CN218561602U - 石墨舟 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了石墨舟,该石墨舟包括:多个第一石墨片以及多个第二石墨片,第一石墨片和第二石墨片交替地间隔排列,多个第一石墨片当中的至少两个相邻的第一石墨片之间,以及多个第二石墨片当中的至少两个相邻的第二石墨片之间,均形成有安装空间;间隔块组件,具有多个第一间隔块以及多个第二间隔块,多个第一间隔块分别被夹持在相邻的两个第一石墨片之间并分别和与其相邻的两个第一石墨片接触,多个第二间隔块分别被夹持在相邻的两个第二石墨片之间并分别和与其相邻的两个第二石墨片接触;多个舟脚,各舟脚均具有绝缘性,舟脚分别被安装在安装空间中。本实用新型的石墨舟能够改善石墨舟的舟脚的位置产生电弧的情况。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池的生产设备技术领域,尤其涉及一种石墨舟。
背景技术
作为用于承载太阳能电池片的石墨舟,广泛应用于太阳能电池生产的管式PECVD设备中。在石墨舟结构中,包括多个石墨片,多个石墨片以相邻的两个石墨片的极性相反的方式间隔地排列。极性相同的石墨片之间通过导电性隔块相隔。此外,石墨舟还包括用于整体支撑石墨舟的舟脚,舟脚一般也是导电性材料,在支撑石墨舟整体的同时也起到隔块的功能,而将部分极性相同的石墨片相隔的同时使其导通。
在现有的管式PECVD设备的生产的过程中,随着设备的运行次数的增加,可能会存在例如电池片的碎片、氮化硅粉末等掉落在电极座上的情况,这种碎片、粉末可能会与舟脚接触而导致射频电压电流异常,放电异常而出现电弧等意外情况。
实用新型内容
本实用新型旨在至少一定程度上解决现有技术问题之一。为此,本实用新型提出了一种石墨舟,能够改善石墨舟的舟脚的位置产生电弧的情况。
根据本实用新型一方面的石墨舟,包括:
多个第一石墨片以及多个第二石墨片,所述第一石墨片和所述第二石墨片的极性不同,所述第一石墨片和所述第二石墨片交替地间隔排列,多个所述第一石墨片当中的至少两个相邻的所述第一石墨片之间,以及多个所述第二石墨片当中的至少两个相邻的所述第二石墨片之间,均形成有安装空间;
间隔块组件,具有多个第一间隔块以及多个第二间隔块,各所述第一间隔块以及各所述第二间隔块均具有导电性,多个所述第一间隔块分别被夹持在相邻的两个所述第一石墨片之间并分别和与其相邻的两个所述第一石墨片接触,多个所述第二间隔块分别被夹持在相邻的两个所述第二石墨片之间并分别和与其相邻的两个所述第二石墨片接触;
多个舟脚,各所述舟脚均具有绝缘性,所述舟脚分别被安装在所述安装空间中。
本实用新型的石墨舟具有如下有益效果:能够改善石墨舟的舟脚的位置产生电弧的情况。
在一些实施方式中,还包括:第一导电杆,沿所述第一石墨片的排列方向,穿过所述第一石墨片、所述第一间隔块、以及安装在形成于多个所述第一石墨片当中的至少两个相邻的所述第一石墨片之间的所述安装空间的所述舟脚;第二导电杆,沿所述第二石墨片的排列方向,穿过所述第二石墨片、所述第二间隔块、以及安装在形成于多个所述第二石墨片当中的至少两个相邻的所述第二石墨片之间的所述安装空间的所述舟脚。
在一些实施方式中,多个所述第一间隔块当中,至少部分所述第一间隔块中开设有第一缺口部,形成在多个所述第一石墨片当中的至少两个相邻的所述第一石墨片之间的所述安装空间,在所述第一缺口部内形成;或者,多个所述第一间隔块当中,至少部分所述第一间隔块中形成有第一避让部,形成在多个所述第一石墨片当中的至少两个相邻的所述第一石墨片之间的所述安装空间,在所述第一避让部和与所述第一避让部相对的所述第一石墨片之间形成。
在一些实施方式中,多个所述第二间隔块当中,至少部分所述第二间隔块中开设有第二缺口部,形成在多个所述第二石墨片当中的至少两个相邻的所述第二石墨片之间的所述安装空间,在所述第二缺口部内形成;或者,多个所述第二间隔块当中,至少部分所述第二间隔块中形成有第二避让部,形成在多个所述第二石墨片当中的至少两个相邻的所述第二石墨片之间的所述安装空间,在所述第二避让部和与所述第二避让部相对的所述第二石墨片之间形成。
在一些实施方式中,所述舟脚具有:安装部,所述安装部在所述安装空间内被夹持;支撑部,和所述安装部一体成型,沿所述第一石墨片和所述第二石墨片排列的方向延伸。
