CN207372938U - 一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置，包括吸附装置、压紧装置和超声振动装置；所述的吸附装置包括真空吸盘、旋转杆和电机；所述的压紧装置包括旋转开关、连接杆和圆形压盘；所述的超声振动装置包括超声波发射器、换能器、变频杆、容液器和容器箱，容液器内盛放有抛光液，超声振动装置设于升降台上，升降台置于工作台上。本实用新型通过吸附装置中的真空吸盘将蓝宝石薄片一端紧紧吸住，而另一端通过压紧装置中的圆形压盘来固定住该蓝宝石薄片，启动升降台将蓝宝石薄片浸入盛有抛光液的容液器中，通过控制超声振动和电机的旋转，带动抛光液和蓝宝石薄片各自运动来实现蓝宝石薄片边缘的抛光倒角过程。
Description
技术领域
本实用新型涉及硬脆性材料抛光加工领域，具体是涉及一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置。
背景技术
蓝宝石主要成分为Al2O3,作为一种典型的硬脆性材料，它具有硬度高，熔点高，透光性好，化学性能稳定等众多优点，广泛应用于机械、光学，航空航天等领域。但由于其硬度高，脆性大等特点，机械加工相对困难，尤其是对于蓝宝石衬底片的精密加工更加复杂。国内批量化生产的蓝宝石衬底片工艺过程中，破裂及塌边比例约占总数的6%，而国外对其工艺过程一直处于保密状态，所以改善蓝宝石薄片加工质量一直是一个研究热点。
蓝宝石衬底片加工流程从晶棒开始一般包括定向、切片、研磨、倒角、抛光、清洗和品检等步骤。其中的倒角和抛光工序目的分别是将晶片边缘修整成圆弧状，改善薄片边缘的机械强度，避免应力集中造成缺陷，同时改善晶片的粗糙度，达到指定晶级精度。但是在传统的倒角过程中，机械倒角难免会给蓝宝石薄片带来新的损伤且倒角过程中大都单面倒角，薄片两端倒角量难以保证一致，同时耗时费力。
发明内容
本实用新型提供了一种结构简单、操作方便的一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置，能够提高加工效率和避免加工损伤。
本实用新型专利采用的技术方案是：一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置，包括吸附装置、压紧装置和超声振动装置；所述的吸附装置包括真空吸盘、旋转杆和电机；所述的压紧装置包括旋转开关、连接杆和圆形压盘；所述的超声振动装置包括超声波发射器、换能器、变频杆、容液器和容器箱；所述的容液器内盛放有抛光液，超声振动装置设于升降台上，升降台置于工作台上。
所述的吸附装置中的电机放置并固定于固定台上，所述的固定台位于工作台的右上方，所述的旋转杆的右端与所述的电机相联，所述的旋转杆的左端与所述的真空吸盘相联，并通过右平面板内轴承支撑转动，所述的真空吸盘大小可根据所吸附的蓝宝石薄片大小自由选定和更换。
所述的压紧装置中的连接杆的左端固定有所述的旋转开关，连接杆的右端通过球面副联接所述的圆形压盘，同时所述的连接杆穿过左平面板，连接杆和左平面板螺纹联接。
所述的超声振动装置中的超声波发射器、换能器、变频杆和容液器依次相联，所述的容液器置于所述的容器箱内。
所述的右平面板和左平面板均固定在工作台上。
本实用新型具有的优点和有益效果是：本实用新型结构简单、操作方便；通过控制蓝宝石薄片的旋转和抛光液的超声振动来去除边角材料，能够双面倒角抛光且材料去除均匀，提高了加工效率和避免了新的加工损伤。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
图1为本实用新型装置的结构示意图。
图中，1-旋转开关，2-左平面板，3-连接杆，4-圆形压盘，5-蓝宝石薄片，6-真空吸盘，7-右平面板，8-旋转杆，9-电机，10-固定台，11-超声波发射器，12-换能器，13-变频杆，14-升降台，15-容器箱，16-抛光液，17-容液器，18-工作台。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
如图1所示，本实用新型一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置，包括吸附装置、压紧装置和超声振动装置；所述的吸附装置包括真空吸盘6、旋转杆8和电机9；所述的压紧装置包括旋转开关1、连接杆3和圆形压盘4；所述的超声振动装置包括超声波发射器11、换能器12、变频杆13、容液器17和容器箱15，容液器17内盛放有抛光液16，超声振动装置设于升降台14上,升降台14置于工作台18上。
