CN218188598U - 过滤装置和晶体生长装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种过滤装置和晶体生长装置，所述过滤装置包括：壳体，壳体内具有过滤腔，壳体上形成有与过滤腔连通的进气口和出气口，过滤腔的底部设有排尘口；过滤件，过滤件设于过滤腔内且位于进气口和出气口之间，过滤件用于过滤粉尘；振动机构，振动机构适于与过滤件相连，振动机构用于驱动过滤件振动。根据本实用新型的过滤装置，通过在过滤腔内设有过滤件，用来过滤气体中的粉尘；并且设置了振动机构与过滤件相连，振动机构可对过滤件的滤芯外表面进行振动除尘，延长过滤件的使用时间，由此，提高过滤装置的寿命；在过滤腔的底部还设有排尘口，可以定期的将粉尘通过排尘口排出，有效避免罐体内残余粉尘回流到晶体生长设备腔体内。

Description

过滤装置和晶体生长装置

技术领域

本实用新型涉及硅晶体生产设备技术领域，尤其是涉及一种过滤装置和晶体生长装置。

背景技术

在晶体生长过程中，炉体一般在真空状态下进行工作，并且伴随着工艺气体的输入，因此需要对晶体生长设备用真空泵进行持续抽空作业，在抽真空的过程中，会伴随着大量的反应挥发物进入真空泵，长时间的持续抽空工作，微小颗粒状的挥发物会导致真空泵寿命降低，甚至导致真空泵在晶体生长过程中，发生故障无法工作。如果不对晶体生长炉的尾气进行过滤处理，则无法达到真空泵使用环境要求。

因此，需在真空泵前端加装尾气粉尘过滤装置。现有过滤装置一般为单罐过滤、双罐过滤、双罐切换过滤为主。在相同的过滤效果下，其中，单罐过滤只有一个过滤罐，过滤工作时间短，工作一段时间后，滤芯表面会被挥发物堵住无法起到过滤作用，真空泵抽空能力下降，导致炉内压力升高；双罐过滤，是在单罐的基础再并联一套单罐，这样解决了单罐的过滤时间短的问题，但由于长晶工艺改进，晶体生长时间延长，导致双罐无法满足更长的工作需求；双罐切换过滤装置，导入了罐体的切换控制，增加了成本，且罐体切换时炉压有所波动。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型在于提出一种过滤装置，所述过滤装置可以延长过滤件的寿命，可以有效避免罐体内残余粉尘回流到晶体生长设备腔体内。

本实用新型还提出一种具有上述过滤装置的晶体生长装置。

根据本实用新型第一方面的过滤装置，包括：壳体，所述壳体内具有过滤腔，所述壳体上形成有与所述过滤腔连通的进气口和出气口，所述过滤腔的底部设有排尘口；过滤件，所述过滤件设于所述过滤腔内且位于所述进气口和所述出气口之间，所述过滤件用于过滤粉尘；振动机构，所述振动机构适于与所述过滤件相连，所述振动机构用于驱动所述过滤件振动。

根据本实用新型的过滤装置，通过在过滤腔内设有过滤件，用来过滤尾气气体中的粉尘；并且设置了振动机构与过滤件相连，振动机构可对过滤件的滤芯外表面进行振动除尘，延长过滤件的使用时间，由此，提高过滤装置的寿命；在过滤腔的底部还设有排尘口，可以定期的将粉尘通过排尘口排出，有效避免罐体内残余粉尘回流到晶体生长设备腔体内。

在一些实施例中，所述振动机构具有振动件，所述振动件在第一位置和第二位置之间可活动，所述振动件在第一位置时与所述过滤件间隔开，所述振动件在所述第二位置时与所述过滤件接触且适于驱动所述过滤件振动。