在一些实施方式中,所述舟脚的下部距离所述第一石墨片或者所述第二石墨片的下部之间的距离为20mm以上且30mm以下。
在一些实施方式中,所述舟脚的材料为陶瓷材料。
在一些实施方式中,多个所述第一间隔块当中的至少部分,开设有沿与所述第一石墨片的排列方向正交的方向贯穿的第一槽部;和/或,多个所述第二间隔块当中的至少部分,开设有沿与所述第二石墨片的排列方向正交的方向贯穿的第二槽部。
在一些实施方式中,所述第一石墨片的长度方向的两端,分别设置有第一耳部,其中一个所述第一耳部在所述第一石墨片的长度方向的一端,设置在所述第一石墨片的宽度方向的下部,另一个所述第一耳部在所述第一石墨片的长度方向的另一端,设置在所述第一石墨片的宽度方向的上部;多个所述第一间隔块分别被夹持在相邻的两个所述第一石墨片的所述第一耳部之间。
在一些实施方式中,所述第二石墨片的长度方向的两端,分别设置有第二耳部,其中一个所述第二耳部在所述第二石墨片的长度方向的一端,设置在所述第二石墨片的宽度方向的下部,另一个所述第二耳部在所述第二石墨片的长度方向的另一端,设置在所述第二石墨片的宽度方向的上部;多个所述第二间隔块分别被夹持在相邻的两个所述第二石墨片的所述第二耳部之间。
附图说明
图1是本实用新型的石墨舟的一种实施例的前视方向的立体图。
图2是图1的石墨舟的前端的放大图。
图3是图1的石墨舟的后视方向的立体图。
图4是图3的石墨舟的后端的放大图。
图5是图1的石墨舟的第一石墨片和第二石墨片的示意图,其中,(a)是第一石墨片的示意图,(b)是第二石墨片的示意图。
图6是图1的舟脚的安装结构的示意图。
图7是图6的第一间隔块以及舟脚的示意图。
图8是第一间隔块以及舟脚的另一种实施例的示意图。
具体实施方式
下面详细描述本实施方式的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本实施方式,而不能理解为对本实施方式的限制。
在本实施方式的描述中,需要理解的是,涉及到方位描述,例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实施方式和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实施方式的限制。
在本实施方式的描述中,若干的含义是一个或者多个,多个的含义是两个以上,大于、小于、超过等理解为不包括本数,以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
本实施方式的描述中,除非另有明确的限定,设置、安装、连接等词语应做广义理解,所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实施方式中的具体含义。
参照图1至图8,并主要参照图2、图4,本实施方式的石墨舟,包括:多个第一石墨片101以及多个第二石墨片102、间隔块组件103以及多个舟脚104。其中,第一石墨片101和第二石墨片102的极性不同,第一石墨片101和第二石墨片102交替地间隔排列(附图中沿左右方向交替地间隔排列),多个第一石墨片101当中的至少两个相邻的第一石墨片101之间,以及多个第二石墨片102当中的至少两个相邻的第二石墨片102之间,均形成有安装空间105。间隔块组件103具有多个第一间隔块106以及多个第二间隔块107,各第一间隔块106以及各第二间隔块107均具有导电性(例如第一间隔块106以及第二间隔块107均为石墨材料)。多个第一间隔块106分别被夹持在相邻的两个第一石墨片101之间并分别和与其相邻的两个第一石墨片101接触。多个第二间隔块107分别被夹持在相邻的两个第二石墨片102之间并分别和与其相邻的两个第二石墨片102接触。各舟脚104均具有绝缘性,并且舟脚104分别被安装在安装空间105中。
本实施方式的石墨舟能够改善石墨舟的舟脚104的位置产生电弧的情况。具体来说,现有的石墨舟的舟脚104在支撑石墨舟整体的同时,舟脚104也起到使间隔排列的石墨片导通的作用。然而,在现有的管式PECVD设备的生产的过程中,随着设备的运行次数的增加,可能会存在例如电池片的碎片、氮化硅粉末等掉落在电极座上的情况,这种碎片、粉末会影响石墨舟的舟脚104与电极座的接触效果,例如可能会与舟脚104接触而导致射频电压电流异常,放电异常而出现电弧等意外情况。
