CN218574435U - 一种半导体加工用清洁装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体加工用清洁装置，包括支撑架和清洁槽，所述支撑架的顶端固定连接有清洁槽，所述清洁槽的内部设置有清洗罐，所述清洁槽一侧的底端固定连接有导液阀管。该半导体加工用清洁装置通过设置有驱动电机、升降板、清洗罐、弧形网格板和连接杆，在进行清洁时，将半导体放入清洗罐的内部，再启动一侧的驱动电机带动连接杆转动，连接杆转动的同时带动清洗罐转动，清洗罐转动的同时带动内部的半导体运动并不断的进入清洁槽内部的清洁液内，清洁液从弧形网格板进入清洗罐的内部对内部的半导体进行冲刷，从而快速的清洗清洁，实现了可以快速的对半导体清洁，解决的是清洁效率低的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种半导体加工用清洁装置。
背景技术
半导体是指一般情况下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体现在在集成电路、电子元件、发电、照明等多种领域都有着广泛应用，而半导体在加工的过程中，需要对其进行清理再进行后续的加工步骤，但是现有的半导体加工用清洁装置在使用中仍存在一些缺陷，在进行清洁时清洁液不能快速将半导体上的杂物去除，且不能方便的导入或取出半导体，也不能快速的使半导体脱离清洁液内部，所以现在需要一种新型的半导体加工用清洁装置来解决以上的不足。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体加工用清洁装置，以解决上述背景技术中提出清洁效率低的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体加工用清洁装置，包括支撑架和清洁槽，所述支撑架的顶端固定连接有清洁槽，所述清洁槽的内部设置有清洗罐，所述清洁槽一侧的底端固定连接有导液阀管；
所述清洗罐的外部镶嵌有弧形网格板，所述清洗罐的两侧分别固定连接有一组连接杆，所述连接杆的一侧活动连接有升降板，所述升降板的一侧固定连接有驱动电机。
优选的，所述连接杆的中心线与清洗罐的中心线在同一垂直面上，所述弧形网格板的中心线与清洗罐的中心线在同一垂直面上。
优选的，所述清洗罐的顶端开设有送料槽，所述送料槽的内部活动连接有盖板，所述盖板的底端固定连接有密封垫，所述送料槽内部两侧的两端分别固定连接有一组定位螺杆，所述定位螺杆贯穿盖板并延伸至盖板的顶端活动连接有定位螺栓。
优选的，所述定位螺栓与盖板活动连接，所述密封垫与送料槽活动连接。
优选的，所述清洁槽顶端的两侧分别固定连接有一组侧板，所述侧板的一侧开设有活动槽，所述侧板一侧的两端分别固定连接有一组限位板，所述限位板与升降板滑动连接，所述活动槽与连接杆滑动连接。
优选的，所述活动槽的中心线与侧板的中心线在同一垂直面上。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该半导体加工用清洁装置不仅实现了提高清洁效率，实现了方便导料，而且实现了可以快速将半导体捞起；
（1）通过设置有驱动电机、升降板、清洗罐、弧形网格板和连接杆，在进行清洁时，将半导体放入清洗罐的内部，再启动一侧的驱动电机带动连接杆转动，连接杆转动的同时带动清洗罐转动，清洗罐转动的同时带动内部的半导体运动并不断的进入清洁槽内部的清洁液内，清洁液从弧形网格板进入清洗罐的内部对内部的半导体进行冲刷，从而快速的清洗清洁，实现了可以快速的对半导体清洁；
（2）通过设置有定位螺杆、送料槽、盖板、密封垫和定位螺栓，在进行清洁之前，转动多组定位螺栓使其脱离定位螺杆的外部，之后拉动盖板使其升起，并脱离送料槽的内部，将半导体从送料槽导入清洗罐的内部，之后将盖板盖回送料槽的内部，使定位螺杆穿过盖板并延伸至盖板的顶端通过定位螺栓对其进行定位，实现了可以方便的导入和导出半导体；
（3）通过设置有升降板、侧板、限位板、清洗罐、连接杆和活动槽，当完成清洁之后，可以拉动两侧的升降板带动连接杆升起，连接杆贴合在活动槽的内部可以保证运动时的稳定性，连接杆一侧的升降板贴合在限位板的内部可以进一步提高运动时的稳定性，将清洗罐完全升起后可以将内部的半导体从清洁槽内部的清洁液内捞起，实现了可以方便将半导体从清洁液内捞出以方便导出。
附图说明
图1为本实用新型的正视剖面结构示意图；
图2为本实用新型的侧板侧视结构示意图；
图3为本实用新型的图1中A处局部剖面放大结构示意图；
图4为本实用新型的清洗罐俯视结构示意图。
图中：1、支撑架；2、清洁槽；3、驱动电机；4、升降板；5、侧板；6、限位板；7、清洗罐；8、定位螺杆；9、送料槽；10、盖板；11、密封垫；12、定位螺栓；13、弧形网格板；14、连接杆；15、导液阀管；16、活动槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例1：请参阅图1-4，一种半导体加工用清洁装置，包括支撑架1和清洁槽2，支撑架1的顶端固定连接有清洁槽2，清洁槽2的内部设置有清洗罐7，清洁槽2一侧的底端固定连接有导液阀管15；
清洗罐7的外部镶嵌有弧形网格板13，清洗罐7的两侧分别固定连接有一组连接杆14，连接杆14的一侧活动连接有升降板4，升降板4的一侧固定连接有驱动电机3；
连接杆14的中心线与清洗罐7的中心线在同一垂直面上，弧形网格板13的中心线与清洗罐7的中心线在同一垂直面上；
具体地，如图1、图2和图4所示，在进行清洁时，将半导体放入清洗罐7的内部，再启动一侧的驱动电机3带动连接杆14转动，连接杆14转动的同时带动清洗罐7转动，清洗罐7转动的同时带动内部的半导体运动并不断的进入清洁槽2内部的清洁液内，清洁液从弧形网格板13进入清洗罐7的内部对内部的半导体进行冲刷，从而快速的清洗清洁，实现了可以快速的对半导体清洁。
