CN218329747U - 一种真空吸盘加工用辅助工装 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于吸盘加工技术领域，尤其为一种真空吸盘加工用辅助工装，包括底座，所述底座上方设有移动板，所述上滑槽与所述下滑槽相对应，所述上滑槽与所述下滑槽内壁滑动连接有检测柱，所述检测柱外壁与所述上滑槽和所述下滑槽内壁相匹配，所述检测柱内设有推杆，所述推杆外壁固定连接有支撑块，所述支撑块底部设有弹簧，所述弹簧另一端与所述检测柱内壁固定连接；通过移动板向下位移时，移动板上开设的上滑槽和下滑槽内的检测柱的底端与碳化硅吸盘进行接触，使加工人员能够通过检测柱受到碳化硅吸盘的端面对检测柱的支撑高度来判断碳化硅吸盘是否表面出现变形，并且能够通过推杆对碳化硅吸盘表面变形位置进行标记，使装置定位到不平整的位置，便于操作人员对碳化硅吸盘进行修复加工工作。
Description
技术领域
本实用新型属于吸盘加工技术领域，具体涉及一种真空吸盘加工用辅助工装。
背景技术
碳化硅吸盘用于半导体集成电路装备用精密陶瓷部件，例如碳化硅真空陶瓷吸盘就广泛运用于半导体的光刻机刻蚀、晶圆减薄、晶圆检测、以及激光加工等领域。
而由于碳化硅吸盘需要加工精密部件，对碳化硅吸盘的表面平整度具有严格的要求，碳化硅吸盘加工后表面出现变形则会造成其加工的精密部件，准确性降低，从而使碳化硅吸盘加工的精准度不足以达到精密部件的标准，而由于碳化硅吸盘表面面积发生变形的位置不可控性，检测人员难以对碳化硅吸盘表面不平整的位置进行准确的定位，从而不便于对其进行加工修复。
实用新型内容
本实用新型提供了一种真空吸盘加工用辅助工装，具有解决碳化硅吸盘表面不平整时，其不平整的位置那难以得到有效的定位，不便于加工人员对碳化硅吸盘进行加工修复的特点。
本实用新型提供如下技术方案：包括底座，所述底座上方设有移动板，所述底座顶端固定连接有滑杆，所述移动板两侧固定连接有固定块，所述滑杆贯穿所述固定块，所述移动板上开设有若干个上滑槽和下滑槽，所述上滑槽位于所述下滑槽上方，所述上滑槽与所述下滑槽相对应，所述上滑槽与所述下滑槽内壁滑动连接有检测柱，所述检测柱外壁与所述上滑槽和所述下滑槽内壁相匹配，所述检测柱内设有推杆，所述推杆外壁固定连接有支撑块，所述支撑块底部设有弹簧，所述弹簧另一端与所述检测柱内壁固定连接。
其中，所述底座顶端固定连接有若干个支撑杆，所述支撑杆顶端可拆卸连接有顶板，所述顶板两侧固定连接有卡扣，所述卡扣与所述固定块相匹配。
其中，所述底座两侧设有连接块，两个所述连接块上均铰接有螺纹杆，两个所述螺纹杆位置相对应。
其中，所述上滑槽和所述下滑槽均匀分布在所述移动板上，所述上滑槽宽度小于所述下滑槽宽度。
其中，所述推杆底端设有涂块，所述涂块与所述检测柱内壁滑动连接。
本实用新型的有益效果是：通过移动板向下位移时，移动板上开设的上滑槽和下滑槽内的检测柱的底端与碳化硅吸盘进行接触，使加工人员能够通过检测柱受到碳化硅吸盘的端面对检测柱的支撑高度来判断碳化硅吸盘是否表面出现变形，并且能够通过推杆对碳化硅吸盘表面变形位置进行标记，使装置定位到不平整的位置，便于操作人员对碳化硅吸盘进行修复加工工作。
该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。
附图说明
图1为本实用新型的立体结构示意图；
图2为本实用新型中移动板的俯视结构示意图；
图3为本实用新型中移动板的侧视剖面结构示意图；
图4为本实用新型图3中A的放大示意图。
图中：1、底座；11、连接块；12、螺纹杆；13、支撑杆；14、顶板；15、卡扣；2、移动板；21、上滑槽；22、下滑槽；23、固定块；24、滑杆；3、检测柱；31、推杆；32、支撑块；33、弹簧；34、涂块。
具体实施方式
请参阅图1-图4，本实用新型提供以下技术方案：包括底座1，底座1上方设有移动板2，底座1顶端固定连接有滑杆24，移动板2两侧固定连接有固定块23，滑杆24贯穿固定块23，移动板2上开设有若干个上滑槽21和下滑槽22，上滑槽21位于下滑槽22上方，上滑槽21与下滑槽22相对应，上滑槽21与下滑槽22内壁滑动连接有检测柱3，检测柱3外壁与上滑槽21和下滑槽22内壁相匹配，检测柱3内设有推杆31，推杆31外壁固定连接有支撑块32，支撑块32底部设有弹簧33，弹簧33另一端与检测柱3内壁固定连接。
本实施方案中：通过将加工的碳化硅吸盘放置到底座1上，位于底座1上方的移动板2位置与碳化硅吸盘位置相对应，移动板2通过其两个侧固定连接的固定块23被滑杆24贯穿且之间相互滑动，使移动板2能够进行上下的位移，且位置固定，避免在对碳化硅吸盘表面平整度进行检测时，移动板2的位置与碳化硅洗盘位置不对应，对碳化硅吸盘的表面平整度无法进行有效的检测，移动板2上开设的若干个上滑槽21和下滑槽22垂直位置一致，且均匀分布在移动板2上，上滑槽21的内腔直径小于下滑槽22的内腔直径，上滑槽21位于下滑槽22的上方，通过上滑槽21和下滑槽22直径不同形成的宽度差使上滑槽21和下滑槽22能够对其内壁滑动连接的检测柱3进行限位，使检测柱3无法从上滑槽21和下滑槽22上滑出，通过移动板2在向下位移时，检测柱3的底端与移动