CN218524323U - 一种供液系统的漏液检测保护装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种供液系统的漏液检测保护装置，应用于半导体制造设备技术领域，其中漏液检测保护装置包括：若干承漏盘，所述承漏盘设置于供液路径上的预设位置，以承接所述预设位置渗出的漏液；若干第一传感器，所述第一传感器设置于所述承漏盘的底部，以对所述承漏盘内的漏液进行传感检测，并在检测到所述承漏盘的漏液达到传感阈值时输出第一传感触发信号；控制单元，与所述第一传感器连接，用于根据所述第一传感触发信号的触发执行预设的第一控制动作。通过承漏盘、传感器对可能漏液的供液路径进行检测，可以在漏液发生时，及时发现并进行传感控制，降低了供液系统发生漏液时可能造成经济损失，保障了人身安全，提高了效益。

Description

一种供液系统的漏液检测保护装置

技术领域

本申请涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种供液系统的漏液检测保护装置。

背景技术

涂胶显影设备是在半导体制造的光刻工艺中和光刻机配套使用的设备，主要起到涂胶、烘烤和显影的作用，该设备能够直接影响到光刻工序中曝光图案的形成，因而是半导体集成电路生产过程不可或缺的一种设备。

涂胶、显影等半导体制造工艺中，需要频繁使用到相关化学品，而且一般采用压力输送方式的供液系统提供这些化学品，其中供液系统通常包含有压力罐(Tank)、管路、连接管路的管路接头等零部件。实际使用中，压力罐、管路接头、管路自身等均可能存在破裂的风险，虽然这些风险的发生频率比较低，但是一旦发生，将给半导体制造造成严重影响，如损坏半导体制造设备、污染半导体制造材料、降低产出晶圆品质、制造停工等等。

因此，需要一种对供液系统的漏液进行检测保护的技术方案。

实用新型内容

有鉴于此，本说明书实施例提供一种供液系统的漏液检测保护装置，可以在发生漏液时，及时发现并对供液系统进行保护，从而减小漏液造成半导体制造过程的经济损失，保障人身安全，提高生产效益。

本说明书实施例提供以下技术方案：

本说明书实施例提供一种供液系统的漏液检测保护装置，包括：

若干承漏盘，所述承漏盘设置于供液路径上的预设位置，以承接所述预设位置渗出的漏液；

若干第一传感器，所述第一传感器设置于所述承漏盘的底部，以对所述承漏盘内的漏液进行传感检测，并在检测到所述承漏盘的漏液达到传感阈值时输出第一传感触发信号；

控制单元，与所述第一传感器连接，用于根据所述第一传感触发信号的触发执行预设的第一控制动作。

优选地，所述控制单元包括交流接触器，所述交流接触器设置于供电电源和供液系统的电源输入端之间，所述交流接触器用于在所述第一传感触发信号的触发下断开所述供电电源和所述供液系统的电源输入端之间的电连接。

优选地，所述控制单元还包括第一开关，所述第一开关设置于所述供电电源和所述交流接触器的输入端之间，所述第一开关用于控制所述供电电源和所述交流接触器的输入端之间的电连接；

和/或，所述漏液检测保护装置还包括：接头，所述接头的两端分别与所述第一传感器的输出端和所述交流接触器的控制端连接。

优选地，所述第一开关包括单刀单掷开关，所述单刀单掷开关设置于所述供电电源的火线和所述交流接触器的火线输入端之间。

优选地，所述漏液检测保护装置还包括：若干第二传感器，所述第二传感器设置于供液系统的压力罐内，所述第二传感器用于对所述压力罐进行液位传感检测并输出第二传感触发信号；

所述第二传感器与所述控制单元电连接，所述控制单元还用于根据所述第二传感触发信号的触发执行预设的第二控制动作。

优选地，所述控制单元包括若干电磁阀，所述电磁阀设置于供液系统的供液管路中，所述电磁阀在所述第一传感触发信号的触发下切断所述供液管路。

优选地，所述漏液检测保护装置还包括：警报组件，所述控制单元在所述第一传感触发信号的触发下控制所述警报组件输出警报信号。

优选地，所述警报组件包括柱状的警报灯，所述警报灯在所述第一传感触发信号的触发下闪烁点亮；

和/或，所述警报组件包括语音警报器，所述语音警报器在所述第一传感触发信号的触发下发出警报声。

优选地，在任意一个实施例中，所述承漏盘包括顶部镂空的长方体盒体，所述长方体盒体设置于所述预设位置的下方。

优选地，所述长方体盒体设置有排水口，所述排水口用于排放所述长方体盒体内的漏液。

与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：

通过在供液系统的供液路径特定位置设置承漏盘、传感器构成漏液传感检测，可以尽可能地对可能存在漏液的供液路径进行及时检测，从而在漏液发生时，及时发现并进行传感检测的应急保护控制，降低了供液系统发生漏液时可能造成经济损失，保障了半导体制造中化学品使用时的人身安全，减少了半导体制造的停工停产次数，提高了生产效益。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本申请中一种供液系统的漏液检测保护装置的结构示意图；

