CN218568854U - 用于生产太阳能电池片的反应腔装置及太阳能生产设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及太阳能生产设备技术领域，尤其涉及一种用于生产太阳能电池片的反应腔装置。本实用新型提供的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，包括：外腔体；内腔体，所述内腔体的材质为铝合金，所述内腔体嵌套设于所述外腔体内；所述内腔体和所述外腔体通过连接件相连接，且所述连接件连接于所述内腔体的外表面上。如此设置，本实用新型提供的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，其能够降低反应腔装置的生产难度和降低生产成本。

Description

用于生产太阳能电池片的反应腔装置及太阳能生产设备

技术领域

本实用新型涉及太阳能生产设备技术领域，尤其涉及一种用于生产太阳能电池片的反应腔装置及太阳能生产设备。

背景技术

太阳能电池片的生产工艺的一些工序中，需要将太阳能电池片放置于反应腔中，在真空环境中进行反应。比如，在太阳能电池片表面制绒工艺中，需要将太阳能电池片放置于尺寸较大的反应腔中进行。

现有技术中的反应腔的腔体由多块不锈钢板焊接形成，为了避免铁原子对反应腔造成污染，现有技术中反应腔的腔体在焊接完成后，还需要在腔体的整体表面喷镀特氟龙涂层。然后，在腔体的内表面上镶嵌多块可拆卸的铝合金板。

因此，现有技术中，反应腔的腔体采用不锈钢板焊接后，其整体表面还需要喷镀特氟龙涂层，并且需要镶嵌多块铝合金板，导致现有技术中的反应腔生产制造难度较大、且成本偏高。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于生产太阳能电池片的反应腔装置及太阳能生产设备，其能够降低反应腔装置的生产难度和降低生产成本。

本实用新型第一方面提供一种用于生产太阳能电池片的反应腔装置，包括：

外腔体；

内腔体，所述内腔体的材质为铝合金，所述内腔体嵌套设于所述外腔体内；所述内腔体和所述外腔体通过连接件相连接，且所述连接件连接于所述内腔体的外表面上。

根据本实用新型提供的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，所述内腔体的外表面设置有盲孔结构，所述外腔体设置有与所述盲孔结构对应的通孔，所述连接件插装于所述盲孔结构和所述通孔内。

根据本实用新型提供的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，所述内腔体的外底面和/或所述外腔体的内底面设置有加强筋结构。

根据本实用新型提供的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，所述加强筋结构包括多条横筋和/或多条纵筋。

根据本实用新型提供的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，所述盲孔结构为多个，所述通孔与所述盲孔结构一一对应设置。

根据本实用新型提供的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，所述加强筋结构设置在所述内腔体的外底面上，且所述加强筋结构上设置有多个所述盲孔结构。

根据本实用新型提供的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，所述加强筋结构为铝合金材质，且焊接于所述内腔体的外底面上。

根据本实用新型提供的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，所述外腔体和所述内腔体的开口端面设置有密封结构，所述密封结构用于和盖体形成密封。

根据本实用新型提供的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，所述密封结构包括设置在所述外腔体和所述内腔体的开口端面之间的环槽，所述环槽内设置有密封条。

本实用新型的第二方面提供一种太阳能生产设备，包括如上任一项所述的用于生产太阳能电池片的反应腔装置。

本实用新型提供的技术方案中，将反应腔装置设置为内腔体和外腔体的嵌套结构，即内腔体套接于外腔体的内部，内腔体采用铝合金材质，而外腔体则可以采用成本较低的钢材料或者成本较低的其它材料。使用时，将太阳能电池片放置于内腔体的空腔中进行反应，由于内腔体为铝合金材质，能够避免铁原子污染太阳能电池片的问题。而且，内腔体和外腔体通过连接件相连接，且连接件连接于内腔体的外表面上，如此设置，在保证内腔体和外腔体可靠连接的基础上，能够避免连接件的铁原子进入至内腔体的内部，对太阳能电池片造成污染。本实用新型提供的反应腔装置，不需要整体表面喷镀特氟龙涂层，也不需要镶嵌铝合金板，有效降低了生产难度，降低了生产成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例中反应腔装置的内腔体和外腔体拆分结构示意图；

