CN218395052U - 夹具及清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种夹具及清洗装置，所述夹具用于固定钢嘴，所述夹具包括：固定板、第一限位板，所述固定板上开设有至少一个安装槽，所述钢嘴安装于所述安装槽；所述第一限位板可滑动地设置在所述固定板上，且适于在敞开所述安装槽的敞开位置和在所述安装槽外限位所述钢嘴的限位位置之间切换。由此，通过设置固定板并在固定板上开设间隔设置的安装槽，能够将钢嘴固定在固定板上，且能够避免多个钢嘴发生磕碰或摩擦，从而能够避免钢嘴受损，延长了钢嘴的使用寿命；通过设置第一限位板并将第一限位板可滑动地设置在固定板开设安装槽的一侧，便于安装或拆卸钢嘴，提高了便利性，并且能够限定钢嘴的位置，防止固定板移动过程中钢嘴侧翻掉落。

Description

夹具及清洗装置

技术领域

本实用新型涉及半导体键合工具技术领域，尤其是涉及一种夹具及清洗装置。

背景技术

半导体键合工艺采用的键合工具具有钢嘴，随着键合次数的增加，钢嘴的加工部(钢嘴V槽或花纹端)极易出现铝屑堆积，会影响键合点外观的一致性，严重影响键合质量，因此，需要对钢嘴进行定期清洁，以保证其键合效果。

相关技术中，通常采用人工或清洗装置清洗的方式对钢嘴进行清洁，人工清洗在取放钢嘴的过程中会使钢嘴与清洗槽发生磕碰，且待清洗的钢嘴的数量较多，通常堆叠放置在清洗槽内，钢嘴与钢嘴之间也会发生磕碰，会对钢嘴造成损伤，还会由于堆叠放置造成清洗不充分，影响清洗效果及清洗效率；现有的清洗装置的结构较为复杂，且对钢嘴的固定性较差，钢嘴易从清洗装置上掉落，从而对钢嘴造成损伤。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种夹具，所述夹具能够更好地固定钢嘴，防止钢嘴掉落，提高钢嘴的安全性。

本实用新型进一步提出了一种采用上述夹具的清洗装置。

根据本实用新型实施例的夹具，所述夹具用于固定钢嘴，包括：固定板、第一限位板，所述固定板上开设有至少一个安装槽，所述钢嘴安装于所述安装槽；所述第一限位板可滑动地设置在所述固定板上，且适于在敞开所述安装槽的敞开位置和在所述安装槽外限位所述钢嘴的限位位置之间切换。

根据本实用新型实施例的夹具，通过设置固定板并在固定板上开设间隔设置的安装槽，能够将钢嘴固定在固定板上，且能够避免多个钢嘴发生磕碰或摩擦，从而能够避免钢嘴受损，延长了钢嘴的使用寿命；通过设置第一限位板并将第一限位板可滑动地设置在固定板开设安装槽的一侧，便于安装或拆卸钢嘴，提高了便利性，并且能够限定钢嘴的位置，防止固定板移动过程中钢嘴侧翻掉落。

在一些实施例中，所述固定板的两侧设置有滑槽，所述第一限位板包括：限位板部以及位于所述限位板部两侧的滑动板部，所述滑动板部的至少部分伸入所述滑槽，以与所述滑槽滑动配合。

具体地，所述夹具还包括：第二限位板，所述第二限位板与所述固定板相对设置，且所述第二限位板上具有限位孔，所述钢嘴的加工部穿设所述限位孔。

进一步地，所述第二限位板与所述固定板通过连接板连接，所述连接板上还设置有加强板。

进一步地，相邻的所述安装槽的间距为1.9mm～2.1mm。

根据本实用新型实施例的清洗装置，所述清洗装置用于清洗钢嘴，包括：清洗件、固定支架、上述实施例中任一项所述的夹具，所述清洗件具有清洗槽；所述固定支架设置于所述清洗槽外；所述夹具可拆卸地放置于所述固定支架，所述固定板的至少部分伸入所述清洗槽。

