CN218068432U - 物镜转盘及显微系统 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种物镜转盘及显微系统。物镜转盘包括基座、转动轴、电机、承载盘、及光栅尺组件。基座设有收容孔。转动轴安装于基座并穿设收容孔。电机包括转子和定子，转子安装于转动轴的第一侧并位于收容孔内，定子安装于收容孔的内壁并环绕转子。承载盘设于转动轴的第二侧并能够跟随转动轴转动，承载盘用于安装物镜。光栅尺组件设于转动轴的第二侧，并位于基座及承载盘之间，光栅尺组件用于获取承载盘的转动角度。本申请的物镜转盘及显微系统中，物镜转盘通过设置光栅尺组件获取承载盘的转动角度，能够精确地确定承载盘的转动角度。物镜转盘的电机能够根据光栅尺组件获取的角度精确地驱动承载盘转动，以实现精确切换物镜。

Description

物镜转盘及显微系统

技术领域

本申请涉及检测技术领域，特别涉及一种物镜转盘及显微系统。

背景技术

在面板检测过程中，需要切换不同倍率的物镜对面板不同区域进行检测，而如果不同倍率的物镜都配有一个独立的光学系统，这样一方面会增加设备的成本，另一方面也影响整体检测探头的布局。所以在结构上需要用到同一套光学系统，配备不同倍率的物镜用于检测，这样就需要对不同倍率的物镜进行切换。而由于面板的尺寸大，在检测过程中，需要检测探头进行高速移动，那么对于物镜切换的装置需要有较高的精度高要求。而现有的物镜切换装置精度不够高，如何提高物镜切换装置的精度是本领域亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本申请实施方式提供一种物镜转盘及显微系统。

本申请实施方式的物镜转盘包括基座、转动轴、电机、承载盘、及光栅尺组件。基座设有收容孔。转动轴安装于基座并穿设收容孔。电机包括转子和定子，转子安装于转动轴的第一侧并至少部分位于收容孔内，定子安装于收容孔的内壁并环绕转子。承载盘设于转动轴的第二侧并随转动轴转动，承载盘用于安装物镜。光栅尺组件设于转动轴的第二侧，并位于基座及承载盘之间，光栅尺组件用于获取承载盘的转动角度。

在某些实施方式中，所述电机包括直驱力矩电机，并用于根据所述转动角度驱动所述转动轴转动，以带动所述承载盘转动。

在某些实施方式中，所述承载盘设有安装部，所述物镜安装于所述安装部，所述基座设有通光部，所述通光部与所述安装部对应，光线能够经过所述通光部进入对应的所述安装部上的所述物镜，或者被物体反射的光线能够经过所述物镜进入对应的所述通光部。

在某些实施方式中，所述通光部为多个，所述物镜为多个，每个所述物镜对应一个所述通光部，所述电机用于根据所述转动角度驱动所述转动轴转动，以带动所述承载盘上的所述物镜转动至与任意一个所述通光部对应。

在某些实施方式中，所述物镜转盘还包括轴承组件，所述轴承组件包括固定件、轴承、及限位件，所述固定件安装于所述基座的第一侧；所述轴承安装于所述固定件的内壁，并套设于所述转动轴的第二侧，所述限位件安装于所述固定件，所述固定件及所述限位件共同对所述轴承起限位作用。

在某些实施方式中，所述轴承包括交叉滚子轴承。

在某些实施方式中，所述光栅尺组件包括光栅尺，所述物镜转盘还包括连接件，所述连接件的第一侧安装于所述转动轴的第二侧，所述光栅尺固定套设于所述连接件，所述承载盘安装于所述连接件的第二侧。

在某些实施方式中，所述光栅尺组件还包括安装件及光栅尺读数头，所述安装件安装于所述基座的第二侧并位于固定件的外周；所述光栅尺读数头安装于所述安装件并与所述光栅尺间隔对应，所述光栅尺读数头用于获取所述光栅尺读数头相对所述光栅尺转动的角度。

在某些实施方式中，所述物镜转盘还包括遮光罩，所述遮光罩设置在所述基座和所述承载盘之间并罩设所述电机和所述光栅尺组件，并用于阻挡进入所述基座和所述承载盘之间的光线从所述物镜转盘的四周出射。

