CN218358140U - 一种半导体设备传送腔体的过滤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体设备传送腔体的过滤装置，包括密封壳，所述密封壳的前端凹槽内活动安装有密封盖板，此半导体设备传送腔体的过滤装置，区别于现有技术，利用密封件一、密封件二及其密封件三的设置，使得密封壳与密封盖板之间的连接密封性佳，不易产生泄漏的现象，其次，利用便捷式定位机构，能够方便对密封盖板与密封壳之间进行拆装，继而方便对滤网进行拆换或清理，使用较为方便，提高拆装的效率，极大地提高了生产效率，再者，利用活性炭材质的滤网，能够有效防止动力密封出现破损从而导致晶圆片产品被污染的现象产生，使得预抽真空室环境得到提升，大大增加产品的良率。

Description

一种半导体设备传送腔体的过滤装置

技术领域

本实用新型涉及环境过滤强化装置技术领域，具体为一种半导体设备传送腔体的过滤装置。

背景技术

当前，现有技术一般在指标会有联通干式真空泵的气管优化，但是难免会有缺陷的风险，本装置可以大大提高预抽真空室的环境，当预抽真空室在抽空的过程中，外部环境不好的情况下，会有一部分例如：油性物质、颗粒物质通过指标到达预抽真空室，导致晶圆片产品被污染。

目前，在抽空的过程中，其预抽真空室里面是负压，外部大气为正压，油性物质从指标通过动力密封进入，部分被动力密封隔绝，部分被设备运转时的气管抽走，本装置装在指标和动力密封之间，可以防止动力密封出现破损从而导致晶圆片产品被污染，但是，现有技术仅仅通过加装滤网的方式，但是密封壳与密封盖板之间需要通过多个紧固螺钉进行拆装，尤其在生产任务极为忙碌的同时，无法快捷对滤网进行拆换，导致滤网拆装效率较低，严重影响生产效率，为此，我们提出一种半导体设备传送腔体的过滤装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体设备传送腔体的过滤装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体设备传送腔体的过滤装置，包括密封壳，所述密封壳的前端凹槽内活动安装有密封盖板，密封盖板的外侧固定有多个呈环形阵列排布的安装块，密封壳的前端凹槽内固定有密封件三，密封盖板上朝向所述密封壳的一端固定有密封件一和密封件二，密封件一与密封件二之间形成与密封件三相配合的对合槽，密封壳的前端凹槽内开设有安装槽，安装槽内活动安装有活性炭材质的滤网，滤网通过四个紧固螺钉固定在安装槽内，多个所述安装块与密封壳之间连接有便捷式定位机构。

作为优选，所述密封盖板的安装轴孔固定有密封圈一，密封壳的安装轴孔内固接有密封圈二，每个所述安装块的两侧均活动贴合有预定位块，预定位块均固定在密封壳的外侧。

作为优选，所述滤网上均开设有与紧固螺钉相配合的插孔，安装槽的内壁上均开设有与紧固螺钉相配合的螺孔。

作为优选，所述便捷式定位机构包括滑动连接在密封壳表面外侧的环形滑动座，环形滑动座的竖截面为T形状结构，密封壳表面外侧开设有与环形滑动座相配合的环形滑动槽。

作为优选，所述环形滑动座的外侧固定有多个呈环形阵列排布的推柱，推柱的外侧均固定有连接块，连接块的另一端均固定有弹簧，弹簧的另一端均固定有限位块，限位块均固定在环形滑动槽内，限位块的一端均与环形滑动座的外侧活动贴合。

作为优选，所述推柱的外侧均还固定有弧形插杆，安装块上均开设有与对应的弧形插杆相配合的弧形插孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型区别于现有技术，利用密封件一、密封件二及其密封件三的设置，使得密封壳与密封盖板之间的连接密封性佳，不易产生泄漏的现象，其次，利用便捷式定位机构，能够方便对密封盖板与密封壳之间进行拆装，继而方便对滤网进行拆换或清理，使用较为方便，提高拆装的效率，极大地提高了生产效率，再者，利用活性炭材质的滤网，能够有效防止动力密封出现破损从而导致晶圆片产品被污染的现象产生，使得预抽真空室环境得到提升，大大增加产品的良率。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为本实用新型密封盖板、密封壳以及滤网爆炸式拆解后一结构示意图；

图3为本实用新型密封盖板、密封壳以及滤网爆炸式拆解后二结构示意图；

图4为本实用新型环形滑动座上各部件展开结构示意图；

图5为本实用新型A处放大结构示意图。

图中：1、密封壳；2、密封盖板；21、安装块；22、密封圈一；23、密封件一；24、密封件二；25、预定位块；3、密封件三；4、密封圈二；5、安装槽；51、滤网；52、紧固螺钉；6、便捷式定位机构；601、环形滑动座；602、推柱；603、连接块；604、限位块；605、弹簧；606、弧形插杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体设备传送腔体的过滤装置，包括密封壳1，密封壳1的前端凹槽内活动安装有密封盖板2，密封盖板2的外侧固定有多个呈环形阵列排布的安装块21，密封壳1的前端凹槽内固定有密封件三3，密封盖板2上朝向密封壳1的一端固定有密封件一23和密封件二24，密封件一23与密封件二24之间形成与密封件三3相配合的对合槽，密封壳1的前端凹槽内开设有安装槽5，安装槽5内活动安装有活性炭材质的滤网51，滤网51通过四个紧固螺钉52固定在安装槽5内，密封件一23与密封件二24以及密封件三3均呈环形状设置，均通过含铬的耐磨铸铁制造，密封效果好。

