CN204005277U - 水管和漏水侦测系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种水管和漏水侦测系统，其中，所述漏水侦测系统至少包括：褶皱水管、平行设置于所述水管底部的两根金属线缆、与所述金属线缆相连接的漏水侦测报警器和与所述漏水侦测报警器相连接的制动装置；所述水管设置为具有湿度指示剂层的三层结构，在水管破裂时，可以根据湿度指示剂层颜色的变化及时发现；将所述水管设置为具有弹性的褶皱管，可以防止水管在使用的过程中磨损破裂；所述漏水侦测系统中，将漏水侦测报警器与两条平行固定于水管底部的柔性扁平线缆相连接，可以在水管出现漏水时第一时间侦测到并发出报警；在所述漏水侦测系统中设置于漏水侦测报警器相连接的制动装置，可以在水管漏水时第一时间使机台停止工作，避免损失。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种半导体工艺设备技术领域，特别是涉及一种水管和漏水侦测系统。
背景技术
目前，在半导体生产过程中，涂布光刻胶是光刻工艺中必要的一步，在涂布光刻胶的过程中，为了使喷涂的光刻胶与整个光刻胶涂布环境温度保持一致，一般需要对光刻胶输送管内的光刻胶进行恒温保温。
在现有的工艺中，所采用的对光刻胶恒温保温的方法为在光刻胶输送管道外围套置一保温水管，在所述保温水管内通入保温水以实现对光刻胶输送管道内的光刻胶进行保温。如图1所示，为现有工艺中的光刻胶喷涂系统的结构示意图，所述光刻胶喷涂系统包括涂胶单元11、位于所述涂胶单元上方的光刻胶喷嘴12、与所述光刻胶喷嘴12相连接的光刻胶输送管道13、套置于所述光刻胶输送管道13外围的水管14、以及位于所涂胶单元11下方的漏水侦测报警器15。需要说明的是，光刻胶输送管道13置于所述水管14内的部分并不能直接看到，此处为了更有利于说明而故意示出。而在现有工艺中，用于为光刻胶保温的水管14为聚四氟乙烯管，在长期使用的过程中，容易磨损破裂而出现漏水的情况。而由于漏水侦测报警器15位于涂胶单元11的下方，水管14漏水初始并不能被所述漏水侦测报警器15所侦测到，在漏水侦测报警器15侦测到有漏水而触发报警时，水管14内的水早已滴落漏到所述涂胶单元11上了。如果水管14破裂，在涂胶工艺过程中渗漏的水会滴到涂胶单元11上的晶片上，使得晶片出现缺陷。
鉴于此，有必要设计一种新的水管和漏水侦测系统用以解决上述技术问题。
实用新型内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种水管和漏水侦测系统，用于解决现有技术中在水管漏水以后，漏水侦测报警器并不能及时侦测到漏水情况的发生，而使得正在涂胶工艺的晶片上出现缺陷的问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种水管，所述水管的管壁为三层结构，包括内层、中间层和外层；其中，所述内层和外层均为透明防水层；中间层为湿度指示剂层，适于所述水管漏水时在漏水处变色以指示漏水。
作为本实用新型的水管的一种优选方案，所述透明防水层为聚四氟乙烯层。
作为本实用新型的水管的一种优选方案，所述湿度指示层中包括氯化钴、溴化钴、碘化钴、硫酸钴、硫氰酸钴、氯化铜、碘化铜或硫酸铜中的一种。
作为本实用新型的水管的一种优选方案，所述湿度指示剂层中包括氯化钴。
作为本实用新型的水管的一种优选方案，所述湿度指示剂层中的氯化钴为无水氯化钴晶体或氯化钴试纸。
作为本实用新型的水管的一种优选方案，所述水管为褶皱管，包括至少两个互相连接的褶皱单元；其中，所述褶皱单元的两端为最小内径，中间为最大内径，所述水管的最大内径为9mm～11mm，所述水管的最小内径为5mm～7mm；所述水管管壁的厚度为0.9mm～1.1mm，所述湿度指示剂层的厚度为0.1mm。
