CN218465997U - 一种晶体炉晶杆防抖装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶体生长设备技术领域，尤其涉及一种晶体炉晶杆防抖装置。其技术方案包括：转轴，所述转轴的底端中心位置开设有安装槽，所述安装槽内安装有籽晶杆，所述转轴的底端外壁两侧均均通过第一连接杆与第一连接板连接，所述第一连接杆的外壁中心位置开设有第一通孔，所述第一通孔内安装有拉杆，所述拉杆的一端安装有压板，所述压板的另一侧外壁安装有定位柱，所述定位柱的另一端穿过第一定位孔并安装在第二定位孔内，所述压板与第一连接板之间设置有第一弹簧。本实用新型不仅便于对籽晶杆进行安装拆卸，还可以对籽晶杆起到有效的防抖作用，提高了引晶工作的工作效率及操作性，并极大的提升了成品的品质，实用性强。

Description

一种晶体炉晶杆防抖装置

技术领域

本实用新型涉及晶体生长设备技术领域，具体为一种晶体炉晶杆防抖装置。

背景技术

大规模集成电路、高频电子器件、光电器件，甚至军品级集成模块，都离不开高品质的单晶材料。提拉法生长晶体，其生长周期短，生产效率高，是目前最常用的晶体生长方式。提拉法的基本原理是将原料在坩埚中加热溶化，缓慢将籽晶与熔体接触，通过精确控制温度和晶体的拉速与转速，使得固液界面处熔体不断凝固而生长出晶体。晶体生长过程中，籽晶安装在籽晶杆下端头，籽晶需要接触到材料的熔体中心并稳定的旋转及上升，晶体生长过程中固液界面的相对稳定性对于获得高质量的晶体尤为关键。籽晶的提拉和旋转通过籽晶杆的升降和旋转来实现，籽晶杆运动的稳定性直接影响晶体的生长质量。

经检索，专利公告号为CN109371460A公开一种籽晶杆的可调式稳定装置，套装于晶体生长炉内的籽晶杆上，关键在于：包括套装在籽晶杆上的胀紧套，胀紧套外周面上均布有3-6根螺杆，每个螺杆上螺纹连接有旋套，旋套的顶端设置有滚珠，滚珠与圆筒形炉腔内壁接触形成籽晶杆的支撑、稳定结。

目前籽晶杆进行机械运动时，顶端传动、连接装置的细微震动通过籽晶杆传导到籽晶处时，会导致籽晶摆动，影响籽晶在熔体中的稳定性及旋转同心度，使得籽晶扰乱所接触熔体的局部热场和温度梯度，对引晶产生很大的影响，从而影响晶体生长的质量，甚至无法生长出合格的单晶，而且不便于工作人员对籽晶杆进行拆装，为此我们提出一种晶体炉晶杆防抖装置来解决现有的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶体炉晶杆防抖装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶体炉晶杆防抖装置，包括转轴，所述转轴的底端中心位置开设有安装槽，所述安装槽内安装有籽晶杆，所述转轴的底端外壁两侧均通过第一连接杆与第一连接板连接，所述第一连接杆的外壁中心位置开设有第一通孔，所述第一通孔内安装有拉杆，所述拉杆的一端安装有压板，所述压板的另一侧外壁安装有定位柱，所述定位柱的另一端穿过第一定位孔并安装在第二定位孔内，所述压板与第一连接板之间设置有第一弹簧，且第一弹簧套设在拉杆的外壁外侧，所述籽晶杆的外壁上安装有防抖机构，所述防抖机构包括第三连接板、第四连接板、连接轴、移动轮、第二连接杆、限位板、限位柱、第二弹簧、第五连接板、阻尼橡胶套、安装块、轴承、第二通孔和螺纹孔。