实施例2：清洗罐7的顶端开设有送料槽9，送料槽9的内部活动连接有盖板10，盖板10的底端固定连接有密封垫11，送料槽9内部两侧的两端分别固定连接有一组定位螺杆8，定位螺杆8贯穿盖板10并延伸至盖板10的顶端活动连接有定位螺栓12；
定位螺栓12与盖板10活动连接，密封垫11与送料槽9活动连接；
具体地，如图1、图3和图4所示，在进行清洁之前，转动多组定位螺栓12使其脱离定位螺杆8的外部，之后拉动盖板10使其升起，并脱离送料槽9的内部，将半导体从送料槽9导入清洗罐7的内部，之后将盖板10盖回送料槽9的内部，使定位螺杆8穿过盖板10并延伸至盖板10的顶端通过定位螺栓12对其进行定位，实现了可以方便的导入和导出半导体。
实施例3：清洁槽2顶端的两侧分别固定连接有一组侧板5，侧板5的一侧开设有活动槽16，侧板5一侧的两端分别固定连接有一组限位板6，限位板6与升降板4滑动连接，活动槽16与连接杆14滑动连接；
活动槽16的中心线与侧板5的中心线在同一垂直面上；
具体地，如图1、图2和图4所示，当完成清洁之后，可以拉动两侧的升降板4带动连接杆14升起，连接杆14贴合在活动槽16的内部可以保证运动时的稳定性，连接杆14一侧的升降板4贴合在限位板6的内部可以进一步提高运动时的稳定性，将清洗罐7完全升起后可以将内部的半导体从清洁槽2内部的清洁液内捞起，实现了可以方便将半导体从清洁液内捞出以方便导出。
工作原理：本实用新型在使用时，首先，转动多组定位螺栓12使其脱离定位螺杆8的外部，之后拉动盖板10使其升起，并脱离送料槽9的内部，将半导体从送料槽9导入清洗罐7的内部，之后将盖板10盖回送料槽9的内部，使定位螺杆8穿过盖板10并延伸至盖板10的顶端通过定位螺栓12对其进行定位，之后再启动一侧的驱动电机3带动连接杆14转动，连接杆14转动的同时带动清洗罐7转动，清洗罐7转动的同时带动内部的半导体运动并不断的进入清洁槽2内部的清洁液内，清洁液从弧形网格板13进入清洗罐7的内部对内部的半导体进行冲刷，从而快速的清洗清洁，当完成清洁之后，可以拉动两侧的升降板4带动连接杆14升起，连接杆14贴合在活动槽16的内部可以保证运动时的稳定性，连接杆14一侧的升降板4贴合在限位板6的内部可以进一步提高运动时的稳定性，将清洗罐7完全升起后可以将内部的半导体从清洁槽2内部的清洁液内捞起。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (6)
1.一种半导体加工用清洁装置，包括支撑架(1)和清洁槽(2)，其特征在于：所述支撑架(1)的顶端固定连接有清洁槽(2)，所述清洁槽(2)的内部设置有清洗罐(7)，所述清洁槽(2)一侧的底端固定连接有导液阀管(15)；
所述清洗罐(7)的外部镶嵌有弧形网格板(13)，所述清洗罐(7)的两侧分别固定连接有一组连接杆(14)，所述连接杆(14)的一侧活动连接有升降板(4)，所述升降板(4)的一侧固定连接有驱动电机(3)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述连接杆(14)的中心线与清洗罐(7)的中心线在同一垂直面上，所述弧形网格板(13)的中心线与清洗罐(7)的中心线在同一垂直面上。
3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述清洗罐(7)的顶端开设有送料槽(9)，所述送料槽(9)的内部活动连接有盖板(10)，所述盖板(10)的底端固定连接有密封垫(11)，所述送料槽(9)内部两侧的两端分别固定连接有一组定位螺杆(8)，所述定位螺杆(8)贯穿盖板(10)并延伸至盖板(10)的顶端活动连接有定位螺栓(12)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述定位螺栓(12)与盖板(10)活动连接，所述密封垫(11)与送料槽(9)活动连接。
5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述清洁槽(2)顶端的两侧分别固定连接有一组侧板(5)，所述侧板(5)的一侧开设有活动槽(16)，所述侧板(5)一侧的两端分别固定连接有一组限位板(6)，所述限位板(6)与升降板(4)滑动连接，所述活动槽(16)与连接杆(14)滑动连接。
6.根据权利要求5所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述活动槽(16)的中心线与侧板(5)的中心线在同一垂直面上。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202222050583.1U CN218574435U (zh) | 2022-08-05 | 2022-08-05 | 一种半导体加工用清洁装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN218574435U true CN218574435U (zh) | 2023-03-07 |
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ID=85361469
Family Applications (1)
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| CN202222050583.1U Active CN218574435U (zh) | 2022-08-05 | 2022-08-05 | 一种半导体加工用清洁装置 |
Country Status (1)
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2022
- 2022-08-05 CN CN202222050583.1U patent/CN218574435U/zh active Active
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