CN218238736U - 膜层厚度检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型的膜层厚度检测装置，包括检测单元，所述检测单元包括检测平台，所述检测平台的上表面适于放置镀膜基板；膜厚测量仪，所述膜厚测量仪位于检测平台的上方，所述膜厚测量仪的镜头朝向下侧；移动装置，所述移动装置与所述检测平台和所述膜厚测量仪中的至少一者相连，所述移动装置可带动所述检测平台和所述膜厚测量仪中的至少一者在水平方向上移动以便所述检测平台和所述膜厚测量仪可在水平方向上相对移动。因此，根据本实用新型的膜层厚度检测装置具有便于检测镀膜基板的膜厚度和检测效率以及精准度高的优点。

Description

膜层厚度检测装置

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，具体涉及一种膜层厚度检测装置。

背景技术

狭缝涂布机在基板上涂一层超薄薄膜，而这种薄膜厚度需要自动检测它的厚度(厚度1-3mm,检测精度±10纳米)。薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距离，而实际上，薄膜的表面是不平整，不连续的，且薄膜内部存在着针孔、微裂纹、纤维丝、杂质、晶格缺陷和表面吸附分子等，通常测量方法在薄膜上取6～24区域分别测量该区域一个点，来判断均匀性和缺陷。相关技术中，采用人工对物料进行检测和测量，并由人工记录，做出质量判定。采用人工完成费时费力，造效率低，人工取放造成静电或落尘，对检测质量有很大影响。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的实施例提出一种膜层厚度检测装置。

本实用新型实施例的膜层厚度检测装置，包括检测单元，所述检测单元包括

检测平台，所述检测平台的上表面适于放置镀膜基板；

膜厚测量仪，所述膜厚测量仪位于检测平台的上方，所述膜厚测量仪的镜头朝向下侧；

移动装置，所述移动装置与所述检测平台和所述膜厚测量仪中的至少一者相连，所述移动装置可带动所述检测平台和所述膜厚测量仪中的至少一者在水平方向上移动以便所述检测平台和所述膜厚测量仪可在水平方向上相对移动。

因此，根据本实用新型实施例的膜层厚度检测装置具有便于检测镀膜基板的膜厚度和检测效率以及精准度高的优点。

在一些实施例中，所述移动装置包括

转动组件，所述转动组件包括转动电机，所述转动电机的输出轴的轴向为上下方向，所述转动电机的输出轴与所述检测平台相连以便带动所述检测平台在水平方向上转动；和/或，

第一移动组件，所述第一移动组件包括可在水平方向上移动的第一移动部，所述第一移动部与所述检测平台相连以便带动所述检测平台在水平方向上移动。

在一些实施例中，所述移动装置包括

所述转动组件，所述转动组件包括第一板体、转盘和所述转动电机，所述转动电机安装在所述第一板体上，所述转动电机的输出轴与所述转盘相连以便带动所述转盘转动，所述转盘与所述检测平台的下部相连；

所述第一移动组件，所述第一移动组件包括滑轨、所述第一移动部和第一驱动器，所述滑轨沿水平方向延伸，所述第一驱动器可驱动所述第一移动部在所述滑轨上滑动，所述第一移动部与所述第一板体的下部相连。

在一些实施例中，所述检测单元包括静电消除装置，所述静电消除装置设在所述检测平台的上方。

在一些实施例中，所述检测单元包括

第一架体；

第二架体，所述第二架体设在所述第一架体上，所述第二架体上设有第二移动组件，所述第二移动组件包括沿上下方向移动的第二移动部，所述第二移动部与所述膜厚测量仪相连且可带动所述膜厚测量仪在上下方向上移动

第三架体，所述静电消除装置设在所述第三架体上，所述第三架体设在所述第一架体上。

在一些实施例中，所述检测平台具有依次相连的第一边侧、第二边侧、第三边侧和第四边侧，所述第一边侧和所述第三边侧在第一水平方向上相对设置，所述第二边侧和所述第四边侧在第二水平方向上相对设置，所述第一水平方向与所述第二水平方向垂直；

所述检测单元包括

第一定位件和第一推移部，所述第一定位件和所述第一推移部在所述第一水平方向上相对设置，所述第一定位件设在所述第一边侧上且至少部分位于所述检测平台上方，所述第三边侧具有与所述第一推移部配合的凹槽，所述第一推移部可在所述第一水平方向和上下方向上移动；

