CN218262711U - 坩埚以及蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种坩埚以及蒸镀设备，该坩埚包括上壳体和下壳体，上壳体可拆卸设置于下壳体的顶部，上壳体与下壳体之间形成用于容纳蒸镀原料的容纳腔，坩埚还包括第一连接件、第二连接件和紧固件，第一连接件转动设置于下壳体，上壳体的外壁凹设有安装槽，第二连接件与安装槽插接，且第二连接件的一端延伸至安装槽的外部，紧固件穿过第二连接件并与第一连接件连接。通过在下壳体上转动设置第一连接件，在上壳体上设置安装槽，安装时，将第二连接件插入安装槽，并将第二连接件与第一连接件通过紧固件锁紧。可避免坩埚因发生撞击变形而无法顺利安装紧固件。同时，该结构降低了上壳体与下壳体之间的接触面发生变形的风险。

Description

坩埚以及蒸镀设备

技术领域

本实用新型涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种坩埚以及包含该坩埚的蒸镀设备。

背景技术

目前主流的OLED显示器具有轻薄、主动发光、快相应速度、广视角、色彩丰富、高亮度和低能耗等众多优点，因此广泛应用于智能手机、平板电脑和电视等终端产品。显示面板为OLED的主要部件，显示面板是在玻璃基板上通过蒸镀、蚀刻等工艺形成有机二极管、薄膜晶体管等元件，并布置上电极。在显示面板的蒸镀工艺中，通常使用坩埚对蒸镀原料(有机材料)进行加热并形成蒸镀气体，蒸镀气体沉积在玻璃基板上以形成有机膜层。

现有的坩埚如图1所示，包括上壳体1′和下壳体2′，上壳体1′盖设在下壳体2′的顶部，且上壳体1′与下壳体2′之间形成容纳腔，蒸镀原料装在容纳腔内。上壳体1′的周部设置有上边缘板11′，下壳体2′的周部设置有下边缘板21′，上边缘板11’和下边缘板21′的自由端均朝向背离容纳腔的方向延伸。上壳体1′和下壳体2′通过螺栓3′可拆卸连接。使用前，先将上壳体1′拆除，然后将在容纳腔内装填蒸镀原料，再将上壳体1′装配到下壳体2′上。最后对坩埚进行加热以使蒸镀原料蒸发形成蒸镀气体，蒸镀气体通过上壳体1′上的喷嘴喷出。现有技术存在以下不足：由于坩埚需要频繁搬运、吊装，在作业过程中容易与外部设备发生碰撞，造成上边缘板11′或下边缘板21′变形。因此在装配上壳体1’时，上边缘板11′和下边缘板21′上的安装孔发生错位，使得螺栓3′无法顺利安装。同时，由于上边缘板11′或下边缘板21′发生变形，还容易造成上壳体1′与下壳体2′之间的密封性降低，进而对蒸镀作业造成不良影响。

实用新型内容

本实用新型的一个目的在于提出一种坩埚，其便于安装，密封性能好。

本实用新型的另一个目的在于提出一种蒸镀设备，其便于安装和密封性能好。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供的一种坩埚，包括上壳体和下壳体，所述上壳体可拆卸设置于所述下壳体的顶部，所述上壳体与所述下壳体之间形成用于容纳蒸镀原料的容纳腔，所述坩埚还包括第一连接件、第二连接件和紧固件，所述第一连接件转动设置于所述下壳体，所述上壳体的外壁凹设有安装槽，所述第二连接件与所述安装槽插接，且所述第二连接件的一端延伸至所述安装槽的外部，所述紧固件穿过所述第二连接件并与所述第一连接件连接。

作为坩埚的一种优选方案，所述第一连接件为多个，多个所述第一连接件间隔设置于所述下壳体的周部，所述第二连接件和所述紧固件均与所述第一连接件一一对应设置。

作为坩埚的一种优选方案，所述第二连接件背离所述安装槽的槽底的一端设置有缺口，所述缺口用于穿设所述紧固件。

作为坩埚的一种优选方案，所述安装槽的长度尺寸大于所述第二连接件的长度尺寸，所述第二连接件能够沿所述安装槽的长度方向移动，以使所述缺口与所述第一连接件正对。

作为坩埚的一种优选方案，所述下壳体还设置有连接板，所述第一连接件包括水平设置的转轴和竖直设置的连接杆，所述转轴转动设置于所述连接板上，所述连接杆的一端与所述转轴连接，所述紧固件与所述连接杆背离所述转轴的一端连接。

