CN218372615U - 一种可提升换热效率的单晶炉水冷套 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种可提升换热效率的单晶炉水冷套，包括筒状本体，所述筒状本体包括外壁和内壁，所述外壁和内壁之间设有循环水道，用于冷却水循环，所述外壁和内壁之间设有隔层，所述隔层将所述循环水道分为内圈水道和外圈水道，所述冷却水从所述内圈水道进入，从所述外圈水道排出。本实用新型的有益效果是提升了水冷套的换热效率，加速水冷套对单晶硅棒的热量吸收，提高单晶的生长拉速，提升了单晶炉的产能。
Description
技术领域
本实用新型属于单晶炉技术领域，尤其是涉及一种可提升换热效率的单晶炉水冷套。
背景技术
随着直拉法制造单晶硅的各项工艺技术日益完善，硅片市场需求量日益增加，对单晶炉的产能提出更高的要求。单晶的生长拉速是限制单晶炉产能的主要因素。单晶炉内的水冷套用于对自动上升的单晶硅棒进行冷却，吸收硅棒表面的热量，使硅棒内应力及时释放，以提高单晶的生长拉速。
现有的水冷套内部通常使用螺旋管道，管道内部通入循环水进行冷却，水路较长，水流量较低，水冷套内部水路覆盖面积低，水路吸收单晶硅棒表面热量的同时受到套在水冷套外部的外导的热量辐射，导致水冷套的换热效率较低，影响水冷套对单晶硅棒的热量吸收，从而影响了单晶的生长拉速，制约单晶炉产能的提升。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种可提升换热效率的单晶炉水冷套，有效的解决了水冷套换热效率较低的问题，克服了现有技术的不足。
本实用新型采用的技术方案是：一种可提升换热效率的单晶炉水冷套，包括筒状本体，所述筒状本体包括外壁和内壁，所述外壁和内壁之间设有循环水道，用于冷却水循环，其特征在于：所述外壁和内壁之间设有隔层，所述隔层将所述循环水道分为内圈水道和外圈水道，所述冷却水从所述内圈水道进入，从所述外圈水道排出。
进一步，所述隔层平行于所述外壁或/和内壁设置。
进一步，所述隔层在水平方向上处于所述外壁和内壁的中部。
进一步，所述隔层顶部与所述筒体顶部连接，所述隔层底部与所述筒体底部之间设有进出水转化口。
进一步，所述隔层底部与所述筒体底部之间设有间隙，所述间隙形成所述进出水转化口。
进一步，所述进出水转化口的高度为5mm-25mm。
进一步，所述隔层的轴向高度相同。
进一步，所述内圈水道顶部设有至少一个进水管，所述外圈水道顶部设有至少一个出水管。
本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，提升了水冷套的换热效率，加速水冷套对单晶硅棒的热量吸收，提高单晶的生长拉速，提升了单晶炉的产能。
附图说明
图1是本实用新型实施例一种可提升换热效率的单晶炉水冷套的主视图。
图2是本实用新型实施例一种可提升换热效率的单晶炉水冷套的俯视图。
图中：
1、外壁 2、内壁 3、隔层
4、内圈水道 5、外圈水道 6、进出水转化口
7、进水管 8、出水管
具体实施方式
本实用新型实施例提供了一种可提升换热效率的单晶炉水冷套，下面结合附图对本实用新型的实施例做出说明。
如图1-2所示，本实用新型实施例一种可提升换热效率的单晶炉水冷套，包括筒状本体，筒状本体的形状不做限制，可以为竖直筒状本体，可以为上大下小的筒状本体，也可以为上小下大的筒状本体。筒状本体由外壁1和内壁2组成，外壁1和内壁2之间设有循环水道，用于冷却水循环。外壁1和内壁2之间设有隔层3，隔层3将循环水道分为内圈水道4和外圈水道5，冷却水从内圈水道4进入，从外圈水道5排出。
具体的，外壁1和内壁2平行设置时，隔层3平行外壁1和内壁2设置。外壁1和内壁2不平行时，隔层3平行于外壁1或者内壁2设置。
具体的，隔层3在水平方向上处于外壁1和内壁2的中间位置。
具体的，隔层3顶部与筒体顶部连接，隔层3底部与筒体底部之间设有进出水转化口6，冷却水从内圈水道4通过进出水转化口6进入外圈水道5进行循环。