通过防抖机构等一系列结构的配合设置，当籽晶杆进行机械运动时，防抖机构上的第二弹簧、阻尼橡胶套等一系列结构的配合设置可以对籽晶杆起到缓冲减震的作用，从而本实用新型可以对籽晶杆起到有效的防抖作用，提高了引晶工作的工作效率及操作性，提高了籽晶杆进行机械运动时的稳定性，并极大的提升了成品的品质，通过定位柱、第一定位孔、拉环、拉杆、第一弹簧等一系列结构的配合设置，工作人员需要对籽晶杆进行拆装时，工作人员拉动拉环并使得定位柱从第一定位孔和第二定位孔内移出即可对籽晶杆进行拆装操作，从而本实用新型便于对籽晶杆进行安装拆卸，操作简单，提高了工作效率，实用性强。

优选的，所述籽晶杆的外壁与安装槽的槽壁之间为间隙连接，所述拉杆的外壁与第一通孔的孔壁之间为间隙连接。

优选的，所述拉杆的另一端安装有第二连接板，所述第二连接板的另一侧外壁上安装有拉环。

优选的，所述定位柱的外壁与第一定位孔和第二定位孔的孔壁之间均为间隙连接，所述第一定位孔开设在转轴的外壁两侧，所述第二定位孔开设在籽晶杆的外壁两侧。

优选的，所述安装块的四个外表面均安装有限位柱，所述限位柱的另一端穿过阻尼橡胶套与限位板连接，所述限位柱的另一端外壁上设置有外螺纹，所述限位板的外壁上开设有螺纹孔，所述限位柱外壁上的外螺纹与限位板上的螺纹孔之间为螺纹啮合连接。

优选的，所述阻尼橡胶套设置在通孔的孔壁上，所述通孔开设在第五连接板的外壁上，所述安装块与第五连接板之间设置有第二弹簧，且第二弹簧套设在限位柱的外壁外侧，所述第五连接板通过第二连接杆与第三连接板连接，所述第三连接板的外壁上安装有第四连接板。

优选的，所述第四连接板两两相邻之间设置有移动轮，所述移动轮两侧外壁上的连接轴均安装在第四连接板外壁上的轴承内，所述安装块的端壁中心位置设置有轴承，且籽晶杆安装在安装块上的轴承内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过防抖机构等一系列结构的配合设置，当籽晶杆进行继续运动时，防抖机构上的第二弹簧、阻尼橡胶套等一系列结构的配合设置可以对籽晶杆起到缓冲减震的作用，从而本实用新型可以对籽晶杆起到有效的防抖作用，提高了引晶工作的工作效率及操作性，提高了籽晶杆进行机械运动时的稳定性，并极大的提升了成品的品质。

2、本实用新型通过定位柱、第一定位孔、拉环、拉杆、第一弹簧等一系列结构的配合设置，工作人员需要对籽晶杆进行拆装时，工作人员拉动拉环并使得定位柱从第一定位孔和第二定位孔内移出即可对籽晶杆进行拆装操作，从而本实用新型便于对籽晶杆进行安装拆卸，操作简单，提高了工作效率，实用性强。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型防抖机构的俯视图；

图3为本实用新型图1中的A处局部放大结构示意图。

图中：1、转轴；2、安装槽；3、压板；4、定位柱；5、籽晶杆；6、第一连接板；7、拉环；8、第二连接板；9、第一弹簧；10、第一连接杆；11、防抖机构；1101、第三连接板；1102、第四连接板；1103、连接轴；1104、移动轮；1105、第二连接杆；1106、限位板；1107、限位柱；1108、第二弹簧；1109、第五连接板；1110、阻尼橡胶套；1111、安装块；1112、轴承； 1113、第二通孔；1114、螺纹孔；12、拉杆；13、第一定位孔；14、第二定位孔；15、第一通孔。