本实用新型还提供漏水侦测系统，适于涂胶显影机，所述涂胶显影机包括机台控制按钮、两根光刻胶输送管道和固定所述光刻胶输送管道的固定装置，其特征在于，所述漏水侦测系统至少包括：水管，所述水管的管壁为三层结构，包括内层、中间层和外层；其中，所述内层和外层均为透明防水层，中间层为湿度指示剂层；所述水管为褶皱管，包括至少两个互相连接的褶皱单元；其中，所述褶皱单元的两端为所述水管的最小内径，中间为所述水管的最大内径；所述褶皱单元上设有一凹槽，所述凹槽的深度为所述水管的最大内径和最小内径之差；各褶皱单元上的所述凹槽互相连通为一列贯通的直槽；且所述凹槽的侧壁与所述管壁连为一体；两根金属线缆，设置于所述直槽的底部，并互相平行；漏水侦测报警器，所述漏水侦测报警器与所述两根金属线缆的一端连接，适于在侦测到有漏水情况时发出报警。
作为本实用新型的漏水侦测系统的一种优选方案，所述固定装置内部还设有中空结构，所述漏水侦测系统包括两根水管，所述两根水管分别套置于所述两根光刻胶输送管道外围，且一端置于所述中空结构内。
作为本实用新型的漏水侦测系统的一种优选方案，所述透明防水层为聚四氟乙烯层。
作为本实用新型的漏水侦测系统的一种优选方案，所述湿度指示层中包括氯化钴、溴化钴、碘化钴、硫酸钴、硫氰酸钴、氯化铜、碘化铜或硫酸铜中的一种。
作为本实用新型的漏水侦测系统的一种优选方案，所述湿度指示剂层中包括氯化钴。
作为本实用新型的漏水侦测系统的一种优选方案，所述湿度指示剂层中的氯化钴为无水氯化钴晶体或氯化钴试纸。
作为本实用新型的漏水侦测系统的一种优选方案，所述水管的最大内径为9mm～11mm，所述水管的最小内径为5mm～7mm，所述水管管壁的厚度为0.9mm～1.1mm，所述湿度指示剂层的厚度为0.1mm。
作为本实用新型的漏水侦测系统的一种优选方案，所述两金属线缆为柔性扁平线缆，所述两柔性扁平线缆的间距为1.2mm～1.3mm。
作为本实用新型的漏水侦测系统的一种优选方案，所述两金属线缆包括金属线和包裹在所述金属线外的绝缘层，所述绝缘层上设置有若干个开口，以露出里面的金属线。
作为本实用新型的漏水侦测系统的一种优选方案，所述绝缘层为塑料包层。
作为本实用新型的漏水侦测系统的一种优选方案，还包括一制动装置，所述制动装置设置于所述机台控制按钮旁边，并与所述漏水侦测报警器电连接，所述制动装置和漏水侦测报警器之间设置一开关单元；所述制动装置至少包括：电磁铁，所述电磁铁包括第一铁芯和绕置于所述第一铁芯表面的金属线圈；其中，所述第一铁芯设有通孔；固定单元，设置于所述电磁铁远离机台控制按钮的一端，适于固定所述第一铁芯；弹性单元，设置于所述第一铁芯的通孔内，一端固定于所述固定单元上，另一端为非固定端；第二铁芯，置于所述通孔内，且一端与所述弹性单元的非固定端相连接。
如上所述，本实用新型的水管和漏水侦测系统，具有以下有益效果：所述水管设置为具有湿度指示剂层的三层结构，在水管破裂时，可以根据湿度指示剂层颜色的变化及时发现；将所述水管设置为具有弹性的褶皱管，可以防止水管在使用的过程中磨损破裂；所述漏水侦测系统中，将漏水侦测报警器与两条平行固定于水管底部的柔性扁平线缆相连接，可以在水管出现漏水时第一时间侦测到并发出报警；在所述漏水侦测系统中设置于漏水侦测报警器相连接的制动装置，可以在水管漏水时第一时间使机台停止工作，避免造成损失。
附图说明
图1显示为现有技术中光刻胶喷涂系统的结构示意图。
图2显示为本实用新型实施例一中提供的水管管壁的结构示意图。
图3显示为本实用新型实施例一中提供的水管的结构示意图。
图4显示为本实用新型实施例一中提供的褶皱单元的结构示意图。
图5显示为本实用新型实施例一中提供的漏水侦测系统的结构示意图。
图6显示为本实用新型中图4沿bb’方向的截面示意图。
图7显示为本实用新型实施例一中提供的用于涂胶显影机的漏水侦测系统的截面图。
图8显示为本实用新型实施例二中提供的漏水侦测系统的结构示意图。
图9显示为本实用新型实施例二中提供的用于涂胶显影机的漏水侦测系统的截面图。
图10显示为本实用新型实施例二中提供的制动装置的结构示意图。
元件标号说明