图2是本申请中一种交流接触器进行应急控制的结构示意图；

图3是本申请中一种应急开关的结构示意图；

图4是本申请中一种承漏盘的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。

以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。

还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。

半导体制造中，需要频繁地使用到各类化学品，如光刻工艺中的涂胶、显影等工艺步骤需要使用到多种化学试剂，通常这些化学试剂需要供液系统提供。供液系统中包括有诸多压力罐、管路及管路接头等零部件，而这些零部件在实际使用中，可能存在渗液甚至发生破裂的风险，且一旦出现这些风险，可能给半导体制造过程造成严重影响，比如设备损坏，物料污染，人员受伤，停工停产等。

基于此，针对半导体制造中频繁使用的化学品对应的供液系统，本说明书实施例提出了一种供液系统的漏液检测保护装置方案：如图1所示，在供液系统的供液路径上设置相关传感检测单元30，其中传感检测单元可以由传感器和承漏盘构成，承漏盘设置于供液路径上可能存在漏液可能的位置，比如承漏盘设置于压力罐10的底部，比如承漏盘设置于管路40的管道外，合适承漏盘不仅可以用于承接渗漏的漏液，还可以在承漏盘内设置传感器进行漏液检测，当传感器检测到承漏盘中有漏液且漏液达到传感阈值时，将实时地向控制单元20发送传感触发信号，使得控制单元20在传感触发信号的触发下执行预定的控制动作。

需要说明的是，预定的控制动作可以指能够对半导体制造中的相关设备提供应急保护的控制操作。因此，控制动作可包括但不限于以下动作：管路控制动作(如切断化学品的供液系统电源Supply-1、Supply-2等，如通过电磁阀控制信号N2-1、N2-2、Out-1&2等切断压力罐10的管路输出)；关断其他设备工作电压；发出警报等等。

以下结合附图，说明本申请各实施例提供的技术方案。

本说明书实施例提供一种供液系统的漏液检测保护装置，包括：

若干承漏盘，所述承漏盘设置于供液路径上的预设位置，以承接所述预设位置渗出的漏液；

若干第一传感器，所述第一传感器设置于所述承漏盘的底部，以对所述承漏盘内的漏液进行传感检测，并在检测到所述承漏盘的漏液达到传感阈值时输出第一传感触发信号；

控制单元20，与所述第一传感器连接，用于根据所述第一传感触发信号的触发执行预设的第一控制动作。

如图1所示，第一传感器和承漏盘共同构成对供液系统的漏极可能进行传感检测的传感检测单元30，其中第一传感器可以设置于承漏盘的底部，一旦传感检测到漏液满足保护触发阈值时，第一传感器及时向控制单元20提供传感触发信号，控制单元20在传感触发信号的触发下及时执行相关控制动作，从而为半导体制造过程提供实时检测及保护。

实施中，承漏盘可以设置于供液系统中可能容易发生渗漏甚至破裂的供液路径上收集漏液，比如压力罐10、管路接头处、管路薄弱处等地方，这里不作限定。

实施中，第一传感器可以为能够对漏液进行传感检测的传感器，可以优选线形的传感器，以及可以根据应用需要设置于承漏盘内，比如底部、侧壁等位置。还有，第一传感器输出的第一传感触发信号可以为用于反映传感检测结果的电平信号形式，这时控制单元20可以在该电平触发执行预定的控制动作。

需要说明的是，传感阈值可以指能够触发控制单元20提供保护控制动作的阈值，具体可以根据检测保护需要和传感器的检测特性确定，比如传感阈值设置为有无检测到漏液，比如传感阈值设置为漏液达到预定体积等等，这里不作限定。

实施中，控制单元20可以为能够在第一传感触发信号的触发下执行控制动作的单元，比如开关、继电器、电磁阀等等。

通过在供液系统的供液路径上设置承漏盘和第一传感器，可以及时发现供液系统中出现的漏液情况，并在传感检测到漏液情况发生时，及时通过控制单元采用相关应急保护的控制动作，可以降低漏液对半导体制造过程造成的经济损失，保证人身安全，减少停工停产次数，提高半导体制造效益。

在一些实施方式中，可以在传感检测到漏液发生时，及时对供液系统、相关制造设备等供电回路进行保护控制动作。

实施中，如图2所示，控制单元20可以包括交流接触器201(比如线控交流触发器)，其中交流接触器201设置于供电电源和供液系统的开关电源输入端之间，交流接触器201用于在第一传感器301输出的所述第一传感触发信号的触发下断开所述供电电源和所述供液系统的开关电源输入端之间的电连接。如图2所示，外部供电电源的火线L、零线N经线控交流接触器后再接入到设备电源(如供液系统使用到的开关电源)。