具体实施方式

下文结合附图和具体实施例对本实用新型的技术方案做进一步说明。

实施例一

如图1-3所示，本实用新型提出的一种晶体炉晶杆防抖装置，包括转轴1，转轴1的底端中心位置开设有安装槽2，安装槽2内安装有籽晶杆5，转轴1 的底端外壁两侧均通过第一连接杆10与第一连接板6连接，第一连接杆10 的外壁中心位置开设有第一通孔15，第一通孔15内安装有拉杆12，拉杆12 的一端安装有压板3，压板3的另一侧外壁安装有定位柱4，定位柱4的另一端穿过第一定位孔13并安装在第二定位孔14内，压板3与第一连接板6之间设置有第一弹簧9，且第一弹簧9套设在拉杆12的外壁外侧，籽晶杆5的外壁上安装有防抖机构11，防抖机构11包括第三连接板1101、第四连接板 1102、连接轴1103、移动轮1104、第二连接杆1105、限位板1106、限位柱 1107、第二弹簧1108、第五连接板1109、阻尼橡胶套1110、安装块1111、轴承1112、第二通孔1113和螺纹孔1114。

基于实施例一的晶体炉晶杆防抖装置工作原理是：当籽晶杆5进行继续运动时，防抖机构11上的第二弹簧1108、阻尼橡胶套1110等一系列结构的配合设置可以对籽晶杆5起到缓冲减震的作用，从而本实用新型可以对籽晶杆5起到有效的防抖作用，提高了引晶工作的工作效率及操作性，提高了籽晶杆5进行机械运动时的稳定性，并极大的提升了成品的品质，工作人员需要对籽晶杆5进行拆装时，工作人员拉动拉环7并使得定位柱4从第一定位孔13和第二定位孔14内移出即可对籽晶杆5进行拆装操作，从而本实用新型便于对籽晶杆5进行安装拆卸，操作简单，提高了工作效率，实用性强。

实施例二

如图1-3所示，本实用新型提出的一种晶体炉晶杆防抖装置，相较于实施例一，本实施例还包括：籽晶杆5的外壁与安装槽2的槽壁之间为间隙连接，拉杆12的外壁与第一通孔15的孔壁之间为间隙连接，拉杆12的另一端安装有第二连接板8，第二连接板8的另一侧外壁上安装有拉环7，定位柱4 的外壁与第一定位孔13和第二定位孔14的孔壁之间均为间隙连接，第一定位孔13开设在转轴1的外壁两侧，第二定位孔14开设在籽晶杆5的外壁两侧，安装块1111的四个外表面均安装有限位柱1107，限位柱1107的另一端穿过阻尼橡胶套1110与限位板1106连接，限位柱1107的另一端外壁上设置有外螺纹，限位板1106的外壁上开设有螺纹孔1114，限位柱1107外壁上的外螺纹与限位板1106上的螺纹孔1114之间为螺纹啮合连接，阻尼橡胶套1110 设置在通孔的孔壁上，通孔开设在第五连接板1109的外壁上，安装块1111 与第五连接板1109之间设置有第二弹簧1108，且第二弹簧1108套设在限位柱1107的外壁外侧，第五连接板1109通过第二连接杆1105与第三连接板1101 连接，第三连接板1101的外壁上安装有第四连接板1102，第四连接板1102 两两相邻之间设置有移动轮1104，移动轮1104两侧外壁上的连接轴1103均安装在第四连接板1102外壁上的轴承1112内，安装块1111的端壁中心位置设置有轴承1112，且籽晶杆5安装在安装块1111上的轴承1112内。

本实施例中，因籽晶杆5的外壁与安装槽2的槽壁之间为间隙连接，定位柱4的外壁与第一定位孔13和第二定位孔14的孔壁之间均为间隙连接，从而便于对籽晶杆5进行拆装，因限位柱1107外壁上的外螺纹与限位板1106 上的螺纹孔1114之间为螺纹啮合连接，从而便于工作人员对第二弹簧1108 进行拆装更换，移动轮1104的设置，移动轮1104与晶体炉的炉颈的内壁相接触，移动轮1104可以起到移动导向的作用。