在一些实施例中，所述固定支架包括：位于所述清洗槽周侧的立柱、位于所述立柱上方的横梁和纵梁，所述纵梁上设置有用于放置所述夹具的放置槽。

具体地，所述固定板上还设置有固定臂，所述固定臂用于与所述固定支架连接。

进一步地，所述固定臂包括：第一板部和第二板部，所述第一板部的一端与所述固定板连接，另一端远离所述固定板延伸，所述第二板部的一端与所述第一板部的另一端连接，所述第二板部的自由端适于伸入所述放置槽。

在一些实施例中，所述清洗件构造为超声波清洗件。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型实施例的夹具的结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例的清洗装置的结构示意图；

图3是根据本实用新型实施例的安装槽与滑槽的结构示意图；

图4是根据本实用新型实施例的第二限位板的结构示意图。

附图标记：

清洗装置1000，

夹具100，

固定板10，安装槽11，滑槽12，固定臂13，第一板部131，第二板部132，

第一限位板20，限位板部21，滑动板部22，

第二限位板30，限位孔31，

连接板40，加强板50，

清洗件200，清洗槽210，

固定支架300，立柱310，横梁320，纵梁330，放置槽331。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考图1-图4描述根据本实用新型实施例的夹具100及清洗装置1000。

如图1所示，根据本实用新型实施例的夹具100，夹具100用于固定钢嘴，包括：固定板10和第一限位板20。

其中，固定板10上开设有至少一个安装槽11，钢嘴安装于安装槽11；第一限位板20可滑动地设置在固定板10上，且适于在敞开安装槽11的敞开位置和在安装槽11外限位钢嘴的限位位置之间切换。

具体而言，固定板10构造为矩形状的板状结构，固定板10的一侧开设有安装槽11，其中，安装槽11位于固定板10的下端，安装槽11由固定板10的一侧向与其相对的一侧凹陷，固定板10上开设有至少一个安装槽11，安装槽11间隔设置，每个安装槽11内可以放置一个钢嘴，钢嘴的一端与安装槽11的上端贴合，钢嘴的V槽或花纹端由安装槽11的下端伸出。

需要说明的是，夹具100的第一限位板20设置在固定板10上，其安装在固定板10设置安装槽11的一侧，第一限位板20可相对固定板10上下滑动，其向上滑动至安装槽11完全敞开时，第一限位板20位于敞开位置，此时，可将待清洗的钢嘴放入安装槽11内，当待清洗的钢嘴装入安装槽11后，可向下滑动第一限位板20，第一限位板20滑动至安装槽11区域时，第一限位板20位于限位位置，其能够挡住位于安装槽11内的钢嘴。

根据本实用新型实施例的夹具100，通过设置固定板10并在固定板10上开设间隔设置的安装槽11，能够将钢嘴固定在固定板10上，且能够避免多个钢嘴发生磕碰或摩擦，从而能够避免钢嘴受损，延长了钢嘴的使用寿命；通过设置第一限位板20并将第一限位板20可滑动地设置在固定板10开设安装槽11的一侧，便于安装或拆卸钢嘴，提高了便利性，并且能够限定钢嘴的位置，防止固定板10移动过程中钢嘴侧翻掉落。

如图1和图3所示，在一些实施例中，固定板10的两侧设置有滑槽12，第一限位板20包括：限位板部21以及位于限位板部21两侧的滑动板部22，滑动板部22的至少部分伸入滑槽12，以与滑槽12滑动配合。

具体而言，限位板部21与固定板10设置安装槽11的一侧正对，滑动板部22位于限位板部21的两侧且朝向固定板10弯折，当第一限位板20设置在固定板10上时，滑动板部22与固定板10两侧的滑槽12配合，第一限位板20可沿着滑槽12上下滑动，当滑动板部22滑动至滑槽12的顶端时，第一限位板20位于敞开位置；当滑动板部22滑动至滑槽12的底端时，第一限位板20位于限位位置。

这样设置，便于安装钢嘴，只需要将第一限位板20滑动至滑槽12的上端，安装槽11敞开可将钢嘴放入其中，再将第一限位板20滑动至滑槽12的底端，使第一限位板20挡住钢嘴即可，提高了安装的便捷性。

