CN218062893U - 一种用于半导体芯片封装压机油缸的油路密封结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于半导体芯片封装压机油缸的油路密封结构，包括：缸体，所述缸体活动连接有活塞杆，所述缸体可拆卸的设置有与活塞杆活动连接的缸盖，还包括：套设于所述活塞杆端部且滑动密封式装配于所述缸体的密封套，缸盖开设有连通于缸体一侧内腔的第一油道，所述缸体的另一端开设有连通其内腔的第二油道；承载于所述缸体的过滤机构，所述过滤机构包括：设置于所述活塞杆端部的抵接柱、两组对称套设于所述抵接柱且活动连接于所述缸体内腔的第一滤板和第二滤板；以及，承载于所述缸体的缓冲组件。通过上述设置，使得油缸具有能够有效过滤油缸中液压油的杂质，提升使用寿命的优点。

Description

一种用于半导体芯片封装压机油缸的油路密封结构

技术领域

本实用新型涉及油缸技术领域，特别涉及一种用于半导体芯片封装压机油缸的油路密封结构。

背景技术

封装对于半导体芯片来说是必须的，也是至关重要的，它不仅起着保护半导体芯片和增强导热性能的作用，而且还具有沟通半导体芯片内部世界与外部电路桥梁的作用，半导体封装压机通常通过油缸控制压头机构下降，实现对产品的热压封装，液压油缸是将液压能转变为机械能的、做直线往复运动的液压执行元件。在液压油缸使用过程中，由于液压油自身含有的杂质，以及活塞杆在伸缩运动中沾染的杂质，会造成液压油洁净度逐渐降低，在活塞杆伸缩过程中，杂质容易进入活塞杆和缸筒内壁之间，对二者造成磨损，造成液压油缸寿命降低。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于半导体芯片封装压机油缸的油路密封结构，具有能够有效过滤油缸中液压油杂质，提升使用寿命的优点。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种用于半导体芯片封装压机油缸的油路密封结构，包括：缸体，所述缸体活动连接有活塞杆，所述缸体可拆卸的设置有与活塞杆活动连接的缸盖，还包括：

套设于所述活塞杆端部且滑动密封式装配于所述缸体的密封套，缸盖开设有连通于缸体一侧内腔的第一油道，所述缸体的另一端开设有连通其内腔的第二油道；

承载于所述缸体的过滤机构，所述过滤机构包括：设置于所述活塞杆端部的抵接柱、两组对称套设于所述抵接柱且活动连接于所述缸体内腔的第一滤板和第二滤板、分别开设于第一滤板和第二滤板外侧的锥形孔、一端连通于所述锥形孔的过滤流道、以及连通于所述过滤流道另一端且突出于滤板的锥形出口、若干分别设置于第一滤板和第二滤板内侧的支撑柱、以及设置于所述支撑柱且低于锥形出口的过滤层，所述第一滤板和第二滤板的锥形出口交错设置；以及，

承载于所述缸体的缓冲组件。

实现上述技术方案，油缸上升时，通过外接的油泵管道对第二油道输入，同时第一油道打开排油，密封套和活塞杆在缸体内腔中形成密封，输入的液压油将活塞杆顶起，使活塞杆在缸体中上升，油缸下降时，对第一油道输入而第二油道排油，第一滤板和第二滤板随抵接柱在油缸内上下滑动，同时，液压油通过锥形孔和过滤流道，并通过锥形出口进入第一滤板和第二滤板之间，从锥形出口流出时，由于第一滤板和第二滤板之间的锥形出口位交错设置，因此液压油中的杂质首先会落向过滤层，被过滤层吸附过滤，锥形出口高于过滤层，使得杂质不易通过锥形出口流出两个滤板之外，由于第一滤板上方为密闭式内腔没有液压油快速对流贯穿通过，因此流速较小，通过支撑柱的支撑，使过滤层和滤板之间具有间距，增加滤膜上下层的流动性，进一步增加了过滤效果，实现了对液压油的有效过滤，增加油缸的使用寿命。

作为本实用新型的一种优选方案，所述缓冲组件包括：设置于所述抵接柱端部的直孔板、一端活动抵接于所述直孔板且另一端抵接于所述缸体内壁的弹簧。

实现上述技术方案，防止活塞杆触底或封装时的碰撞导致缸体震动，导致第一滤板和第二滤板之间的杂质脱离滤层从锥形口落下。

作为本实用新型的一种优选方案，所述活塞杆周向设置有收窄斜面，所述密封套的上侧开口部设置有与收窄斜面相适配的抵接斜面。

实现上述技术方案，便于承接活塞杆的重量，同时增加密封度。

作为本实用新型的一种优选方案，所述缸盖的内周侧和所述密封套的外周侧环设有若干密封环，所述密封套外周侧的中部环设有应力槽。

实现上述技术方案，通过密封环进一步增加了缸盖和活塞杆的密封性、密封套和缸体内壁之间的密闭性，由于密封套为受力结构，当有倾斜受力时密封套通过应力槽能发生细微变形，保障密封环和缸体内壁的贴合。

