CN218107502U - 一种掺镓硅片加工用匀胶机 - Google Patents
一种掺镓硅片加工用匀胶机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN218107502U CN218107502U CN202221925434.9U CN202221925434U CN218107502U CN 218107502 U CN218107502 U CN 218107502U CN 202221925434 U CN202221925434 U CN 202221925434U CN 218107502 U CN218107502 U CN 218107502U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- stirring
- setting
- discharging pipe
- processing
- gallium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 19
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 19
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims abstract description 48
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims abstract description 39
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims abstract description 28
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 20
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 claims abstract description 7
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 claims abstract description 6
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 238000007790 scraping Methods 0.000 claims description 9
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims 1
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 abstract description 26
- 238000002156 mixing Methods 0.000 abstract description 12
- 238000012856 packing Methods 0.000 abstract description 6
- 235000017166 Bambusa arundinacea Nutrition 0.000 abstract description 4
- 235000017491 Bambusa tulda Nutrition 0.000 abstract description 4
- 241001330002 Bambuseae Species 0.000 abstract description 4
- 235000015334 Phyllostachys viridis Nutrition 0.000 abstract description 4
- 239000011425 bamboo Substances 0.000 abstract description 4
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种掺镓硅片加工用匀胶机，包括基座、设置在基座底部的支撑腿、设置在基座顶部的U型的安装架、设置在安装架左右侧端内壁之间的横板、设置在横板顶部的轴承座、与轴承座的内侧壁相连接且竖向贯穿横板的出料管、设置在横板上且与出料管相适配的通孔、设置在出料管上的控制阀、设置在出料管顶部的匀胶筒、用于对出料管进行转动驱动的驱动模块和与驱动模块相适配且用于对匀胶筒中的光刻胶以及稀释剂的混合物进行搅拌处理的搅拌辅助模块。通过本实用新型的掺镓硅片加工用匀胶机，不仅能够使得匀胶筒进行转动，而且还能通过搅拌模块快速高效地对匀胶筒中的光刻胶和稀释剂进行搅拌处理，从而实现对光刻胶和稀释剂的充分均匀混合。
Description
技术领域
本实用新型属于匀胶设备技术领域，特别涉及一种掺镓硅片加工用匀胶机。
背景技术
硅片加工中，需要将光刻胶涂布在硅片上，以满足硅片曝光的需要，该光刻胶为从厂家购买的成品负性光刻胶加二甲苯稀释剂进行调稀而成。现有技术中，稀释剂添加至光刻胶内、并搅拌均匀的操作由人工进行，但该操作方式具有工人劳动量大、混合时间长、混合均匀程度差的缺点。
