镜头均安装于所述第二X轴驱动部件。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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GR01 | Patent grant | ||
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