如图1和图4所示，具体地，夹具100还包括：第二限位板30，第二限位板30与固定板10相对设置，且第二限位板30上具有限位孔31，钢嘴的加工部(V槽或花纹端)穿设限位孔31。

需要说明的是，第二限位板30位于固定板10的下方，其与固定板10正对，第二限位板30上设有至少一个限位孔31，限位孔31的数量与安装槽11的数量一致，且限位孔31的位置与安装槽11的位置一一对应，当钢嘴放入安装槽11内时，钢嘴的加工部由安装槽11的下端伸出并穿设限位孔31，钢嘴的加工部为钢嘴的V槽或花纹端。这样设置，能够更好地固定钢嘴，防止钢嘴掉落损坏钢嘴的加工部。

如图1和图4所示，在一些实施例中，第二限位板30与固定板10通过连接板40连接，连接板40上还设置有加强板50。

具体而言，夹具100中包括两个连接板40，两个连接板40均竖直设置在固定板10与第二限位板30之间，连接板40的端部分别与第二限位板30及固定板10的两端连接，以连接第二限位板30与固定板10，连接板40上设置有加强板50，加强板50分别朝向另一侧连接板40延伸，这样能够加强第二限位板30与固定板10的连接强度，从而提高夹具100的稳固性。

具体地，相邻的安装槽11的间距为1.9mm～2.1mm。

需要说明的是，当固定板10上开设多个安装槽11时，相邻安装槽11之间的间距为1.9mm～2.1mm，将相邻安装槽11之间的间距设置在此范围内，能够在保证固定板10的结构强度的前提下，尽量在固定板10上开设多个安装槽11，这样，固定板10满载时可装有更多的钢嘴。

若相邻安装槽11之间的间距大于此范围，固定板10上开设的安装槽11的数量减少，固定板10满载时装有的钢嘴的数量减少；若相邻安装槽11之间的间距小于此范围，无法保证固定板10的结构强度。

如图2所示，根据本实用新型实施例的清洗装置1000，清洗装置1000用于清洗钢嘴，包括：清洗件200、固定支架300、上述实施例中任一项的夹具100。清洗件200具有清洗槽210；固定支架300设置于清洗槽210外；夹具100可拆卸地放置于固定支架300，固定板10的至少部分伸入清洗槽210。

具体而言，清洗件200位于固定支架300内，清洗件200具有清洗槽210，其位于清洗件200的上方，清洗槽210内可放置清洗液，清洗钢嘴时可将安装钢嘴的夹具100放置在固定支架300上，固定支架300上可同时放置多个夹具100，这样能够同时清洗更多数量的钢嘴。夹具100位于清洗件200上方，钢嘴垂直伸入清洗槽210中，所需的清洗液不需要没过整个钢嘴，只需没过钢嘴的加工部即可。

这样，在清洗过程中能够避免钢嘴与清洗槽210内壁的接触，从而能够避免磨损钢嘴的加工部，仅需将钢嘴的加工部浸入清洗液能够减少清洗液的使用量，节省了成本，同时清洗多个钢嘴能够缩短清洗时间，有效提升清洗效率。

如图2所示，在一些实施例中，固定支架300包括：位于清洗槽210周侧的立柱310、位于立柱310上方的横梁320和纵梁330，纵梁330上设置有用于放置夹具100的放置槽331。

具体而言，固定支架300构造为矩形状的框架结构，其位于清洗件200外部，固定支架300的立柱310位于清洗件200的外周，其竖直设置，立柱310的底端与清洗件200的底端位于同一平面，其可设置在地面或其它工作面上，立柱310的顶端向上延伸，其位于清洗件200的上方，固定支架300包括两个相对设置的横梁320与两个相对设置的纵梁330，其中，横梁320与纵梁330水平设置，且二者相互垂直，横梁320的两端分别与立柱310的顶端或纵梁330的两端连接，纵梁330的两端分别与横梁320的两端或立柱310的顶端连接。