在一些实施例中，所述过滤装置还包括：吹扫机构，所述吹扫机构包括吹气管，其中，所述吹气管的一端伸入所述过滤腔内用于吹扫所述过滤件上的粉尘；或，所述过滤件形成为环形筒状并在内侧限定出气流通道，所述气流通道连通至所述出气口，所述吹气管的一端伸入所述气流通道内用于吹扫所述过滤件上的粉尘。

在一些实施例中，所述过滤装置还包括：控制器，所述控制器与所述吹扫机构和所述振动机构通讯连接，所述控制器构造成在所述振动机构驱动所述过滤件振动时控制所述吹气管吹扫所述过滤件。

在一些实施例中，所述壳体内设有隔板，所述隔板将所述过滤腔分隔为第一腔和第二腔，所述进气口和所述排尘口均与所述第一腔连通，所述出气口与第二腔连通，所述过滤件设于所述第一腔内，所述过滤件形成为环形筒状并在内侧限定出气流通道，所述气流通道的出口连通所述第二腔。

在一些实施例中，所述过滤件具有过滤状态和除尘状态，在所述过滤状态，所述过滤件的所述气流通道与所述进气口和所述出气口连通；在所述除尘状态，所述气流通道的出口与所述出气口断开。

在一些实施例中，所述振动机构驱动所述过滤件振动时封堵所述气流通道的出口。

在一些实施例中，所述过滤件包括多个，所述振动机构包括多个，多个所述过滤件与多个所述振动机构一一对应；所述过滤装置具有过滤模式和除尘模式，在所述过滤模式，多个所述过滤件均为所述过滤状态；在所述除尘模式，多个所述过滤件均为所述除尘状态，或，一部分所述过滤件为所述除尘状态，其余部分所述过滤件为所述过滤状态。

在一些实施例中，当所述过滤装置为除尘模式且部分所述过滤件为所述过滤状态时，为所述过滤状态的所述过滤件的数量不少于所述过滤件总数量的六分之一。

在一些实施例中，所述过滤装置还包括：收集罐，所述收集罐连接在所述排尘口位置用于收集所述排尘口排出的粉尘。

根据本实用新型第二方面的晶体生长装置，包括：炉体；真空泵，所述真空泵与所述炉体连通用于抽吸所述炉体内的气体；根据本实用新型第一方面的过滤装置，所述过滤装置串接在所述炉体和所述真空泵之间。

根据本实用新型的晶体生长装置，通过设置上述第一方面的用晶体生长装置，从而提高了晶体生长装置的整体性能。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是根据本实用新型实施例的过滤装置一个角度的示意图；

图2是图1中所示的过滤装置的另一个角度的示意图；

图3是图1中所示的过滤装置的剖视图；

图4是图3中所示的A处的放大图。

附图标记：

100、过滤装置；

10、壳体；101、进气口；102、出气口；11、隔板；12、固定板；

20、过滤件；201、出口；

30、振动机构；

40、吹扫机构；41、吹气管；42、喷气口；

50、收集罐；

60、高压气体储存罐；61、连接管。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考图1-图4描述根据本实用新型第一方面实施例的过滤装置100。

如图3所示，根据本实用新型第一方面实施例的过滤装置100，包括：壳体10、过滤件20和振动机构30。壳体10内具有过滤腔，壳体10上形成有与过滤腔连通的进气口101 和出气口102，过滤腔的底部设有排尘口；过滤件20设于过滤腔内且位于进气口101和出气口102之间，过滤件20用于过滤粉尘。振动机构30适于与过滤件20相连，振动机构 30用于驱动过滤件20振动。