在某些实施方式中，所述物镜转盘还包括盖板，所述盖板安装于所述基座的第二侧，并遮挡所述收容孔。

本申请实施方式的显微系统包括上述任一实施方式所述的物镜转盘及多个物镜，多个所述物镜安装于所述承载盘。

本申请的物镜转盘及显微系统中，物镜转盘通过设置光栅尺组件获取承载盘的转动角度，能够精确地确定承载盘的转动角度。物镜转盘的电机能够根据光栅尺组件获取的角度精确地驱动承载盘转动，以实现精确切换物镜。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请某些实施方式的物镜转盘的立体示意图；

图2是本申请某些实施方式的物镜转盘的截面示意图；

图3是本申请某些实施方式的物镜转盘的立体示意图；

图4是本申请某些实施方式的物镜转盘的基座及承载盘的示意图；

图5是本申请某些实施方式的显微系统的立体示意图。

具体实施方式

下面详细描述本申请的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“厚度”、“上”、“顶”、“底”、“内”、“外”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

请参阅图1至图3，本申请提供一种物镜转盘100，物镜转盘100包括基座10、转动轴20、电机30、承载盘40、及光栅尺组件50。基座10设有收容孔11。转动轴20安装于基座10并穿设收容孔11。电机30包括转子31和定子33，转子31安装于转动轴20的第一侧21并至少部分位于收容孔11内，定子33安装于收容孔11的内壁111并环绕转子31。承载盘40设于转动轴20的第二侧23并随转动轴20转动，承载盘40用于安装物镜200。光栅尺组件50设于转动轴20的第二侧23，并位于基座10及承载盘40之间，光栅尺组件50用于获取承载盘40的转动角度。

本申请的物镜转盘100通过光栅尺组件50获取承载盘40的转动角度，能够精确地确定承载盘40的转动角度。物镜转盘100的电机30能够根据光栅尺组件50获取的角度精确地驱动承载盘40转动，以实现精确切换物镜200。

在某些实施方式中，电机30包括直驱力矩电机30，并用于根据转动角度驱动转动轴20转动，以带动承载盘40转动。直驱力矩电机30转矩大，不需要配合减速器使用来通过减速来增加输出的转矩，使得物镜转盘100能够省去减速器，节约成本。相较于步进电机30和蜗轮蜗杆组成的驱动装置，直驱力矩电机30不仅尺寸更小，而且直驱力矩电机30的转子31能够直接驱动转动轴20转动，无需经过如皮带、蜗轮蜗杆等传动装置的传动，因此更容易控制直驱力矩电机30驱动转动轴20所转动的角度，从而提高转动轴20的转动精度。由于承载盘40跟随转动轴20转动，因此当转动轴20的转动精度提高，承载盘40的转动精度也能够提高，进而能提高承载盘40上的物镜200的切换精度。

具体地，物镜200安装在承载盘40后，物镜200与承载盘40之间的相对位置固定，此时承载盘40的转动角度即为物镜200的转动角度。例如承载盘40跟随转动轴20转动30°时，物镜200跟随承载盘40转动30°。光栅尺组件50能够获取承载盘40的转动角度，以使电机30能够准确驱动承载盘40转动预设角度切换物镜200。

请参阅图3及图4，在一个实施例中，基座10可设有0刻度，对应地，承载盘40可设有多个刻度，其中，承载盘40上的0°、90°、180°、270°四个刻度所在位置对应装有物镜200，具体地，物镜200包括第一物镜201、第二物镜202、第三物镜203、及第四物镜204，分别与0°、90°、180°、270°四个刻度对应。在本实施例中，与基座10的0刻度对应的物镜200用于接收物体反射的光线，使物体的像根据该物镜200的倍率放大或缩小，换言之，与基座10的0刻度对应的物镜200对应待测物体。当需要切换物镜200时，通过电机30驱动转动轴20带动承载盘40转动，使待切换的物镜200对应的承载盘40上的刻度与基座10的0刻度对应即可。例如初始时刻承载盘的40上的0°与基座10的0刻度对应，此时第一物镜201与待测物体对应。若要切换物镜200，使第二物镜202与待测物体对应，则通过电机30驱动转动轴20带动承载盘40转动直至承载盘的40上的90°与基座10的0刻度对应。在第一物镜201切换至第二物镜202的过程中，电机30可以驱动转动轴20带动承载盘40顺时针转动90°，或逆时针转动270°，在此不作限制。类似地，电机30驱动转动轴20带动承载盘40转动以使任意的物镜200与基座10的0刻度对应，在此不一一列举。