在本实施方式的石墨舟中,通过使用间隔块(例如第一间隔块106)隔开同一极性的石墨片(例如第一石墨片101)并使其相互导通的同时,在同一极性的部分相邻的石墨片(例如第一石墨片101)之间形成用于安装舟脚104的安装空间105,并且使舟脚104的材料为绝缘材料,即在部分相邻的石墨片之间,同时存在具有导电性的间隔块以及作为绝缘材料的舟脚104。由此,间隔块能够确保相邻的、同一极性的石墨片导通,而被安装在安装空间105的舟脚104则在能够支撑石墨舟的同时,也能够避免与掉落的碎片、粉末等接触后产生电弧、放电异常等的情况。
参照图5,并辅助参照图2、图4,本实施方式的第一石墨片101包括第一主体108以及分别位于第一主体108的长度方向(附图中为前后方向)的两端的两个第一耳部109。同样地,第二石墨片102则包括第二主体110以及分别位于第二主体110的长度方向(附图中为前后方向)的两端的两个第二耳部111。第一石墨片101的第一主体108以及第二石墨片102的第二主体110上,分别沿长度方向设置有多个载片区域112。各个载片区域112上分别安装有多个用于保持电池片的卡点113。
第一石墨片101和第二石墨片102以第一主体108和第二主体110相互沿左右方向相对的方式而间隔排列。第一石墨片101的第一主体108和第二石墨片102的第二主体110相互之间,通过绝缘性的衬套114(例如陶瓷套)隔开,并通过绝缘性的连接杆115(例如陶瓷管)连接起来。由此,形成多个第一石墨片101和多个第二石墨片102沿左右方向交替地间隔排列的石墨舟的主体结构。
第一石墨片101的两个第一耳部109和第一主体108一体成型。其中一个第一耳部109在第一石墨片101的长度方向的一端,设置在第一石墨片101的宽度方向的下部。在附图中,其中一个第一耳部109设置在第一主体108的前端面的下侧。另一个第一耳部109在第一石墨片101的长度方向的另一端设置在第一石墨片101的宽度方向的上部。即,另一个第一耳部109设置在第一主体108的后端面的下侧。各第一间隔块106分别被夹持在相邻的两个第一石墨片101的第一耳部109之间。此外,例如可以在其中一个第一间隔块106上,设置有电极的接地导入口116(例如接地端的导入口)。在本实施方式中,通过使两个第一耳部109的一个位于第一石墨片101的长度方向的一端的下部,而另一个则位于第一石墨片101的长度方向的另一端的上部,从而尽可能减少处在相邻的两个第一石墨片101的第一耳部109的第一间隔块106对气流的阻挡,使气流在石墨舟内更加均匀。
同样地,第二石墨片102的两个第二耳部111也和第二主体110一体成型。其中一个第二耳部111在第二石墨片102的长度方向的一端(附图中为后端),设置在第二石墨片102的宽度方向的下部。另一个第二耳部111在第二石墨片102的长度方向的另一端(附图中为前端),设置在第二石墨片102的宽度方向的上部。各第二间隔块107分别被夹持在相邻的两个第二石墨片102的第二耳部111之间。此外,例如可以在其中一个第二间隔块107上,设置有电极导入口117。由此,在例如导入高频电源后,所有的第二石墨片102均被导通,各石墨片(包括第一石墨片101和第二石墨片102)之间产生辉光反应,使镀膜腔内的气体原子电离,从而产生离子体,促进电池片上的膜层的生成。
在本实施方式中,通过使两个第二耳部111的一个位于第二石墨片102的长度方向的一端的下部,而另一个则位于第二石墨片102的长度方向的另一端的上部,从而尽可能减少处在相邻的两个第二石墨片102的第二耳部111的第二间隔块107对气流的阻挡,使气流在石墨舟内更加均匀。
继续参照图2、图4,另外,在一些实施方式中,为了进一步减少第一间隔块106对气流的阻挡,多个第一间隔块106当中的至少部分,开设有沿与第一石墨片101的排列方向正交的方向(附图中为前后方向)贯穿的第一槽部118。具体来说,例如第一间隔块106外形上大致呈立方体状,第一槽部118沿第一石墨片101的长度方向贯穿第一间隔块106。具有第一槽部118的第一间隔块106的数量并不特别限定,例如可以部分第一间隔块106具有第一槽部118,也可以是处在第一石墨片101的下部的第一耳部109之间的第一间隔块106,以及处在第一石墨片101的上部的第一耳部109之间的第一间隔块106均具有第一槽部118。
