CN218160291U - 一种新型脱胶工艺水箱 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种新型脱胶工艺水箱，其特征在于，包括：水箱，内部安装有一料框支架，所述料框支架的两侧搭接在所述水箱的两侧；脱胶装置，设置在所述水箱上，可分离料座与粘接在所述料座上的硅片；提升装置，连接所述料框支架，可控制所述料框支架移动；收拢装置，用于容置料框，在所述料框支架提升时，带动所述收拢装置倾斜，所述料框内部的所述硅片滑落至所述料框的一端。本实用新型的有益效果是脱胶装置能够将分离硅片和料座，硅片在脱胶压板的作用下脱落至底部的料框中，脱胶压板设计为柔性压板，能够减少硅片的碎片率，并且完全智能化的进行脱胶，降低了劳动力，提高了生产效率，节省了人工成本，同时实现了工厂自动化。

Description

一种新型脱胶工艺水箱

技术领域

本实用新型属于半导体行业硅片脱胶清洗技术领域，尤其是涉及一种新型脱胶工艺水箱。

背景技术

硅片的表面清洁度能够影响半导体元件的质量，因此硅片的清洗工艺是半导体元件生产中的重要工序。将晶棒切割成硅片后，硅片还粘接在料座上，为将硅片脱离料座，现有技术中采用人工脱胶的办法，即工作人员手动将硅片一点一点分离料座，人工操作虽能够降低碎片率，但人工成本高且工作效率太低，导致整体硅片的生产成本高，且不符合现代工厂的智能化标准。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种新型脱胶工艺水箱，有效的解决现有技术中人工成本高且工作效率太低，导致整体硅片的生产成本高，且不符合现代工厂的智能化标准的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种新型脱胶工艺水箱，其特征在于，包括：

水箱，内部安装有一料框支架，所述料框支架的两侧搭接在所述水箱的两侧；

脱胶装置，设置在所述水箱上，可分离料座与粘接在所述料座上的硅片；其中，所述料座包括底座以及粘接在所述底座上的连接板，所述连接板上粘接有硅片；

提升装置，连接所述料框支架，可控制所述料框支架移动；

收拢装置，用于容置料框，在所述料框支架提升时，带动所述收拢装置倾斜，所述料框内部的所述硅片滑落至所述料框的一端。

优选地，所述脱胶装置包括分离所述料座与所述硅片的脱胶压板、控制所述脱胶压板旋转的第一转轴以及为所述第一转轴提供动力的旋转动力件；

所述旋转动力件设置在所述水箱外部的一侧；所述第一转轴的一端贯穿所述水箱靠近所述旋转动力件的一侧，并连接所述旋转动力件，所述第一转轴的另一端可旋转的连接所述水箱远离所述旋转动力件的一侧；所述脱胶压板安装在所述第一转轴上，可分离所述料座与所述硅片。

优选地，所述旋转动力件配置为旋转电机，所述旋转电机控制所述第一转轴转动，进而带动所述脱胶压板旋转，控制所述脱胶压板下压或上抬；当所述脱胶压板下压时，可将所述硅片从所述料座上分离。

优选地，所述脱胶压板配置为柔性脱胶压板。

优选地，所述收拢装置包括容置在所述料框支架内部的收拢支架以及连接所述料框支架与所述收拢支架的第二转轴；所述第二转轴的一端连接所述料框支架，另一端连接所述收拢支架，所述第二转轴能够使所述收拢支架相对所述料框支架旋转，进而放置在所述收拢支架中的所述料框也进行旋转，相对所述料框支架倾斜。

优选地，所述收拢装置还包括设置在所述收拢支架底部一侧的滚轮，所述滚轮靠近所述水箱的一侧与所述水箱接触，在所述收拢支架相对所述料框支架旋转的过程中，控制所述收拢支架向设置所述滚轮的一端倾斜，进而收拢所述收拢支架中所述料框内的所述硅片。

优选地，所述第二转轴设置在所述收拢支架与所述料框支架的中间位置处。

优选地，所述提升装置包括提升电机，一端连接所述料框支架的一侧，控制所述料框支架进行上下移动。

优选地，所述提升电机控制所述料框支架向上移动，所述收拢装置相对所述料框支架倾斜，放置在所述收拢装置内的所述料框随之倾斜，所述料框内部的所述硅片则收拢至所述料框的一侧。

采用上述技术方案，提升装置配合收拢装置能够使得脱胶后的硅片进行向一端进行收拢，能够确保后续清洗分片工艺能够顺利进行。

采用上述技术方案，脱胶装置能够将分离硅片和料座，硅片在脱胶压板的作用下脱落至底部的料框中，脱胶压板设计为柔性压板，能够减少硅片的碎片率，并且完全智能化的进行脱胶，降低了劳动力，提高了生产效率，节省了人工成本，同时实现了工厂自动化。

