CN218208719U - 一种旋转支架及具有该支架的Mapping机构、装载设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种旋转支架及具有该支架的Mapping机构、装载设备，属于半导体技术领域。针对减小Mapping机构运行所需空间的问题，本实用新型提供旋转支架，包括电机，与电机的电机轴连接的转动块，转动块对称连接有两传动组件，且转动块旋转带动传动组件平移，传动组件连接有驱动组件，且传动组件平移带动驱动组件旋转，驱动组件的末端设置有安装臂，且驱动组件旋转带动安装臂旋转。本实用新型将电机的旋转转换为传动组件的平移，实现三者基本设置于同一平面，从而节省前后空间，再通过驱动组件将传动组件的平移转换为旋转，实现带动安装臂旋转，从而实现安装臂末端的Mapping传感器在初始位置和Mapping位置的转换，且安装臂的长度有限，刚性好，不易发生抖动。

Description

一种旋转支架及具有该支架的Mapping机构、装载设备

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种旋转支架及具有该支架的Mapping机构、装载设备。

背景技术

目前在半导体行业内，晶圆盒的装载设备(Loadpord)基本都包含有Mapping功能，通过一对传感器检测晶圆盒内晶圆的位置信息等，以上功能的实现通过在开合机构的开合门上安装Mapping机构实现。由于开合门需要与晶圆盒门贴合以进行开关操作，因此安装传感器的支架需要在工作过程中可实现前、后两个不同的工作位置的转换。现有技术中，一般是通过传感器直接前后移动实现。例如，公开日为2017-12-5，公开号为CN206711879U的中国专利申请公开了一种全封闭式SMIF系统，检测部包含：Mapping单元和Mapping驱动单元44。Mapping单元滑动安装在升降架22上，能够朝向和远离安装板11移动。Mapping单元包含：支架和Mapping传感器43。支架滑动安装在升降架22上，支架包含：四边形的框421和滑动块422。滑动块422固定在框421的一边上且滑动安装在升降架22上。Mapping传感器43安装在框421上与滑动块422相对的另一边，与控制部80相连接，Mapping传感器43用于检测容器60中晶圆的位置和数量。在本实施例中，升降架22上安装有第三导轨41，第三导轨41垂直于安装板11，滑动块422滑动安装在第三导轨41上，Mapping传感器43的数量为两个。该方案的不足之处在于：四边形的框421较长，执行端和驱动端距离太远，导致整个支架刚性差，容易导致传感器在工作过程中发生抖动，从而导致检测结果出现错误。

针对上述问题现有技术中也有相应改进，如公开日为2020-6-2，公开号为CN210668299U的中国专利申请公开了安装机构包括：轴承座组件，包括轴承座板和设于轴承座板下的直线滑轨以及一对安装孔；推板，推板设有沿其长度方向延伸并朝向其宽度方向倾斜的斜槽；驱动机构，驱动机构与推板连接；滑块，固设有第一连接轴并安装在斜槽中，滑块与直线滑轨滑动连接，滑块上设有一对长槽孔；一对驱动转臂组件，包括驱动转臂，驱动转臂设有转动端和安装端，转动端固设有第二连接轴，驱动转臂通过对应的第二连接轴安装在滑块的长槽孔中；一对转轴组件；一对安装转臂，安装转臂与转轴组件连接并用于安装传感器。该方案的不足之处在于：支架为实现旋转需要首先进行左右以及前后的移动，运动方向多，容易产生误差，同时由于需要产生前后移动，导致空间需求大。

因此，针对上述问题，有必要提出进一步地解决方案，以至少解决其中一个问题。

实用新型内容

为了解决相关的减小Mapping机构运行所需空间的问题，本实用新型提供一种旋转支架及具有该支架的Mapping机构、装载设备。所述技术方案是：

一种旋转支架，包括电机，与所述电机的电机轴连接的转动块，所述转动块对称连接有两传动组件，且所述转动块旋转带动所述传动组件平移，所述传动组件连接有驱动组件，且所述传动组件平移带动所述驱动组件旋转，所述驱动组件的末端设置有安装臂，且所述驱动组件旋转带动所述安装臂旋转。

本实用新型的一个较佳实施例中，所述传动组件包括连杆，所述连杆的一端与所述转动块转动连接，另一端转动连接有连接板，所述连接板连接有滑块，所述滑块滑动连接于滑轨上。

本实用新型的一个较佳实施例中，所述连接板上开设有腰型孔，所述腰型孔的长度方向与所述连接板的平移方向相垂直，所述驱动组件的一端滑动设置于所述腰型孔内，所述驱动组件的一端随所述连接板同步平移并带动所述驱动组件的另一端旋转。