第二定位件和第二推移部，所述第二定位件和所述第二推移部在所述第二水平方向上相对设置，所述第二定位件设在所述第二边侧上且至少部分位于所述检测平台上方，所述第四边侧具有与所述第二推移部配合的凹槽，所述第二推移部可在所述第二水平方向和上下方向上移动；

吸附装置，所述吸附装置可将所述镀膜基板吸附在所述检测平台的上表面上。

本实用新型实施例的膜层厚度检测装置还包括送料单元，所述送料单元包括

基板架，所述基板架适于放置多个沿上下方向间隔设置的所述镀膜基板；

机械手和手爪，所述机械手与所述手爪相连且可带动所述手爪将送料架上的所述镀膜基板移动至所述检测平台，所述手爪包括多个爪板，所述检测平台的上表面具有与所述爪板配合的爪板槽。

在一些实施例中，所述送料单元包括

送料架，所述送料架和所述机械手在所述送料架的长度方向上相对设置，所述送料架包括第一送料板、第二送料板和多个滚筒，多个所述滚筒设在所述第一送料板和所述第二送料板之间，多个所述滚筒沿所述送料架的长度方向间隔排布，所述基板架适于放置在多个所述滚筒上；

阻挡块，所述阻挡块位于所述送料架和所述机械手之间且邻近所述送料架；

第一传感器和第二传感器，所述第一传感器和所述第二传感器设在所述第一送料板上，所述第一传感器和所述第二传感器在所述送料架的长度方向上具有预设距离，所述第一传感器和所述第二传感器均可用于检测所述基板架在所述送料架上的位置；

第三推移部和第四推移部，所述第三推移部和所述第四推移部均设在所述第二送料板上，所述第三推移部和所述第四推移部可将所述基板架推向所述第一送料板。

本实用新型实施例的膜层厚度检测装置包括罩体，所述罩体具有工作腔以及与所述工作腔连通的送料口，所述送料单元、所述检测平台、所述膜厚测量仪和所述静电消除装置所述位于所述工作腔内，所述送料架邻近所述送料口。

在一些实施例中，所述罩体上设有空气过滤器，所述空气过滤器包括风机和过滤器，所述空气过滤器的空气出口通向所述工作腔。

附图说明

图1是根据本实用新型实施例的膜层厚度检测装置的示意图。

图2是根据本实用新型实施例的膜层厚度检测装置的俯视图。

图3是根据本实用新型实施例的送料单元的示意图。

图4是根据本实用新型实施例的送料单元的工作状态图。

图5是根据本实用新型实施例的送料架的示意图。

图6是根据本实用新型实施例的检测单元示意图。

图7是根据本实用新型实施例的检测单元的侧视图。

图8是根据本实用新型实施例的检测平台的示意图。

附图标记：

膜层厚度检测装置100；

检测平台1,第一边侧101，第二边侧102，第三边侧103，第四边侧104，膜厚测量仪11,静电消除装置12,第一架体13，第二架体14，第三架体15，第二移动部16；

第一板体21，转盘22，转动电机23，旋转平台24；

滑轨31，第一移动部32，第一驱动器33；

第一定位件41，第一推移部42，第二定位件43，第二推移部44，吸附装置45；

基板架5，机械手51，手爪52，镀膜基板53，

送料架6，第一送料板61，第二送料板62，滚筒63，阻挡块64，第一传感器65，第二传感器66，第三推移部67，第四推移部68；

罩体7，工作腔71，送料口72，空气过滤器73。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考附图描述本实用新型实施例的膜层厚度检测装置100。如图1至图8所示，根据本实用新型实施例的膜层厚度检测装置100包括检测单元，检测单元包括检测平台1、膜厚测量仪11和移动装置。

检测平台1的上表面适于放置镀膜基板53。膜厚测量仪11位于检测平台1的上方，膜厚测量仪11的镜头朝向下侧。移动装置与检测平台1和膜厚测量仪11中的至少一者相连，移动装置可带动检测平台1和膜厚测量仪11中的至少一者在水平方向上移动以便检测平台1和膜厚测量仪11可在水平方向上相对移动。