作为坩埚的一种优选方案，所述坩埚还包括集气装置，所述集气装置设置于所述容纳腔内，且所述集气装置将所述容纳腔分割成位于上方的上腔体和位于下方的下腔体，所述集气装置内具有集气腔体，所述集气装置的底部开设有第一通孔，所述集气腔体通过所述第一通孔与所述下腔体连通，所述集气装置的顶部阵列分布有多个第二通孔，所述集气腔体通过所述第二通孔与所述上腔体连通。

作为坩埚的一种优选方案，所述容纳腔的腔壁上设置有安装台阶，所述集气装置安装在所述安装台阶上，所述上壳体与所述集气装置的顶部抵接。

作为坩埚的一种优选方案，所述下壳体的顶面靠近所述容纳腔的位置设置有斜面，所述斜面从背离所述容纳腔的一端至靠近所述容纳腔的一端向下倾斜，所述顶面和所述斜面均与所述上壳体抵接。

作为坩埚的一种优选方案，所述顶面和/或所述斜面上设置有密封层，并使所述密封层夹设于所述上壳体与所述下壳体之间。

还包括一种蒸镀设备，包括上述的坩埚。

本实用新型相比于现有技术的有益效果：

本实用新型的坩埚以及蒸镀设备，该坩埚通过在下壳体上转动设置第一连接件，在上壳体上设置安装槽，安装时，将第二连接件插入安装槽，并将第二连接件与第一连接件通过紧固件锁紧。可避免坩埚因发生撞击变形而无法顺利安装紧固件。同时，该结构降低了上壳体与下壳体之间的接触面发生变形的风险。因此，该坩埚具有便于安装，密封性能好的特点。

附图说明

图1为现有技术的坩埚的示意图。

图2为本实用新型实施例的坩埚的分解图。

图3为本实用新型实施例的坩埚的剖视图。

图4为图3中A处的放大图。

图5为本实用新型实施例的上壳体的局部示意图。

图6为本实用新型实施例的集气装置的剖视图。

图7为本实用新型实施例的下壳体的剖视图。

图8为本实用新型实施例的第一连接件和紧固件的示意图。

图1中：

1′、上壳体；11′、上边缘板；2′、下壳体；21′、下边缘板；3′、螺栓。

图2至图8中：

1、上壳体；11、安装槽；2、下壳体；20、容纳腔；21、连接板；22、斜面；23、安装台阶；3、紧固件；4、第一连接件；41、转轴；42、连接杆；5、第二连接件；51、缺口；6、集气装置；61、底壳；62、盖板；63、集气腔体；64、第一通孔；65、第二通孔；7、喷嘴；8、蒸镀原料；9、密封层。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

以下，参照附图来详细描述本实用新型。

如图2至图4所示，提供一种坩埚，包括上壳体1、下壳体2、紧固件3、第一连接件4和第二连接件5。上壳体1可拆卸设置于下壳体2的顶部，上壳体1与下壳体2之间形成容纳腔20，容纳腔20用于容纳蒸镀原料8以及蒸镀原料8加热蒸发后产生的蒸镀气体。第一连接件4转动设置于下壳体2的外壁上，第一连接件4可绕其与下壳体2之间的连接点转动。上壳体1的外壁上凹设有安装槽11，第二连接件5与安装槽11插接，且第二连接件5的一端延伸至安装槽11的外部，位于安装槽11外部的第二连接件5用于插设紧固件3。紧固件3为螺钉，第一连接件4上设置有与螺钉配合的内螺纹，紧固件3穿过第二连接件5与第一连接件4螺纹连接。可以理解的是，将第一连接件4转动设置，在坩埚处于开启状态时，第一连接件4能够在自身重力作用下向下转动，避免对蒸镀原料8的装填、上壳体1的安装造成干扰。坩埚的关闭状态时，需要将上壳体1与下壳体2之间通过紧固件3锁紧。将第一连接件4向上转动并于第二连接件5正对，紧固件3穿过第二连接件5与第一连接件4螺纹连接，使得第一连接件4与第二连接件5之间通过紧固件3锁紧。由于第二连接件5与上壳体1插接，第二连接件5可根据第一连接件4的具体位置适应性选择合适的插接位置，以保证第一连接件4和第二连接件5能够始终对齐，以使紧固件3能够顺利安装。同时，相比于现有技术，由于不会受到上边缘板和下边缘板的影响，使得上壳体1和下壳体2之间能够紧密贴合，以保证坩埚的密封性能。