11 涂胶单元
12 光刻胶喷嘴
13 光刻胶输送管道
14 水管
15 漏水侦测报警器
21 水管
211 水管的管壁
211a 透明防水层
211b 湿度指示剂层
212 褶皱单元
212a 凹槽
22 金属线缆
23 漏水侦测报警器
24 制动装置
241 电磁铁
241a 第一铁芯
241b 金属线圈
242 固定单元
243 弹性单元
244 第二铁芯
245 通孔
25 光刻胶输送管道
26 固定装置
261 中空结构
27 光刻胶喷嘴
28 开关单元
29 机台控制按钮
Φ1 水管的最大内径
Φ2 水管的最小内径
d1 水管管壁的厚度
d2 湿度指示剂层的厚度
d3 凹槽的深度
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
请参阅图2至图10。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
实施例一
请参阅图2至图4，本实用新型提供一种水管，如图2所示，所述水管21的管壁211为三层结构，包括内层、中间层和外层；其中，所述内层和外层均为透明防水层211a；中间层为湿度指示剂层211b，适于所述水管21漏水时在漏水处变色以指示漏水。所述水管21的管壁211的厚度d1为0.9mm～1.1mm，所述湿度指示剂层211b的厚度d2为0.1mm。优选地，本实施例中，所示水管21的管壁211的厚度d1为1mm，所述湿度指示剂层211b的厚度d2为0.1mm。
具体的，所述透明防水层211a为聚四氟乙烯层。所述湿度指示剂层211b中可以包括氯化钴、溴化钴、碘化钴、硫酸钴、硫氰酸钴、氯化铜、碘化铜或硫酸铜的一种。优选地，本实施例中，所述湿度指示剂层211b中包括氯化钴。更为优选地，所述湿度指示剂层为氯化钴晶体或氯化钴试纸。
具体的，如图3所示，所述水管为褶皱管，包括至少两个互相连接的褶皱单元212；其中，所述褶皱单元212如图4所示，所述褶皱单元212的两端为最小内径，中间为最大内径，所述水管21的最大内径为9mm～11mm，所述水管21的最小内径为5mm～7mm。优选地，本实施例中所述水管21的最大内径Φ1为10mm，所述水管21的最小内径Φ2为6mm。
将所述水管21设置为三层结构，在水管21由于破裂而出现漏水的时候，湿度指示剂层211b接触水会发生变色，根据所述湿度指示剂层211b颜色的变化，可以第一时间发现所述水管21漏水的情况，及时进行检修。将所述水管21设置为具有弹性的褶皱管，可以有效地防止水管21在使用的过程中由于磨损而出现破裂。
请参阅图5至图7，本实用新型还提供一种漏水侦测系统，如图5所示，所述漏水侦测系统至少包括：水管21，所述水管21的管壁211为三层结构，包括内层、中间层和外层；其中，所述内层和外层的均为透明防水层211a，中间层为湿度指示剂层211b；所述水管为褶皱管，包括至少两个互相连接的褶皱单元212；其中，所述褶皱单元212的两端为所述水管21的最小内径Φ2，中间部位为所述水管21的最大内径Φ1；所述褶皱单元212上设有一凹槽212a，所述凹槽212a的深度d3为所述水管21的最大内径Φ1和最小内径Φ2之差，即d3＝Φ1-Φ2；各褶皱单元212上的所述凹槽212a互相连通为一列贯通的直槽，且所述凹槽212a的侧壁与所述水管21的管壁211连为一体；两根金属线缆22，设置于所述直槽的底部，并互相平行；漏水侦测报警器23，所述漏水侦测报警器23与所述两根金属线缆22的一端连接，适于在侦测到有漏水情况时发出报警。
具体的，如图2所示，所述水管21的管壁211的厚度d1为0.9mm～1.1mm，所述湿度指示剂层211b的厚度d2为0.1mm。优选地，本实施例中，所示水管21的管壁211的厚度d1为1mm，所述湿度指示剂层211b的厚度d2为0.1mm。