公告号为CN 211707288 U的实用新型公开了一种硅片加工用匀胶机，包括底座，底座的顶部设置有圆柱形腔体，圆柱形腔体内部的中心位置处设置有电机，且圆柱形腔体内侧顶端沿其圆周方向设置有环形齿，电机的输出端固定连接有旋转板，旋转板的一侧通过轴承设置有旋转杆，旋转杆底端延伸至环形齿内侧固定连接有齿轮。本实用新型电机带动旋转盘转动，而胶瓶随着旋转盘在水平方向发生转动，使得胶瓶内部的二甲苯稀释剂光刻胶进行混合，且由于胶瓶固定柱底部的旋转杆齿轮与环形齿相互啮合，进而使得旋转杆带动胶瓶固定柱发生转动，从而使得胶瓶自身发生转动，提高了二甲苯稀释剂光刻胶混合效率，同时本实用新型结构简单，制作成本低。然而本专利的技术方案却存在着如下缺陷：本专利的技术方案仅仅能够使得胶瓶自身进行转动，并没有设置用于对胶瓶中的光刻胶和稀释剂的混合物进行搅拌处理的搅拌模块，是以存在着搅拌效率低、搅拌效果差的缺陷。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型针对现有技术的不足，提供一种掺镓硅片加工用匀胶机，不仅能够使得匀胶筒进行转动，而且还能通过搅拌模块快速高效地对匀胶筒中的光刻胶和稀释剂进行搅拌处理，从而实现对光刻胶和稀释剂的充分均匀混合。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种掺镓硅片加工用匀胶机，包括基座、设置在基座底部的支撑腿、设置在基座顶部的U型的安装架、设置在安装架左右侧端内壁之间的横板、设置在横板顶部的轴承座、与轴承座的内侧壁相连接且竖向贯穿横板的出料管、设置在横板上且与出料管相适配的通孔、设置在出料管上的控制阀、设置在出料管顶部的匀胶筒、用于对出料管进行转动驱动的驱动模块和与驱动模块相适配且用于对匀胶筒中的光刻胶以及稀释剂的混合物进行搅拌处理的搅拌辅助模块。驱动模块包括竖向设置在横板顶部的驱动电机、设置在驱动电机的输出轴上的主动齿轮和设置在出料管上且能够与主动齿轮相啮合的从动齿轮。匀胶筒的下端为与出料管相适配的锥筒形。搅拌辅助模块包括竖向设置在安装架顶部底壁上的伸缩推杆、设置在伸缩推杆的输出轴下端的搅拌轴、设置在搅拌轴上的搅拌叶片和设置在搅拌轴的底部以及搅拌叶片的侧端且与匀胶筒相适配的刮料板。
进一步的，控制阀为手动调节阀。手动调节阀为的型号为海斯迪克 HK-5004。
进一步的，安装架与机架焊接固定。能够使得安装架与机架牢固地固定到一起。
进一步的，基座的顶部还设置有用于对承接容器在基座上的放置位置进行限位导引的安放槽。通过安放槽，能够使得用户更方便地将承接容器放置到基座上的合适位置，从而更方便地对完成均匀混合处理的光刻胶与稀释剂的混合物进行承接处理。
进一步的，支撑腿的底部还设置有行走轮，支撑腿的侧端还设置有延伸板，延伸板上还设置有用来与地面进行固定的地脚螺栓。通过行走轮，用户能够省时省力地将装置移动到合适的位置，之后可以使得地脚螺栓穿过延伸板并与地面相连接，从而避免装置轻易地发生偏移；随后需要再次移动装置时，只需先使得地脚螺栓与地面分离即可。
进一步的，基座的侧端还设置有推移杆，推移杆上还设置有防滑套。通过推移杆，能够与行走轮相配合，从而更方便地对装置进行移动；通过防滑套，能够更方便地对装置进行移动。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：通过基座、支撑腿、安装架、横板、轴承座、出料管、通孔、控制阀、匀胶筒、驱动电机、主动齿轮、从动齿轮、伸缩推杆、搅拌轴、搅拌叶片、刮料板的配合，不仅能够使得匀胶筒进行转动，而且还能通过搅拌模块快速高效地对匀胶筒中的光刻胶和稀释剂进行搅拌处理，从而实现对光刻胶和稀释剂的充分均匀混合，且能够对粘附在匀胶筒内侧壁上的光刻胶以及稀释剂进行清除处理，避免其粘附在匀胶筒的内侧壁上而不能完全参与均匀混合处理的匀胶加工过程，还能够避免完成均匀混合处理后的光刻胶以及稀释剂的混合物粘附在匀胶筒的内壁而无法干净彻底地进行出料、从而避免造成物料的浪费；因为匀胶筒的下端为与出料管相适配的锥筒形，所以能够有效避免光刻胶以及稀释剂的混合物滞留在匀胶筒的底部而无法干净地彻底地进行出料，从而避免造成物料的浪费。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的安放槽的结构示意图；
图3为本实用新型的行走轮、延伸板、地脚螺栓的结构示意图；
图4为本实用新型的推移杆、防滑套的结构示意图。
图中：101、基座；102、支撑腿；103、安装架；104、横板；105、轴承座；106、出料管；107、控制阀；108、匀胶筒；109、安放槽；110、行走轮；111、延伸板；112、地脚螺栓；113、推移杆；114、防滑套；201、驱动电机；202、主动齿轮；203、从动齿轮；301、伸缩推杆；302、搅拌轴；303、搅拌叶片；304、刮料板。
具体实施方式
为了更好地理解本实用新型，下面结合实施例进一步清楚阐述本实用新型的内容，但本实用新型的保护内容不仅仅局限于下面的实施例。在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本实用新型更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员来说显而易见的是，本实用新型可以无需一个或多个这些细节而得以实施。