其中，本实施例的过滤装置100可以与晶体生长装置的炉体相连，用于过滤从炉体中吸出的气体中的粉尘颗粒。当过滤装置100工作时，晶体生长装置的炉体排出的尾气通过壳体10上的进气口101进入过滤腔，在过滤腔中设有过滤件20对尾气进行过滤，具体地，炉体排出的尾气中带有粉尘挥发物，这些粉尘挥发物会随尾气气体一起进入过滤腔，尾气气体经过滤件20过滤，尾气中的粉尘附着在过滤件20上，经过过滤件20过滤后的洁净气体再从壳体10上的出气口102流出。当过滤件20上吸附的粉尘过多需要除尘时，振动机构30通过驱动过滤件20振动，对过滤件20进行振动除尘，使过滤件20上的粉尘脱落，最后，从过滤件20上脱落的粉尘，汇集到过滤腔底部的排尘口，经排尘口排出过滤腔。

本实施例通过在壳体10内设有过滤腔，并在过滤腔的进气口101和出气口102之间设有过滤件20，过滤件20可以过滤掉气体中的粉尘，从而可以避免气体中的粉尘或者颗粒物流入真空泵中，延长真空泵的使用寿命；同时，本实施例通过设置振动机构30用于驱动过滤件20振动，通过振动对过滤件20进行振动除尘，由此保证过滤件20具有良好的过滤效果，延长过滤件20的使用寿命。

其中，本实施例对于振动机构30的具体结构不作限定，只要能够驱动过滤件20振动即可。例如，振动机构30可以为电磁振动机构30。具体地，在过滤件20上或者在布置过滤件20的载体上设有导电线圈，在需要对过滤件20除尘时，通过给导电线圈通电，让导电线圈产生磁性，可以使振动机构30驱动过滤件20振动，达到振动除尘的目的。或者，在振动机构30中设有两部分，一部分设置导电线圈，另一部分具有磁性的磁铁；在过滤件 20除尘时，给导电线圈通电，导电线圈产生磁性，驱动具有磁铁的部分与过滤件20相连，驱动过滤件20振动，达到振动除尘的目的。

又如，振动机构30可以包括振动电机，振动电机可以与过滤件20相连，在需要对过滤件20除尘时，启动振动电机，振动电机驱动过滤件20振动，从而达到振动除尘的目的。

根据本实用新型的过滤装置100，通过在过滤腔内设有过滤件20，并且设置了振动机构30与过滤件20相连，振动机构30可对过滤件20的滤芯外表面进行振动除尘，由此不仅保证过滤件20的过滤效果，还可以延长过滤件20的使用寿命，提高过滤装置100的寿命。此外，通过在过滤腔的底部设置排尘口，可以定期的将粉尘通过排尘口排出，有效避免壳体10内残余粉尘回流到晶体生长设备腔体内。

根据本实用新型的一些实施例，如图3所示，振动机构30具有振动件，振动件在第一位置和第二位置之间可活动，振动件在第一位置时与过滤件20间隔开，振动件在第二位置时与过滤件20接触且适于驱动过滤件20振动。振动机构30的振动件在第一位置与第二位置之件活动，振动件在第一位置时，振动机构30与过滤件20不接触，振动机构30不影响过滤件20的过滤作用；振动件在第二位置时，振动件与过滤件20接触且适于驱动过滤件 20振动，通过振动过滤件20，对过滤件20进行振动除尘，从而保证过滤件20具有良好的过滤效果。

根据本实用新型的一些实施例，如图3所示，过滤装置100还包括：吹扫机构40，吹扫机构40包括吹气管41，吹气管41的一端伸入过滤腔内用于吹扫过滤件20上的粉尘。通过增加吹扫机构40用于吹扫过滤件20上的粉尘，可以进一步增强对过滤件20的除尘效果，提高除尘效率，使过滤件20更快地恢复过滤能力，延长过滤件20的使用寿命。

根据本实用新型的一些实施例，如图3所示，过滤件20形成为环形筒状并在内侧限定出气流通道，气流通道连通至出气口102，吹气管41的一端伸入气流通道内用于吹扫过滤件20上的粉尘。吹扫机构40从过滤件20内侧沿径向由内向外吹落过滤件20上的粉尘或颗粒，不仅可以避免粉尘从过滤件20的气流通道流出，还可以使过滤件20被吹扫的更干净，进一步保证过滤件20具有更好的过滤效果。

