CN218269595U - 一种新型在线石英加热器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型在线石英加热器，属于化学制备技术领域，其技术要点是：包括保护箱体，所述保护箱体内设置有双层石英升温管，所述双层石英升温管用于放置化学品，还包括：石英灯管，所述石英灯管贯穿所述保护箱体以及双层石英升温管，所述石英灯管设置在所述双层石英升温管的通孔内，所述石英灯管用于对双层石英升温管加热；以及液体进出口，所述液体进出口贯穿所述保护箱体连接双层石英升温管，所述液体进出口用于化学品的投放与取出，具有更加高效加热化学液体，极大的缩短加热等待时间，并避免化学品液体污染，减少维护保养人员接触化学液体的风险的优点。

Description

一种新型在线石英加热器

技术领域

本实用新型涉及化学制备技术领域，具体是涉及一种新型在线石英加热器。

背景技术

现有技术状况在半导体化学品流体加热器使用中，考虑化学品的高腐蚀性，常用高纯度石英材料包裹电加热丝作为加热主体。该石英加热管包括石英管本体，电加热丝，整体为“Z”字形，底管横管位于所述“Z”字形的底部，为电热丝加热区。通过置于中管竖管和上管横管内的电源线将电传导到底部横管电加热丝上。 基于以上防腐蚀和加热功能的考虑，另一种加热的方式是在电加热丝的金属外层增加特氟龙管或者特氟龙涂层，作为加热器与化学品之间绝缘层和耐腐蚀层；因为是金属加工而成，易于绕制成所需要的形状，放置于化学品槽体的底部。

但是现有的在实际使用过程中，由于不同化学品溶液（如：氨双氧水；硫酸双氧水）在温度提升后会腐蚀外部石英材质，使加热器内部金属灯芯被化学溶液腐蚀，金属离子进而造成化学溶液污染，从而造成半导体晶圆片的报废；金属电加热丝在一段时间使用后，会突然造成某处特氟龙层鼓包破裂，同样的后果也是金属离子进而造成化学溶液污染，从而造成半导体晶圆片的报废，加热管直接置于化学液体内，后续维护保养人员有接触化学液体的风险。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型实施例的目的在于提供一种新型在线石英加热器，以解决上述背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种新型在线石英加热器，包括保护箱体，所述保护箱体内设置有双层石英升温管，所述双层石英升温管用于放置化学品，还包括：

石英灯管，所述石英灯管贯穿所述保护箱体以及双层石英升温管，所述石英灯管设置在所述双层石英升温管的通孔内，所述石英灯管用于对双层石英升温管加热；以及

液体进出口，所述液体进出口贯穿所述保护箱体连接双层石英升温管，所述液体进出口用于化学品的投放与取出。

作为本实用新型进一步的方案，所述石英灯管关于所述双层石英升温管对称设置。

作为本实用新型进一步的方案，所述双层石英升温管外侧设置有铝箔层，所述铝箔层外侧设置有玻璃纤维层。

作为本实用新型进一步的方案，所述PTFE箱体的底面，石英升温管的下方设置有漏液传感器，实时检测是否有液体出现，防止安全隐患。

作为本实用新型进一步的方案，所述双层石英升温管的外壁设置有温度传感器，温度传感器具备报警功能。

综上所述，本实用新型实施例与现有技术相比具有以下有益效果：

本实用新型通过在各种化学液体中安全的使用加热装置，更加高效加热化学液体，极大的缩短加热等待时间，并避免化学品液体污染，减少维护保养人员接触化学液体的风险。

为更清楚地阐述本实用新型的结构特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对本实用新型进行详细说明。

附图说明

图1为实用新型实施例的结构示意图。

图2为实用新型实施例中石英灯管加热发射近红外线示意图。

附图标记：1-保护箱体、2-双层石英升温管、3-石英灯管、4-液体进出口、5-玻璃纤维层、6-铝箔层。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

以下结合具体实施例对本实用新型的具体实现进行详细描述。

在一个实施例中，一种新型在线石英加热器，参见图1～图2，包括保护箱体1，所述保护箱体1内设置有双层石英升温管2，所述双层石英升温管2用于放置化学品，还包括：

石英灯管3，所述石英灯管3贯穿所述保护箱体1以及双层石英升温管2，所述石英灯管3设置在所述双层石英升温管2的通孔内，所述石英灯管3用于对双层石英升温管2加热；以及