具体的，所述透明防水层211a为聚四氟乙烯层。所述湿度指示剂层211b中可以包括氯化钴、溴化钴、碘化钴、硫酸钴、硫氰酸钴、氯化铜、碘化铜或硫酸铜的一种。优选地，本实施例中，所述湿度指示剂层211b中包括氯化钴。更为优选地，所述湿度指示剂层为氯化钴晶体或氯化钴试纸。
具体的，如图4所示，所述水管21的最大内径为9mm～11mm，所述水管21的最小内径为5mm～7mm。优选地，本实施例中所述水管21的最大内径Φ1为10mm，所述水管21的最小内径Φ2为6mm。
将所述水管21设置为有弹性的褶皱管，且水管21的内层和外层均为聚四氟乙烯层，可以有效地防止水管21在使用的过程中由于磨损而出现破裂；将所述水管21设置为三层结构，在水管21由于破裂而出现漏水的时候，湿度指示剂层211b接触水会发生变色，根据所述湿度指示剂层211b颜色的变化，可以第一时间发现所述水管21漏水的情况，及时进行检修。
具体的，所述金属线缆22为绕性扁平线缆，所述两金属线缆22之间的间距为1.2mm～1.3mm，优选地，本实施例中，所述两金属线缆22之间的间距约为1.27mm。所述两金属线缆22包括金属线和包裹在所述金属线外的绝缘层，所述绝缘层上设置有若干个开口，以露出里面的金属线，用以在水管21漏水时，水滴可以接触到金属线缆。优选地，本实施例中，所述绝缘层为塑料包层。
所述金属线缆22选用绕性扁平线缆，并将所述两金属线缆22之间设定一定的间距平行排列，所述金属线缆22一端与所述漏水侦测报警器23相连接，根据绕性扁平线缆的特性，在所述两绕性扁平线缆一端施加固定的电压，在两绕性扁平线缆为接触到水滴时，线路中的电阻值为无穷大，当两绕性扁平线缆接触到水滴时，线路中的电阻值将会小于或等于某一个固定值。此时，只需要将所述漏水侦测报警器23设置为侦测到的电路中的电阻小于或等于该固定值时即触发报警即可。
具体的，如图6所示，所述褶皱单元212上设置的所述凹槽212a的深度d3为所述最大内径Φ1和最小内径Φ2之差，即d3＝Φ1-Φ2；在这种条件下可以保证各褶皱单元212上的所述凹槽212a互相连通为一列贯通的直槽，且保证所述凹槽212a的底部与所述褶皱单元212最小内径处的外壁相平齐，使得所述金属线缆22在被固定在所述凹槽212a底部的同时，也可以实现将其固定在所述最小内径处的外壁上。
具体的，所述漏水侦测系统适于涂胶显影机，所述涂胶显影机包括机台控制按钮29、两根光刻胶输送管道25和固定所述光刻胶输送管道25的固定装置26，所述固定装置26内部设有中空结构261。如图7所示，在所述漏水侦测系统用于涂胶显影机时，所述水管21共两根，分别套置于两根与所述光刻胶喷嘴27相连接的所述光刻胶输送管道25的外围，在使用的过程中，所述光刻胶输送管道25和所述水管21之间的空隙内充入介质水；所述两个水管21的一端置于所述中空结构261内，使得两水管21能够连通，两水管21内的水可以得以形成循环路径。
在所述漏水侦测系统中，在所述水管21凹槽底部平行设置两条金属线缆22，且所述金属线缆22与一漏水侦测报警器23相连接，可以确保在所述水管21出现漏水时第一时间侦测到并发出报警。
实施例二
请参阅图8至图10，本实用新型还提供一种漏水侦测系统，如图8和图9所示，所述漏水侦测系统在实施例一中的所述漏水侦测系统的基础上，增设了一制动装置24，所述制动装置24设置于所述机台控制按钮29旁边，且与所述漏水侦测报警器23电连接，所述制动装置24和漏水侦测报警器23之间设置一开关单元28。
具体的，如图10所示，所述制动装置24至少包括：电磁铁241，所述电磁铁241包括第一铁芯241a和绕置于所述第一铁芯241a表面的金属线圈241b；其中，所述第一铁芯241a设有通孔245；固定单元242，设置于所述电磁铁241远离机台控制按钮29的一端，用于固定所述第一铁芯241a；弹性单元243，设置于所述通孔245内，一端固定于所述固定单元242上，另一端为非固定端；第二铁芯244，置于所述通孔245内，且一端与所述弹性单元243的非固定端相连接。