可选地，参照图2所示，第一连接件4、第二连接件5和紧固件3均为多个，第一连接件4、第二连接件5和紧固件3的数量相同，安装位置一一对应，即一个第一连接件4对应设置一个第二连接件5和一个紧固件3。第一连接件4间隔设置于下壳体2的周部。本实施例中，下壳体2呈长方体结构，下壳体2的长度方向为图示的X方向，下壳体2的宽度方向为图示的Y方向，下壳体2的四个侧壁上均设置有第一连接件4。在具体实施时，可根据下壳体2的具体长度尺寸以及宽度尺寸合理选择第一连接件4的设置数量，以保证上壳体1与下壳体2之间能够锁紧。

可选地，参照图5所示，第二连接件5呈长方体结构，第二连接件5的长度方向为图示X方向。安装槽11的长度方向与上壳体1的长度方向(图示X方向)平行。即第二连接件5和安装槽11的长度方向均沿水平方向延伸。第二连接件5背离安装槽11的槽底的一端(即位于安装槽11外部的一端)设置有缺口51，缺口51用于穿设紧固件3。安装槽11的长度尺寸大于第二连接件5的长度尺寸，使得第二连接件5能够沿安装槽11的长度方向移动，以便调节第二连接件5的位置，使缺口51能够与第一连接件4正对，方便紧固件3顺利安装。安装槽11的宽度(图示Z方向)与第二连接件5的高度(图示Z方向)配合设置，使得第二连接件5插入安装槽11后，第二连接件5在竖直方向上的位置能够被限制。

可选地，参照图2至图4、以及图8所示，下壳体2的外壁上还设置有连接板21，每个第一连接件4对应设置有两个连接板21，两个连接板21沿水平方向间隔设置。第一连接件4包括水平设置的转轴41和竖直设置的连接杆42，第一连接杆42的一端与转轴41的非端部连接，第二连接杆42背离转轴41的一端设置有与紧固件3配合的内螺纹，紧固件3与连接杆42背离转轴41的一端螺纹连接。转轴41的两端分别与两个连接板21转动连接，使得连接杆42能够绕转轴41的轴线方向转动。坩埚开启状态时，第一连接件4向下转动，第一连接件4具有内螺纹的一端位于下方，紧固件3连接在第一连接件4上，避免紧固件3丢失。坩埚关闭状态时，上壳体1盖设在下壳体2的顶部，将第二连接件5插入安装槽11内，然后向上转动第一连接件4，调节第二连接件5的位置使其缺口51与第一连接件4对齐。最后将紧固件3从缺口51穿入，并拧紧紧固件3，使第一连接件4和第二连接件5之间通过紧固件3锁紧，进而实现上壳体1与下壳体2之间的安装固定。

可选地，参照图2至图4、图6和图7所示，坩埚还包括集气装置6，集气装置6设置于容纳腔20内，集气装置6将容纳腔20分割成上腔体和下腔体，上腔体位于集气装置6的上方，下腔体位于集气装置6的下方，蒸镀原料8装填在下腔体内。集气装置6呈中空结构，其内部具有集气腔体63。集气装置6包括底壳61和盖板62，盖板62盖设在底壳61的顶部，盖板62与底壳61之间形成集气腔体63。底壳61背离盖板62的一端开设有第一通孔64，集气腔体63通过第一通孔64与下腔体连通。盖板62上阵列分布有多个第二通孔65，集气腔体63通过第二通孔65与上腔体连通。蒸镀作业时，下腔体内的蒸镀原料8加热蒸发形成蒸镀气体，蒸镀气体通过第一通孔64进入集气腔体63内。在集气腔体63对蒸镀气体的收集作用下，使得蒸镀气体的压力增大并均匀地从盖板62上的第二通孔65进入上腔体内。最后蒸镀气体从上腔体通过位于上壳体1顶部的喷嘴7喷出。

盖板62的周部凸出于底壳61的侧壁，即盖板62的周部朝向背离集气腔体63中心的方向延伸。容纳腔20的腔壁上设置有安装台阶23，盖板62的周部安装在安装台阶23上，上壳体1抵接在盖板62背离安装台阶23的一侧面。即上壳体1抵接在集气装置6的顶部。以实现集气装置6被夹紧在上壳体1与下壳体2之间。该结构方便对集气装置6的安装和拆卸。

