CN218196122U - 一种金刚石砂浆处理系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供了一种金刚石砂浆处理系统，属于晶棒加工技术领域，作用于切割室，处理系统包括：切削液缸；搅拌组件，所述搅拌组件的下端在所述切削液缸中转动；循环组件，所述循环组件的第一端和所述切削液缸连通，所述循环组件的第二端和所述切割室连通，所述循环组件、切削液缸以及所述切割室构成一回路；以及回收组件，所述回收组件和所述切削液缸的下端连通；达到金刚石颗粒不易损失的技术效果。

Description

一种金刚石砂浆处理系统

技术领域

本实用新型涉及晶棒加工技术领域，尤其涉及一种金刚石砂浆处理系统。

背景技术

目前光伏和半导体切片机多采用金刚线或砂浆切割技术，使用时需配合切削液系统进行切割时的冷却及供液，使用后的切削液通过切割室漏斗回收，为了控制成本，通常需要将切削液循环使用。目前主要通过设置于切割室下方的切割室漏斗收集切削液，再将切削液通过回流管路送回储存缸内。在线切过程中由于硅、蓝宝石、碳化硅等材料的废屑进入切削液中，微颗粒之间易团聚结块造成管路堵塞，大颗粒废屑甚至导致线网波动，另一方面砂浆中的金刚石颗粒沉降会导致砂浆中磨料含量不足，影响线切割工作的顺利进行。

现有技术中，砂浆搅拌系统的储液缸为平底结构，且只有径向搅拌叶片，常发生金刚石颗粒沉降问题，导致砂浆中可用金刚石磨料含量降低，造成金属线对棒料的直接接触，影响线网稳定，降低切割良率。同时砂浆中金刚石和砂浆一起排出，并未提取固体颗粒物，未进行高价值物的回收利用。

所以，现有技术的技术问题在于：金刚石颗粒易损失，导致切割质量不好。

实用新型内容

本申请实施例提供一种金刚石砂浆处理系统，解决了现有技术中金刚石颗粒易损失，导致切割质量不好的技术问题；达到金刚石颗粒不易损失的技术效果。

本申请实施例提供一种金刚石砂浆处理系统，作用于切割室，处理系统包括：切削液缸；搅拌组件，所述搅拌组件的下端在所述切削液缸中转动；循环组件，所述循环组件的第一端和所述切削液缸连通，所述循环组件的第二端和所述切割室连通，所述循环组件、切削液缸以及所述切割室构成一回路；以及回收组件，所述回收组件和所述切削液缸的下端连通。

作为优选，所述切削液缸外侧设有冷却组件，所述冷却组件包括：冷却箱，所述冷却箱位于所述切削液缸的外侧，所述冷却箱和所述切削液缸的外侧面相接触。

作为优选，所述切削液缸的外侧设有真空装置，所述真空装置包括：真空发生器，所述真空发生器位于所述切削液缸的外侧，所述真空发生器和所述切削液缸连通。

作为优选，所述搅拌组件包括：搅拌轴；第一叶片，所述第一叶片有若干个，所述第一叶片和所述搅拌轴的侧壁连接；以及第二叶片，所述第二叶片位于所述第一叶片的下方，且所述第二叶片和所述搅拌轴的端部连接。

作为优选，所述第一叶片为轴向叶片，所述第二叶片为径向叶片。

作为优选，所述切削液缸的底部为弧形，且所述第二叶片的形状和所述切削液缸的底部相平行。

作为优选，所述循环组件包括：循环泵，所述循环泵的第一端和所述切削液缸连通；进液管路，所述进液管路的第一端和所述切割室连通，所述进液管路的第二端和所述循环泵的第二端连通；以及回液管路，所述回液管路的第一端和所述切割室连通，所述回液管路的第二端和所述切削液缸连通。

作为优选，所述回收组件包括：回收管，所述回收管和所述切削液缸的底端连通；排液阀，所述排液阀位于所述切割室的外侧，所述排液阀和所述回收管连通；以及过滤系统，所述过滤系统位于所述排液阀的后侧，所述过滤系统和所述回收管连通。

作为优选，所述过滤系统中设有过滤芯。

作为优选，所述切削液缸的上端面设有进气阀门，所述进气阀门和所述真空发生器连通。

本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：

1、本申请实施例中，金刚石和砂浆在切削液缸中，搅拌组件的下端在切削液缸中转动，循环组件的第一端和切削液缸连通，循环组件的第二端和切割室连通，循环组件、切削液缸以及切割室构成一回路，回收组件和切削液缸的下端连通，从而可以实现金刚石颗粒的循环利用，避免金刚石颗粒的损失，解决了现有技术中金刚石颗粒易损失，导致切割质量不好的技术问题；达到了金刚石颗粒不易损失的技术效果。