请参阅图1至图3，在一个实施例中，光栅尺组件50包括光栅尺读数头51，用户可以从光栅尺读数头51读取当前承载盘40上与基座10的0刻度对应的实时刻度，以根据实时刻度控制电机30驱动转动轴20带动承载盘40转动。其中，承载盘40的刻度和基座10的刻度不一定实际存在，在又一个实施例中，图4示意的刻度仅用于体现承载盘的转动角度，光栅尺55组件可直接获取承载盘的转动角度。

在一个实施例中，物镜200与光栅尺读数头51的预设读数对应，当切换物镜200时，电机30驱动转动轴20带动承载盘40转动直至光栅尺读数头51的读数为待切换的物镜200对应的预设读数。在一个实施例中，第一物镜201对应读数0°，第二物镜202对应读数90°，在将第一物镜201切换至第二物镜时，电机30驱动转动轴20带动承载盘40转动直至光栅尺读数头51的读数为90°。例如电机30驱动转动轴20带动承载盘40顺时针转动后光栅尺读数头51的读数从0°变为91°40’21”，电机30再驱动转动轴20带动承载盘40逆时针转动，直至光栅尺读数头51的读数变为90°。

请参阅图1至图3，在又一个实施例中，物镜转盘100还可包括处理器(图未示出)，处理器根据光栅尺组件50获取的承载盘40的转动角度控制电机30，如控制电机30的输入电流、输入电压等参数，使电机30的转子31驱动转动轴20转动，以精确控制转动轴20的转动角度。承载盘40跟随转动轴20一同转动，承载盘40的转动角度与转动轴20的转动角度相同，因此通过处理器精确控制转动轴20的转动角度即可精确控制承载盘40的转动角度，以实现精确切换物镜200。

请参阅图1，在某些实施方式中，承载盘40设有安装部41，物镜200安装于安装部41，基座10设有通光部13，通光部13与安装部41对应，被物体反射的光线能够经过物镜200进入对应的通光部13。

在某些实施方式中，照明光线能够经过通光部13进入对应的安装部41上的物镜200，并从物镜出射以照明物体。

在一个实施例中，安装部41为安装孔，物镜200至少部分伸入安装孔以安装于安装部41。

在一个实施例中，通光部13为通光孔，通光孔的尺寸与物镜200的尺寸相匹配，其中，通光孔的尺寸可以等于或略大于物镜200的尺寸，以避免通光孔的尺寸过小导致通光物镜200的部分光线被通光孔阻挡，及避免通光孔的尺寸过大导致通光物镜200的部分光线从通光孔泄漏。通光孔的尺寸还可以略小于物镜200的尺寸，以阻挡物镜200边缘的光线，由于自物镜200的边缘进入物镜转盘100的光线容易产生畸变，干扰光、杂散光也容易从物镜200的边缘进入物镜转盘100，因此阻挡物镜200边缘的光线进入通光孔能够避免由物镜200边缘的进入通光孔的光线影响成像效果。

在一个实施例中，通光部13可设有滤光片，以选择性地滤除部分对拍摄/观察待测物体造成干扰的光线，例如滤除红外光、紫外光等，在此不一一列举。在另一个实施例中，通光部13也是选择性地筛选部分光线通过通光部13，例如仅允许红外光、或紫外光、或特定波段的光线通过通光部13，在此不一一列举。当通光部13包括多个时，可以每个通光部13均设有滤光片；或者，也可以部分通光部13设有滤光片，部分通光部13不设置滤光片；再或者，还可以所有通光部13均不设置滤光片。

请参阅图1至图3，承载盘40跟随转动轴20转动的过程中，安装部41相对通光部13转动。当安装部41转动至与通光部13对应时，安装于安装部41上的物镜200与该通光部13的光路连通，光线能够经过通光部13进入对应的安装部41上的物镜200，被物体反射的光线能够经过物镜200进入对应的通光部13。

请参阅图1，在某些实施方式中，通光部13为多个，物镜200为多个，每个物镜200对应一个通光部13，电机30用于根据转动角度驱动转动轴20转动，以带动承载盘40上的物镜200转动至与任意一个通光部13对应。