上述具体实施例仅仅是本实用新型的几种优选的实施例，基于本实用新型的技术方案和上述实施例的相关启示，本领域技术人员可以对上述具体实施例做出多种替代性的改进和组合。

Claims (7)

1.一种晶体炉晶杆防抖装置，包括转轴(1)，其特征在于：所述转轴(1)的底端中心位置开设有安装槽(2)，所述安装槽(2)内安装有籽晶杆(5)，所述转轴(1)的底端外壁两侧均通过第一连接杆(10)与第一连接板(6)连接，所述第一连接杆(10)的外壁中心位置开设有第一通孔(15)，所述第一通孔(15)内安装有拉杆(12)，所述拉杆(12)的一端安装有压板(3)，所述压板(3)的另一侧外壁安装有定位柱(4)，所述定位柱(4)的另一端穿过第一定位孔(13)并安装在第二定位孔(14)内，所述压板(3)与第一连接板(6)之间设置有第一弹簧(9)，且第一弹簧(9)套设在拉杆(12)的外壁外侧，所述籽晶杆(5)的外壁上安装有防抖机构(11)，所述防抖机构(11)包括第三连接板(1101)、第四连接板(1102)、连接轴(1103)、移动轮(1104)、第二连接杆(1105)、限位板(1106)、限位柱(1107)、第二弹簧(1108)、第五连接板(1109)、阻尼橡胶套(1110)、安装块(1111)、轴承(1112)、第二通孔(1113)和螺纹孔(1114)。

2.根据权利要求1所述的一种晶体炉晶杆防抖装置，其特征在于：所述籽晶杆(5)的外壁与安装槽(2)的槽壁之间为间隙连接，所述拉杆(12)的外壁与第一通孔(15)的孔壁之间为间隙连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶体炉晶杆防抖装置，其特征在于：所述拉杆(12)的另一端安装有第二连接板(8)，所述第二连接板(8)的另一侧外壁上安装有拉环(7)。

4.根据权利要求1所述的一种晶体炉晶杆防抖装置，其特征在于：所述定位柱(4)的外壁与第一定位孔(13)和第二定位孔(14)的孔壁之间均为间隙连接，所述第一定位孔(13)开设在转轴(1)的外壁两侧，所述第二定位孔(14)开设在籽晶杆(5)的外壁两侧。

5.根据权利要求1所述的一种晶体炉晶杆防抖装置，其特征在于：所述安装块(1111)的四个外表面均安装有限位柱(1107)，所述限位柱(1107) 的另一端穿过阻尼橡胶套(1110)与限位板(1106)连接，所述限位柱(1107)的另一端外壁上设置有外螺纹，所述限位板(1106)的外壁上开设有螺纹孔(1114)，所述限位柱(1107)外壁上的外螺纹与限位板(1106)上的螺纹孔(1114)之间为螺纹啮合连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶体炉晶杆防抖装置，其特征在于：所述阻尼橡胶套(1110)设置在通孔的孔壁上，所述通孔开设在第五连接板(1109)的外壁上，所述安装块(1111)与第五连接板(1109)之间设置有第二弹簧(1108)，且第二弹簧(1108)套设在限位柱(1107)的外壁外侧，所述第五连接板(1109)通过第二连接杆(1105)与第三连接板(1101)连接，所述第三连接板(1101)的外壁上安装有第四连接板(1102)。

7.根据权利要求1所述的一种晶体炉晶杆防抖装置，其特征在于：所述第四连接板(1102)两两相邻之间设置有移动轮(1104)，所述移动轮(1104)两侧外壁上的连接轴(1103)均安装在第四连接板(1102)外壁上的轴承(1112)内，所述安装块(1111)的端壁中心位置设置有轴承(1112)，且籽晶杆(5)安装在安装块(1111)上的轴承(1112)内。

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