2、本申请实施例中，切削液缸的上端面设有进气阀门，进气阀门和真空发生器连通，通过真空发生器可以对切削液缸中的气体进行抽取，避免搅拌时大量气泡进入切削液缸中影响金刚石颗粒和砂浆的正常工作。且进气阀门可以提升切削液缸中的气压，有利于金刚石颗粒和砂浆从切削液缸中排出，通过回收组件中的过滤芯进行回收，避免金刚石颗粒的损失。

附图说明

图1为本申请实施例中一种金刚石砂浆处理系统的结构示意图；

图2为本申请实施例中另一种金刚石砂浆处理系统的结构示意图。

附图标记：

100、切削液缸；110、进气阀门；120、回液口；130、投料口；140、液位计；200、搅拌组件；210、搅拌轴；220、第一叶片；230、第二叶片；300、循环组件；310、循环泵；320、进液管路；330、回液管路；400、回收组件；410、回收管；420、排液阀；430、过滤系统；431、过滤芯；500、切割室；510、砂浆喷淋口；520、切割线；530、主辊；540、回液槽；550、晶棒；600、冷却组件；610、冷却箱；700、真空装置、710、真空发生器。

具体实施方式

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。

本申请实施例提供一种金刚石砂浆处理系统。如附图1、2所示，一种金刚石砂浆处理系统，作用于切割室500，处理系统包括切削液缸100、搅拌组件200、循环组件300以及回收组件400。切削液缸100用于对金刚石和砂浆进行储存，使得切割室500中使用后的金刚石颗粒和砂浆可以回流到切削液缸100中，然后经过搅拌组件200的搅拌作用，以及经过循环组件300的循环作用，使得金刚石颗粒可以重新应用到切割室500中，通过回收组件400对金刚石颗粒进行回收，避免金刚石颗粒的损失。搅拌组件200用于对切削液缸100中的金刚石颗粒和砂浆进行搅拌，避免金刚石颗粒在切削液缸100中发生沉降，导致砂浆中可用金刚石颗粒磨料含量降低，造成金属线对晶棒的直接接触，影响线网稳定，降低切割良率。循环组件300用于把搅拌后的金刚石颗粒和砂浆循环应用到切割室500中，有利于提高金刚石颗粒和砂浆的利用率。回收组件400可以用于对从切削液缸100中排出的金刚石颗粒进行回收，避免金刚石颗粒的损失。

需要说明的是，搅拌组件200的下端在切削液缸100中转动。循环组件300的第一端和切削液缸100连通，循环组件300的第二端和切割室500连通，循环组件300、切削液缸100以及切割室500构成一回路。回收组件400和切削液缸100的下端连通。从而当切割室工作过程中，为了避免金刚石颗粒的损失，通过循环组件300、切削液缸100以及切割室500构成的回路，可以实现金刚石颗粒的循环使用。当长时间循环使用金刚石颗粒和砂浆后，需要对金刚石颗粒和砂浆进行更换时，通过回收组件400对金刚石颗粒进行回收，可以避免金刚石颗粒的损失，从容避免影响到切割质量。

切削液缸100，如附图1、2所示，切削液缸100用于对金刚石和砂浆进行储存，使得切割室500中使用后的金刚石和砂浆可以回流到切削液缸100中，然后经过搅拌组件200的搅拌作用，以及经过循环组件300的循环作用，使得金刚石颗粒可以重新应用到切割室500中，通过回收组件400对金刚石颗粒进行回收，避免金刚石颗粒的损失。在一个实施例中，切削液缸100外侧设有冷却组件600，冷却组件600包括冷却箱610。冷却箱610位于切削液缸100的外侧，冷却箱610和切削液缸100的外侧面相接触。需要说明的是，冷却箱610可以是水冷箱也可以是风冷箱。优选的是，冷却箱610选择为水冷箱。通过切削液缸100外侧设有冷却组件600，从而当切削液缸100中的温度超过规定范围时，可以通过向冷却组件600中的冷却箱610中通入冷却水的方式对切削液缸100进行降温，从而使得切削液缸100中的金刚石颗粒和砂浆处于工作状态范围内，有利于切割室500中的正常切割。此外，切削液缸100的端面设有液位计140，通过液位计140便于测量切削液缸100中的液位高度。为了切削液缸100的使用方便，可以在切削液缸100的上端设有检修清洗口等需要的各种开口，且为了便于移动切削液缸100，可以在切削液缸100的外侧设有移动装置，且移动装置位于冷却组件600的外侧，具体移动装置可以为移动小车的形式，移动装置只要可以带动切削液缸100移动即可，对移动装置并没有其它限制。