具体地，在一个实施例中，安装部41的数量与通光部13的数量一致，例如安装部41的数量为四个，对应地，通光部13的数量也为四个。安装部41的数量还可以是两个、三个、五个、或更多个，对应地，通光部13的数量也可以是两个、三个、五个、或更多个，在此不一一列举。进一步地，安装部41的数量为多个时，多个安装部41在承载盘40上均匀分布，多个通光部13在基座10也均匀分布，使任意一个安装部41与通光部13对应时，其余安装部41均能够与通光部13对应。如此，当物镜转盘100应用于显微系统1000(图5所示)时，若已经确定某一通光部13与相机300(图5所示)对应，则可以切换与该通光部13对应的物镜200以切换与相机300对应的物镜200；若未确定与相机300对应的通光部13，则可以不改变与通光部13对应的物镜200，而是通过改变与相机300对应的通光部13切换相机300对应的物镜200。请结合图4及图5，在一个实施例中第一通光部131对应第一物镜201，第二通光部132对应第二物镜202，初始时刻相机300对应第一通光部131，即第一物镜201与相机300对应。若要切换物镜200使第二物镜202与相机300对应，则可以调节显微系统1000中的光路转折组件(图未示出)，使光线能够在相机300和第二通光部132之间传输，并阻挡在相机300和第一通光部131之间传输的光线，以使相机300与第二通光部132对应，从而使相机300与第二物镜202对应。

在某些实施方式中，通光部13可为一个或多个，对应地，物镜200也可为一个或多个，每个物镜200至少对应一个通光部13。

在一个例子中，安装部41的数量可小于通光部13的数量，例如安装部41的数量为一个，通光部13的数量为两个、三个、四个或更多个，在此不一一列举。当然，安装部41的数量还可以多于一个，只要满足通光部13的数量多于安装部41的数量即可，在此不一一列举。如此，当不同的通光部13设有不同的滤光片时，能够通过转动承载盘40改变与通光部13对应的物镜200，使通过该物镜200及与该物镜200对应的通光部13的光线得到不同的滤光效果。例如通过转动承载盘40使物镜200与设有红外滤光片的通光部13对应，以滤除通过通光部13的红外光。

在另一个例子中，安装部41的数量可大于通光部13的数量，例如通光部13的数量为一个，安装部41的数量为两个、三个、四个或更多个，在此不一一列举。当然，通光部13的数量还可以多于一个，只要满足安装部41的数量多于安装部41的数量即可，在此不一一列举。当通光部13的数量为一个，安装部41的数量为两个或更多个时，相机300(图5所示)与唯一的通光部13对应，通过转动承载盘40改变与通光部13对应的物镜20，能够切换与相机300对应的物镜200。

请参阅图2，在某些实施方式中，物镜转盘100还可包括轴承组件70，轴承组件70包括固定件71、轴承73、及限位件75。固定件71安装于基座10的第一侧15。轴承73安装于固定件71的内壁711，并套设于转动轴20的第二侧23。限位件75安装于固定件71，固定件71及限位件75共同对轴承73起限位作用。

请继续参阅图2，在一个实施例中，固定件71通过螺钉安装于基座10的第一侧15。固定件71设有安装槽713，轴承73安装于固定件71的安装槽713的内壁711。限位件75可以是垫圈，以提供一定的弹力，能够起到缓冲作用以防止轴承73磨损。限位件75环绕转动轴20设置，具体地，限位件75的下表面和固定件71的内壁711共同抵触轴承73，以防止转动轴20转动时轴承73沿第一方向X或第二方向Y运动，使转动轴20的转动稳定，能够利于电机30精确地驱动转动轴20转动预定的角度，从而实现物镜200的高精度定位。

在某些实施方式中，轴承73包括交叉滚子轴承73，交叉滚子轴承73内部结构为：滚子呈90°相互垂直交叉排列，滚子之间装有间隔保持器或者隔离块，可以防止滚子的倾斜所滚子之间相互摩擦，因此使得转动轴20具有较高的旋转精度，能够利于电机30精确地驱动转动轴20转动预定的角度，从而实现物镜200的高精度定位。此外，交叉滚子轴承73相较于其他类型的轴承具有更小的尺寸，能够减少物镜转盘100的整体尺寸。

请再参阅图2，在某些实施方式中，光栅尺组件50可包括光栅尺55、安装件53、及光栅尺读数头51。光栅尺55围绕转动轴20设置，光栅尺55随转动轴20的转动同步转动。安装件53安装于基座10的第一侧15并位于固定件71的外周。光栅尺读数头51安装于安装件53并与光栅尺55间隔对应，光栅尺读数头51用于获取光栅尺读数头51相对光栅尺55转动的角度。由于光栅尺55、承载盘40、及转动轴20同轴转动，且光栅尺55、承载盘40、及转动轴20之间不发生相对转动，因此光栅尺55相对光栅尺读数头51转动的角度即为承载盘40相对光栅尺读数头51转动的角度。