需要说明的是，地线PE可以根据交流接触器的连接方式，可以经交流接触器在接入设备电源，也可以不经交流接触器接入到设备电源，这里不作限定。另外，交流接触器的选型、连接等，可以根据实际应用需要确定，这里不作限定。

在一些实施方式中，在检测到存在漏液情况时，可通过手动开关进行应急控制。

如图1所示，所述漏液检测保护装置还包括：应急控制的外部开关60，通过开关60可以接受外部紧急控制操作，使得控制单元20在开关60的触发下执行相关预设的应急动作，比如断电、关闭供液等等。

在一种示例中，如图2和图3所示，所述漏液检测保护装置还包括第一开关601，所述第一开关601设置于所述供电电源和所述交流接触器201的输入端之间，所述第一开关601用于控制所述供电电源和所述交流接触器201的输入端之间的电连接。通过在供电路径上设置第一开关，可以在应急保护控制时，直接通过操作第一开关进行应急控制。

在一些示例中，应急保护的所述第一开关包括单刀单掷开关，其中所述单刀单掷开关设置于所述供电电源的火线和所述交流接触器的火线输入端之间，从而可以通过简单开关对火线通断控制进行应急保护操作。

需要说明的是，第一开关可以根据实际应用需要进行选型，比如常闭开关、常开开关等，这里不作限定。还有，第一开关可以根据应急需要而设置于进行应急操作的位置，比如应急维护人员的工作台面上，这里不作限定。

在一些实施方式中，可采用连接的线路接头简化传感器与交流接触器之间的互连。如图2所示，所述漏液检测保护装置还包括：线路接头202，其中所述线路接头202的两端分别与所述第一传感器的输出端和所述交流接触器的控制端连接。通过线头接头实现触发信号互连后，结构更简单，后续使用和维护更方便。

在一些实施方式中，可以将原供液系统中的液位传感器结合漏液传感器共同对供液系统的供液过程进行整体检测及保护应急控制。

如图1所示，所述漏液检测保护装置还包括：若干第二传感器302，所述第二传感器设置于供液系统的压力罐10内，所述第二传感器302用于对所述压力罐10进行液位传感检测并输出第二传感触发信号。因此，所述第二传感器302与控制单元20进行电连接，这时控制单元20还用于根据所述第二传感触发信号的触发执行预设的第二控制动作。

实施中，如图1所示，第二传感器302可以是设置于压力罐中的相关检测传感器，以用于对压力罐10内的化学试剂进行液位传感检测的传感器，比如第二传感器302可以包括检测压力罐10内部液面的传感器，如检测压力罐10输出的溢流传感器3021(over flow，标记为HH sensor)、如检测压力罐10的电源停止传感器3022(supply stop，标记为Hsensor)、如检测压力罐10的电源启动传感器3023(supply start，标记为L sensor)、如检测压力罐10的无供液传感器3024(empty，标记为LL sensor)，这时控制单元20可以基于第一传感器和第二传感器的传感触发信号共同进行应急保护控制，例如供液系统未进行供液，且第一传感器未输出第一传感触发信号，但是控制单元20仍然收到第二传感器输出的第二传感触发信号，从而可以根据第一传感触发信号和第二传感触发信号的组合确定出供液系统存在漏液，只是第一传感器可能因设置位置未能真实地检测到漏液发生，这时基于第二传感触发信号能够及时检测到漏液情况发生，进而控制单元20可以及时执行应急保护的控制动作，可以提高半导体制造中化学品供液系统的漏液检测保护性能。

在一些实施方式中，可以采用电磁阀(solenoid valve)对管路的供液进行应急保护控制。

实施中，所述控制单元20可以包括若干电磁阀，所述电磁阀设置于供液系统的供液管路40中，所述电磁阀在所述第一传感触发信号的触发下切断所述供液管路40。如图1所示，控制单元20受到传感触发信号的触发后，可以输出管路控制信号，形成供液管路40中相应电磁阀的控制信号，如用于压力罐10(如Tank-1&2)主管路输出控制的Out-1&2信号，如用于压力罐10供电电源控制的Supply-1、Supply-2等电源开关信号，如用于压力罐10其他管路输出控制的N2-1、N2-2等信号。

实施中，电磁阀和控制单元之间可通过信号互连板、接头等方式实现电信号互连，具体电磁阀选型、信号互连方式等，这里不作限定。

在一些实施方式中，在检测到漏液情况发生时，可以通过控制单元监测并控制警报组件发出警报，以便半导体制造车间及时获知对漏液情况进行应急处理控制。

实施中，如图1所示，可采所述漏液检测保护装置还包括警报组件50，所述警报组件50在所述第一传感触发信号的触发下输出警报信号。需要说明的是，警报组件可以根据实际需要设置于相应监控位置，这里不作限定。