同样地,为了减少第二间隔块107对气流的阻挡,多个第二间隔块107当中的至少部分,开设有沿与第二石墨片102的排列方向正交的方向(附图中为前后方向)贯穿的第二槽部119。具体来说,例如第二间隔块107外形上大致和第一间隔块106相同,第二槽部119沿第二石墨片102的长度方向贯穿第二间隔块107。具有第二槽部119的第二间隔块107的数量并不特别限定,例如可以部分第二间隔块107具有第二槽部119,也可以是处在第二石墨片102的下部的第二耳部111之间的第二间隔块107,以及处在第二石墨片102的上部的第二耳部111之间的第二间隔块107均具有第二槽部119。
此外,也可以根据需要,仅第一间隔块106具有第一槽部118,或者仅第二间隔块107具有第二槽部119。
通过使第一间隔块106具有第一槽部118,和/或第二间隔块107具有第二槽部119,能够使石墨舟各部分的温度均匀一致。具体来说,在反应管(未图示)中,炉口的气流沿反应管的长度方向(即石墨舟的长度方向、附图中为前后方向)向炉尾流动。以往的石墨舟中,由于间隔块(第一间隔块106和第二间隔块107)沿反应管的长度方向为实心结构,不仅容易蓄热,而且会阻挡气流的流动,进而导致石墨舟的升温或者降温不均匀。在本实施方式中,通过在第一间隔块106中开设第一槽部118,在第二间隔块107中开设第二槽部119,在升温时,能够降低间隔块的区域的蓄热能力,可使石墨片(包括第一石墨片101和第二石墨片102)的长度方向的各个区域的升温速度大致一致,有利于石墨舟整体的温度均匀上升,提高镀膜效果。而在降温时,则能够减少第一间隔块106以及第二间隔块107对气流的阻挡,在石墨舟取舟并放置在静置架(未图示)时,风机能够均匀地对石墨舟整体吹送冷却气流,能够使石墨舟的冷却均匀并加快散热速度。此外,由于能够减少第一间隔块106和/或第二间隔块107的重量,因此能够整体降低石墨舟的重量。
参照图2、图6,此外,为了导通第一石墨片101以及第一间隔块106,本实施方式的石墨舟还包括:第一导电杆120。第一导电杆120沿第一石墨片101的排列方向(附图中为左右方向),穿过第一石墨片101、第一间隔块106、以及安装在形成于多个第一石墨片101当中的至少两个相邻的第一石墨片101之间的安装空间105的舟脚104。如上面所述,第一石墨片101的第一主体108和第二石墨片102的第二主体110相互之间,通过绝缘性的衬套114(例如陶瓷套)隔开,并通过绝缘性的连接杆115(例如陶瓷管)连接起来。同样地,第一石墨片101的第一耳部109之间,通过导电性的第一间隔块106相互接触,并通过导电性的第一导电杆120(例如石墨杆)连接起来。具体来说,第一间隔块106分别分布在第一石墨片101的前端的下部以及后端的上部,即,第一导电杆120也包括两根,并且仅处在第一石墨片101的前端的下部的第一导电杆120穿过了舟脚104,而在石墨舟的后端的上部由于没有舟脚104,因此,处在第一石墨片101的后端的上部的第一导电杆120并没有穿过舟脚104。
舟脚104例如包括四个,多个第一石墨片101整体例如形成有两处安装空间105,其中一处位于石墨舟的左右方向的一侧,另一处位于左右方向的另一侧。此外,舟脚104在石墨舟中的安装位置可以和现有的石墨舟一致,因此在此不展开说明。
但是,在本实施方式的石墨舟中,通过使第一导电杆120穿过第一间隔块106的同时并穿过与间隔块为不同的部件、且为绝缘性的舟脚104,能够确保舟脚104能够可靠地被固定。具体地,例如,参照图7并辅助参照图6,多个第一间隔块106当中,至少部分第一间隔块106中开设有第一缺口部121,形成在多个第一石墨片101当中的至少两个相邻的第一石墨片101之间的安装空间105,在第一缺口部121内形成。例如,分布在第一石墨片101的前端的下部的多个第一间隔块106当中,其中两个第一间隔块106中开设有第一缺口部121,第一缺口部121例如呈朝向下部贯穿的U形状,并将该第一缺口部121作为用于安装舟脚104的安装空间105。