当所述漏水侦测报警器23没有侦测到漏水时，所述开关单元28呈闭合状态，所述金属线圈241b中通有电流，所述电磁体241吸附所述第二铁芯244并压紧所述弹性单元243；当所述漏水侦测报警器23侦测到漏水时，开关单元28断开，所述金属线圈241b中没有电流，所述电磁体241失去磁性，所述第二铁芯244在所述弹性单元243的弹性作用力下被弹出所述通孔245，并撞击所述机台控制按钮29，使机台停止工作。
在所述漏水侦测系统中设置于漏水侦测报警器23相连接的制动装置24，可以在水管21漏水时第一时间使机台停止工作，避免造成损失。
综上所述，本实用新型提供一种水管和漏水侦测系统，所述水管设置为具有湿度指示剂层的三层结构，在水管破裂时，可以根据湿度指示剂层颜色的变化及时发现；将所述水管设置为具有弹性的褶皱管，可以防止水管在使用的过程中磨损破裂；所述漏水侦测系统中，将漏水侦测报警器与两条平行固定于水管底部的柔性扁平线缆相连接，可以在水管出现漏水时第一时间侦测到并发出报警；在所述漏水侦测系统中设置于漏水侦测报警器相连接的制动装置，可以在水管漏水时第一时间使机台停止工作，避免造成损失。
上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
Claims (17)
1.一种水管，其特征在于，所述水管的管壁为三层结构，包括内层、中间层和外层；其中，所述内层和外层均为透明防水层；中间层为湿度指示层，适于所述水管漏水时在漏水处变色以指示漏水。
2.根据权利要求1所述的水管，其特征在于：所述透明防水层为聚四氟乙烯层。
3.根据权利要求1所述的水管，其特征在于：所述湿度指示层中包括氯化钴、溴化钴、碘化钴、硫酸钴、硫氰酸钴、氯化铜、碘化铜或硫酸铜中的一种。
4.根据权利要求3所述的水管，其特征在于：所述湿度指示层中包括氯化钴。
5.根据权利要求4所述的水管，其特征在于：所述湿度指示层中的氯化钴为无水氯化钴晶体或氯化钴试纸。
6.根据权利要求1所述的水管，其特征在于：所述水管为褶皱管，包括至少两个互相连接的褶皱单元；其中，所述褶皱单元的两端为最小内径，中间为最大内径，所述水管的最大内径为9mm～11mm，所述水管的最小内径为5mm～7mm；所述水管管壁的厚度为0.9mm～1.1mm，所述湿度指示剂层的厚度为0.1mm。
7.一种漏水侦测系统，适于涂胶显影机，所述涂胶显影机包括机台控制按钮、两根光刻胶输送管道和固定所述光刻胶输送管道的固定装置，其特征在于，所述漏水侦测系统至少包括：
水管，所述水管的管壁为三层结构，包括内层、中间层和外层；其中，所述内层和外层均为透明防水层，中间层为湿度指示剂层；
所述水管为褶皱管，包括至少两个互相连接的褶皱单元；其中，所述褶皱单元的两端为所述水管的最小内径，中间为所述水管的最大内径；所述褶皱单元上设有一凹槽，所述凹槽的深度为所述水管的最大内径和最小内径之差；各褶皱单元上的所述凹槽互相连通为一列贯通的直槽；且所述凹槽的侧壁与所述管壁连为一体；
两根金属线缆，设置于所述直槽的底部，并互相平行；
漏水侦测报警器，所述漏水侦测报警器与所述两根金属线缆的一端连接，适于在侦测到有漏水情况时发出报警。
8.根据权利要求7所述的漏水侦测系统，其特征在于：所述固定装置内部还设有中空结构，所述漏水侦测系统包括两根水管，所述两根水管分别套置于所述两根光刻胶输送管道外围，且一端置于所述中空结构内。
9.根据权利要求7或8所述的水管，其特征在于：所述透明防水层为聚四氟乙烯层。
10.根据权利要求7或8所述的水管，其特征在于：所述湿度指示层中包括氯化钴、溴化钴、碘化钴、硫酸钴、硫氰酸钴、氯化铜、碘化铜或硫酸铜中的一种。
11.根据权利要求10所述的水管，其特征在于：所述湿度指示层中包括氯化钴。
12.根据权利要求11所述的水管，其特征在于：所述湿度指示层中的氯化钴为无水氯化钴晶体或氯化钴试纸。
13.根据权利要求7或8所述的水管，其特征在于：所述水管的最大内径为9 mm～11mm，所述水管的最小内径为5mm～7mm，所述水管管壁的厚度为0.9mm～1.1mm，所述湿度指示剂层的厚度为0.1mm。