请结合图2及图4，在一个实施例中，安装部41的数量为四个，四个安装部41在承载盘40上均匀分布，四个安装部41分别安装有第一物镜201、第二物镜202、第三物镜203、及第四物镜204。通光部13包括第一通光部131、第二通光部132、第三通光部133、及第四通光部134，四个通光部13在基座10上均匀分布，并能够与四个安装部41一一对应。当光栅尺读数头51的读数为0°时，第一物镜201与第一通光部131对应、第二物镜202与第二通光部132对应、第三物镜203与第三通光部133对应、第四物镜204与第四通光部134对应。当物镜转盘100应用于显微系统1000(图5所示)时，显微系统1000的目镜可以与四个通光部13中的任意一个对应。电机30可驱动转动轴20转动至光栅尺读数头51的读数为90°，此时第一物镜201与第二通光部132对应、第二物镜202与第三通光部133对应、第三物镜203与第四通光部143对应、第四物镜204与第一通光部131对应。类似地，电机30可驱动转动轴20转动至光栅尺读数头51的读数为180°，此时第一物镜201与第三通光部133对应、第二物镜202与第四通光部134对应、第三物镜203与第一通光部131对应、第四物镜204与第二通光部132对应。类似地，电机30可驱动转动轴20转动至光栅尺读数头51的读数为270°，此时第一物镜201与第四通光部134对应、第二物镜202与第一通光部131对应、第三物镜203与第二通光部132对应、第四物镜204与第三通光部133对应。如此，电机30能够驱动转动轴20转动使任意一个物镜200与任意一个通光部13对应。在其他实施例中，安装部41及物镜200的数量不限于四个，还可以是一个、两个、三个、五个、或更多个，在此不一一列举；通光部13的数量不限于四个，还可以是一个、两个、三个、五个、或更多个，在此不一一列举；即物镜200的数量可以大于、小于、或等于通光部13的数量，在上述场景中电机30均能够驱动转动轴20转动使任意一个物镜200与任意一个通光部13对应。

请参阅图2，在某些实施方式中，物镜转盘100还可包括连接件80，连接件80的第一侧81安装于转动轴20的第二侧23，光栅尺55固定套设于连接件80，承载盘40安装于连接件80的第二侧83。如此，光栅尺55、连接件80、承载盘40、及转动轴20同轴转动，且光栅尺55、连接件80、承载盘40、及转动轴20之间不发生相对转动，因此，光栅尺55相对光栅尺读数头51转动的角度即为承载盘40相对光栅尺读数头51转动的角度。在一个实施例中，连接件80的直径可大于转动轴20的直径，以便于套设光栅尺55。

请参阅图2及图3，在某些实施方式中，物镜转盘100还可包括遮光罩91，遮光罩91设置在基座10和承载盘40之间并罩设电机30和光栅尺组件50，并用于阻挡进入基座10和承载盘40之间的光线从物镜转盘100的四周出射。

请参阅图2及图3，在某些实施方式中，物镜转盘100还可包括盖板93，盖板93安装于基座10的第二侧17，并遮挡收容孔11，以防止光线、液体、及尘埃颗粒进入收容孔11而使得收容孔11的元器件遭受到污染。

请参阅图5，本申请提供一种显微系统1000。显微系统1000包括上述任意一实施方式的物镜转盘100及多个物镜200，多个物镜200安装于承载盘40。在一个实施例中，物镜200的数量与承载盘40的安装部41数量一致。多个物镜200中，每两个物镜200可以具有相同或不同的倍率。

请结合图3及图5，在某些实施方式中，显微系统1000还包括相机300，相机300与物镜转盘100的一个通光部13对应，当该通光部13与物镜200对应时，自物体反射的光线能够通过物镜200及通光部13进入相机300，使用相机300能够检测到经过物镜200的按该物镜200对应的倍率放大的物体。在一个实施例中，可通过物镜转盘100的电机30驱动转动轴20转动，使承载盘40带动物镜200转动，以切换与相机300对应的通光部13所对应的物镜200，从而切换与相机300对应的物镜200。在另一个实施例中，可改变与相机300对应的通光部13，例如调节显微系统1000内部的光路转折组件(图未示出)切换与相机300对应的通光部13，从而切换与相机300对应的物镜200。在再一个实施例中，可切换与相机300对应的通光部13和物镜200，从而切换显微系统1000的放大倍率，及在不同的通光部13设有不同的滤光片时切换显微系统1000的滤光能力。