图2是本实用新型实施例中反应腔装置的内腔体和外腔体拆分结构的另一视角示意图；

附图标记：

11、内腔体；111、盲孔结构；112、加强筋结构；12、外腔体；121、通孔；13、连接件；14、密封条。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

现有技术中用于太阳能电池片生产工艺的反应腔装置，为了避免铁原子对太阳能电池片造成污染，反应腔装置的腔体由不锈钢板焊接完成之后，还需要在腔体整体上喷镀特氟龙涂层，然后，在腔体的内表面上镶嵌多块可拆卸的铝合金板。如此导致加工难度较高，而且成本较高。

请参考图1和图2，本实施例提供的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，包括外腔体12和内腔体11。其中，外腔体12可以采用碳钢板焊接形成，具体地，外腔体12可以为长方体结构，并且外腔体12的一端设置为敞口结构。

本实施例中，内腔体11的材质为铝合金，内腔体11嵌套于外腔体12的空腔内，具体地，内腔体11可以与外腔体12的形状相同，并且内腔体11一端设置为敞口结构，内腔体11的敞口结构和外腔体12的敞口结构位于同一端。使用时，盖体盖在内腔体11和外腔体12的敞口结构一端，使内腔体11内部形成完全密封的空间。

本实施例中，内腔体11的外表面设置有盲孔结构111，需要说明的是，内腔体11的外表面是指内腔体11靠近外腔体12的一侧，盲孔结构111只有在内腔体11的外表面具有开口，盲孔结构111未将内腔体11的侧壁贯穿。

外腔体12设置有与盲孔结构111对应的通孔121，外腔体12和内腔体11通过插装于盲孔结构111和通孔121内的连接件13相连接。比如，在一些实施例中，连接件13可以为螺栓，上述盲孔结构111的侧壁设置有与螺栓相适配的内螺纹，通过螺栓能够将内腔体11和外腔体12紧固在一起。在其它实施例中，连接件也可以为销钉、铆钉等紧固件，通过销钉、铆钉等紧固件将内腔体11和外腔体12紧固在一起。当然，在其它实施例中，内腔体11的外表面也可以没有设置盲孔结构111，比如，通过螺钉等连接件直接顶紧在内腔体11的外表面上，也能够实现内腔体11和外腔体12的相对固定。

如此设置，本实施例提供的反应腔装置，将反应腔装置设置为内腔体11和外腔体12的嵌套结构，即内腔体11套接于外腔体12的内部，内腔体11采用铝合金材质，而外腔体12则可以采用成本较低的钢材料或者成本较低的其它材料。使用时，将太阳能电池片放置于内腔体11的空腔中进行反应，由于内腔体11为铝合金材质，能够避免铁原子污染太阳能电池片的问题。而且，内腔体11的外表面设置有盲孔结构111，外腔体12设置有与所述盲孔结构111对应的通孔121，外腔体12和所述内腔体11通过插装于盲孔结构111和通孔121内的连接件13相连接，如此设置，在保证内腔体11和外腔体12可靠连接的基础上，能够避免连接件13的铁原子进入至内腔体11的内部，对太阳能电池片造成污染。

因此，本实施例提供的反应腔装置，不需要整体表面喷镀特氟龙涂层，也不需要镶嵌铝合金板，有效降低了生产难度，降低了生产成本。

需要说明的是，在生产过程中，在真空环境的作用下，内腔体11的底部位置易发生形变。鉴于此，在进一步的实施例中，内腔体11的外底面设置有加强筋结构112，或者，外腔体12的内底面设置有加强筋结构112，或者，内腔体11的外底面和外腔体12的内底面同时设置有加强筋结构112。该加强筋结构112具有一定的厚度，加强筋结构112的横截面可以为长方形、正方形、梯形、三角形等，其能够起到支撑内腔体11的作用，进而能够避免内腔体11底部因真空环境产生变形的问题。

上述加强筋结构112包括多条横筋和多条纵筋，多条横筋可以相互平行设置，多条纵筋也可以相互平行设置，并且，横筋和纵向相互垂直交错。当然，在其它实施例中，加强筋结构112也可以设置为其它类型，比如，可以设置为多圈环形结构。