例如图3所示，过滤件20为环形筒状，吹扫机构40的吹气管41的一端伸入到过滤件20内，在吹气管41上间隔布置多个喷气口42，高压气体储存罐60将高压气体输送到吹扫机构40，通过吹气管41上的喷气口42将高压气体喷出，从过滤件20内侧沿径向由内向外吹落过滤件20上的粉尘或颗粒，不仅可以避免粉尘从过滤件20的气流通道流出，还可以使过滤件20被吹扫的更干净，进一步保证过滤件20具有更好的过滤效果，延长过滤件 20的使用时间。

根据本实用新型的一些具体实施例，过滤装置100还包括：控制器，控制器与吹扫机构40和振动机构30通讯连接，控制器构造成在振动机构30驱动过滤件20振动时控制吹气管41吹扫过滤件20。也就是说，控制器可以控制振动机构30和吹扫机构40同时工作，即在振动机构30驱动过滤件20振动除尘时，吹扫机构40也由过滤件20腔内向外吹扫掉附着在过滤件20上的粉尘，振动机构30和吹扫机构40同时作用，可以使过滤件20上的粉尘被清理的更彻底，从而保证过滤件20具有良好地过滤效果，延长过滤件20的过滤时间。

进一步地，参照图3，振动机构30驱动过滤件20振动时封堵气流通道的出口201。由于振动机构30在驱动过滤件20振动时，是通过振动的方式使附着过滤件20的粉尘脱落，粉尘在过滤腔内处于游离状态；本实施例通过利用振动机构30封堵气流通道的出口201，可以避免游离的粉尘从气流通道的出口201流出，保证从出气口102流出的气体的清洁度，为真空泵提供一个良好的气体环境。

此外，当振动机构30在驱动过滤件20振动，通过振动除去过滤件20上的粉尘；同时，吹扫机构40的吹气管41会吹扫过滤件20时，本实施例通过利用振动机构30封堵住气流通道的出口201，还可以防止过滤件20内侧因高压气体吹扫造成粉尘从气流通道的出口201方向流出。

例如，如图3所示，振动机构30包括伸缩杆和振动件，伸缩杆的一端与振动件相连，伸缩杆可以驱动振动件沿上下方向在第一位置和第二位置之间活动。在伸缩杆处于收缩的状态，此时，振动件位于第一位置，振动机构30的振动件与过滤件20分离；当伸缩杆处于伸出状态，振动件移动到第二位置，此时，振动装置与过滤件20接触，振动件驱动过滤件20振动，通过过滤件20振动，对过滤件20进行振动除尘。

根据本实用新型的一些实施例，如图3所示，壳体10内设有隔板11，隔板11将过滤腔分隔为第一腔和第二腔，进气口101和排尘口均与第一腔连通，出气口102与第二腔连通，过滤件20设于第一腔内，过滤件20形成为环形筒状并在内侧限定出气流通道，气流通道的出口201连通第二腔。隔板11将过滤腔分隔为第一腔和第二腔，过滤件20设于第一腔内，尾气经进气口101进入第一腔内，在第一腔内，尾气沿径向由外向内穿过过滤件 20，尾气中携带的粉尘，被过滤件20过滤掉，附着在过滤件20上，被过滤后的气体从过滤件20内侧限定出的气流通道流入第二腔，再从第二腔连通的出气口102流出。在壳体 10内设置隔板11，隔板11可以将尾气气体及过滤件20与被过滤后的尾气气体分隔开，避免过滤件20上的粉尘及未被过滤的尾气气体经出气口102流入第二腔，进入真空泵；从而能保证真空泵能正常工作，延长真空泵的使用寿命。