与此对应,舟脚104具有:安装部122和支撑部123。其中,舟脚104的安装部122在安装空间105内被夹持。支撑部123和安装部122一体成型,沿第一石墨片101和第二石墨片102排列的方向(即左右方向)延伸。舟脚104的材料只要是能够适用于反应管的高温环境,且具有绝缘性、高强度的材料,并不特别限定,例如可以选择陶瓷材料。此外,也可以选择其他的含硅的耐高温、高强度的材料。此外,为了进一步减少舟脚104的位置产生电弧的风险,舟脚104的下部距离第一石墨片101或者第二石墨片102的下部之间的距离为20mm以上且30mm以下。具体来说,舟脚104的支撑部123从下表面到上表面的距离H1可以为20mm以上且30mm以下。由此,通过抬高舟脚104的支撑高度,能够进一步减少舟脚104的位置产生电弧的风险。
在其中两个第一间隔块106中开设有第一缺口部121的情况下,舟脚104的安装部122伸进第一缺口部121内,并且,第一导电杆120同时穿过舟脚104以及容置有该舟脚104的安装部122的第一间隔块106,由此,能够确保舟脚104能够被可靠地固定。
参照图8,此外,也可以是多个第一间隔块106当中,至少部分第一间隔块106中形成有第一避让部124,形成在多个第一石墨片101当中的至少两个相邻的第一石墨片101之间的安装空间105,在第一避让部124和与第一避让部124相对的第一石墨片101之间形成。例如,第一间隔块106整体可以呈倒L字状,由此,第一间隔块106的上部的厚度大于下部的厚度,并将第一间隔块106的下部作为第一避让部124。在第一间隔块106处在相邻的两个第一耳部109之间的情况下,第一避让部124和与其相对的第一石墨片101的第一耳部109之间,形成安装空间105。舟脚104的安装部122伸进该安装空间105内,并且,第一导电杆120同时穿过舟脚104和第一间隔块106的第一避让部124。由此,能够确保舟脚104能够被可靠地固定。
同样地,为了导通第二石墨片102以及第二间隔块107,本实施方式的石墨舟还包括:第二导电杆125。第二导电杆125沿第二石墨片102的排列方向(左右方向),穿过第二石墨片102、第二间隔块107、以及安装在形成于多个第二石墨片102当中的至少两个相邻的第二石墨片102之间的安装空间105的舟脚104。
同样地,和第一间隔块106类似,多个第二间隔块107当中,至少部分第二间隔块107中开设有第二缺口部(与第一缺口部121大致一样,未标记附图标记),形成在多个第二石墨片102当中的至少两个相邻的第二石墨片102之间的安装空间105,在第二缺口部内形成。或者,多个第二间隔块107当中,至少部分第二间隔块107中形成有第二避让部(与第一避让部124大致一样,未标记附图标记),形成在多个第二石墨片102当中的至少两个相邻的第二石墨片102之间的安装空间105,在第二避让部和与第二避让部相对的第二石墨片102之间形成。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实施方式的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
尽管已经示出和描述了本实施方式的实施例,本领域的普通技术人员可以理解:在不脱离本实施方式的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实施方式的范围由权利要求及其等同物限定。
Claims (10)
1.石墨舟,其特征在于,包括:
多个第一石墨片以及多个第二石墨片,所述第一石墨片和所述第二石墨片的极性不同,所述第一石墨片和所述第二石墨片交替地间隔排列,多个所述第一石墨片当中的至少两个相邻的所述第一石墨片之间,以及多个所述第二石墨片当中的至少两个相邻的所述第二石墨片之间,均形成有安装空间;
间隔块组件,具有多个第一间隔块以及多个第二间隔块,各所述第一间隔块以及各所述第二间隔块均具有导电性,多个所述第一间隔块分别被夹持在相邻的两个所述第一石墨片之间并分别和与其相邻的两个所述第一石墨片接触,多个所述第二间隔块分别被夹持在相邻的两个所述第二石墨片之间并分别和与其相邻的两个所述第二石墨片接触;
多个舟脚,各所述舟脚均具有绝缘性,所述舟脚分别被安装在所述安装空间中。
2.根据权利要求1所述的石墨舟,其特征在于,还包括:
第一导电杆,沿所述第一石墨片的排列方向,穿过所述第一石墨片、所述第一间隔块、以及安装在形成于多个所述第一石墨片当中的至少两个相邻的所述第一石墨片之间的所述安装空间的所述舟脚;
