CN218259441U - 一种暂存装置及半导体设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于太阳能电池制造技术领域，具体公开了一种暂存装置，包括架体和冷却机构，架体上设有多个用于放置载具舟的存放平台，存放平台内设有风道，风道的进口端与冷却机构连通，风道的出口端对应载具舟的底部设置，通过冷却机构可向风道内送入冷风，从而对高温的载具舟进行冷却降温。由于冷却机构避开了载具舟的底部，其安装位置远离高温的载具舟，从而避免了热辐射对冷却机构造成损坏，延长了冷却机构的使用寿命，且风机无需采用耐高温的材料制作，降低了制作成本。本实用新型还提供一种半导体设备，包括上述的暂存装置，其散热效果良好，且制作成本较低。

Description

一种暂存装置及半导体设备

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种暂存装置及半导体设备。

背景技术

在光伏电池设备行业中，暂存区指的是光伏设备内设置在机械手立柱上、用于存放载具舟的一套机械结构，载具舟包括待工艺处理的载具舟和已工艺处理的载具舟。暂存区的设置能够提高机械手的传输效率，减少已工艺处理的载具舟与待工艺处理的载具舟输送替换时间并且，暂存区还可以用于对已工艺处理的载具舟进行自然冷却，由于已工艺处理的载具舟从反应炉出来后的温度较高，需先放置在暂存区上冷却至一定温度后，方可通过人工取放或侧向出舟机构传送至自动插片机内。

为了提高已工艺处理的载具舟的散热效率，暂存区一般设置有散热冷却结构来减少已工艺处理的载具舟的冷却时间，但是现有的暂存区的冷却机构一般设置载具舟的底部，且冷却结构的风机贴近高温的载具舟的底部设置，受热辐射影响，容易对风机造成损坏，导致风机的寿命较短，需要经常更换，造成使用成本的增加。

因此，亟需一种暂存装置及半导体设备，来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种暂存装置及半导体设备，其冷却机构避开高温的载具舟的底部设置，冷却机构通过风道将冷风送向载具舟的底部，从而避免了风机过热，延长了风机的使用寿命，降低了成本。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种暂存装置，该暂存装置包括：

架体，所述架体上设有存放平台，所述存放平台用于放置载具舟，所述存放平台内设有风道，所述风道的出口端对应所述载具舟的底部设置；

冷却机构，所述冷却机构设置在所述存放平台上，且所述冷却机构避开所述载具舟的底部设置，所述冷却机构与所述风道的进口端连通，所述冷却机构用于对所述载具舟进行冷却降温。

可选地，所述存放平台为多个，且多个所述存放平台沿第一方向间隔设在所述架体上。

可选地，所述存放平台包括壳体和匀流板，所述匀流板固定在所述壳体上，所述壳体与匀流板共同围设成所述风道，所述匀流板上设有匀流孔，所述匀流孔为所述风道的出口端。

可选地，所述匀流孔设有多个，多个所述匀流孔在所述匀流板上均布。

可选地，所述壳体包括互相连接的底板和侧板，所述风道的进口端设置在所述底板和/或所述侧板上，所述冷却机构设置为至少一个，所述冷却机构设置在所述底板和/或所述侧板上，所述冷却机构与所述风道的进口端连通。

可选地，所述冷却机构包括安装箱、安装板和风机，所述安装箱设置在所述侧板上，所述安装箱上设有互相连通的第一开口和第二开口，所述风机设置在所述第一开口处，所述第二开口与所述风道的进口端连通。

可选地，所述安装箱呈喇叭口状，所述第一开口的横截面积大于所述第二开口的横截面积。

可选地，所述第一开口和所述安装板均设有多个，且多个所述第一开口和所述安装板沿第二方向间隔设置。

可选地，每个所述安装板上设有多个风机，多个所述风机沿第二方向等间隔设置。

本实用新型还提供一种半导体设备，包括上述任一方案中的暂存装置。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供一种暂存装置，该暂存装置包括架体和冷却机构，架体上设有存放平台，存放平台用于放置载具舟，已进行工艺处理的载具舟温度较高，存放平台内设有风道，风道的进口端与冷却机构连通，风道的出口端对应载具舟的底部设置，通过冷却机构可向风道内送入冷风，从而对高温的载具舟进行冷却降温。由于冷却机构避开了载具舟的底部，其安装位置远离已进行工艺处理的高温的载具舟，从而避免了热辐射对冷却机构造成损坏，延长了冷却机构的使用寿命，且风机无需采用耐高温的材料制作，降低了制作成本。

本实施例还提供一种半导体设备，该半导体设备包括上述的暂存装置，通过暂存装置可以用来转运或存放进行工艺处理过程的载具舟，通过暂存装置可以对已进行工艺处理的温度较高的载具舟进行快速降温，散热效果良好，成本较低。

附图说明

图1是本实用新型实施例一中提供的暂存装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例一中提供的存放平台和冷却机构的结构示意图；

图3是本实用新型实施例一中提供的存放平台和冷却机构的侧视图。

图中：

100、架体；200、存放平台；210、壳体；2101、风道；220、匀流板；221、匀流孔；300、冷却机构；310、安装箱；3101、通风腔室；320、安装板；330、风机。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