如图1所示，一种掺镓硅片加工用匀胶机，包括基座101、设置在基座101底部的支撑腿102、设置在基座101顶部的U型的安装架103、设置在安装架103左右侧端内壁之间的横板104、设置在横板104顶部的轴承座105、与轴承座105的内侧壁相连接且竖向贯穿横板104的出料管106、设置在横板104上且与出料管106相适配的通孔、设置在出料管106上的控制阀107、设置在出料管106顶部的匀胶筒108、用于对出料管106进行转动驱动的驱动模块和与驱动模块相适配且用于对匀胶筒108中的光刻胶以及稀释剂的混合物进行搅拌处理的搅拌辅助模块。驱动模块包括竖向设置在横板104顶部的驱动电机201、设置在驱动电机201的输出轴上的主动齿轮202和设置在出料管106上且能够与主动齿轮202相啮合的从动齿轮203。匀胶筒108的下端为与出料管106相适配的锥筒形。搅拌辅助模块包括竖向设置在安装架103顶部底壁上的伸缩推杆301、设置在伸缩推杆301的输出轴下端的搅拌轴302、设置在搅拌轴302上的搅拌叶片303和设置在搅拌轴302的底部以及搅拌叶片303的侧端且与匀胶筒108相适配的刮料板304。伸缩推杆301的型号为CLA-250MM。
先将一定量的成品负性光刻胶加入到匀胶筒108中，之后将一定量的二甲苯稀释剂加入到匀胶筒108中，之后便可使得伸缩推杆301输出轴向下伸长一定的长度，使得搅拌轴302、搅拌叶片303和刮料板304插入到匀胶筒108中；之后便可启动驱动电机201，并在主动齿轮202、从动齿轮203、轴承座105的配合下，使得出料管106、匀胶筒108以及成品负性光刻胶与二甲苯稀释剂的混合物进行转动，从而使得成品负性光刻胶与二甲苯稀释剂的混合物进行混合，即对成品负性光刻胶加二甲苯稀释剂进行调稀处理而制成最终品光刻胶。
由于匀胶筒108在转动的过程中，匀胶筒108的侧端内壁和底部内壁会与刮料板304相接触，是以能够对粘附在匀胶筒108内侧壁上的光刻胶以及稀释剂进行清除处理，避免其粘附在匀胶筒108的内侧壁上而不能完全参与均匀混合处理的匀胶加工过程，从而避免造成成品负性光刻胶以及二甲苯稀释剂的浪费，并避免影响到最终品光刻胶的品质；同时，还可以使得伸缩推杆301的输出轴反复地上下移动，从而改变并扩展刮料板304对匀胶筒108内壁上的物料的刮取范围，更全面彻底地对粘附在匀胶筒108内壁上的物料进行刮取处理。
由于成品负性光刻胶与二甲苯稀释剂的混合物在转动的过程中，能够与搅拌轴302和搅拌叶片303相配合，所以能够更好地对成品负性光刻胶与二甲苯稀释剂的混合物进行搅拌混合处理；同时，还可以使得伸缩推杆301的输出轴反复地上下移动，从而改变并扩展搅拌轴302和搅拌叶片303对匀胶筒108中的物料的搅拌范围，从而更充分地对匀胶筒108中的物料进行搅拌处理。
完成对最终品光刻胶的调稀制备处理之后，只需打开控制阀107，便可通过出料管106进行出料；在进行出料的过程中，可以使得驱动电机201、伸缩推杆301继续进行工作，从使得刮料板304对粘附在匀胶筒108内壁上的物料进行刮取处理，从而避免完成均匀混合处理后的光刻胶以及稀释剂的混合物粘附在匀胶筒108的内壁而无法干净彻底地进行出料、从而避免造成物料的浪费。
根据本实用新型的另一个实施例，控制阀107为手动调节阀。手动调节阀为的型号为海斯迪克 HK-5004。安装架103与机架焊接固定。能够使得安装架103与机架牢固地固定到一起。
根据本实用新型的另一个实施例，如图2所示，基座101的顶部还设置有用于对承接容器在基座101上的放置位置进行限位导引的安放槽109。通过安放槽109，能够使得用户更方便地将承接容器放置到基座101上的合适位置，从而更方便地对完成均匀混合处理的光刻胶与稀释剂的混合物进行承接处理。
根据本实用新型的另一个实施例，如图3所示，支撑腿102的底部还设置有行走轮110，支撑腿102的侧端还设置有延伸板111，延伸板111上还设置有用来与地面进行固定的地脚螺栓112。通过行走轮110，用户能够省时省力地将装置移动到合适的位置，之后可以使得地脚螺栓112穿过延伸板111并与地面相连接，从而避免装置轻易地发生偏移；随后需要再次移动装置时，只需先使得地脚螺栓112与地面分离即可。
根据本实用新型的另一个实施例，如图4所示，基座101的侧端还设置有推移杆113，推移杆113上还设置有防滑套114。通过推移杆113，能够与行走轮110相配合，从而更方便地对装置进行移动；通过防滑套114，能够更方便地对装置进行移动。
最后说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案所做的其他修改或者等同替换，只要不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
Claims (7)
1.一种掺镓硅片加工用匀胶机，包括基座(101)和设置在基座(101)底部的支撑腿(102)，其特征在于：还包括设置在基座(101)顶部的U型的安装架(103)、设置在安装架(103)左右侧端内壁之间的横板(104)、设置在横板(104)顶部的轴承座(105)、与轴承座(105)的内侧壁相连接且竖向贯穿横板(104)的出料管(106)、设置在横板(104)上且与出料管(106)相适配的通孔、设置在出料管(106)上的控制阀(107)、设置在出料管(106)顶部的匀胶筒(108)、用于对出料管(106)进行转动驱动的驱动模块和与驱动模块相适配且用于对匀胶筒(108)中的光刻胶以及稀释剂的混合物进行搅拌处理的搅拌辅助模块。
2.如权利要求1所述的掺镓硅片加工用匀胶机，其特征在于：所述驱动模块包括竖向设置在横板(104)顶部的驱动电机(201)、设置在驱动电机(201)的输出轴上的主动齿轮(202)和设置在出料管(106)上且能够与主动齿轮(202)相啮合的从动齿轮(203)。
3.如权利要求2所述的掺镓硅片加工用匀胶机，其特征在于：所述匀胶筒(108)的下端为与出料管(106)相适配的锥筒形。
4.如权利要求3所述的掺镓硅片加工用匀胶机，其特征在于：所述搅拌辅助模块包括竖向设置在安装架(103)顶部底壁上的伸缩推杆(301)、设置在伸缩推杆(301)的输出轴下端的搅拌轴(302)、设置在搅拌轴(302)上的搅拌叶片(303)和设置在搅拌轴(302)的底部以及搅拌叶片(303)的侧端且与匀胶筒(108)相适配的刮料板(304)。