根据本实用新型实施例的膜层厚度检测装置100通过设置膜厚测量仪11的镜头朝向下侧，以便膜厚测量仪11可测量其下方的检测平台1的上表面上放置镀膜基板53的膜厚度。且移动装置可带动检测平台1和膜厚测量仪11中的至少一者在水平方向上移动以便检测平台1和膜厚测量仪11可在水平方向上相对移动，从而可使得膜厚测量仪11可测量检测平台1的上表面上放置镀膜基板53的不同位置的膜厚度，也就是说，根据本实用新型实施例的膜层厚度检测装置100便于测量镀膜基板53的不同位置的膜厚度，从而判断镀膜基板53上的膜层的均匀性以及是否有缺陷，以便控制和改进涂布质量，相较于通过人工移动检测平台1和膜厚测量仪11中的至少一者，通过移动装置移动检测平台1和膜厚测量仪11中的至少一者可提高检测效率，且减少因人工因素(人体所带静电、杂质等)造成的检测误差，以便提高检测的精准度。

因此，根据本实用新型实施例的膜层厚度检测装置100具有便于检测镀膜基板53的膜厚度和检测效率以及精准度高的优点。

如图1至图8所示，根据本实用新型实施例的膜层厚度检测装置100包括罩体7、检测单元和送料单元。

罩体7具有工作腔71以及与工作腔71连通的送料口72，罩体7上设有空气过滤器73，空气过滤器73包括风机和过滤器，空气过滤器73的空气出口通向工作腔71。具体地，罩体7的上部限定出工作腔71，检测单元的至少部分和送料单元位于工作腔71内，空气过滤器73的空气出口邻近检测单元。由此，可使得经过空气过滤器73过滤后的空气可通入工作腔71内，以便工作腔71中的空气杂质较少，使得工作腔71内的检测单元的至少部分和送料单元不易被杂质污染，工作腔内的空气可从送料口72排出。

在一些实施例中，罩体7上设有LED显示器、操作键盘、电气控制柜、控制箱、吊臂和三色灯。LED显示屏用于显示设备的信息和数据。三色灯是信号灯，用于指示设备当前状态的信号。罩体7下部设有多个可调节高度的调节脚。

如图3至图5所示，送料单元包括基板架5、机械手51、手爪52、送料架6、阻挡块64、第一传感器65、第二传感器66、第三推移部67、第四推移部68。

基板架5适于放置多个沿上下方向间隔设置的镀膜基板53。具体地，基板架5上设有多个沿上下方向间隔设置的夹持件，基板53镀膜后形成镀膜基板53后，依次放置在多个夹持件上，以便基板架5适于放置多个镀膜基板53。

送料架6包括第一送料板61、第二送料板62和多个滚筒63，多个滚筒63设在第一送料板61和第二送料板62之间，多个滚筒63沿送料架6的长度方向间隔排布，基板架5适于放置在多个滚筒63上。具体地，第一送料板61和第二送料板62在送料架6的宽度方向上相对设置，第一送料板61和第二送料板62的长度方向与送料架6的长度方向一致，驱动器可驱动多个滚筒63转动以便将位于输送基板架5。送料架6邻近送料口72，从而便于将放置镀膜基板53的基板架5放置在送料架6上。

送料架6的长度方向可以是前后方向，送料架6的宽度方向可以是左右方向，前后方向和左右方向如图中的箭头所示。例如，罩体7的前侧设有送料口72，第一送料板61、第二送料板62的长度方向和送料架6的长度方向均为前后方向，第一送料板61和第二送料板62在左右方向上相对设置。

如图3和图4所示，机械手51与手爪52相连且可带动手爪52将送料架6上的镀膜基板53移动至检测平台1。手爪52包括多个爪板，检测平台1的上表面具有与爪板配合的爪板槽。具体地，机械手51为四轴机械手，手爪52设置在机械手51末端，机械手51用于移动手爪52。手爪52为U型且具有两个抓板。手爪52上设有吸附器以便对镀膜基板53吸取和释放，从而可将镀膜基板53移动至检测平台1上。