可选地，参照图4和图7所示，下壳体2的顶面靠近容纳腔20的位置设置有斜面22，斜面22从背离容纳腔20的一端至靠近容纳腔20的一端向下倾斜，即斜面22朝向容纳腔20的底部倾斜。上壳体1的底部抵接在下壳体2的顶面和斜面22上。该结构可避免上下壳体之间的接触面位于水平面上，而是一部分接面面位于水平面上，一部分接触面位于坩埚内层且倾斜设置，有利于提高上壳体1与下壳体2之间的密封性能。同时，下壳体2的顶面和斜面22上还设置有密封层9，进一步提高两者之间的密封性能。密封层9可以为耐高温橡胶垫或质地较软的金属片，例如铜片。

本实施例的技术效果为：通过在下壳体2上转动设置第一连接件4，在上壳体1上设置安装槽11，安装时，将第二连接件5插入安装槽11，并将第二连接件5与第一连接件4通过紧固件3锁紧。可避免坩埚因发生撞击变形而无法顺利安装紧固件3。同时，该结构降低了上壳体1与下壳体2之间的接触面发生变形的风险。因此，该坩埚具有便于安装，密封性能好的特点。

还提供一种蒸镀装置，包括上述的坩埚。坩埚的外部设置有加热器，利用加热器对坩埚进行加热。蒸镀装置还包括蒸镀室，蒸镀室的底部间隔设置有多个坩埚，玻璃基板通过运送单元从蒸镀室的一端运送至另一端，此过程中，坩埚产生的蒸镀气体通过喷嘴7喷出，并在玻璃基板上沉积形成有机膜层，实现蒸镀作业。由于坩埚采用了第一连接件4、第二连接件5和紧固件3的连接形式，方便对坩埚的拆卸和安装。且该结构有利于提高坩埚的密封性，保证蒸镀作业的顺利进行。

尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。

Claims (10)

1.一种坩埚，包括上壳体和下壳体，所述上壳体可拆卸设置于所述下壳体的顶部，所述上壳体与所述下壳体之间形成用于容纳蒸镀原料的容纳腔，其特征在于，所述坩埚还包括第一连接件、第二连接件和紧固件，所述第一连接件转动设置于所述下壳体，所述上壳体的外壁凹设有安装槽，所述第二连接件与所述安装槽插接，且所述第二连接件的一端延伸至所述安装槽的外部，所述紧固件穿过所述第二连接件并与所述第一连接件连接。

2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述第一连接件为多个，多个所述第一连接件间隔设置于所述下壳体的周部，所述第二连接件和所述紧固件均与所述第一连接件一一对应设置。

3.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述第二连接件背离所述安装槽的槽底的一端设置有缺口，所述缺口用于穿设所述紧固件。

4.根据权利要求3所述的坩埚，其特征在于，所述安装槽的长度尺寸大于所述第二连接件的长度尺寸，所述第二连接件能够沿所述安装槽的长度方向移动，以使所述缺口与所述第一连接件正对。

5.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述下壳体还设置有连接板，所述第一连接件包括水平设置的转轴和竖直设置的连接杆，所述转轴转动设置于所述连接板上，所述连接杆的一端与所述转轴连接，所述紧固件与所述连接杆背离所述转轴的一端连接。

6.根据权利要求1至5任一项所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚还包括集气装置，所述集气装置设置于所述容纳腔内，且所述集气装置将所述容纳腔分割成位于上方的上腔体和位于下方的下腔体，所述集气装置内具有集气腔体，所述集气装置的底部开设有第一通孔，所述集气腔体通过所述第一通孔与所述下腔体连通，所述集气装置的顶部阵列分布有多个第二通孔，所述集气腔体通过所述第二通孔与所述上腔体连通。

7.根据权利要求6所述的坩埚，其特征在于，所述容纳腔的腔壁上设置有安装台阶，所述集气装置安装在所述安装台阶上，所述上壳体与所述集气装置的顶部抵接。

8.根据权利要求1至5任一项所述的坩埚，其特征在于，所述下壳体的顶面靠近所述容纳腔的位置设置有斜面，所述斜面从背离所述容纳腔的一端至靠近所述容纳腔的一端向下倾斜，所述顶面和所述斜面均与所述上壳体抵接。

9.根据权利要求8所述的坩埚，其特征在于，所述顶面和/或所述斜面上设置有密封层，并使所述密封层夹设于所述上壳体与所述下壳体之间。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的坩埚。

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