CN218286217U - 划片机 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示了划片机，包括工作台，工作台可平移地设置在导轨上，工作台的相对的两侧设置有伸缩防护罩，伸缩防护罩跟随工作台的移动进行伸缩，伸缩防护罩的下方间隙设置分布在其两侧的托板，托板由伸缩防护罩的外侧延伸到伸缩防护罩的内侧，每个伸缩防护罩的底部设置有两排滚轮，每排滚轮与托板延伸到伸缩防护罩内侧的部分位置对应，滚轮的轴线与所述伸缩防护罩的伸缩方向垂直。本实用新型通过在伸缩防护罩底部设置与两侧的托板对应的两排滚轮，从而在伸缩防护罩因重力下垂时，使得滚轮与托板接触从而避免伸缩防护罩与托板的接触，有效地降低了工作台平移时的噪音，同时，能够对所述伸缩防护罩进行防护，避免伸缩防护罩磨损。

Description

划片机

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备领域，尤其是划片机。

背景技术

在划片机中，划片工作台需要沿导轨平移以便于上下料或切割，在切割时，需要喷水进行冷却、清洗等，因此，在划片工作台相对的两侧设置伸缩防护罩以避免喷出的水或水雾流到导轨、丝杠等部件处。

由于所述伸缩防护罩是柔性的，其会在重力作用下出现下垂的情况，因此，在所述划片工作台高速移动时，伸缩防护罩下垂的部分会与伸缩防护罩下方间隙设置的钣金件发生摩擦，从而产生尖锐的噪音，同时也增加了伸缩防护罩损坏的风险。

实用新型内容

本实用新型的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种划片机。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

划片机，包括工作台，所述工作台可平移地设置在导轨上，所述工作台的相对的两侧设置有伸缩防护罩，所述伸缩防护罩跟随所述工作台的移动进行伸缩，所述伸缩防护罩的下方间隙设置分布在其两侧的托板，所述托板由所述伸缩防护罩的外侧延伸到所述伸缩防护罩的内侧，每个所述伸缩防护罩的底部设置有两排滚轮，每排滚轮与所述托板延伸到所述伸缩防护罩内侧的部分位置对应，所述滚轮的轴线与所述伸缩防护罩的伸缩方向垂直。

优选的，所述划片机中，每排所述滚轮为三个且等间距设置。

优选的，所述划片机中，每个所述滚轮安装在所述伸缩防护罩的支撑板上。

优选的，所述划片机中，所述滚轮为软质轮。

优选的，所述划片机中，所述托板包括与所述滚轮位置对应的平板以及位于所述平板外侧且向下倾斜的斜板，所述斜板与所述平板的衔接边位于所述伸缩防护罩的内侧。

优选的，所述划片机中，所述托板包括与所述滚轮位置对应的滚动槽。

优选的，所述划片机中，所述伸缩防护罩的两侧还设置有防水雾挡板，所述防水雾挡板包括呈钝角设置的第一平板和第二平板，所述第一平板竖直安装在所述托板的外侧，所述第二平板位于所述第一平板的上方且向所述伸缩防护罩方向倾斜且与伸缩防护罩保持间距。

优选的，所述划片机中，所述第一平板和第二平板的夹角在150°-170°之间。

优选的，所述划片机中，所述第二平板的上端与所述伸缩防护罩之间的间距在0.5-1毫米之间。

优选的，所述划片机中，所述防水雾挡板还包括与所述第一平板垂直且位于所述第一平板底部的连接板，所述连接板连接所述托板。

本实用新型技术方案的优点主要体现在：

本实用新型通过在伸缩防护罩底部设置与两侧的托板对应的两排滚轮，从而在伸缩防护罩因重力下垂时，使得滚轮与托板接触从而避免伸缩防护罩与托板的接触，有效地降低了工作台平移时的噪音，同时，能够对所述伸缩防护罩进行防护，避免伸缩防护罩磨损。