进一步地，为了使得搅拌组件200对切削液缸100中的金刚石颗粒和砂浆的搅拌效果好，切削液缸100的外侧设有真空装置700，真空装置700包括真空发生器710，真空发生器710位于切削液缸100的外侧，真空发生器710和切削液缸100连通。通过真空发生器710可以将切削液缸100中的气体抽出，避免搅拌时大量气泡进入切削液缸100中。此外，为了使得可以更好的排出切削液缸100中的金刚石颗粒和砂浆，切削液缸100的上端面设有进气阀门110，进气阀门110和真空发生器710连通。从而通过进气阀门110的开启可以控制切削液缸100中的气压，当需要排出切削液缸100中的金刚石颗粒和砂浆时，通过进气阀门110向切削液缸100中通入气体，提升切削液缸100的内部气压，将金刚石颗粒和砂浆从切削液缸100的下端排出，经过回收装置400对金刚石颗粒进行回收，避免金刚石颗粒的损失。

搅拌组件200，如附图1、2所示，搅拌组件200用于对切削液缸100中的金刚石颗粒和砂浆进行搅拌，避免金刚石颗粒在切削液缸100中发生沉降，导致砂浆中可用金刚石颗粒磨料含量降低，造成金属线对晶棒的直接接触，影响线网稳定，降低切割良率。在一个实施例中，搅拌组件200包括搅拌轴210、第一叶片220以及第二叶片230。第一叶片220有若干个，第一叶片220和搅拌轴210的侧壁连接。第二叶片230位于第一叶片220的下方，且第二叶片230和搅拌轴210的端部连接。具体的，第一叶片220为轴向叶片，第二叶片230为径向叶片。第一叶片220为轴向叶片，可以使得切削液缸100中的金刚石和砂浆进行上下方向移动，第二叶片230为径向叶片，使得切削液缸100中的金刚石颗粒和砂浆在周向方向移动，从而通道第一叶片220和第二叶片230使得切削液缸100中的金刚石颗粒和砂浆的混合搅拌更加均匀，有利于循环装置300在对切削液缸100中的金刚石颗粒和砂浆进行抽取输送到切割室500中时，避免金刚石颗粒沉积到切削液缸100中，影响到切割室500中的正常切割。需要说明的是，切削液缸100的底部为弧形，且第二叶片220的形状和切削液缸100的底部相平行。

循环组件300，如附图1、2所示，循环组件300用于把搅拌后的金刚石颗粒和砂浆循环应用到切割室500中，有利于提高金刚石颗粒和砂浆的利用率。在一个实施例中，循环组件300包括循环泵310、进液管路320以及回液管路330。循环泵310的第一端和切削液缸100连通。进液管路320的第一端和切割室500连通，进液管路320的第二端和循环泵310的第二端连通。回液管路330的第一端和切割室500连通，回液管路330的第二端和切削液缸100连通。需要说明的是，切削液缸100的上端面设有回液口120、投料口130，回液口120和回液管路330连通。通过投料口130可以把金刚石颗粒和砂浆投入到切削液缸100中，在搅拌组件200的搅拌作用下对金刚石颗粒和砂浆进行搅拌，然后通过循环组件300把搅拌后的金刚石颗粒和砂浆在进液管路320的作用下输送到切割室500中，确保切割室500的正常工作。在切割室500中，主辊530的表面缠绕有切割线520，切割线520在主辊530的表面形成线网，切割线520的上方设有砂浆喷淋口510，从砂浆喷淋口510喷出的砂浆和金刚石颗粒作用到切割线520上，切割线520的上方有待切割的晶棒550。从而当金刚石颗粒和砂浆在切割室500中工作时，通过回液管路330可以使得切割室500中使用后的金刚石颗粒和砂浆从回流槽540中回流到切削液缸100中，在经过搅拌组件200对切削液缸100进行搅拌，在循环泵310的作用下实现金刚石颗粒的循环利用。

回收组件400，如附图1、2所示，回收组件400可以用于对从切削液缸100中排出的金刚石颗粒进行回收，避免金刚石颗粒的损失。在一个实施例中，回收组件400包括回收管410、排液阀420以及过滤系统430。回收管410和切削液缸100的底端连通。排液阀420位于切割室500的外侧，排液阀420和回收管410连通。过滤系统430位于排液阀420的后侧，过滤系统430和回收管410连通。当长时间使用金刚石颗粒和砂浆在切割室500中工作后，晶棒550等材料的废屑会进入到金刚石和砂浆组成的切削油中，大颗粒废屑甚至导致线网波动，影响切割工作的顺利进行。通过在切削液缸100的下端设置油回收组件400，回收组件400中的过滤系统430可以把金刚石颗粒过滤出来，其它混合物通过过滤系统430排出，从而可以避免金刚石颗粒的损失。具体的，过滤系统430中设有过滤芯431，当金刚石颗粒和砂浆从回收组件400中排出时，金刚石颗粒可以留在过滤芯431中，从而达到避免金刚石颗粒损失的目的。