附图说明

图1是本实用新型实施例一种新型脱胶工艺水箱结构示意图

图2是本实用新型实施例一种新型脱胶工艺水箱俯视图

图3是本实用新型实施例一种新型脱胶工艺水箱侧视图

图4是本实用新型实施例一种新型脱胶工艺水箱收拢装置结构示意图

图中：

1、水箱 2、料框支架 3、脱胶压板

4、第一转轴 5、旋转电机 6、收拢支架

7、第二转轴 8、滚轮 9、提升电机

具体实施方式

下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步说明：

在本实用新型实施例的描述中，需要理解的是，术语“顶部”、“底部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1一种新型脱胶工艺水箱结构示意图和图2一种新型脱胶工艺水箱俯视图以及图3一种新型脱胶工艺水箱侧视图所示，一种新型脱胶工艺水箱，包括：

水箱1，内部安装有一料框支架2，料框支架2的两侧搭接在水箱1的两侧；水箱1的形状可以为矩形、梯形等其它形状，水箱1内能够容纳料框支架2，即水箱1的大小至少要等于料框支架2的大小；

料框支架2的形状与水箱1形状的选择范围一致，优选为矩形，料框支架2的两侧搭接在水箱1的两侧，即料框支架2不与水箱1固定连接，使得料框支架能够随时脱离水箱1；料框支架2的整体为镂空状，即只有骨架部分，没有连接各个骨架的连接板或者连接杆等；料框支架2的大小至少能够容置收拢装置，使收拢装置能够放置在料框支架2中；

脱胶装置，设置在水箱1上，可分离料座与粘接在料座上的硅片；其中，料座包括底座以及粘接在底座上的连接板，连接板上粘接有硅片；

本实用新型实施例中，料座中的底座采用金属底座，且在金属底座上还粘接一层连接板，一些可行的实施例中，连接板为树脂板，在树脂板上粘接晶棒，既能粘接牢固，又能在切割时保护金属底座，树脂板相较于金属底座成本低，可以作为一次性部件使用，在切割工序后，晶棒即变为硅片；

提升装置，连接料框支架2，可控制料框支架2移动；

收拢装置，用于容置料框，在料框支架2提升时，带动收拢装置倾斜，料框内部的硅片滑落至料框的一端。

具体的，脱胶装置包括分离料座与硅片的脱胶压板3、控制脱胶压板3 旋转的第一转轴4以及为第一转轴4提供动力的旋转动力件；脱胶压板3的形状可以为矩形、梯形等其他形状，脱胶压板3与硅片接触的长度要大于等于整体硅片的长度，能够一次性将粘接在料座上的硅片全部脱胶，使硅片掉落至底部的料框中；脱胶压板3的个数至少为1个，优选为2个，分别设置在硅片的两侧，同时对硅片实施下压的力量，使硅片与料座脱落；

第一转轴4的长度大于水箱1的长度，即第一转轴4的一端要贯穿水箱 1的一侧，第一转轴4的根数至少为一根，优选为2根，配合脱胶压板3下压硅片；第一转轴4的一端贯穿水箱1靠近旋转动力件的一侧，并连接旋转动力件，第一转轴4的另一端可旋转的连接水箱1远离旋转动力件的一侧，在第一转轴4上设置有脱胶压板3，脱胶压板3的位置刚好能够将硅片全部下压，分离料座与硅片；

一些可行的实施例中，旋转动力件配置为旋转电机5，旋转电机5控制第一转轴4转动，进而带动脱胶压板3旋转，控制脱胶压板3下压或上抬；脱胶压板3的旋转角度没有限制，一般为上下各90°即可完全将硅片与料座分离，下压时注意力量施加均匀，防止产生碎片的现象。

一些可行的实施例中，脱胶压板3配置为柔性脱胶压板，减少对硅片的硬度损伤，减少碎片的情况出现。

脱胶时，将料座倒置在料框上，即料座在上，硅片在下，料座的两端搭接在料框上，此时旋转电机5启动，控制第一转轴4旋转，带动脱胶压板3 下压，将硅片从与料座接触的位置慢慢向下，直至完全脱离料座，脱落至底部的料框中，再取走顶部的料座，随后再将脱胶压板3旋转至原位。

如图4一种新型脱胶工艺水箱收拢装置结构示意图所示，收拢装置包括容置在料框支架2内部的收拢支架6以及连接料框支架2与收拢支架6的第二转轴7；收拢支架6能够支撑料框，即收拢支架6的大小至少等于料框的大小；