本申请实施方式的显微系统1000中，物镜转盘100通过设置光栅尺组件50获取承载盘40的转动角度，能够精确地确定承载盘40的转动角度。电机30能够根据承载盘40的转动角度驱动转动轴20转动，使承载盘40能够精确地跟随转动轴20转动适宜的角度，实现精确切换物镜200。物镜转盘100还设有交叉滚子轴承73作为转动轴20转动的导向结构，以确保转动轴20能够进行高精度的旋转运动。

本说明书的描述中，参考术语“某些实施方式”、“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个，除非另有明确具体的限定。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，本申请的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (11)

1.一种物镜转盘，其特征在于，包括：

基座，所述基座设有收容孔；

转动轴，所述转动轴安装于所述基座并穿设所述收容孔；

电机，所述电机包括转子和定子，所述转子安装于所述转动轴的第一侧并至少部分位于所述收容孔内，所述定子安装于所述收容孔的内壁并环绕所述转子；

承载盘，所述承载盘设于所述转动轴的第二侧并随所述转动轴转动，所述承载盘用于安装物镜；及

光栅尺组件，所述光栅尺组件设于所述转动轴的第二侧，并位于所述基座及所述承载盘之间，所述光栅尺组件用于获取所述承载盘的转动角度。

2.根据权利要求1所述的物镜转盘，其特征在于，所述电机包括直驱力矩电机，并用于根据所述转动角度驱动所述转动轴转动，以带动所述承载盘转动。

3.根据权利要求1所述的物镜转盘，其特征在于，所述承载盘设有安装部，所述物镜安装于所述安装部，所述基座设有通光部，所述通光部与所述安装部对应，光线能够经过所述通光部进入对应的所述安装部上的所述物镜，或者，被物体反射的光线能够经过所述物镜进入对应的所述通光部。

4.根据权利要求3所述的物镜转盘，其特征在于，所述通光部为多个，所述物镜为多个，每个所述物镜对应一个所述通光部，所述电机用于根据所述转动角度驱动所述转动轴转动，以带动所述承载盘上的所述物镜转动至与任意一个所述通光部对应。

5.根据权利要求1所述的物镜转盘，其特征在于，所述物镜转盘还包括轴承组件，所述轴承组件包括：

固定件，所述固定件安装于所述基座的第一侧；

轴承，所述轴承安装于所述固定件的内壁，并套设于所述转动轴的第二侧，及

限位件，所述限位件安装于所述固定件，所述固定件及所述限位件共同对所述轴承起限位作用。

6.根据权利要求5所述的物镜转盘，其特征在于，所述轴承包括交叉滚子轴承。

7.根据权利要求5所述的物镜转盘，其特征在于，所述光栅尺组件包括光栅尺，所述物镜转盘还包括：

连接件，所述连接件的第一侧安装于所述转动轴的第二侧，所述光栅尺固定套设于所述连接件，所述承载盘安装于所述连接件的第二侧。

8.根据权利要求7所述的物镜转盘，其特征在于，所述光栅尺组件还包括：

安装件，所述安装件安装于所述基座的第二侧并位于所述固定件的外周；及

光栅尺读数头，所述光栅尺读数头安装于所述安装件并与所述光栅尺间隔对应，所述光栅尺读数头用于获取所述光栅尺读数头相对所述光栅尺转动的角度。

9.根据权利要求1所述的物镜转盘，其特征在于，所述物镜转盘还包括遮光罩，所述遮光罩设置在所述基座和所述承载盘之间并罩设所述电机和所述光栅尺组件，并用于阻挡进入所述基座和所述承载盘之间的光线从所述物镜转盘的四周出射。

10.根据权利要求1所述的物镜转盘，其特征在于，所述物镜转盘还包括盖板，所述盖板安装于所述基座的第二侧，并遮挡所述收容孔。

11.一种显微系统，其特征在于，所述显微系统包括：

权利要求1-10任意一项所述的物镜转盘；及

多个物镜，多个所述物镜安装于所述承载盘。

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