第二导电杆,沿所述第二石墨片的排列方向,穿过所述第二石墨片、所述第二间隔块、以及安装在形成于多个所述第二石墨片当中的至少两个相邻的所述第二石墨片之间的所述安装空间的所述舟脚。
3.根据权利要求2所述的石墨舟,其特征在于,多个所述第一间隔块当中,至少部分所述第一间隔块中开设有第一缺口部,形成在多个所述第一石墨片当中的至少两个相邻的所述第一石墨片之间的所述安装空间,在所述第一缺口部内形成;或者,
多个所述第一间隔块当中,至少部分所述第一间隔块中形成有第一避让部,形成在多个所述第一石墨片当中的至少两个相邻的所述第一石墨片之间的所述安装空间,在所述第一避让部和与所述第一避让部相对的所述第一石墨片之间形成。
4.根据权利要求3所述的石墨舟,其特征在于,多个所述第二间隔块当中,至少部分所述第二间隔块中开设有第二缺口部,形成在多个所述第二石墨片当中的至少两个相邻的所述第二石墨片之间的所述安装空间,在所述第二缺口部内形成;或者,
多个所述第二间隔块当中,至少部分所述第二间隔块中形成有第二避让部,形成在多个所述第二石墨片当中的至少两个相邻的所述第二石墨片之间的所述安装空间,在所述第二避让部和与所述第二避让部相对的所述第二石墨片之间形成。
5.根据权利要求4所述的石墨舟,其特征在于,所述舟脚具有:
安装部,所述安装部在所述安装空间内被夹持;
支撑部,和所述安装部一体成型,沿所述第一石墨片和所述第二石墨片排列的方向延伸。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的石墨舟,其特征在于,所述舟脚的下部距离所述第一石墨片或者所述第二石墨片的下部之间的距离为20mm以上且30mm以下。
7.根据权利要求1至5中任一项所述的石墨舟,其特征在于,所述舟脚的材料为陶瓷材料。
8.根据权利要求1至5中任一项所述的石墨舟,其特征在于,多个所述第一间隔块当中的至少部分,开设有沿与所述第一石墨片的排列方向正交的方向贯穿的第一槽部;和/或,
多个所述第二间隔块当中的至少部分,开设有沿与所述第二石墨片的排列方向正交的方向贯穿的第二槽部。
9.根据权利要求8所述的石墨舟,其特征在于,所述第一石墨片的长度方向的两端,分别设置有第一耳部,其中一个所述第一耳部在所述第一石墨片的长度方向的一端,设置在所述第一石墨片的宽度方向的下部,另一个所述第一耳部在所述第一石墨片的长度方向的另一端,设置在所述第一石墨片的宽度方向的上部;
多个所述第一间隔块分别被夹持在相邻的两个所述第一石墨片的所述第一耳部之间。
10.根据权利要求8所述的石墨舟,其特征在于,所述第二石墨片的长度方向的两端,分别设置有第二耳部,其中一个所述第二耳部在所述第二石墨片的长度方向的一端,设置在所述第二石墨片的宽度方向的下部,另一个所述第二耳部在所述第二石墨片的长度方向的另一端,设置在所述第二石墨片的宽度方向的上部;
多个所述第二间隔块分别被夹持在相邻的两个所述第二石墨片的所述第二耳部之间。
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Cited By (1)
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CN116732501A (zh) * | 2023-08-09 | 2023-09-12 | 福建福碳新材料科技有限公司 | 一种三代半导体用等静压石墨舟用支撑舟脚 |
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2022
- 2022-09-27 CN CN202222571362.9U patent/CN218561602U/zh active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN116732501A (zh) * | 2023-08-09 | 2023-09-12 | 福建福碳新材料科技有限公司 | 一种三代半导体用等静压石墨舟用支撑舟脚 |
CN116732501B (zh) * | 2023-08-09 | 2023-10-10 | 福建福碳新材料科技有限公司 | 一种三代半导体用等静压石墨舟用支撑舟脚 |
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