夹具100可悬挂放置在固定支架300上，其与纵梁330上的放置槽331配合，可沿着纵梁330滑动，以调整夹具100在清洗槽210中的位置，且固定支架300的结构简单，便于将夹具100放置在固定支架300上或由固定支架300上取下，还能够避免固定在夹具100上的钢嘴与清洗槽210的内壁接触。

如图1所示，具体地，固定板10上还设置有固定臂13，固定臂13用于与固定支架300连接。固定臂13位于固定板10设置滑槽12的两侧上，其位于滑槽12的上方，且朝向远离固定板10的方向延伸，固定臂13搭设在纵梁330上，且部分固定臂13与放置槽331配合，这样设置，固定板10与固定支架300的连接方式简单，便于将固定板10安装在固定支架300上。

如图1所示，进一步地，固定臂13包括：第一板部131和第二板部132，第一板部131的一端与固定板10连接，另一端远离固定板10延伸，第二板部132的一端与第一板部131的另一端连接，第二板部132的自由端适于伸入放置槽331。

具体而言，固定臂13呈“L”形，第一板部131水平设置，其与固定板10设置滑槽12的一侧的上端连接，并且朝向远离固定板10的方向延伸，第二板部132与第一板部131垂直设置，其向下弯折，夹具100悬挂在固定支架300上时，第一板部131搭设在纵梁330上，第二板部132伸入放置槽331内，这样设置，固定臂13的结构简单，且便于固定臂13与放置槽331配合，从而实现夹具100在固定支架300的滑动。

在一些实施例中，清洗件200构造为超声波清洗件200。清洗槽210下方为超声波清洗件200，钢嘴的加工部伸入清洗槽210中，超声波清洗件200向钢嘴的加工部传导超声波，以进行超声波清洗，采用超声波清洗能够缩短清洗时间，提高清洗效率及清洗效果。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，“第一特征”、“第二特征”可以包括一个或者更多个该特征。

在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，第一特征在第二特征“之上”或“之下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。

在本实用新型的描述中，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种夹具，所述夹具用于固定钢嘴，其特征在于，包括：

固定板，所述固定板上开设有至少一个安装槽，所述钢嘴安装于所述安装槽；

第一限位板，所述第一限位板可滑动地设置在所述固定板上，且适于在敞开所述安装槽的敞开位置和在所述安装槽外限位所述钢嘴的限位位置之间切换。

2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述固定板的两侧设置有滑槽，所述第一限位板包括：限位板部以及位于所述限位板部两侧的滑动板部，所述滑动板部的至少部分伸入所述滑槽，以与所述滑槽滑动配合。

3.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，还包括：第二限位板，所述第二限位板与所述固定板相对设置，且所述第二限位板上具有限位孔，所述钢嘴的加工部穿设所述限位孔。

4.根据权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述第二限位板与所述固定板通过连接板连接，所述连接板上还设置有加强板。

5.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，相邻的所述安装槽的间距为1.9mm～2.1mm。

6.一种清洗装置，所述清洗装置用于清洗钢嘴，其特征在于，包括：

清洗件，所述清洗件具有清洗槽；

固定支架，所述固定支架设置于所述清洗槽外；

权利要求1-5中任一项所述的夹具，所述夹具可拆卸地放置于所述固定支架，所述固定板的至少部分伸入所述清洗槽。

7.根据权利要求6所述的清洗装置，其特征在于，所述固定支架包括：位于所述清洗槽周侧的立柱、位于所述立柱上方的横梁和纵梁，所述纵梁上设置有用于放置所述夹具的放置槽。

8.根据权利要求7所述的清洗装置，其特征在于，所述固定板上还设置有固定臂，所述固定臂用于与所述固定支架连接。

9.根据权利要求8所述的清洗装置，其特征在于，所述固定臂包括：第一板部和第二板部，所述第一板部的一端与所述固定板连接，另一端远离所述固定板延伸，所述第二板部的一端与所述第一板部的另一端连接，所述第二板部的自由端适于伸入所述放置槽。

10.根据权利要求6-9中任一项所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗件构造为超声波清洗件。

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