本实用新型通过对滚轮的位置及数量的设计，能够以尽可能少的滚轮来保证对伸缩防护罩的支撑性，避免伸缩防护罩与托板接触。

本实用新型的滚轮采用软质轮能够最大程度的减少接触时的噪音，同时起到一定的缓冲作用，避免伸缩防护罩出现较大的冲击变形。本实用新型通过对托板的结构设计能够有效地防止伸缩防护罩上的液体浸入到所述托板的内侧，而滚动槽的设计可以尽可能地减小伸缩防护罩与托板之间的间隙，减小水雾侵入到伸缩防护罩下方的几率。

本实用新型在伸缩防护罩两侧设置防水雾挡板能够最大程度地减少水雾侵入到所述伸缩防护罩两侧的可能，从而有效地对伸缩防护罩下方的导轨、丝杠等进行保护。

附图说明

图1是本实用新型的划片机中的工作台与伸缩防护罩的仰视图，图中隐去了托板、防水雾挡板等结构；

图2是本实用新型的划片机中的工作台、伸缩防护罩、托板及防水雾挡板的侧视图；

图3是本实用新型的防水雾挡板的立体图。

具体实施方式

本实用新型的目的、优点和特点，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本实用新型技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本实用新型要求保护的范围之内。

在方案的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。并且，在方案的描述中，以操作人员为参照，靠近操作者的方向为近端，远离操作者的方向为远端。

下面结合附图对本实用新型揭示的划片机进行阐述，如附图1、附图2所示，其包括工作台1，所述工作台1可平移地设置在导轨（图中未示出）上，所述工作台1的相对的两侧设置有伸缩防护罩2，所述伸缩防护罩2为已知的柔性风琴罩，所述伸缩防护罩2跟随所述工作台1的移动进行伸缩，所述伸缩防护罩2的下方间隙设置分布在其两侧的托板3，所述托板3的位置固定，且所述托板3由所述伸缩防护罩2的外侧延伸到所述伸缩防护罩2的内侧，每个所述伸缩防护罩2的底部设置有两排滚轮4，每排滚轮4与所述托板3延伸到所述伸缩防护罩2内侧的部分位置对应，所述滚轮4的轴线与所述伸缩防护罩2的伸缩方向垂直。

本实用新型通过在伸缩防护罩2底部设置与两侧的托板3对应的两排滚轮4，从而在伸缩防护罩2因重力下垂时，使得滚轮4与托板3接触从而避免伸缩防护罩2与托板3的接触，有效地降低了工作台1平移时的噪音，同时，能够对所述伸缩防护罩2进行防护，避免伸缩防护罩2磨损。

如附图1所示，每个所述滚轮4安装在所述伸缩防护罩2的支撑板21的底部，具体的，所述支撑板21的底部安装有滚轮安装架6，所述滚轮4安装在所述滚轮安装架6上，并且，所述滚轮4可以是各种可行的材质，优选为软质轮，更优为软质轮、硅胶轮等，这样可以尽可能地减小接触时的声音，同时起到一定的缓震作用。

如附图1所示，每排所述滚轮4的数量可以根据需要进行设计，较优的，每排所述滚轮4为三个且等间距设置，相邻两个滚轮4之间间隔两个所述支撑板21。

如附图2所示，为了保证所述滚轮4与托板3充分接触，所述托板3包括与所述滚轮4位置对应的平板31。同时，为了避免伸缩防护罩2的凹槽处的积水浸入到所述托板3的内侧，所述托板3还包括位于所述平板31外侧且向下倾斜的斜板，所述斜板与所述平板31的衔接边位于所述伸缩防护罩2的内侧。从而伸缩防护罩2的积水从两侧流出后，可以有效地从斜板排出到外侧，所述斜板的下侧可以连接排水槽32，所述排水槽32可以通过下水管进行排液。

当然，在另外的实施例中，为了尽可能地减小所述伸缩防护罩2与所述托板3之间的间距从而避免水雾浸入到所述伸缩防护罩2内侧，使所述托板3包括与所述滚轮4位置对应的滚动槽（图中未示出），从而所述伸缩防护罩2下垂时，所述滚轮4能够落入到所述滚动槽中以使伸缩防护罩2与托板3之间的间距尽可能小。