送料架6和机械手51在送料架6的长度方向上相对设置。例如，送料架6位于机械手51的前侧。

阻挡块64位于送料架6和机械手51之间且邻近送料架6，由此，可使得阻挡块64可阻挡基板架5脱离送料架6且便于手爪52吸取镀膜基板53。

第一传感器65和第二传感器66设在第一送料板61上，第一传感器65和第二传感器66在送料架6的长度方向上具有预设距离。第一传感器65和第二传感器66均可用于检测基板架5在送料架6上的位置。具体地，第一传感器65和第二传感器66均为光电传感器，第一传感器65和第二传感器66将光信号转换为电信号。第一传感器65和第二传感器6的检测方向均朝向第二送料板62，基板架5阻挡第一传感器65和第二传感器6的光信号传输来判断基板架5在送料架6的长度方向上的位置，由此可使得第一传感器65和第二传感器66间隔设置以便第一传感器65和第二传感器66可分别检测送料架6的长度方向上的不同位置是否存在基板架5，进而判断基板架5是否在送料件6上且在送料架6的所在位置，并可根据其判断结果启动或停止滚筒63。

第三推移部67和第四推移部68均设在第二送料板62上，第三推移部67和第四推移部68可将基板架5推向第一送料板61。具体地，第三推移部67和第四推移部68在送料架6的长度方向上间隔设置，第三推移部67和第四推移部68中的每一者和伸缩气缸的伸缩部相连，以便推移基板架5，从而完成基板架5在送料架6上的定位。

如图6至图8所示，检测单元包括检测平台1、膜厚测量仪11、静电消除装置12和移动装置。具体地，检测平台1、膜厚测量仪11和静电消除装置12位于工作腔71内。

检测平台1的上表面适于放置镀膜基板53。具体地，检测平台1为厚度为上下方向的板体，上下方向如图中的箭头所示。

膜厚测量仪11位于检测平台1的上方，膜厚测量仪11的镜头朝向下侧。移动装置与检测平台1和膜厚测量仪11中的至少一者相连，移动装置可带动检测平台1和膜厚测量仪11中的至少一者在水平方向上移动以便检测平台1和膜厚测量仪11可在水平方向上相对移动。

在一些实施例中，移动装置包括转动组件和/或第一移动组件，即移动装置包括转动组件和第一移动组件中的至少一者。

转动组件包括转动电机23，转动电机23的输出轴的轴向为上下方向，转动电机23的输出轴与检测平台1相连以便带动检测平台1在水平方向上转动，即通过转动检测平台1的方式使得检测平台1和膜厚测量仪11在水平方向上相对移动。

第一移动组件包括可在水平方向上移动的第一移动部32，第一移动部32与检测平台1相连以便带动检测平台1在水平方向上移动。即通过在水平方向上移动检测平台1的方式使得检测平台1和膜厚测量仪11在水平方向上相对移动。

如图6至图8所示，在一些实施例中，移动装置包括转动组件和第一移动组件。

转动组件包括第一板体21、转盘22和转动电机23，转动电机23安装在第一板体21上，转动电机23的输出轴与转盘22相连以便带动转盘22转动，转盘22与检测平台1的下部相连。具体地，第一板体21上设有旋转平台24，转盘22的下部位于旋转平台24内且与旋转平台24转动相连，以便转盘22转动稳定，从而使得检测平台1转动稳定。

第一移动组件包括滑轨31、第一移动部32和第一驱动器33，滑轨31沿水平方向延伸，第一驱动器33可驱动第一移动部32在滑轨31上滑动，第一移动部32与第一板体21的下部相连。具体地，滑轨31、第一移动部32和第一驱动器33每一者的数量为两个。第一驱动器33为电机，第一驱动器33驱动丝杆转动，丝杆与第一移动部32进行丝杆传动，以便第一移动部32沿着滑轨31的长度方向进行移动。由此，可使得第一移动组件带动转动组件在水平方向上进行直线运动，进而带动设置转动组件上的检测平台1在水平方向上进行直线运动，且转动组件可带动检测平台1在水平方向上进行转动。例如，滑轨31沿左右方向延伸，两个滑轨31在前后方向上间隔设置。

静电消除装置12设在检测平台1的上方。具体地，静电消除装置12为离子棒，离子棒为棒式除静电产品且安装简易、工作安全稳定、消除静电速度快。

检测单元还包括第一架体13、第二架体14和第三架体15。

滑轨31设在第一架体12上。第二架体14设在第一架体13上，第二架体14上设有第二移动组件，第二移动组件包括沿上下方向移动的第二移动部16，第二移动部16与膜厚测量仪11相连且可带动膜厚测量仪11在上下方向上移动。具体地，第二移动部16为L型，第二移动组件包括电机、丝杆和与第二移动部16滑动相连的滑动轨，电机带动丝杆转动，丝杆与第二移动部16丝杆传动，从而带动第二移动部16在上下方向上移动，进而带动膜厚测量仪11上下移动，从而调节膜厚测量仪11的焦距，以便适应更多的产品种类和测量更加准确。