为了提高内腔体11和外腔体12之间的连接可靠性，盲孔结构111为多个，通孔121与盲孔结构111一一对应设置，每对盲孔结构111和通孔121之间均通过连接件13相连接。具体地，可以在内腔体11的每个外侧面上均阵列分布有多个盲孔结构111，并且内腔体11的外底面上也阵列分布有多个盲孔结构111，外腔体12上设置的通孔121与盲孔结构111一一对应。如此设置，能够有效提高外腔体12和内腔体11之间的连接可靠性，提高了反应腔装置的整体强度，即使在真空环境中，外腔体12和多个连接件13也能够对内腔体11形成较好的支撑作用，避免内腔体11产生形变。

在进一步的实施例中，加强筋结构112设置在内腔体11的外底面上，且加强筋结构112上设置有多个盲孔结构111。加强筋结构112具有一定的厚度，将盲孔结构111设置在加强筋结构112上能够保证盲孔结构111具有足够的深度，进而能够保证与连接件13的可靠连接。

在一些实施例中，加强筋结构112为铝合金材质，且加强筋结构112焊接于内腔体11的外底面上。当然，加强筋结构112也可以采用碳钢、铸铁等材料，其可以焊接在内腔体11的外底面上，也可以焊接在外腔体12的内底面上。在其它实施例中，加强筋结构112也可以通过铸造方式与内腔体11或外腔体12形成一体式结构。

需要说明的是，使用本实施例提供的反应腔装置进行太阳能电池片的生产工艺时，将太阳能电池片放置于内腔体11的空腔内之后，需要将内腔体11的敞口结构密封，以使太阳能电池片在真空环境中发生反应。盖体用于将内腔体11的敞口结构密封，为了保证密封的可靠性，在进一步的实施例中，外腔体12和内腔体11的开口端面设置有密封结构，密封结构用于和盖体形成密封。

在一些实施例中，上述密封结构包括设置在外腔体12和内腔体11的开口端面之间的环槽，环槽内设置有密封条14。具体地，可在外腔体12的端面上开设有半槽结构，内腔体11的端面上开设有半槽结构，内腔体11的半槽结构能够与外腔体12的半槽结构对接形成完整的凹槽，该凹槽沿着内腔体11的敞口结构延伸，即形成了上述环槽。密封条14设置于环槽内，并且，密封条14可适当凸出于环槽，当盖体盖在反应腔装置上时，密封条14与盖体相接触，进而形成了可靠地密封效果。

下面内容，将结合上述各个实施例，对本实用新型提供的用于生产太阳能电池片的反应腔装置进行整体说明。

在本实施例中，反应腔装置包括外腔体12和内腔体11。其中，外腔体12采用碳钢板焊接形成，外腔体12为长方体结构，并且外腔体12的一端设置为敞口结构。

内腔体11的材质为铝合金，内腔体11嵌套于外腔体12的空腔内，具体地，内腔体11与外腔体12的形状相同，并且内腔体11一端设置为敞口结构，内腔体11的敞口结构和外腔体12的敞口结构位于同一端。

内腔体11的每个外侧面上均设置有多个盲孔结构111，每个盲孔结构111内部设置有内螺纹，外腔体12设置有与盲孔结构111一一对应的通孔121，外腔体12和内腔体11通过插装于盲孔结构111和通孔121内的螺栓相连接。

内腔体11的外底面设置有加强筋结构112，该加强筋结构112具有一定的厚度，加强筋结构112的横截面可以为梯形，加强筋结构112包括多条横筋和/或多条纵筋，多条横筋相互平行设置，多条纵筋也相互平行设置，并且，横筋和纵向相互垂直交错。加强筋结构112上设置有多个上述盲孔结构111。加强筋结构112为铝合金材质，且加强筋结构112焊接于内腔体11的外底面上。