如附图2、附图3所示，考虑到水雾较多时，会有部分水雾透过伸缩防护罩2与托板3之间的间距侵入到伸缩防护罩2的下方并冷凝成水落到导轨及丝杠等部件处，因此在所述伸缩防护罩2的两侧还设置有防水雾挡板5，所述防水雾挡板5包括呈钝角设置的第一平板51和第二平板52，所述第一平板51竖直安装在所述托板3的外侧，所述第二平板52位于所述第一平板51的上方且向所述伸缩防护罩2方向倾斜，其与所述伸缩防护罩2之间保持间距，所述防水雾挡板5能够尽可能地遮挡伸缩防护罩2与托板3之间的间距，同时第二平板52倾斜设置可以增大与水雾的接触面积，从而使水雾冷凝成水从伸缩防护罩2的外侧排出。所述第一平板51和第二平板52的夹角a在150°-170°之间，这是由于倾斜角度过大，则会使第二平板52的上端与伸缩防护罩2之间的间距过大，且与水雾接触面积变小，减小防水雾效果；倾斜角度过小，则可能会容易造成伸缩防护罩2与第二平板52的干涉。

所述防水雾挡板5距离所述伸缩防护罩2不能太近或太远，太近则可能使伸缩防护罩2运动中与防水雾挡板5发生干涉，太远，则会降低其防水雾效果，较优的，所述第二平板52的上端与所述伸缩防护罩2之间的间距在0.5-1毫米之间。

如附图3所示，所述防水雾挡板5还包括与所述第一平板51垂直且位于所述第一平板51底部的连接板53，所述连接板53可以连接在所述托板3的排水槽32内或者可以连接在所述排水槽的底部，所述连接板53可以与托板3焊接和/或螺接。

本实用新型尚有多种实施方式，凡采用等同变换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.划片机，包括工作台，所述工作台可平移地设置在导轨上，所述工作台的相对的两侧设置有伸缩防护罩，所述伸缩防护罩跟随所述工作台的移动进行伸缩，所述伸缩防护罩的下方间隙设置分布在其两侧的托板，所述托板由所述伸缩防护罩的外侧延伸到所述伸缩防护罩的内侧，其特征在于：每个所述伸缩防护罩的底部设置有两排滚轮，每排滚轮与所述托板延伸到所述伸缩防护罩内侧的部分位置对应，所述滚轮的轴线与所述伸缩防护罩的伸缩方向垂直。

2.根据权利要求1所述的划片机，其特征在于：每排所述滚轮为三个且等间距设置。

3.根据权利要求1所述的划片机，其特征在于：每个所述滚轮安装在所述伸缩防护罩的支撑板上。

4.根据权利要求1所述的划片机，其特征在于：所述滚轮为软质轮。

5.根据权利要求1所述的划片机，其特征在于：所述托板包括与所述滚轮位置对应的平板以及位于所述平板外侧且向下倾斜的斜板，所述斜板与所述平板的衔接边位于所述伸缩防护罩的内侧。

6.根据权利要求1所述的划片机，其特征在于：所述托板包括与所述滚轮位置对应的滚动槽。

7.根据权利要求1-6任一所述的划片机，其特征在于：所述伸缩防护罩的两侧还设置有防水雾挡板，所述防水雾挡板包括呈钝角设置的第一平板和第二平板，所述第一平板竖直安装在所述托板的外侧，所述第二平板位于所述第一平板的上方且向所述伸缩防护罩方向倾斜且与伸缩防护罩保持间距。

8.根据权利要求7所述的划片机，其特征在于：所述第一平板和第二平板的夹角在150°-170°之间。

9.根据权利要求7所述的划片机，其特征在于：所述第二平板的上端与所述伸缩防护罩之间的间距在0.5-1毫米之间。

10.根据权利要求7所述的划片机，其特征在于：所述防水雾挡板还包括与所述第一平板垂直且位于所述第一平板底部的连接板，所述连接板连接所述托板。

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