进一步地，如图3所示，壳体10内设有固定板12，固定板12与隔板11间隔布置且位于隔板11的背离第一腔的一侧(例如图3中所示的隔板11的上侧)，固定板12、隔板 11与壳体10配合限定出第二腔，振动机构30设于固定板12上。由此，可以方便安装固定振动机构30，还可以使振动机构30位于过滤腔外，避免气体粉尘进入振动机构30，可以延长振动机构30的使用寿命。

根据本实用新型的一些具体实施例，过滤件20具有过滤状态和除尘状态，在过滤状态，过滤件20的气流通道与进气口101和出气口102连通；在除尘状态，气流通道的出口201 与出气口102断开。也就是说，在过滤状态，经进气口101进入过滤腔的尾气经过滤件20过滤后，经过滤件20的气流通道的出口201与出气口102可以流出；在除尘状态，过滤件 20上的气流通道出口201与出气口102之间的连通被断开，即在除尘状态，气体无法从过滤件20的气流通道出口201流出，这样就可以避免在除尘状态下，过滤件20上的粉尘从出气口102流出，从而可以保护真空泵，使真空泵正常工作。

进一步地，如图3所示，过滤件20包括多个，振动机构30包括多个，多个过滤件20与多个振动机构30一一对应；多个过滤件20可以使过滤件20有效地起到过滤作用，还可以提高对尾气气体的过滤效率；多个振动机构30可以提高对过滤件20除尘效果，延长过滤件20的使用时间；多个过滤件20与多个振动机构30一一对应，使多个过滤件20都可以通过对应的振动机构30正常除尘，避免单个或某几个过滤件20因长期使用，且无法除尘，导致过滤装置100的过滤效率降低。

其中，多个振动机构30可以相互独立，即多个振动机构30可以相互独立地运行启动。这样，可以根据实际的除尘需求，控制多个振动机构30同时对过滤件20进行振动除尘，也可以一部分振动机构30对过滤件20进行除尘，另一部分振动机构30不启动。这样既可以对过滤件20除尘，延长过滤件20的使用寿命，又可以使过滤后的尾气气体正常从出气口102流出。

进一步地，过滤装置100具有过滤模式和除尘模式，在过滤模式，多个过滤件20均为过滤状态；在除尘模式，多个过滤件20均为除尘状态，或，一部分过滤件20为除尘状态，其余部分过滤件20为过滤状态。过滤装置100在过滤模式下，多个过滤件20均可以正常起到过滤作用；但过滤装置100在除尘状态，可以是多个过滤件20都处于除尘状态，也可以是一部分过滤件20处于除尘状态，其余部分过滤件20仍可以过滤尾气。具体地，多个过滤件20都处于除尘状态时，可以对过滤装置100的所有过滤件20同时除尘，提高除尘效率，使所有过滤件20同时恢复过滤能力。

当一部分过滤件20处于除尘状态，其余部分过滤件20为过滤状态时，这样，在同一时间内，过滤装置100可以对一部分的过滤件20进行除尘，以恢复该部分过滤件20的过滤性能，同时过滤装置100还可以利用其余部分的过滤件20对尾气气体过滤，由此，可以在保证对尾气的过滤效果的前提下，依次对各部分过滤件20除尘，从而仅需设置一个过滤装置100，即可以保证对炉体尾气的持续过滤，不需要设置多个过滤装置100，降低成本。

进一步地，当过滤装置100为除尘模式且部分过滤件20为过滤状态时，为过滤状态的过滤件20的数量不少于过滤件20总数量的六分之一。即一部分过滤件20处于除尘状态，其余部分过滤件20仍可以过滤尾气，且在过滤状态的过滤件20的数量不少于过滤件20总数量的六分之一。这样过滤装置100既可以对一部分的过滤件20进行除尘，同时可以利用其余部分的过滤件20起到对尾气气体的过滤作用，既满足了真空泵使用的气体环境，又可以提供稳定的晶体生长的气体环境。