如图6和图7所示，静电消除装置12设在第三架体15上，第三架体15设在第一架体13上。具体地，第三架体15为U型。

在一些实施例中，检测平台1具有依次相连的第一边侧101、第二边侧102、第三边侧103和第四边侧104。第一边侧101和第三边侧103在第一水平方向上相对设置，第二边侧102和第四边侧104在第二水平方向上相对设置，第一水平方向与第二水平方向垂直。例如，第一水平方为前后方向，第二水平方向为左右方向。

如图6和图7所示，检测单元包括第一定位件41、第一推移部42、第二定位件43、第二推移部44和吸附装置45。

第一定位件41和第一推移部42在第一水平方向上相对设置，第一定位件41设在第一边侧101上且至少部分位于检测平台1上方，第三边侧103具有与第一推移部42配合的凹槽，第一推移部42可在第一水平方向和上下方向上移动。具体地，第一边侧101上设有两个第一定位件41，第一推移部42与伸缩气缸组件相连以便带动第一推移部42在第一水平方向和上下方向上移动。从而使得镀膜基板53在放置在检测平台1上时，第一推移部42上升后沿第一水平方向朝着第一定位件41的方向移动，第一推移部42进入第三边侧103上与第一推移部42配合的凹槽后，则可使得第一定位件41和第一推移部42在第一水平方向上对镀膜基板53进行定位，然后第一推移部42可后退并下降回归初始位置。例如，第一定位件41和第一推移部42在前后方向上相对设置。

第二定位件43和第二推移部44在第二水平方向上相对设置，第二定位件43设在第二边侧102上且至少部分位于检测平台1上方，第四边侧104具有与第二推移部44配合的凹槽，第二推移部44可在第二水平方向和上下方向上移动。具体地，第二边侧102上设有两个第二定位件43，第二推移部44与伸缩气缸组件相连以便带动第二推移部44在第二水平方向和上下方向上移动。从而使得镀膜基板53在放置在检测平台1上时，第二推移部44上升后沿第二水平方向朝着第二定位件43的方向移动，第二推移部44进入第四边侧104上与第二推移部44配合的凹槽后，则可使得第二定位件43和第二推移部44在第二水平方向上对镀膜基板53进行定位，然后第二推移部44可后退并下降回归初始位置。例如，第二定位件43和第二推移部44在左右方向上相对设置。

吸附装置45可将镀膜基板53吸附在检测平台1的上表面上。具体地，吸附装置45为真空发生器，真空发生器利用正压气源产生负压。吸附装置45固定在第一板体21上，吸附装置45为检测平台1提供真空吸力，保证物料在移栽检测过程中，不发生晃动和位移。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管已经示出和描述了上述实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域普通技术人员对上述实施例进行的变化、修改、替换和变型均在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种膜层厚度检测装置，其特征在于，包括检测单元，所述检测单元包括

检测平台，所述检测平台的上表面适于放置镀膜基板；

膜厚测量仪，所述膜厚测量仪位于检测平台的上方，所述膜厚测量仪的镜头朝向下侧；

移动装置，所述移动装置与所述检测平台和所述膜厚测量仪中的至少一者相连，所述移动装置可带动所述检测平台和所述膜厚测量仪中的至少一者在水平方向上移动以便所述检测平台和所述膜厚测量仪可在水平方向上相对移动。

2.根据权利要求1所述的膜层厚度检测装置，其特征在于，所述移动装置包括

转动组件，所述转动组件包括转动电机，所述转动电机的输出轴的轴向为上下方向，所述转动电机的输出轴与所述检测平台相连以便带动所述检测平台在水平方向上转动；和/或，

第一移动组件，所述第一移动组件包括可在水平方向上移动的第一移动部，所述第一移动部与所述检测平台相连以便带动所述检测平台在水平方向上移动。

3.根据权利要求2所述的膜层厚度检测装置，其特征在于，所述移动装置包括

所述转动组件，所述转动组件包括第一板体、转盘和所述转动电机，所述转动电机安装在所述第一板体上，所述转动电机的输出轴与所述转盘相连以便带动所述转盘转动，所述转盘与所述检测平台的下部相连；

