CN218180923U - 一种高精度半导体检测机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高精度半导体检测机构，包括固定安装的定子轴和用于放置待测半导体元件的检测台，所述定子轴的外周设有第一电机外壳和第二电机外壳，第一电机外壳和第二电机外壳与定子轴的轴壁转动连接；所述定子轴的轴壁上设有第一定子和第二定子，所述第一电机外壳上设有绕第一定子转动的第一转子，所述第二电机外壳上设有绕第二定子转动的第二转子；所述定子轴的端部设有用于计量转动角位移量的圆光栅；第一电机外壳和第二电机外壳上分别设有用于检测待测半导体元件的检测设备，检测设备上分别设有用于读取圆光栅的编码器读数头。本实用新型结构紧凑，检测设备旋转同轴度高，控制精度高。

Description

一种高精度半导体检测机构

技术领域

本实用新型属于半导体检测技术领域，涉及一种高精度半导体检测机构。

背景技术

现有的半导体检测机构一般是两个检测设备分别由两个独立的伺服电机控制，每个伺服电机分别具有一套编码器系统，此种结构两个电机的同轴度难以保证，两个独立电机分别驱动两个检测设备转动，通过两个圆光栅实现的角度控制精度低，且设备总体尺寸和重量较大。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种高精度半导体检测机构，结构紧凑，检测设备旋转同轴度高，控制精度高。

为达到上述目的，本实用新型是采用下述技术方案实现的：

一种高精度半导体检测机构，包括固定安装的定子轴和用于放置待测半导体元件的检测台，所述定子轴的外周设有第一电机外壳和第二电机外壳，第一电机外壳和第二电机外壳与定子轴的轴壁转动连接；所述定子轴的轴壁上设有第一定子和第二定子，所述第一电机外壳上设有绕第一定子转动的第一转子，所述第二电机外壳上设有绕第二定子转动的第二转子；所述定子轴的端部设有用于计量转动角位移量的圆光栅；第一电机外壳和第二电机外壳上分别设有用于检测待测半导体元件的检测设备，检测设备上分别设有用于读取圆光栅的编码器读数头。

可选的，第一电机外壳和第二电机外壳上分别设有用于安装检测设备的安装架，编码器读数头设于安装架上。

可选的，所述定子轴的端部设有用于安装圆光栅的安装座。

可选的，所述定子轴的侧壁设有用于固定安装定子轴的定子轴安装座，定子轴安装座设于第一电机外壳与第二电机外壳之间。

可选的，第一电机外壳和第二电机外壳分别通过轴承与定子轴的轴壁转动连接。

可选的，定子轴安装座包括连接板和安装板，连接板的两板边分别与定子轴的轴壁和安装板的板面相接。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果：

本实用新型提供一种高精度半导体检测机构，第一定子和第二定子分别设于一个定子轴的轴壁上，第一电机外壳通过第一转子绕第一定子转动，第二电机外壳通过第二转子绕第二定子转动，第一电机外壳和第二电机外壳转动的同轴度极高；

第一电机外壳带动一个检测设备角度调节，第二电机外壳带动另一个检测设备角度调节，两个检测设备通过同一个圆光栅读取角度变化量，可消除两个圆光栅由于安装误差，而导致读取角度变化量时产生误差，可极大提高两个检测设备旋转角度精度，且使设备更紧凑，节约成本。

附图说明

图1所示为本实用新型实施例的剖视图；

图2所示为本实用新型实施例的主视图。

图中：1、定子轴；2、检测台；3、第一电机外壳；4、第二电机外壳；5、第一定子；6、第二定子；7、第一转子；8、第二转子；9、安装座；10、安装板；11、连接板；12、轴承；13、安装架；14、检测设备；15、待测半导体元件；16、编码器读数头。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例一

如图1至图2所示，一种高精度半导体检测机构，包括固定安装的定子轴1和用于放置待测半导体元件15的检测台2，定子轴1的外周设有第一电机外壳3和第二电机外壳4，第一电机外壳3的两端和第二电机外壳4的两端分别通过轴承与定子轴1的轴壁转动连接；定子轴1的轴壁上设有设于第一电机外壳3内的第一定子5和设于第二电机外壳4内的第二定子6，第一电机外壳3的内壁设有绕第一定子5转动的第一转子7，第二电机外壳4的内壁设有绕第二定子6转动的第二转子8，第一电机外壳3通过第一转子7绕第一定子5转动，第二电机外壳4通过第二转子8绕第二定子6转动。

定子轴1靠近检测台2的端部设有用于计量转动角位移量的圆光栅8；第一电机外壳3和第二电机外壳4上分别设有用于检测待测半导体元件15的检测设备14和用于安装检测设备14的安装架13，安装架13的呈“L”形，安装架13的水平架臂与第一电机外壳3和第二电机外壳4的外壳壁固接，竖直架臂与检测设备14固接；安装架13上设有用于读取圆光栅8的编码器读数头16。

实施例二

如图1和图2所示，定子轴1靠近检测台2的端部设有用于安装圆光栅8的安装座9，安装座9呈圆盘状，安装座9上设有用于与定子轴1固定连接的安装孔，圆光栅8固定于安装座9的边缘。

定子轴1的中部侧壁设有用于固定安装定子轴1的定子轴安装座，定子轴安装座包括竖直设置的连接板11和水平设置的安装板10，连接板11的板面与定子轴1相垂直，连接板11的下板边与定子轴1的轴壁固接，且呈与定子轴1相匹配的圆弧状，连接板11的上板边与安装板10的下板面相接，第一电机外壳3和第二电机外壳4设于连接板11的两侧。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种高精度半导体检测机构，其特征在于：包括固定安装的定子轴和用于放置待测半导体元件的检测台，所述定子轴的外周设有第一电机外壳和第二电机外壳，第一电机外壳和第二电机外壳与定子轴的轴壁转动连接；所述定子轴的轴壁上设有第一定子和第二定子，所述第一电机外壳上设有绕第一定子转动的第一转子，所述第二电机外壳上设有绕第二定子转动的第二转子；所述定子轴的端部设有用于计量转动角位移量的圆光栅；第一电机外壳和第二电机外壳上分别设有用于检测待测半导体元件的检测设备，检测设备上分别设有用于读取圆光栅的编码器读数头。

2.根据权利要求1所述的一种高精度半导体检测机构，其特征在于：第一电机外壳和第二电机外壳上分别设有用于安装检测设备的安装架，编码器读数头设于安装架上。

3.根据权利要求1所述的一种高精度半导体检测机构，其特征在于：所述定子轴的端部设有用于安装圆光栅的安装座。

4.根据权利要求1所述的一种高精度半导体检测机构，其特征在于：所述定子轴的侧壁设有用于固定安装定子轴的定子轴安装座，定子轴安装座设于第一电机外壳与第二电机外壳之间。

5.根据权利要求1所述的一种高精度半导体检测机构，其特征在于：第一电机外壳和第二电机外壳分别通过轴承与定子轴的轴壁转动连接。

6.根据权利要求4所述的一种高精度半导体检测机构，其特征在于：定子轴安装座包括连接板和安装板，连接板的两板边分别与定子轴的轴壁和安装板的板面相接。

Images