本实用新型的一个较佳实施例中，所述驱动组件包括滚轮，所述滚轮设置于所述腰型孔内，且两者的直径相适配。

本实用新型的一个较佳实施例中，所述滚轮连接有驱动臂，所述驱动臂通过安装座连接所述安装臂，所述安装臂绕所述安装座并随所述驱动臂同步旋转。

本实用新型的一个较佳实施例中，所述安装臂为直线型。

本实用新型的一个较佳实施例中，至少一所述传动组件中的滑块连接有位置检测板，且对应所述位置检测板的检测位置设置有位置传感器。

另一技术方案是：

一种Mapping机构，包括以上任一所述的旋转支架，且所述安装臂的末端设置有Mapping传感器。

本实用新型的一个较佳实施例中，所述Mapping传感器为光纤传感器，且所述Mapping传感器的发射方向与所述安装臂的长度方向在水平面内相垂直。

另一技术方案是：

一种装载设备，包括设备框架，所述设备框架上设置有开合门，所述开合门的前方设置有装载台，还包括以上所述的Mapping机构，所述Mapping机构设置于开合门上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型通过设置电机、转动块和传动组件，将电机的旋转转换为传动组件的平移，实现三者基本设置于同一平面，从而节省前后空间，再通过驱动组件将传动组件的平移转换为旋转，实现带动安装臂旋转，从而实现安装臂末端的Mapping传感器在初始位置和Mapping位置的转换，且安装臂的长度有限，刚性好，不易发生抖动。

(2)本实用新型通过设置连杆、连接板、滑块以及滑轨，实现将电机的旋转转换为连接板的平移，且移动稳定；进一步通过在滑块上设置位置检测板以及对应设置的位置传感器，实现对滑块平移距离的精准监测与反馈，提高了安装臂旋转精度以及安全性。

(3)本实用新型通过设置直线型的安装臂，使得安装臂初始位置为0°即可，即与传动组件基本平行，设置方便。

附图说明

图1为本实用新型安装在开合门后的结构示意图；

图2为图1的后视示意图；

图3为图2的部分放大示意图；

图4为本实用新型使用状态示意图，其中，图4(a)旋转支架位于初始位置，图4(b)旋转支架旋转中，图4(c)旋转支架位于Mapping位置；

图5为本实用新型安装在装载设备后的结构示意图。

具体地，1、装载设备；2、设备框架；3、装载台；4、开合门；41、吸盘；42、锁扣；

100、电机；110、转动块；200、连杆；210、连接板；211、腰型孔；300、滑块；310、滑轨；400、滚轮；410、驱动臂；500、安装座；600、安装臂；610、Mapping传感器；700、位置检测板；710、位置传感器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。在本实用新型创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例1：

如图1所示，一种旋转支架，尤其适用于安装Mapping传感器610，且一般而言，该旋转支架安装在开合门4(详见实施例3)的背面顶端，通过旋转支架带动Mapping传感器610旋转至开合门4的正面前端，从而实现Mapping操作。

具体地，如图2和图3所示，该旋转支架包括电机100，与电机100的电机100轴连接的转动块110，使得电机100带动转动块110旋转。转动块110对称连接有两传动组件，且转动块110旋转带动传动组件平移，从而通过一个电机100带动两侧的传动组件同步平移，且电机100、转动块110和传动组件基本设置于同一平面，前后空间需求小，进而节省安装的前后空间，使得整体设备更紧凑，体积更小。本实施例中，平移指水平直线移动。

传动组件连接有驱动组件，且传动组件平移带动驱动组件旋转，驱动组件的末端设置有安装臂600，且驱动组件旋转带动安装臂600旋转。安装臂600的末端即用于安装传感器，尤其是Mapping传感器610，从而实现Mapping传感器610在初始位置和Mapping位置的转换，且安装臂600的长度有限，刚性好，不易发生抖动。优选地，安装臂600为直线型，从而使得安装臂600初始位置为0°即可，即与传动组件基本平行，设置方便。

传动组件包括连杆200，连杆200的一端与转动块110转动连接，另一端转动连接有连接板210，连接板210连接有滑块300，滑块300滑动连接于滑轨310上，实现将电机100的旋转转换为连接板210的平移，且移动稳定。连接板210上开设有腰型孔211，腰型孔211的长度方向与连接板210的平移方向相垂直，驱动组件的一端滑动设置于腰型孔211内，驱动组件的一端随连接板210同步平移并带动驱动组件的另一端旋转。

驱动组件包括滚轮400，滚轮400设置于腰型孔211内，且两者的直径相适配，进而实现滚轮400在腰型孔211内沿其长度方向滚动。可以理解的是，腰型孔211的两端为半圆形，腰型孔211的直径即指其两端的直径，腰型孔211的长度方向即一端向另一端的方向。滚轮400连接有驱动臂410，具体地，滚轮400可通过轴承连接有转轴，转轴的另一端固定连接驱动臂410。驱动臂410通过安装座500连接安装臂600，具体地，驱动臂410与安装臂600之间可以固定连接有转轴，转轴贯穿安装座500设置，使得安装臂600绕安装座500并随驱动臂410同步旋转。安装座500可固定设置在开合门4上，实现安装臂600绕a点旋转。