实施中，警报组件50可以输出如声音、图像、光等形式的警报信息，便于及时获知警报信息。

在一种示例中，如图2所示，所述警报组件50包括警报灯502，所述警报灯502在所述第一传感触发信号的触发下闪烁点亮。需要说明的是，警报灯的选型、设置位置等可根据需要进行确定，这里不作限定。

在一种示例中，所述警报组件50可以包括语音警报器，所述语音警报器在所述第一传感触发信号的触发下发出警报声。需要说明的是，语音警报器的选型、设置位置等可根据需要进行确定，这里不作限定。

在一些实施方式中，承漏盘可以根据设定的位置设置为相应的形状、大小等。如图4所示，所述承漏盘可以设置为顶部镂空的长方体盒体，所述长方体盒体设置于所述预设位置的下方，比如设置于压力罐下的长方体盒体，其长、宽、高可以分别为：650mm、280mm和300mm。

在一些实施方式中，可以在承漏盘上设置有排放口，便于通过该排放口排放漏液。如图4所示，长方体盒体的承漏盘在侧面上设置有排水口(即开孔，drain)，通过所述排水口可以排放所述长方体盒体内的漏液。

实施中，排水口的位置、大小等可以根据应用需要而设置，比如图4示意中，可以在距离承漏盘的底部50mm出设置该排水口，以及排水口的尺寸设置为通用的1/4接口。

还有，承漏盘的材质可以根据应用中漏液的化学特性进行选型，比如可以选型为不锈钢材质，可以满足多种化学品应用需要。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其他实施例的不同之处。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种供液系统的漏液检测保护装置，其特征在于，所述漏液检测保护装置包括：

若干承漏盘，所述承漏盘设置于供液路径上的预设位置，以承接所述预设位置渗出的漏液；

若干第一传感器，所述第一传感器设置于所述承漏盘的底部，以对所述承漏盘内的漏液进行传感检测，并在检测到所述承漏盘的漏液达到传感阈值时输出第一传感触发信号；

控制单元，与所述第一传感器连接，用于根据所述第一传感触发信号的触发执行预设的第一控制动作。

2.根据权利要求1所述的供液系统的漏液检测保护装置，其特征在于，所述控制单元包括交流接触器，所述交流接触器设置于供电电源和供液系统的电源输入端之间，所述交流接触器用于在所述第一传感触发信号的触发下断开所述供电电源和所述供液系统的电源输入端之间的电连接。

3.根据权利要求2所述的供液系统的漏液检测保护装置，其特征在于，所述控制单元还包括第一开关，所述第一开关设置于所述供电电源和所述交流接触器的输入端之间，所述第一开关用于控制所述供电电源和所述交流接触器的输入端之间的电连接；

和/或，所述漏液检测保护装置还包括：接头，所述接头的两端分别与所述第一传感器的输出端和所述交流接触器的控制端连接。

4.根据权利要求3所述的供液系统的漏液检测保护装置，其特征在于，所述第一开关包括单刀单掷开关，所述单刀单掷开关设置于所述供电电源的火线和所述交流接触器的火线输入端之间。

5.根据权利要求1所述的供液系统的漏液检测保护装置，其特征在于，所述漏液检测保护装置还包括：若干第二传感器，所述第二传感器设置于供液系统的压力罐内，所述第二传感器用于对所述压力罐进行液位传感检测并输出第二传感触发信号；

所述第二传感器与所述控制单元电连接，所述控制单元还用于根据所述第二传感触发信号的触发执行预设的第二控制动作。

6.根据权利要求1所述的供液系统的漏液检测保护装置，其特征在于，所述控制单元包括若干电磁阀，所述电磁阀设置于供液系统的供液管路中，所述电磁阀在所述第一传感触发信号的触发下切断所述供液管路。

7.根据权利要求1所述的供液系统的漏液检测保护装置，其特征在于，所述漏液检测保护装置还包括：警报组件，所述控制单元在所述第一传感触发信号的触发下控制所述警报组件输出警报信号。

8.根据权利要求7所述的供液系统的漏液检测保护装置，其特征在于，所述警报组件包括柱状的警报灯，所述警报灯在所述第一传感触发信号的触发下闪烁点亮；

和/或，所述警报组件包括语音警报器，所述语音警报器在所述第一传感触发信号的触发下发出警报声。

9.根据权利要求1-8中任意一项所述的供液系统的漏液检测保护装置，其特征在于，所述承漏盘包括顶部镂空的长方体盒体，所述长方体盒体设置于所述预设位置的下方。

10.根据权利要求9所述的供液系统的漏液检测保护装置，其特征在于，所述长方体盒体设置有排水口，所述排水口用于排放所述长方体盒体内的漏液。

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