具体的，为了便于冷却水快速通过进行循环，隔层3底部与筒体底部之间设有间隙，间隙形成进出水转化口6，冷却水从内圈水道4通过该间隙进入外圈水道5进行循环。
具体的，进出水转化口6的高度为5-25mm，即隔层3底部与筒体底部之间的距离为5-25mm。进出水转化口6过小会影响冷却水的快速排出，进出水转化口6过大易产生涡流，影响冷却水的循环。
具体的，为了使水冷套在同一水平面的散热均匀，隔层3的轴向高度相同。
具体的，内圈水道4顶部设置进水管7，外圈水道5顶部设有出水管8，进水管7和出水管8的数量不做限制。
实施例：一种可提升换热效率的单晶炉水冷套，包括筒状本体，筒状本体包括一体连接设置的上段部和下段部，上段部竖直设置，下段部靠近筒状本体中心轴线倾斜设置，倾斜夹角为20°。上段部高度小于下段部高度，上段部是筒状本体高度的1/5。筒状本体由外壁1和内壁2组成，外壁1和内壁2平行设置。外壁1和内壁2之间设有循环水道。外壁1和内壁2之间设有隔层3，隔层3平行于外壁1和内壁2设置，隔层3在水平方向上处于外壁1和内壁2中间，隔层3将循环水道分成内圈水道4和外圈水道5。隔层3顶部与筒体顶部连接，隔层3底部与筒体底部之间设有间隙作为进出水转化口6，隔层3底部平行于筒体底部，间隙的高度为10mm。在内圈水道4的顶部对称设有两个进水管7，在外圈水道5的顶部对称设有两个出水管8，冷去水从进水管7进入内圈水道4，通过进出水转化口6，进入外圈水道5，从出水管8排出，实现循环。
本实用新型具有的优点和积极效果是：
1.使水冷套内部充满循环水，增大水流面积，增加对单晶硅棒的热量吸收。
2.减少循环水在水冷套内部的水路长度，增大了冷却水的循环速度，提升循环效率。
3.外圈水道5阻挡了外导的热辐射，防止内圈水道4中的冷却水温度升高。
由于采用上述技术方案，提升了水冷套的换热效率，加速水冷套对单晶硅棒的热量吸收，提高单晶的生长拉速，提升了单晶炉的产能。
以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (8)
1.一种可提升换热效率的单晶炉水冷套，包括筒状本体，所述筒状本体包括外壁和内壁，所述外壁和内壁之间设有循环水道，用于冷却水循环，其特征在于：所述外壁和内壁之间设有隔层，所述隔层将所述循环水道分为内圈水道和外圈水道，所述冷却水从所述内圈水道进入，从所述外圈水道排出。
2.根据权利要求1所述的一种可提升换热效率的单晶炉水冷套，其特征在于：所述隔层平行于所述外壁或/和内壁设置。
3.根据权利要求1所述的一种可提升换热效率的单晶炉水冷套，其特征在于：所述隔层在水平方向上处于所述外壁和内壁的中部。
4.根据权利要求1所述的一种可提升换热效率的单晶炉水冷套，其特征在于：所述隔层顶部与所述筒状本体顶部连接，所述隔层底部与所述筒状本体底部之间设有进出水转化口。
5.根据权利要求4所述的一种可提升换热效率的单晶炉水冷套，其特征在于：所述隔层底部与所述筒状本体底部之间设有间隙，所述间隙形成所述进出水转化口。
6.根据权利要求5所述的一种可提升换热效率的单晶炉水冷套，其特征在于：所述进出水转化口的高度为5mm-25mm。
7.根据权利要求1所述的一种可提升换热效率的单晶炉水冷套，其特征在于：所述隔层的轴向高度相同。
8.根据权利要求1-7任一所述的一种可提升换热效率的单晶炉水冷套，其特征在于：所述内圈水道顶部设有至少一个进水管，所述外圈水道顶部设有至少一个出水管。
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- 2022-08-31 CN CN202222316134.7U patent/CN218372615U/zh active Active
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