实施例一

如图1-图3所示，本实施例提供一种暂存装置，该暂存装置包括架体100和冷却机构300，架体100上设有存放平台200，存放平台200用于放置载具舟，载具舟包括已进行工艺处理的载具舟或待进行工艺处理的载具舟，已进行工艺处理的载具舟温度较高，冷却机构300设置在存放平台200上对其进行降温。示例性地，载具舟可以为石墨舟、石英舟等等，此处不再一一列举。

冷却机构300避开温度较高的载具舟的底部设置，错开了相邻的载具舟的散热面，冷却机构300能够吸入温度更低的气流以进行对载具舟进行散热，增大了载具舟与冷却机构300产生的冷却气流之间的温差，提高了散热效率。可选地，存放平台200内设有风道2101，风道2101的进口端与冷却机构300连通，风道2101的出口端对应载具舟的底部设置，通过冷却机构300可向风道2101内送入冷风，从而对高温的载具舟进行冷却降温。当然，冷却机构300也可以从风道2101内抽出热风，同样可以对高温的载具舟起到降温的作用。本实施例中的冷却机构300不仅能够对高温的载具舟进行快速降温，而且冷却机构300的安装位置远离已进行工艺处理的高温的载具舟，从而避免了热辐射对冷却机构300造成损坏，延长了冷却机构300的使用寿命，且风机330无需采用耐高温的材料制作，降低了制作成本。

进一步地，存放平台200可以设有多个，多个存放平台200沿第一方向间隔设置在架体100上，第一方向为图1和图2中所示的Z轴方向。示例性地，本实施例中以架体100上设有四个存放平台200为例进行说明。当然，在其它实施例中，架体100上也可以设置三个、五个、六个或其他数量的存放平台200，本实施例对此不作限定。

本实施例中以冷却机构300设置存放平台200的一侧为例进行说明，由于冷却机构300设置在载具舟的侧边，所以风道2101的进口端与出口端之间具有一定夹角，进风方向或出风方向不平行，避免了高温气体直接吸入冷却机构300，有利于保护冷却机构300不受损坏。

继续参见图2，本实施例中的存放平台200包括壳体210和匀流板220，壳体210的内部中空，匀流板220固定在壳体210上，壳体210和匀流板220之间形成供冷风流通的风道2101，匀流板220上设有匀流孔221，匀流孔221即为风道2101的出口端。冷风沿第三方向在通风腔室3101和风道2101流通后，沿第一方向从匀流孔221流出，第三方向为图1和图2中所示的X轴方向。并且本实施例中的匀流孔221设置为多个，且多个匀流孔221呈长条形设置，多个长条形的匀流孔221沿第二方向等间隔设置，使得吹向载具舟底部的冷风更加均匀，载具舟的各处的温降统一，避免发生某处热量集中的状况，降温效果良好。

当然，在一些实施例中，匀流孔221也可以设置为圆形、方形或其他不规则形状，多个匀流孔221在匀流板220上均布，从而使载具舟的各处接收到的冷风较为均匀，散热效果良好。

继续参见图3，本实施例中的冷却机构300采用送风的方式对载具舟进行降温，具体地，冷却机构300包括安装箱310、安装板320和风机330，壳体210包括互相连接的底板和侧板，风道2101的进口端设置在其中一个侧板上，冷却机构300设置为一个，安装箱310设置在壳体210的该侧板上，安装箱310上设有互相连通的第一开口和第二开口，风机330设置在安装板320上的第一开口处，风道2101的进口端与第二开口连通，安装箱310的箱体内形成供冷风流通的通风腔室3101，风机330产生的气流能够依次通过第一开口、通风腔室3101以及第二开口，最终经风道2101送入载具舟的底部位置。示例性地，本实施例中的第一开口设置有两个，安装板320对应第一开口也设有两个，两个安装板320分别固定在两个第一开口处，两个第一开口和安装板320沿第二方向间隔设置，第二方向为图1和图2中所示出的Y轴方向，第二开口设置为一个，两个安装板320上的风机330所产生的冷风共同经过第二开口进入到存放平台200的风道2101内。

当然，在其他实施例中，第一开口和安装板320也可以设置为其他数量，只要第一开口和安装板320一一对应即可。当然，在一些实施例中，多个第一开口和安装板320也可以沿第一方向间隔设置，本实施例对此不做限定。

进一步地，每个安装板320上设有多个风机330，多个风机330沿第二方向等间隔设置。本实施例中以一块安装板320上设置五个风机330为例进行说明，提高了冷风的风量，提高了散热效率，冷却降温的效果良好。当然，根据载具舟型号的不同，可能有些暂存装置需要设置为更大的尺寸，此时，也可以适当增加风机330的设置数量，以提供足够量的冷风对载具舟进行降温。