第二转轴7的个数至少为一个，优选为两个，分别设置在收拢支架6的两侧，第二转轴7的一端连接料框支架2，另一端连接收拢支架6，第二转轴7能够使收拢支架6相对料框支架2旋转，进而放置在收拢支架6中的料框也进行旋转，相对料框支架2倾斜。

收拢装置还包括设置在收拢支架6底部一侧的滚轮8，滚轮8靠近水箱 1的一侧与水箱1接触，在收拢支架6相对料框支架2旋转的过程中，控制收拢支架6向设置滚轮8的一端倾斜，进而收拢收拢支架6中料框内的硅片。

一些可行的实施例中，第二转轴7设置在收拢支架6与料框支架2的中间位置处，设置在中间位置处为最稳定的转动位置。

提升装置包括提升电机9，一端连接料框支架2的一侧，控制料框支架 2进行上下移动。提升电机9连接料框支架2在水箱1外部的部分，即搭接在水箱1两侧的料框支架2，提升机构9将一侧的料框支架2提起，整体料框支架2一起向上提升。

一些可行的实施例中，提升电机9的一端连接提升支架，提升支架的两侧连接料框支架2的两端，同时提升两侧的料框支架2，能够更加稳定的向上或向下移动料框支架2。

在提升电机9控制料框支架2向上移动的时候，由于收拢支架6与料框支架2之间通过第二转轴7连接，收拢支架6会相对料框支架倾斜，放置在收拢支架6上的料框随之倾斜，料框内部的硅片则收拢至料框的一侧；因为重力作用，收拢支架6倾斜的方向为向滚轮8一端倾斜，滚轮8始终保持与水箱1的底部接触，料框内的硅片随之向靠近滚轮8的一侧收拢。

以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (9)

1.一种新型脱胶工艺水箱，其特征在于，包括：

水箱，内部安装有一料框支架，所述料框支架的两侧搭接在所述水箱的两侧；

脱胶装置，设置在所述水箱上，可分离料座与粘接在所述料座上的硅片；

提升装置，连接所述料框支架，可控制所述料框支架移动；

收拢装置，用于容置料框，在所述料框支架提升时，带动所述收拢装置倾斜，所述料框内部的所述硅片滑落至所述料框的一端。

2.根据权利要求1所述的一种新型脱胶工艺水箱，其特征在于：所述脱胶装置包括分离所述料座与所述硅片的脱胶压板、控制所述脱胶压板旋转的第一转轴以及为所述第一转轴提供动力的旋转动力件；

所述旋转动力件设置在所述水箱外部的一侧；所述第一转轴的一端贯穿所述水箱靠近所述旋转动力件的一侧，并连接所述旋转动力件，所述第一转轴的另一端可旋转的连接所述水箱远离所述旋转动力件的一侧；所述脱胶压板安装在所述第一转轴上，可分离所述料座与所述硅片。

3.根据权利要求2所述的一种新型脱胶工艺水箱，其特征在于：所述旋转动力件配置为旋转电机，所述旋转电机控制所述第一转轴转动，进而带动所述脱胶压板旋转，控制所述脱胶压板下压或上抬；当所述脱胶压板下压时，可将所述硅片从所述料座上分离。

4.根据权利要求2所述的一种新型脱胶工艺水箱，其特征在于：所述脱胶压板配置为柔性脱胶压板。

5.根据权利要求1所述的一种新型脱胶工艺水箱，其特征在于：所述收拢装置包括容置在所述料框支架内部的收拢支架以及连接所述料框支架与所述收拢支架的第二转轴；所述第二转轴的一端连接所述料框支架，另一端连接所述收拢支架，所述第二转轴能够使所述收拢支架相对所述料框支架旋转，进而放置在所述收拢支架中的所述料框也进行旋转，相对所述料框支架倾斜。

6.根据权利要求5所述的一种新型脱胶工艺水箱，其特征在于：所述收拢装置还包括设置在所述收拢支架底部一侧的滚轮，所述滚轮靠近所述水箱的一侧与所述水箱接触，在所述收拢支架相对所述料框支架旋转的过程中，控制所述收拢支架向设置所述滚轮的一端倾斜，进而收拢所述收拢支架中所述料框内的所述硅片。

7.根据权利要求6所述的一种新型脱胶工艺水箱，其特征在于：所述第二转轴设置在所述收拢支架与所述料框支架的中间位置处。

8.根据权利要求1所述的一种新型脱胶工艺水箱，其特征在于：所述提升装置包括提升电机，一端连接所述料框支架的一侧，控制所述料框支架进行上下移动。

9.根据权利要求8所述的一种新型脱胶工艺水箱，其特征在于：所述提升电机控制所述料框支架向上移动，所述收拢装置相对所述料框支架倾斜，放置在所述收拢装置内的所述料框随之倾斜，所述料框内部的所述硅片则收拢至所述料框的一侧。

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