液体进出口4，所述液体进出口4贯穿所述保护箱体1连接双层石英升温管2，所述液体进出口4用于化学品的投放与取出。

进一步的，参见图1～图2，所述石英灯管3关于所述双层石英升温管2对称设置。

进一步的，参见图1～图2，所述双层石英升温管2外侧设置有铝箔层6，所述铝箔层6外侧设置有玻璃纤维层5。

进一步的，参见图1～图2，所述保护箱体1的底面，双层石英升温管2的下方设置有漏液传感器，实时检测是否有液体出现，防止安全隐患。

进一步的，参见图1～图2，所述双层石英升温管2的外壁设置有温度传感器，温度传感器具备报警功能。

在本实施例中，为了更好的保证化学品在系统运行过程中的洁净度，避免金属离子与化学品直接接触，也避免生产人员在作业过程中与有化学品接触的电气零部件接触。

加热器上化学品流体通路采用高纯度双层石英升温管2，内部通路只通过各类化学品液体，加热器上其他类型的组件与化学品完全隔绝，避免了任何物品的杂质影响化学洁净度；

石英灯管3采用充填了惰性气体的卤素灯管，在通电时能够发射出近红外线，对化学品进行红外辐射加热，以此种间接加热方式，石英灯管3放置与化学品流体石英屏的中空管道内，有双层石英升温管2的隔离，完全避免了灯丝的金属离子与化学品的接触；单只灯管功率可达3000瓦，可以迅速实现加温。

化学品流体通道的双层石英升温管2外部，用一层0.5mm厚的工业铝箔与石英表面紧紧贴敷，形成铝箔层6，作用是加热灯管产生的红外辐射光线通过石英后，在铝箔层6反射，将热能最大限度的施加至化学品流体上，减少了能量损耗；在铝箔层6外部，包覆一层与石英部件尺寸相同的玻璃纤维布，形成玻璃纤维层5，玻璃纤维布最高耐温可达2000摄氏度；通过两层包覆层的使用，可完全避免红外光线外溢，及节省了能量，也避免了火灾风险；

在加热各类化学品在使用过程中，温度均处于高温状态，新型设计中在三个位置设计了不同温度的过温保护，一处是承载化学品石英件的外部框体上，检测加热器框体温度，温度保护器上限150度；第二处设置在石英瓶的正上方，监测石英瓶的温度，温度保护器的上限250度；第三处是在化学品流体出口处，监测化学品的温度，温度保护器的上限是180度；在框体底盘上中间位置，延长边布置漏液检知器，监测是否有液体泄漏或外部液体进入框体；当任一只保护器动作时，电气控制器迅速切断供应电源，保证系统的安全性。

加热器外壳的设计也充分考量材料自身的纯净度，同时考虑化学品对承载框体的腐蚀，因此外壳材料不选金属材料，采用PTFE板材制作加工成盒状，可以很好满足使用要求。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种新型在线石英加热器，包括保护箱体，所述保护箱体内设置有双层石英升温管，所述双层石英升温管用于放置化学品，其特征在于，还包括：

石英灯管，所述石英灯管贯穿所述保护箱体以及双层石英升温管，所述石英灯管设置在所述双层石英升温管的通孔内，所述石英灯管用于对双层石英升温管加热；以及

液体进出口，所述液体进出口贯穿所述保护箱体连接双层石英升温管，所述液体进出口用于化学品的投放与取出。

2.根据权利要求1所述的新型在线石英加热器，其特征在于，所述石英灯管关于所述双层石英升温管对称设置。

3.根据权利要求1所述的新型在线石英加热器，其特征在于，所述双层石英升温管外侧设置有铝箔层，所述铝箔层外侧设置有玻璃纤维层。

4.根据权利要求1所述的新型在线石英加热器，其特征在于，所述保护箱体的底面以及双层石英升温管的下方设置有漏液传感器，实时检测液体。

5.根据权利要求1所述的新型在线石英加热器，其特征在于，所述双层石英升温管内设置有温度传感器，温度传感器具备报警功能。

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