作为一种可选的方案，本实施例中的安装箱310可以设置为呈喇叭口状，即安装箱310的侧壁是倾斜设置的，第一开口的横截面积大于第二开口的横截面积，从而风机330所产生的冷风可以沿安装箱310的内壁流入存放平台200的风道2101内，喇叭口状的安装箱310的内壁起到良好的导流作用，使得风机330产生的冷风集中在一处后，送入存放平台200的风道2101内。

更为优选地，冷却机构300也可以设置为两个，两个冷却机构300沿第三方向分别设置在壳体210的相对两侧，即两个冷却机构300的安装箱310分别固定在壳体210的相对两个侧板上，且两个安装箱310的第二开口均与风道2101的进口端连通，从而两侧的冷却机构300可以沿第三方向将冷风沿相对的方向送入风道2101内形成对流，在风道2101内汇合后统一从匀流孔221内流出，送向载具舟的底部，由于两个冷却机构300送入风道2101内冷风形成对流，能够对载具舟底部的高温空气产生扰动，散热效果更好。

本实施例还提供一种半导体设备，该半导体设备包括上述的暂存装置，通过暂存装置可以用来转运或存放进行工艺处理过程的载具舟，通过暂存装置可以对已进行工艺处理的温度较高的载具舟进行快速降温，散热效果良好，制作成本和日常维护成本较低。

实施例二

本实施例提供一种暂存装置，其与实施例一中的暂存装置的区别在于：本实施例中的冷却机构300设置壳体210的底板上，由于冷却机构300没有直接设置在存放平台200上放置石墨舟的一面，因此，同样能够避开高温的石墨舟，从而避开了相邻载具舟的散热面，冷却机构300能够吸入温度较低的气流以对载具舟进行散热，增大了载具舟与冷却气流之间的温差，散热效率加高。

当然，在一些实施例中，冷却机构300也可以设置为两个，两个冷却机构300分别设置在壳体210的底板以及其中一个侧板上，使得两个冷却机构300送入的冷风之间存在一定夹角，避免了高温气体直接吸入冷却机构300，有利于保护冷却机构300不受损坏。

当然，在一些实施例中，冷却机构300也可以设置为三个，三个冷却机构300分别设置在壳体210的底板以及两个相对设置的侧板上，三个冷却机构300能够向风道2101内送入大量的冷风，从而提高载具舟的散热效果。

本实施例还提供一种半导体设备，该半导体设备包括上述的暂存装置，通过暂存装置可以用来转运或存放进行工艺处理过程的载具舟，通过暂存装置可以对已进行工艺处理的温度较高的载具舟进行快速降温，散热效果良好，制作成本和日常维护成本较低。

本实施例中的其余结构均与实施例一中相同，此处不再一一赘述。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种暂存装置，其特征在于，包括：

架体(100)，所述架体(100)上设有存放平台(200)，所述存放平台(200)用于放置载具舟，所述存放平台(200)内设有风道(2101)，所述风道(2101)的出口端对应所述载具舟的底部设置；

冷却机构(300)，所述冷却机构(300)设置在所述存放平台(200)上，且所述冷却机构(300)避开所述载具舟的底部设置，所述冷却机构(300)与所述风道(2101)的进口端连通，所述冷却机构(300)用于对所述载具舟进行冷却降温。

2.根据权利要求1所述的暂存装置，其特征在于，所述存放平台(200)为多个，且多个所述存放平台(200)沿第一方向间隔设在所述架体(100)上。

3.根据权利要求1所述的暂存装置，其特征在于，所述存放平台(200)包括壳体(210)和匀流板(220)，所述匀流板(220)固定在所述壳体(210)上，所述壳体(210)与匀流板(220)共同围设成所述风道(2101)，所述匀流板(220)上设有匀流孔(221)，所述匀流孔(221)为所述风道(2101)的出口端。

4.根据权利要求3所述的暂存装置，其特征在于，所述匀流孔(221)设有多个，多个所述匀流孔(221)在所述匀流板(220)上均布。

5.根据权利要求3所述的暂存装置，其特征在于，所述壳体(210)包括互相连接的底板和侧板，所述风道(2101)的进口端设置在所述底板和/或所述侧板上，所述冷却机构(300)设置为至少一个，所述冷却机构(300)设置在所述底板和/或所述侧板上，所述冷却机构(300)与所述风道(2101)的进口端连通。

6.根据权利要求5所述的暂存装置，其特征在于，所述冷却机构(300)包括安装箱(310)、安装板(320)和风机(330)，所述安装箱(310)设置在所述侧板上，所述安装箱(310)上设有互相连通的第一开口和第二开口，所述风机(330)设置在所述第一开口处，所述第二开口与所述风道(2101)的进口端连通。

7.根据权利要求6所述的暂存装置，其特征在于，所述安装箱(310)呈喇叭口状，所述第一开口的横截面积大于所述第二开口的横截面积。

8.根据权利要求6所述的暂存装置，其特征在于，所述第一开口和所述安装板(320)均设有多个，且多个所述第一开口和所述安装板(320)沿第二方向间隔设置。

9.根据权利要求6所述的暂存装置，其特征在于，每个所述安装板(320)上设有多个风机(330)，多个所述风机(330)沿第二方向等间隔设置。

10.一种半导体设备，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的暂存装置。

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