5.如权利要求4所述的掺镓硅片加工用匀胶机，其特征在于：所述控制阀(107)为手动调节阀。
6.如权利要求5所述的掺镓硅片加工用匀胶机，其特征在于：所述安装架(103)与机架焊接固定。
7.如权利要求5或6所述的掺镓硅片加工用匀胶机，其特征在于：所述基座(101)的顶部还设置有用于对承接容器在基座(101)上的放置位置进行限位导引的安放槽(109)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221925434.9U CN218107502U (zh) | 2022-07-25 | 2022-07-25 | 一种掺镓硅片加工用匀胶机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221925434.9U CN218107502U (zh) | 2022-07-25 | 2022-07-25 | 一种掺镓硅片加工用匀胶机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218107502U true CN218107502U (zh) | 2022-12-23 |
Family
ID=84519199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202221925434.9U Active CN218107502U (zh) | 2022-07-25 | 2022-07-25 | 一种掺镓硅片加工用匀胶机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN218107502U (zh) |
-
2022
- 2022-07-25 CN CN202221925434.9U patent/CN218107502U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN214006572U (zh) | 一种建筑混凝土加工喷射机 | |
| CN218107502U (zh) | 一种掺镓硅片加工用匀胶机 | |
| CN210021900U (zh) | 一种微生物菌剂生产的原料搅拌装置 | |
| CN215610868U (zh) | 一种聚氨酯粘合剂的搅拌机 | |
| CN218249713U (zh) | 一种具备刮胶功能的防水板生产用制胶罐 | |
| CN210097675U (zh) | 一种有效改善胶水配置的搅拌装置 | |
| CN212467885U (zh) | 一种清洁剂生产用搅拌装置 | |
| CN211537510U (zh) | 一种5-氨基乙酰丙酸肥料的生产设备 | |
| CN220835320U (zh) | 一种用于高分子涂料的配比机构 | |
| CN215782976U (zh) | 一种颗粒状物料的搅拌混合机 | |
| CN219647368U (zh) | 一种方便清理的混合设备 | |
| CN219376813U (zh) | 一种可移动的搅拌机 | |
| CN220514030U (zh) | 一种水性涂料制备装置 | |
| CN111672375A (zh) | 一种复合板生产工艺 | |
| CN218872004U (zh) | 一种环氧树脂胶加工用原料调配设备 | |
| CN219667046U (zh) | 一种腻子膏加工用搅拌装置 | |
| CN218573415U (zh) | 一种防粘壁的奶瓶果蔬清洗剂合成罐 | |
| CN219615391U (zh) | 一种有机肥生产用搅拌装置 | |
| CN217662853U (zh) | 一种石膏板侧出料搅拌设备 | |
| CN216935634U (zh) | 一种胶黏剂高效搅拌器 | |
| CN215139040U (zh) | 一种消泡剂配料装置 | |
| CN213999981U (zh) | 一种桥梁养护施工的混凝土喷射泵 | |
| CN220345694U (zh) | 一种用于粘稠液态化学合成品的搅拌器 | |
| CN214182796U (zh) | 一种生产涂料用混合机 | |
| CN216024602U (zh) | 一种水性涂料制备搅拌装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20240531 Address after: No. 233, Jiangnan Road, Hengdian Town, Dongyang City, Jinhua City, Zhejiang Province 322118 Patentee after: Jinhua cimeng Intellectual Property Service Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: 475000 chuzhai village, Gegang Town, Qi County, Kaifeng City, Henan Province Patentee before: QIXIAN DONGCI NEW ENERGY CO.,LTD. Country or region before: China |
|
| TR01 | Transfer of patent right |