所述的吸附装置中的电机9放置并固定于固定台10上，固定台10位于工作台18的右上方，所述的旋转杆8右端与所述的电机9相联，左端与所述的真空吸盘6相联，并通过右平面板7内轴承支撑转动，所述的真空吸盘6大小可根据所吸附的蓝宝石薄片5大小自由选定和更换。
所述的压紧装置中的连接杆3左端固定有所述的旋转开关1，右端通过球面副联接所述的圆形压盘4，同时连接杆3穿过左平面板2，连接杆3和左平面板2螺纹联接。
所述的超声振动装置中的超声波发射器11、换能器12、变频杆13和容液器17依次相联，所述的容液器17置于所述的容器箱15内。
所述的右平面板7和左平面板2均固定在工作台18上。
具体操作过程如下：
（1）将准备好的蓝宝石薄片5一端固定吸附在真空吸盘6上，使薄片5中心与真空吸盘6中心重合；
（2）控制旋转开关1旋转，使得连接杆3带动圆形压盘4运动，让圆形压盘4紧紧压住蓝宝石薄片5的另一端；
（3）控制升降台14带动超声振动装置往上抬升，让容液器17内的抛光液16浸入蓝宝石薄片5边缘，浸入深度根据情况而定；
（4）启动超声波发射器11，通过换能器12产生机械振动，由变频杆13带动容液器17振动，从而使得容液器17内的抛光液16也一起振动，同时开启电机9带动蓝宝石薄片5不停旋转，可以通过控制电机9的转速和超声波的频率、幅值及运行时间等来控制蓝宝石薄片5的加工去除量和质量。
Claims (4)
1.一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置，包括吸附装置、压紧装置和超声振动装置；所述的吸附装置包括真空吸盘、旋转杆和电机；所述的压紧装置包括旋转开关、连接杆和圆形压盘；所述的超声振动装置包括超声波发射器、换能器、变频杆、容液器和容器箱；所述的容液器内盛放有抛光液，超声振动装置设于升降台上，升降台置于工作台上。
2.根据权利要求1所述的一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置，其特征在于：所述的吸附装置中的电机放置并固定于固定台上，所述的固定台位于工作台的右上方，所述的旋转杆的右端与所述的电机相联，所述的旋转杆的左端与所述的真空吸盘相联，并通过右平面板内轴承支撑转动，所述的真空吸盘大小可根据所吸附的蓝宝石薄片大小自由选定和更换。
3.根据权利要求1所述的一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置，其特征在于：所述的压紧装置中的连接杆的左端固定有所述的旋转开关，连接杆的右端通过球面副联接所述的圆形压盘，同时所述的连接杆穿过左平面板，连接杆和左平面板螺纹联接。
4.根据权利要求1所述的一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置，其特征在于：所述的超声振动装置中的超声波发射器、换能器、变频杆和容液器依次相联，所述的容液器置于所述的容器箱内。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201721407952.0U CN207372938U (zh) | 2017-10-30 | 2017-10-30 | 一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN207372938U true CN207372938U (zh) | 2018-05-18 |
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| CN (1) | CN207372938U (zh) |
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| CN112025326A (zh) * | 2020-09-15 | 2020-12-04 | 厦门新瓷材料科技有限公司 | 超声波辅助加工方法及其辅助加工装置 |
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