进一步的，密封盖板2的安装轴孔固定有密封圈一22，密封壳1的安装轴孔内固接有密封圈二4，每个安装块21的两侧均活动贴合有预定位块25，预定位块25均固定在密封壳1的外侧，预定位块25的设置，使得密封盖板2盖合在密封壳1上时，能预先对安装块21进行定位。

进一步的，滤网51上均开设有与紧固螺钉52相配合的插孔，安装槽5的内壁上均开设有与紧固螺钉52相配合的螺孔，通过松卸四个紧固螺钉52，可方便对滤网51拆卸与安装槽5内。

进一步的，多个安装块21与密封壳1之间连接有便捷式定位机构6，便捷式定位机构6包括滑动连接在密封壳1表面外侧的环形滑动座601，环形滑动座601的竖截面为T形状结构，密封壳1表面外侧开设有与环形滑动座601相配合的环形滑动槽，环形滑动座601的外侧固定有多个呈环形阵列排布的推柱602，推柱602的外侧均固定有连接块603，连接块603的另一端均固定有弹簧605，弹簧605的另一端均固定有限位块604，限位块604均固定在环形滑动槽内，限位块604的一端均与环形滑动座601的外侧活动贴合，推柱602的外侧均还固定有弧形插杆606，安装块21上均开设有与对应的弧形插杆606相配合的弧形插孔，弹簧605的长度大于弧形插杆606的长度。

本方案，在使用时，利用密封件一23、密封件二24及其密封件三3的设置，使得密封壳1与密封盖板2之间的连接密封性佳，不易产生泄漏的现象，其次，利用活性炭材质的滤网51，能够有效防止动力密封出现破损从而导致晶圆片产品被污染的现象产生，使得预抽真空室环境得到提升，大大增加产品的良率，再者，当需要对密封壳1与密封盖板2之间进行快速拆离时，可通过推动其中一个推柱602，继而使环形滑动座601在环形滑动槽内转动式滑动，继而使连接块603均对对应的限位块604之间连接的弹簧605进行压缩，且同时弧形插杆606均从对应的弧形插孔内脱离，从而方便将密封盖板2从密封壳1的前端凹槽内拆离，并向外拔出密封盖板2，且密封件一23和密封件二24之间形成的对合槽脱离于密封件三3的外侧，接着，利用外界工具松卸四个紧固螺钉52，继而可方便对滤网51进行拆卸更换，使得滤网51更换时较为方便。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种半导体设备传送腔体的过滤装置，包括密封壳(1)，其特征在于：所述密封壳(1)的前端凹槽内活动安装有密封盖板(2)，密封盖板(2)的外侧固定有多个呈环形阵列排布的安装块(21)，密封壳(1)的前端凹槽内固定有密封件三(3)，密封盖板(2)上朝向所述密封壳(1)的一端固定有密封件一(23)和密封件二(24)，密封件一(23)与密封件二(24)之间形成与密封件三(3)相配合的对合槽，密封壳(1)的前端凹槽内开设有安装槽(5)，安装槽(5)内活动安装有活性炭材质的滤网(51)，滤网(51)通过四个紧固螺钉(52)固定在安装槽(5)内，多个所述安装块(21)与密封壳(1)之间连接有便捷式定位机构(6)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体设备传送腔体的过滤装置，其特征在于：所述密封盖板(2)的安装轴孔固定有密封圈一(22)，密封壳(1)的安装轴孔内固接有密封圈二(4)，每个所述安装块(21)的两侧均活动贴合有预定位块(25)，预定位块(25)均固定在密封壳(1)的外侧。

3.根据权利要求1所述的一种半导体设备传送腔体的过滤装置，其特征在于：所述滤网(51)上均开设有与紧固螺钉(52)相配合的插孔，安装槽(5)的内壁上均开设有与紧固螺钉(52)相配合的螺孔。

4.根据权利要求1所述的一种半导体设备传送腔体的过滤装置，其特征在于：所述便捷式定位机构(6)包括滑动连接在密封壳(1)表面外侧的环形滑动座(601)，环形滑动座(601)的竖截面为T形状结构，密封壳(1)表面外侧开设有与环形滑动座(601)相配合的环形滑动槽。

5.根据权利要求4所述的一种半导体设备传送腔体的过滤装置，其特征在于：所述环形滑动座(601)的外侧固定有多个呈环形阵列排布的推柱(602)，推柱(602)的外侧均固定有连接块(603)，连接块(603)的另一端均固定有弹簧(605)，弹簧(605)的另一端均固定有限位块(604)，限位块(604)均固定在环形滑动槽内，限位块(604)的一端均与环形滑动座(601)的外侧活动贴合。

6.根据权利要求5所述的一种半导体设备传送腔体的过滤装置，其特征在于：所述推柱(602)的外侧均还固定有弧形插杆(606)，安装块(21)上均开设有与对应的弧形插杆(606)相配合的弧形插孔。

Images