14.根据权利要求7或8所述的漏水侦测系统，其特征在于：所述两金属线缆为柔性扁平线缆，所述两柔性扁平线缆的间距为1.2mm～1.3mm。
15.根据权利要求7或8所述的漏水侦测系统，其特征在于：所述两金属线缆包括金属线和包裹在所述金属线外的绝缘层，所述绝缘层上设置有若干个开口，以露出里面的金属线。
16.根据权利要求15所述的漏水侦测系统，其特征在于：所述绝缘层为塑料包层。
17.根据权利要求7或8所述的漏水侦测系统，其特征在于：还包括一制动装置，所述制动装置设置于所述机台控制按钮旁边，并与所述漏水侦测报警器电连接，所述制动装置和漏水侦测报警器之间设置一开关单元；所述制动装置至少包括：
电磁铁，所述电磁铁包括第一铁芯和绕置于所述第一铁芯表面的金属线圈；其中，所述第一铁芯设有通孔；
固定单元，设置于所述电磁铁远离机台控制按钮的一端，适于固定所述第一铁芯；
弹性单元，设置于所述第一铁芯的通孔内，一端固定于所述固定单元上，另一端为非固定端；
第二铁芯，置于所述通孔内，且一端与所述弹性单元的非固定端相连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420471747.0U CN204005277U (zh) | 2014-08-20 | 2014-08-20 | 水管和漏水侦测系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420471747.0U CN204005277U (zh) | 2014-08-20 | 2014-08-20 | 水管和漏水侦测系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204005277U true CN204005277U (zh) | 2014-12-10 |
Family
ID=52045278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420471747.0U Expired - Fee Related CN204005277U (zh) | 2014-08-20 | 2014-08-20 | 水管和漏水侦测系统 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN204005277U (zh) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN106287098A (zh) * | 2016-10-28 | 2017-01-04 | 长沙南方宇航环境工程有限公司 | 显示泄漏点加药管和防喷溅加药管 |
| CN107324437A (zh) * | 2017-08-16 | 2017-11-07 | 无锡市凡宇水处理机械制造有限公司 | 具备漏水检测功能的过滤管 |
| CN111140989A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-05-12 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种带漏水检测及保护的除湿机水箱结构及除湿机 |
| CN111175309A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-05-19 | 苏州新美达探伤器材有限公司 | 一种管道漏水检测剂及其制备方法 |
-
2014
- 2014-08-20 CN CN201420471747.0U patent/CN204005277U/zh not_active Expired - Fee Related
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