CN218465925U - 一种蒸发舟以及真空镀膜设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，公开了一种蒸发舟以及真空镀膜设备。所述蒸发舟包括第一舟部以及两个第二舟部，第一舟部沿蒸发舟的长度方向延伸设置，两个第二舟部分别连接于第一舟部的两端，第二舟部在蒸发舟的宽度方向上的两侧分别伸出于第一舟在蒸发舟的宽度方向上的两侧，第一舟部上形成有用于容纳金属蒸发液的第一蒸发池，第一蒸发池沿蒸发舟的长度方向延伸设置。本实用新型中通过在第一舟部的两端设置第二舟部，并且第二舟部在蒸发舟的宽度方向上的两侧分别伸出于第一舟部在蒸发舟的宽度方向上的两侧，从而使该蒸发舟与电极板的接触面积较大，便于蒸发舟与电极板之间传递热量，有利于金属蒸发液的延展，提高镀膜的均匀性以及镀膜效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，具体地涉及一种蒸发舟以及真空镀膜设备。
背景技术
真空蒸发镀膜技术的工作原理是在真空条件下通过加热蒸发源，使蒸发源中的金属汽化蒸发，蒸汽原子或分子沉积到基片上凝结后形成薄膜。现有技术中通常是在蒸发舟的两端接入电源作为蒸发源的主要结构形式。目前大多数蒸发舟是将舟的顶壁或在舟的顶壁设计凹槽作为蒸发池，蒸镀金属在蒸发池内完成蒸发。
蒸发舟是蒸发源的重要工作部件，通常用于真空镀膜设备中。金属蒸镀过程中，通过电流加热蒸发舟，送丝机构将金属丝送至蒸发舟顶壁，蒸发舟将金属丝汽化为金属蒸汽，气态粒子附着在衬底层表面形成金属镀层。蒸发舟的好坏对金属镀层的镀膜均匀性、成膜质量等参数有着重要影响。
然而，在真空镀膜设备生产薄膜的过程中，由于流经蒸发舟的电流密度较小，导致蒸发舟温度较低，进而导致镀膜效率较低。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的镀膜效率低的问题，提供一种蒸发舟，该蒸发舟具有能够提高真空蒸镀设备镀膜效率的优点。
为了实现上述目的，本实用新型提供一种蒸发舟，包括第一舟部以及两个第二舟部，所述第一舟部沿所述蒸发舟的长度方向延伸设置，两个所述第二舟部分别连接于所述第一舟部的两端，所述第二舟部在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧分别伸出于所述第一舟部在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧，所述第一舟部上形成有用于容纳金属蒸发液的第一蒸发池，所述第一蒸发池沿所述蒸发舟的长度方向延伸设置。
可选地，所述第二舟部上形成有第二蒸发池，所述第二蒸发池与所述第一蒸发池连通，所述第二蒸发池在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧分别伸出于所述第一蒸发池在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧。
可选地，所述第一蒸发池与所述第二蒸发池的深度相同。
可选地，所述第一蒸发池在所述蒸发舟的宽度方向上的延伸长度为8mm至15mm，所述第二蒸发池在所述蒸发舟的宽度方向上的延伸长度为25mm至35mm。
可选地，所述第一蒸发池与所述第二蒸发池的深度均为1mm至5mm。
可选地，所述第二蒸发池包括相邻的第一内侧面，所述相邻的第一内侧面的连接处设置有圆角。
可选地，所述第一蒸发池包括第二内侧面，所述第二内侧面与所述第一内侧面的连接处设置有圆角。
可选地，所述蒸发舟包括顶壁和底壁，所述第二舟部包括外侧壁，所述外侧壁沿所述蒸发舟的长度方向延伸设置，所述外侧壁从所述顶壁竖直向下地延伸至所述底壁。
可选地，所述第二舟部具有矩形截面。
可选地，所述蒸发舟包括顶壁和底壁，所述第二舟部包括外侧壁，所述外侧壁沿所述蒸发舟的长度方向延伸设置，所述外侧壁从所述顶壁倾斜向内地延伸至所述底壁。
可选地，所述第二舟部具有上宽下窄的梯形截面。
可选地，所述蒸发舟包括顶壁和底壁，所述第二舟部包括第一外侧壁和第二外侧壁，所述第一外侧壁从所述顶壁竖直向下延伸设置，所述第二外侧壁从所述第一外侧壁倾斜向内地延伸至所述底壁。
可选地，所述蒸发舟的材质包括二硼化钛和氮化硼。
可选地，所述蒸发舟的材质还包括氮化铝、氧化铝、氧化锆、碳化钨、碳化硅、氮化硅中的一种或多种。
本实用新型还提供一种真空镀膜设备，该真空镀膜设备包括上述的蒸发舟。
通过上述技术方案，本实用新型中通过在第一舟部的两端设置第二舟部，并且第二舟部在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧分别伸出于所述第一舟部在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧，从而使得该蒸发舟与电极板的接触面积较大，便于蒸发舟与电极板之间的固定以及传递热量，有利于金属蒸发液的延展，提高镀膜的均匀性以及镀膜效率。