外腔体12和内腔体11的开口端面设置有密封结构，密封结构用于和盖体形成密封。密封结构包括设置在外腔体12和内腔体11的开口端面之间的环槽，环槽内设置有密封条14。具体地，可在外腔体12的端面上开设有半槽结构，内腔体11的端面上开设有半槽结构，内腔体11的半槽结构能够与外腔体12的半槽结构对接形成完整的凹槽，该凹槽沿着内腔体11的敞口结构延伸，即形成了上述环槽。密封条14设置于环槽内，并且，密封条14可适当凸出于环槽，当盖体盖在反应腔装置上时，密封条14与盖体相接触，进而形成了可靠地密封效果。

如此设置，本实施例提供的反应腔装置，将反应腔装置设置为内腔体11和外腔体12的嵌套结构，即内腔体11套接于外腔体12的内部，内腔体11采用铝合金材质，而外腔体12则采用成本较低的钢材料。使用时，将太阳能电池片放置于内腔体11的空腔中进行反应，由于内腔体11为铝合金材质，能够避免铁原子污染太阳能电池片的问题。而且，内腔体11的外表面设置有盲孔结构111，外腔体12设置有与所述盲孔结构111对应的通孔121，外腔体12和内腔体11通过插装于盲孔结构111和通孔121内的连接件13相连接，如此设置，在保证内腔体11和外腔体12可靠连接的基础上，能够避免连接件13的铁原子进入至内腔体11的内部，对太阳能电池片造成污染。外腔体12采用比铝合金模量大的钢板材料，可以采用薄板材料获得较高的刚度。同时钢板材料焊接性能好，可有效降低对原材料的要求，节省成本。内腔体11的大平面外底布置有加强筋结构112，利用加强筋结构112，可有效降低材料的使用量，达到较大的抗弯效果。内腔体11和外腔体12设置有共同的环槽，滑槽其内有密封条14，能够与盖体形成有效的密封空间。并且，内腔体11和外腔体12采用螺栓装配在一起，结构简单，便于制造、装配。

本实施例还提供了一种太阳能生产设备，包括如上所述的用于生产太阳能电池片的反应腔装置。该太阳能生产设备可以是PECVD、PVD等有大反应腔结构的设备。如此设置，本实施例提供的太阳能生产设备，其能够降低反应腔装置的生产难度和降低生产成本，该有益效果的推导过程与上述用于生产太阳能电池片的反应腔装置所带来的有益效果的推导过程大体类似，此处不再赘述。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种用于生产太阳能电池片的反应腔装置，其特征在于，包括：

外腔体(12)；

内腔体(11)，所述内腔体(11)的材质为铝合金，所述内腔体(11)嵌套设于所述外腔体(12)内；所述内腔体和所述外腔体通过连接件(13)相连接，且所述连接件(13)连接于所述内腔体的外表面上。

2.根据权利要求1所述的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，其特征在于，所述内腔体(11)的外表面设置有盲孔结构(111)，所述外腔体(12)设置有与所述盲孔结构(111)对应的通孔(121)，所述连接件(13)插装于所述盲孔结构(111)和所述通孔(121)内。

3.根据权利要求2所述的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，其特征在于，所述内腔体(11)的外底面和/或所述外腔体(12)的内底面设置有加强筋结构(112)。

4.根据权利要求3所述的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，其特征在于，所述加强筋结构(112)包括多条横筋和/或多条纵筋。

5.根据权利要求3所述的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，其特征在于，所述盲孔结构(111)为多个，所述通孔(121)与所述盲孔结构(111)一一对应设置。

6.根据权利要求5所述的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，其特征在于，所述加强筋结构(112)设置在所述内腔体(11)的外底面上，且所述加强筋结构(112)上设置有多个所述盲孔结构(111)。

7.根据权利要求3所述的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，其特征在于，所述加强筋结构(112)为铝合金材质，且焊接于所述内腔体(11)的外底面上。

8.根据权利要求1所述的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，其特征在于，所述外腔体(12)和所述内腔体(11)的开口端面设置有密封结构，所述密封结构用于和盖体形成密封。

9.根据权利要求8所述的用于生产太阳能电池片的反应腔装置，其特征在于，所述密封结构包括设置在所述外腔体(12)和所述内腔体(11)的开口端面之间的环槽，所述环槽内设置有密封条(14)。

10.一种太阳能生产设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的用于生产太阳能电池片的反应腔装置。

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