板2的表面接触，由于若干个检测柱3与移动板2做同步的下滑运动，当碳化硅吸盘的表面出现变形导致平整度不够时，能够通过检测柱3受到碳化硅吸盘的端面对检测柱3的支撑高度来判断碳化硅吸盘是否表面出现变形，当出现变形导致部分位置不平整后，该位置上的检测柱3顶部的高度与其余位置的检测柱3高度不同，再通过按压该位置检测柱3内壁中的推杆31，使推杆31向下滑动，对该位置进行表紧从而能够精准定位到碳化硅吸盘加工后表面出现的不平整的位置，从而能够使碳化硅吸盘在加工后表面出现变形后，能够得到有效的检测，并且定位到不平整的位置，便于操作人员对碳化硅吸盘进行修复加工工作，按压后的推杆31能够在弹簧33推动支撑块32时对其进行复位，并且弹簧33对检测柱3起到支撑作用，使推杆31未受力时位于检测柱3的内腔中。
底座1顶端固定连接有若干个支撑杆13，支撑杆13顶端可拆卸连接有顶板14，顶板14两侧固定连接有卡扣15，卡扣15与固定块23相匹配；底座1顶端通过支撑杆13对位于移动板2上方的顶板14进行支撑，通过顶板14两侧的卡扣15对移动板2两侧的固定块23进行限位，使移动板2能够处于一定的高度，便于检测人员将碳化硅吸盘放置到移动板2的下方，而顶板14与支撑杆13可拆卸连接，能够在移动板2与碳化硅吸盘接触时，将顶板14拆除，便于检测人员对出现变形位置进行定位标记。
底座1两侧设有连接块11，两个连接块11上均铰接有螺纹杆12，两个螺纹杆12位置相对应；通过连接块11和螺纹杆12对底座1上放置的碳化硅吸盘进行夹持，与其上方的移动板2位置对应后进行固定，避免检测时移动影响对其变形位置的定位。
上滑槽21和下滑槽22均匀分布在移动板2上，上滑槽21宽度小于下滑槽22宽度；上滑槽21和下滑槽22垂直位置一致，且均匀分布在移动板2上，上滑槽21的内腔直径小于下滑槽22的内腔直径，上滑槽21位于下滑槽22的上方，通过上滑槽21和下滑槽22直径不同形成的宽度差使上滑槽21和下滑槽22能够对其内壁滑动连接的检测柱3进行限位。
推杆31底端设有涂块34，涂块34与检测柱3内壁滑动连接；在按压推杆31时，其底端固定连接的涂块34能够在向下滑动直至与碳化硅吸盘表面接触时，对碳化硅吸盘的表面图上标记，使在将碳化硅吸盘取出后，能够直观的看到其表面出现变形的位置。
本实用新型的工作原理及使用流程：通过移动板2在向下位移时，检测柱3的底端与移动板2的表面接触，由于若干个检测柱3与移动板2做同步的下滑运动，当碳化硅吸盘的表面出现变形导致平整度不够时，能够通过检测柱3受到碳化硅吸盘的端面对检测柱3的支撑高度来判断碳化硅吸盘是否表面出现变形，当出现变形导致部分位置不平整后，该位置上的检测柱3顶部的高度与其余位置的检测柱3高度不同，再通过按压该位置检测柱3内壁中的推杆31，使推杆31向下滑动，对该位置进行表紧从而能够精准定位到碳化硅吸盘加工后表面出现的不平整的位置。
Claims (5)
1.一种真空吸盘加工用辅助工装，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)上方设有移动板(2)，所述底座(1)顶端固定连接有滑杆(24)，所述移动板(2)两侧固定连接有固定块(23)，所述滑杆(24)贯穿所述固定块(23)，所述移动板(2)上开设有若干个上滑槽(21)和下滑槽(22)，所述上滑槽(21)位于所述下滑槽(22)上方，所述上滑槽(21)与所述下滑槽(22)相对应，所述上滑槽(21)与所述下滑槽(22)内壁滑动连接有检测柱(3)，所述检测柱(3)外壁与所述上滑槽(21)和所述下滑槽(22)内壁相匹配，所述检测柱(3)内设有推杆(31)，所述推杆(31)外壁固定连接有支撑块(32)，所述支撑块(32)底部设有弹簧(33)，所述弹簧(33)另一端与所述检测柱(3)内壁固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空吸盘加工用辅助工装，其特征在于：所述底座(1)顶端固定连接有若干个支撑杆(13)，所述支撑杆(13)顶端可拆卸连接有顶板(14)，所述顶板(14)两侧固定连接有卡扣(15)，所述卡扣(15)与所述固定块(23)相匹配。
3.根据权利要求1所述的一种真空吸盘加工用辅助工装，其特征在于：所述底座(1)两侧设有连接块(11)，两个所述连接块(11)上均铰接有螺纹杆(12)，两个所述螺纹杆(12)位置相对应。
4.根据权利要求1所述的一种真空吸盘加工用辅助工装，其特征在于：所述上滑槽(21)和所述下滑槽(22)均匀分布在所述移动板(2)上，所述上滑槽(21)宽度小于所述下滑槽(22)宽度。
5.根据权利要求1所述的一种真空吸盘加工用辅助工装，其特征在于：所述推杆(31)底端设有涂块(34)，所述涂块(34)与所述检测柱(3)内壁滑动连接。
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2022
- 2022-09-22 CN CN202222505306.5U patent/CN218329747U/zh active Active
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