附图说明
图1是本实用新型中蒸发舟的一种实施方式的立体图；
图2是图1中蒸发舟的俯视图；
图3是图1中蒸发舟的左视图；
图4是本实用新型中蒸发舟的另一种实施方式的左视图；
图5是本实用新型中蒸发舟的再一种实施方式的左视图。
附图标记说明
10-第一舟部；11-第一蒸发池；20-第二舟部；21-第二蒸发池；41-顶壁；42-第一外侧壁；43-底壁；44-第二外侧壁；45-外侧壁。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。在本实用新型中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”通常是指参照附图所示的方位，“内、外”是指参照各部件本身轮廓的内、外。
本实用新型一方面提供一种蒸发舟，参考图1和图2，所述蒸发舟包括第一舟部10以及两个第二舟部20，所述第一舟部10沿所述蒸发舟的长度方向延伸设置，两个所述第二舟部20分别连接于所述第一舟部10的两端，所述第二舟部20在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧分别伸出于所述第一舟部10在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧，所述第一舟部10上形成有用于容纳金属蒸发液的第一蒸发池11，所述第一蒸发池11沿所述蒸发舟的长度方向延伸设置。
本实用新型中通过在第一舟部10的两端设置第二舟部20，并且第二舟部20在蒸发舟的宽度方向上的两侧分别伸出于所述第一舟部10在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧，从而使得该蒸发舟与电极板的接触面积较大，有利于电流集中通过第一蒸发池11，并且便于蒸发舟与电极板之间的固定以及传递热量，降低蒸发舟使用时消耗的能量以及热量损失。此外，由于第一舟部10上形成有第一蒸发池11，第一蒸发池11在所述蒸发舟的宽度方向上尺寸较窄，有利于金属蒸发液的延展并在第一蒸发池11内均匀地铺满，进而提高蒸发舟的润湿性，减少金属液的飞溅，提高镀膜的均匀性以及镀膜效率。
需要说明的是，在使用时，电极板连接于所述蒸发舟在长度方向上间隔设置的两个侧面(即图2所示的左右两个侧面)。
参照图1和图2，所述第二舟部20上形成有第二蒸发池21，所述第二蒸发池21与所述第一蒸发池11连通，所述第二蒸发池21在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧分别伸出于所述第一蒸发池11在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧。在该实施方式中，由于第二蒸发池21在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧分别伸出于所述第一蒸发池11在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧，使得第二蒸发池21在蒸发舟的宽度方向上的尺寸大于第一蒸发池11在蒸发舟的宽度方向上的尺寸，进而使得第一蒸发池11与两个第二蒸发池21形成的组合蒸发池具有较大的容积，能够容纳较多的金属蒸发液，相比于容积较小的蒸发池，更能够防止金属蒸发液溢出至蒸发舟的顶壁41(参见图3-图5)，从而避免温度较低的金属蒸发液与温度较高的顶壁41接触后造成金属液的飞溅，进而导致镀膜不均，甚至薄膜烧穿形成孔洞。本实用新型的组合蒸发池内的金属蒸发液在蒸发过程中能够带走蒸发舟的热量，使得与金属蒸发液接触的蒸发舟的温度低于没有与金属蒸发液接触的蒸发舟的温度。
在本实用新型的一种实施方式中，所述第一蒸发池11与所述第二蒸发池21的深度可以相同。第一蒸发池11和第二蒸发池21优选为具有较浅的深度，这样金属蒸发液更容易铺满，有利于提高镀膜效率以及镀膜的均匀性。其中，第一蒸发池11和第二蒸发池21的深度优选为1mm至5mm。
在本实用新型的一种实施方式中，为了提高蒸发器皿的润湿性，优化蒸发器皿的温场分布，所述第一蒸发池11在所述蒸发舟的宽度方向上的延伸长度可以为8mm至15mm，所述第二蒸发池21的在所述蒸发舟的宽度方向上的延伸长度可以为25mm至35mm。
此外，所述第二蒸发池21包括相邻的第一内侧面，所述相邻的第一内侧面的连接处可设置有圆角。所述第一蒸发池11包括第二内侧面，可以在第二内侧面与第一内侧面的连接处设置有圆角，从而减少金属蒸发液在蒸发池的拐角处的堆积，提高金属蒸发液的流动性。
在本实用新型的一种实施方式中，为了便于蒸发舟的制作，所述蒸发舟包括顶壁41和底壁43，所述第二舟部20包括沿蒸发舟长度方向延伸的外侧壁45，所述外侧壁45从所述顶壁41竖直向下地延伸至所述底壁43。其中，优选地，所述第二舟部20具有矩形截面(如图5所示)。