根据本实用新型的一些实施例，如图3所示，过滤装置100还包括：收集罐50，收集罐50连接在排尘口位置用于收集排尘口排出的粉尘。用收集罐50定期收集排尘口排出的粉尘，可以避免过多粉尘在过滤装置100中游离，有效避免壳体10内残余粉尘回流到晶体生长设备腔体内，也便于清扫。

根据本实用新型第二方面实施例的晶体生长装置，包括炉体、真空泵和根据本实用新型上述第一方面实施例的过滤装置100，真空泵与炉体连通用于抽吸炉体内的气体；过滤装置100串接在炉体和真空泵之间。炉体一般在真空状态下进行工作，真空泵与炉体连通，用于抽吸炉体内的气体，使炉体内保持稳定的真空环境，不影响晶体生长过程；过滤装置 100可以过滤炉体中流出的气体中的粉尘，将过滤装置100串接在炉体和真空泵之间，可以避免气体中的粉尘进入真空泵，保证真空泵可以正常工作，还可以延长真空泵的使用寿命。

根据本实用新型实施例的晶体生长装置，通过设置上述第一方面实施例的过滤装置100，从而提高了晶体生长装置的整体性能。

下面将参考图1-图4描述根据本实用新型一个具体实施例的过滤装置100。

如图3所示，过滤装置100包括：壳体10、多个过滤件20、多个振动机构30和吹扫机构40。

具体地，壳体10内设有隔板11和固定板12，固定板12与隔板11间隔布置且固定板12设置在隔板11的上方，振动机构30设于固定板12上；隔板11将过滤腔分隔为第一腔和第二腔，固定板12、隔板11与壳体10配合限定出第二腔；进气口101和排尘口均与第一腔连通，出气口102与第二腔连通。

过滤件20设于第一腔内，过滤件20为环形筒状，并在过滤件20内侧限定出气流通道，过滤件20上端敞开且伸入至隔板11上方，使得气流通道的出口201连通第二腔。

如图3和图4所示，吹扫机构40包括与多个过滤件20一一对应的多个吹气管41，吹气管41的一端伸入对应的过滤件20中，每个吹气管41上布置多个喷气口42，多个喷气口42在吹气管41的周向和轴向上间隔布置；高压气体储存罐60通过连接管61将高压气体输送到吹气管41，通过喷气口42将高压气体喷出，从过滤件20内部位置吹落过滤件20 上的粉尘或颗粒。被吹扫下来的颗粒或粉尘会掉落到排尘口，被集中收集到存储罐，方便清洗。

如图3所示，振动机构30为电磁振动机构30，振动件为电磁振动件，通电状态下电磁振动件会被吸引，电磁振动件向下运动封闭隔板11上过滤件20的出口201位置，同时发生振动，该振动使得对应的滤芯外表面的粉尘或颗粒飘落。其次，通过控制系统，同时打开对应过滤件20内的吹扫管道，通过高压气体从过滤件20内部向外部吹扫，高效地去除过滤件20内的粉尘或颗粒。其中，电磁振动部件通电向下运动会封闭住相对应的过滤件 20的出口201，可以防止过滤件20内高压气体吹扫造成粉尘向出口201方向飘落。

进一步的，固定板12上的多个振动机构30可以被分为可独立控制的六部分，通过控制系统使得隔板11上至少有1/6的过滤件20的出口201不被振动机构30封住；这样可以对一部分过滤件20进行除尘，其余部分过滤件20的气流通道的出口201没有被振动机构 30封堵住，过滤后的气体可以通过过滤件20的气流通道流入第二腔，再从出气口102流出。既可以对尾气气体起到过滤除尘的作用，又可以过滤件20进行除尘。

根据本实用新型实施例的过滤装置，根据本实用新型的过滤装置，通过在过滤腔内设有过滤件，用来过滤气体中的粉尘；并且设置了振动机构与过滤件相连，振动机构可对过滤件的滤芯外表面进行振动除尘，延长过滤件的使用时间，由此，提高过滤装置的寿命；在过滤腔的底部还设有排尘口，可以有效避免罐体内残余粉尘回流到晶体生长设备腔体内。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (11)