工作原理/步骤：

如附图1、2所示，通过投料口120向切削液缸100中投入金刚石颗粒和砂浆，在搅拌组件200的搅拌作用下，以及循环组件300的循环作用下把切削液缸100中的金刚石颗粒通过进液管路320进入到切割室500中，通过回液管路330把使用后的金刚石颗粒和砂浆送入到切削液缸100中；

需要说明的是，当长时间使用金刚石颗粒和砂浆后需要重新更换新的时，通过进气阀门110向切削液缸100中通入气体，提升切削液缸100中的内部气压，从而使得金刚石颗粒和砂浆从切削液缸100中排出，经过回收组件400中的过滤系统430实现对金刚石颗粒的回收。

技术效果：

1、本申请实施例中，金刚石颗粒和砂浆在切削液缸100中，搅拌组件200的下端在切削液缸100中转动，循环组件300的第一端和切削液缸100连通，循环组件300的第二端和切割室500连通，循环组件300、切削液缸100以及切割室500构成一回路，回收组件400和切削液缸100的下端连通，从而可以实现金刚石颗粒的循环利用，避免金刚石颗粒的损失，解决了现有技术中金刚石颗粒易损失，导致切割质量不好的技术问题；达到了金刚石颗粒不易损失的技术效果。

2、本申请实施例中，切削液缸100的上端面设有进气阀门110，进气阀门110和真空发生器710连通，通过真空发生器710可以对切削液缸100中的气体进行抽取，避免搅拌时大量气泡进入切削液缸100中影响金刚石颗粒和砂浆的正常工作。且进气阀门110可以提升切削液缸100中的气压，有利于金刚石颗粒和砂浆从切削液缸100中排出，通过回收组件400中的过滤芯430进行回收，避免金刚石颗粒的损失。

尽管已描述了本实用新型的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本实用新型范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种金刚石砂浆处理系统，作用于切割室，其特征在于，处理系统包括：

切削液缸；

搅拌组件，所述搅拌组件的下端在所述切削液缸中转动；

循环组件，所述循环组件的第一端和所述切削液缸连通，所述循环组件的第二端和所述切割室连通，所述循环组件、切削液缸以及所述切割室构成一回路；以及

回收组件，所述回收组件和所述切削液缸的下端连通。

2.如权利要求1所述的一种金刚石砂浆处理系统，其特征在于，所述切削液缸外侧设有冷却组件，所述冷却组件包括：

冷却箱，所述冷却箱位于所述切削液缸的外侧，所述冷却箱和所述切削液缸的外侧面相接触。

3.如权利要求1所述的一种金刚石砂浆处理系统，其特征在于，所述切削液缸的外侧设有真空装置，所述真空装置包括：

真空发生器，所述真空发生器位于所述切削液缸的外侧，所述真空发生器和所述切削液缸连通。

4.如权利要求1所述的一种金刚石砂浆处理系统，其特征在于，所述搅拌组件包括：

搅拌轴；

第一叶片，所述第一叶片有若干个，所述第一叶片和所述搅拌轴的侧壁连接；以及

第二叶片，所述第二叶片位于所述第一叶片的下方，且所述第二叶片和所述搅拌轴的端部连接。

5.如权利要求4所述的一种金刚石砂浆处理系统，其特征在于，所述第一叶片为轴向叶片，所述第二叶片为径向叶片。

6.如权利要求5所述的一种金刚石砂浆处理系统，其特征在于，所述切削液缸的底部为弧形，且所述第二叶片的形状和所述切削液缸的底部相平行。

7.如权利要求1所述的一种金刚石砂浆处理系统，其特征在于，所述循环组件包括：

循环泵，所述循环泵的第一端和所述切削液缸连通；

进液管路，所述进液管路的第一端和所述切割室连通，所述进液管路的第二端和所述循环泵的第二端连通；以及

回液管路，所述回液管路的第一端和所述切割室连通，所述回液管路的第二端和所述切削液缸连通。

8.如权利要求1所述的一种金刚石砂浆处理系统，其特征在于，所述回收组件包括：

回收管，所述回收管和所述切削液缸的底端连通；

排液阀，所述排液阀位于所述切割室的外侧，所述排液阀和所述回收管连通；以及

过滤系统，所述过滤系统位于所述排液阀的后侧，所述过滤系统和所述回收管连通。

9.如权利要求8所述的一种金刚石砂浆处理系统，其特征在于，所述过滤系统中设有过滤芯。

10.如权利要求3所述的一种金刚石砂浆处理系统，其特征在于，所述切削液缸的上端面设有进气阀门，所述进气阀门和所述真空发生器连通。

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