在本实用新型的另一种实施方式中，所述蒸发舟包括顶壁41和底壁43，所述第二舟部20包括沿蒸发舟长度方向延伸的外侧壁45，所述外侧壁45由所述顶壁41倾斜向内地延伸至所述底壁43。其中，优选地，所述第二舟部20具有上宽下窄的梯形截面(如图4所示)。该实施方式在不减少蒸发池的蒸发面积的前提下，通过减少蒸发舟的体积，从而降低了加热蒸发舟所消耗的能源。
在本实用新型的又一种实施方式中，为了降低加热蒸发舟的所消耗的能源，如图3所示，所述蒸发舟包括顶壁41和底壁43，所述第二舟部20包括第一外侧壁42和第二外侧壁44，所述第一外侧壁42从所述顶壁41竖直向下延伸设置，所述第二外侧壁44从所述第一外侧壁42倾斜向内地延伸至所述底壁43。
在本实用新型的一种实施方式中，所述蒸发舟的材质包括二硼化钛和氮化硼。优选地，所述蒸发舟的材质还可以包括氮化铝、氧化铝、氧化锆、碳化钨、碳化硅、氮化硅中的一种或多种。
本实用新型第二方面提供一种真空镀膜设备，包括上述的蒸发舟。该真空镀膜设备与上述的蒸发舟相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。
以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于此。在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，包括各个具体技术特征以任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。但这些简单变型和组合同样应当视为本实用新型所公开的内容，均属于本实用新型的保护范围。
Claims (9)
1.一种蒸发舟，其特征在于，包括第一舟部(10)以及两个第二舟部(20)，所述第一舟部(10)沿所述蒸发舟的长度方向延伸设置，两个所述第二舟部(20)分别连接于所述第一舟部(10)的两端，所述第二舟部(20)在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧分别伸出于所述第一舟部(10)在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧，所述第一舟部(10)上形成有用于容纳金属蒸发液的第一蒸发池(11)，所述第一蒸发池(11)沿所述蒸发舟的长度方向延伸设置。
2.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，所述第二舟部(20)上形成有第二蒸发池(21)，所述第二蒸发池(21)与所述第一蒸发池(11)连通，所述第二蒸发池(21)在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧分别伸出于所述第一蒸发池(11)在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧。
3.根据权利要求2所述的蒸发舟，其特征在于，所述第一蒸发池(11)与所述第二蒸发池(21)的深度相同；
并且/或者，所述第一蒸发池(11)在所述蒸发舟的宽度方向上的延伸长度为8mm至15mm，所述第二蒸发池(21)在所述蒸发舟的宽度方向上的延伸长度为25mm至35mm。
4.根据权利要求2所述的蒸发舟，其特征在于，所述第一蒸发池(11)与所述第二蒸发池(21)的深度均为1mm至5mm；
并且/或者，所述第二蒸发池(21)包括相邻的第一内侧面，所述相邻的第一内侧面的连接处设置有圆角。
5.根据权利要求4所述的蒸发舟，其特征在于，所述第一蒸发池(11) 包括第二内侧面，所述第二内侧面与所述第一内侧面的连接处设置有圆角。
6.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，所述蒸发舟包括顶壁(41)和底壁(43)，所述第二舟部(20)包括外侧壁(45)，所述外侧壁(45)沿所述蒸发舟的长度方向延伸设置，其中：所述外侧壁(45)从所述顶壁(41)竖直向下地延伸至所述底壁(43)，或者所述外侧壁(45)从所述顶壁(41)倾斜向内地延伸至所述底壁(43)。
7.根据权利要求6所述的蒸发舟，其特征在于，所述第二舟部(20)具有矩形截面或者上宽下窄的梯形截面。
8.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，所述蒸发舟包括顶壁(41)和底壁(43)，所述第二舟部(20)包括第一外侧壁(42)和第二外侧壁(44)，所述第一外侧壁(42)从所述顶壁(41)竖直向下延伸设置，所述第二外侧壁(44)从所述第一外侧壁(42)倾斜向内地延伸至所述底壁(43)。
9.一种真空镀膜设备，其特征在于，所述真空镀膜设备包括根据权利要求1-8中任意一项所述的蒸发舟。
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