所述第一移动组件，所述第一移动组件包括滑轨、所述第一移动部和第一驱动器，所述滑轨沿水平方向延伸，所述第一驱动器可驱动所述第一移动部在所述滑轨上滑动，所述第一移动部与所述第一板体的下部相连。

4.根据权利要求1-3任一项所述的膜层厚度检测装置，其特征在于，所述检测单元包括静电消除装置，所述静电消除装置设在所述检测平台的上方。

5.根据权利要求4所述的膜层厚度检测装置，其特征在于，所述检测单元包括

第一架体；

第二架体，所述第二架体设在所述第一架体上，所述第二架体上设有第二移动组件，所述第二移动组件包括沿上下方向移动的第二移动部，所述第二移动部与所述膜厚测量仪相连且可带动所述膜厚测量仪在上下方向上移动

第三架体，所述静电消除装置设在所述第三架体上，所述第三架体设在所述第一架体上。

6.根据权利要求5所述的膜层厚度检测装置，其特征在于，

所述检测平台具有依次相连的第一边侧、第二边侧、第三边侧和第四边侧，所述第一边侧和所述第三边侧在第一水平方向上相对设置，所述第二边侧和所述第四边侧在第二水平方向上相对设置，所述第一水平方向与所述第二水平方向垂直；

所述检测单元包括

第一定位件和第一推移部，所述第一定位件和所述第一推移部在所述第一水平方向上相对设置，所述第一定位件设在所述第一边侧上且至少部分位于所述检测平台上方，所述第三边侧具有与所述第一推移部配合的凹槽，所述第一推移部可在所述第一水平方向和上下方向上移动；

第二定位件和第二推移部，所述第二定位件和所述第二推移部在所述第二水平方向上相对设置，所述第二定位件设在所述第二边侧上且至少部分位于所述检测平台上方，所述第四边侧具有与所述第二推移部配合的凹槽，所述第二推移部可在所述第二水平方向和上下方向上移动；

吸附装置，所述吸附装置可将所述镀膜基板吸附在所述检测平台的上表面上。

7.根据权利要求4所述的膜层厚度检测装置，其特征在于，还包括送料单元，所述送料单元包括

基板架，所述基板架适于放置多个沿上下方向间隔设置的所述镀膜基板；

机械手和手爪，所述机械手与所述手爪相连且可带动所述手爪将送料架上的所述镀膜基板移动至所述检测平台，所述手爪包括多个爪板，所述检测平台的上表面具有与所述爪板配合的爪板槽。

8.根据权利要求7所述的膜层厚度检测装置，其特征在于，所述送料单元包括

送料架，所述送料架和所述机械手在所述送料架的长度方向上相对设置，所述送料架包括第一送料板、第二送料板和多个滚筒，多个所述滚筒设在所述第一送料板和所述第二送料板之间，多个所述滚筒沿所述送料架的长度方向间隔排布，所述基板架适于放置在多个所述滚筒上；

阻挡块，所述阻挡块位于所述送料架和所述机械手之间且邻近所述送料架；

第一传感器和第二传感器，所述第一传感器和所述第二传感器设在所述第一送料板上，所述第一传感器和所述第二传感器在所述送料架的长度方向上具有预设距离，所述第一传感器和所述第二传感器均可用于检测所述基板架在所述送料架上的位置；

第三推移部和第四推移部，所述第三推移部和所述第四推移部均设在所述第二送料板上，所述第三推移部和所述第四推移部可将所述基板架推向所述第一送料板。

9.根据权利要求8所述的膜层厚度检测装置，其特征在于，包括罩体，所述罩体具有工作腔以及与所述工作腔连通的送料口，所述送料单元、所述检测平台、所述膜厚测量仪和所述静电消除装置所述位于所述工作腔内，所述送料架邻近所述送料口。

10.根据权利要求9所述的膜层厚度检测装置，其特征在于，所述罩体上设有空气过滤器，所述空气过滤器包括风机和过滤器，所述空气过滤器的空气出口通向所述工作腔。

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