1.一种过滤装置，其特征在于，包括：

壳体(10)，所述壳体(10)内具有过滤腔，所述壳体(10)上形成有与所述过滤腔连通的进气口(101)和出气口(102)，所述过滤腔的底部设有排尘口；

过滤件(20)，所述过滤件(20)设于所述过滤腔内且位于所述进气口(101)和所述出气口(102)之间，所述过滤件(20)用于过滤粉尘；

振动机构(30)，所述振动机构(30)适于与所述过滤件(20)相连，所述振动机构(30)用于驱动所述过滤件(20)振动。

2.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述振动机构(30)具有振动件，所述振动件在第一位置和第二位置之间可活动，所述振动件在第一位置时与所述过滤件(20)间隔开，所述振动件在所述第二位置时与所述过滤件(20)接触且适于驱动所述过滤件(20)振动。

3.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，还包括：吹扫机构(40)，所述吹扫机构(40)包括吹气管(41)，其中，

所述吹气管(41)的一端伸入所述过滤腔内用于吹扫所述过滤件(20)上的粉尘；或

所述过滤件(20)形成为环形筒状并在内侧限定出气流通道，所述气流通道连通至所述出气口(102)，所述吹气管(41)的一端伸入所述气流通道内用于吹扫所述过滤件(20)上的粉尘。

4.根据权利要求3所述的过滤装置，其特征在于，还包括：控制器，所述控制器与所述吹扫机构(40)和所述振动机构(30)通讯连接，所述控制器构造成在所述振动机构(30)驱动所述过滤件(20)振动时，控制所述吹气管(41)吹扫所述过滤件(20)。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的过滤装置，其特征在于，所述壳体(10)内设有隔板(11)，所述隔板(11)将所述过滤腔分隔为第一腔和第二腔，所述进气口(101)和所述排尘口均与所述第一腔连通，所述出气口(102)与第二腔连通，

所述过滤件(20)设于所述第一腔内，所述过滤件(20)形成为环形筒状并在内侧限定出气流通道，所述气流通道的出口(201)连通所述第二腔。

6.根据权利要求5所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤件(20)具有过滤状态和除尘状态，在所述过滤状态，所述过滤件(20)的所述气流通道与所述进气口(101)和所述出气口(102)连通；在所述除尘状态，所述气流通道的出口(201)与所述出气口(102)断开。

7.根据权利要求6所述的过滤装置，其特征在于，所述振动机构(30)驱动所述过滤件(20)振动时封堵所述气流通道的出口(201)。

8.根据权利要求6所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤件(20)包括多个，所述振动机构(30)包括多个，多个所述过滤件(20)与多个所述振动机构(30)一一对应；

所述过滤装置(100)具有过滤模式和除尘模式，在所述过滤模式，多个所述过滤件(20)均为所述过滤状态，

在所述除尘模式，多个所述过滤件(20)均为所述除尘状态，或，一部分所述过滤件(20)为所述除尘状态，其余部分所述过滤件(20)为所述过滤状态。

9.根据权利要求8所述的过滤装置，其特征在于，当所述过滤装置(100)为除尘模式且部分所述过滤件(20)为所述过滤状态时，为所述过滤状态的所述过滤件(20)的数量不少于所述过滤件(20)总数量的六分之一。

10.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，还包括：收集罐(50)，所述收集罐(50)连接在所述排尘口位置用于收集所述排尘口排出的粉尘。

11.一种晶体生长装置，其特征在于，包括：

炉体；

真空泵，所述真空泵与所述炉体连通用于抽吸所述炉体内的气体；

根据权利要求1-10中任一项所述的过滤装置(100)，所述过滤装置(100)串接在所述炉体和所述真空泵之间。

Images