本实施例中，如图2和图3所示，左侧的传动组件中的滑块300连接有位置检测板700，且对应位置检测板700的检测位置设置有位置传感器710。位置检测板700可呈U型，且其一端随其平移插入位置传感器710中，从而实现滑块300位置检测，通过滑块300的位置即可判断安装臂600的旋转位置，即实现对滑块300平移距离的精准监测与反馈，提高了安装臂600旋转精度以及安全性。位置传感器710可以设置有多个，从而检测不同关键平移距离上的滑块。可以理解的是，右侧的传动组件也可设置位置检测板700以及位置传感器710，但由于左右两侧传动组件、驱动组件以及安装臂600为同步移动，故一侧设置即可。

如图4(a)-图4(c)所示，安装臂600旋转伸出：初始位置时，安装臂600与连接板210平行，处于0°位置，电机100启动带动转动块110旋转，转动块110带动传动组件平移，传动组件带动驱动组件旋转，驱动组件带动安装臂600旋转，直至安装臂600旋转至90°位置(Mapping位置)；可以理解的是，安装臂600旋转返回为相反操作。

实施例2：

在实施例1的基础上，本实施例中公开了一种Mapping机构，该Mapping机构包括实施例1的旋转支架，且安装臂600的末端设置有Mapping传感器610。图中仅一侧的安装臂600上设置了Mapping传感器610，但可以理解的是，另一侧的安装臂600上同样设置了Mapping传感器610，且两传感器对称设置，从而对位于两传感器之间的晶圆进行检测。

Mapping传感器610可以为光纤传感器，且Mapping传感器610的发射方向与安装臂600的长度方向在水平面内相垂直。

实施例3：

如图5所示，在实施例2的基础上，本实施例公开了一种装载设备1，包括设备框架2，设备框架2上设置有开合门4，开合门4用于开闭晶圆盒门，开合门4的前方设置有装载台3，装载台3用于承载晶圆盒。具体地，开合门4上设置有用于吸附晶圆盒门的吸盘41，以及用于打开或关闭晶圆盒门的锁扣42。同时，开合门4上还设置有实施例2中的Mapping机构。

综上所述，本实用新型通过设置电机、转动块和传动组件，将电机的旋转转换为传动组件的平移，实现三者基本设置于同一平面，从而节省前后空间，再通过驱动组件将传动组件的平移转换为旋转，实现带动安装臂旋转，从而实现安装臂末端的Mapping传感器在初始位置和Mapping位置的转换，且安装臂的长度有限，刚性好，不易发生抖动。

此外，应当理解，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

Claims (10)

1.一种旋转支架，其特征在于，包括电机，与所述电机的电机轴连接的转动块，所述转动块对称连接有两传动组件，且所述转动块旋转带动所述传动组件平移，所述传动组件连接有驱动组件，且所述传动组件平移带动所述驱动组件旋转，所述驱动组件的末端设置有安装臂，且所述驱动组件旋转带动所述安装臂旋转。

2.根据权利要求1所述的旋转支架，其特征在于，所述传动组件包括连杆，所述连杆的一端与所述转动块转动连接，另一端转动连接有连接板，所述连接板连接有滑块，所述滑块滑动连接于滑轨上。

3.根据权利要求2所述的旋转支架，其特征在于，所述连接板上开设有腰型孔，所述腰型孔的长度方向与所述连接板的平移方向相垂直，所述驱动组件的一端滑动设置于所述腰型孔内，所述驱动组件的一端随所述连接板同步平移并带动所述驱动组件的另一端旋转。

4.根据权利要求3所述的旋转支架，其特征在于，所述驱动组件包括滚轮，所述滚轮设置于所述腰型孔内，且两者的直径相适配。

5.根据权利要求4所述的旋转支架，其特征在于，所述滚轮连接有驱动臂，所述驱动臂通过安装座连接所述安装臂，所述安装臂绕所述安装座并随所述驱动臂同步旋转。

6.根据权利要求1所述的旋转支架，其特征在于，所述安装臂为直线型。

7.根据权利要求2所述的旋转支架，其特征在于，至少一所述传动组件中的滑块连接有位置检测板，且对应所述位置检测板的检测位置设置有位置传感器。

8.一种Mapping机构，其特征在于，包括权利要求1-7任一所述的旋转支架，且所述安装臂的末端设置有Mapping传感器。

9.根据权利要求8所述的Mapping机构，其特征在于，所述Mapping传感器为光纤传感器，且所述Mapping传感器的发射方向与所述安装臂的长度方向在水平面内相垂直。

10.一种装载设备，包括设备框架，所述设备框架上设置有开合门，所述开合门的前方设置有装载台，其特征在于，还包括权利要求8所述的Mapping机构，所述Mapping机构设置于开合门上。

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