作为本实用新型的一种优选方案，所述密封套的内周侧的上侧环设有适配于活塞杆的锥形密封圈。

实现上述技术方案，进一步增加密封套和活塞杆之间的密封性。

作为本实用新型的一种优选方案，所述过滤层为附毛滤层。

实现上述技术方案，便于吸附储纳杂质，增加过滤层的使用寿命。

作为本实用新型的一种优选方案，所述过滤流道的内径、锥形开口的出口的直径相同，为0.5-2mm。

实现上述技术方案，便于杂质通过，增加过滤能力。

作为本实用新型的一种优选方案，所述缸盖和缸体之间为法兰连接。

实现上述技术方案，密封度高，同时便于拆卸缸盖，更换过滤层。

综上所述，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型通过提供一种用于半导体芯片封装压机油缸的油路密封结构，油缸上升时，通过外接的油泵管道对第二油道输入，同时第一油道打开排油，密封套和活塞杆在缸体内腔中形成密封，输入的液压油将活塞杆顶起，使活塞杆在缸体中上升，油缸下降时，对第一油道输入而第二油道排油，第一滤板和第二滤板随抵接柱在油缸内上下滑动，同时，液压油通过锥形孔和过滤流道，并通过锥形出口进入第一滤板和第二滤板之间，从锥形出口流出时，由于第一滤板和第二滤板之间的锥形出口位交错设置，因此液压油中的杂质首先会落向过滤层，被过滤层吸附过滤，锥形出口高于过滤层，使得杂质不易通过锥形出口流出两个滤板之外，由于第一滤板上方为密闭式内腔没有液压油快速对流贯穿通过，因此流速较小，通过支撑柱的支撑，使过滤层和滤板之间具有间距，增加滤膜上下层的流动性，进一步增加了过滤效果，实现了对液压油的有效过滤，增加油缸的使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的剖视图。

图2为本实用新型的另一角度的剖视图。

图3为本实用新型图1中A处的放大图。

图4为本实用新型图3中B处的放大图。

图5为本实用新型密封套的立体剖视图。

图中数字和字母所表示的相应部件名称：

1、缸体；2、活塞杆；3、收窄斜面；5、缸盖；6、第一油道；7、密封套；8、弹簧；9、第二油道；10、直孔板；11、第一滤板；12、第二滤板；13、锥形孔；14、过滤流道；15、锥形出口；16、支撑柱；17、过滤层；18、抵接斜面；19、应力槽；20、密封环；21、抵接柱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

如图1至4所示，一种用于半导体芯片封装压机油缸的油路密封结构，包括：缸体，缸体活动连接有活塞杆，缸体可拆卸的设置有与活塞杆活动连接的缸盖，还包括：套设于活塞杆端部且滑动密封式装配于缸体的密封套，缸盖开设有连通于缸体一侧内腔的第一油道，缸体的另一端开设有连通其内腔的第二油道；承载于缸体的过滤机构；以及，承载于缸体的缓冲组件，压机通常对称设置有两组油缸，油缸的缸体设置在封装压机下部，封装压机的压头连接有活塞杆。

具体的，过滤机构包括：设置于活塞杆端部的抵接柱、两组对称套设于抵接柱且活动连接于缸体内腔的第一滤板和第二滤板、分别开设于第一滤板和第二滤板外侧的锥形孔、一端连通于锥形孔的过滤流道、以及连通于过滤流道另一端且突出于滤板的锥形出口、若干分别设置于第一滤板和第二滤板内侧的支撑柱、以及设置于支撑柱且低于锥形出口的过滤层，第一滤板和第二滤板的锥形出口交错设置；缓冲组件包括：设置于抵接柱端部的直孔板、一端活动抵接于直孔板且另一端抵接于缸体内壁的弹簧，防止活塞杆触底或封装时的碰撞导致缸体震动，导致第一滤板和第二滤板之间的杂质脱离滤层从锥形口落下。

进一步的，活塞杆周向设置有收窄斜面，密封套的上侧开口部设置有与收窄斜面相适配的抵接斜面，便于承接活塞杆的重量，同时增加密封度，缸盖的内周侧和密封套的外周侧环设有若干密封环，密封套外周侧的中部环设有应力槽，通过密封环进一步增加了缸盖和活塞杆的密封性、密封套和缸体内壁之间的密闭性，由于密封套为受力结构，当有倾斜受力时密封套通过应力槽能发生细微变形，保障密封环和缸体内壁的贴合，密封套的内周侧的上侧环设有适配于活塞杆的锥形密封圈，进一步增加密封套和活塞杆之间的密封性，过滤层为附毛滤层，便于吸附储纳杂质，增加过滤层的使用寿命，过滤流道的内径、锥形开口的出口的直径相同，为0.5-2mm，便于杂质通过，增加过滤能力，缸盖和缸体之间为法兰连接，密封度高，同时便于拆卸缸盖，更换过滤层。

使用时，油缸上升时，通过外接的油泵管道对第二油道输入，同时第一油道打开排油，密封套和活塞杆在缸体内腔中形成密封，输入的液压油将活塞杆顶起，使活塞杆在缸体中上升，油缸下降时，对第一油道输入而第二油道排油，第一滤板和第二滤板随抵接柱在油缸内上下滑动，同时，液压油通过锥形孔和过滤流道，并通过锥形出口进入第一滤板和第二滤板之间，第一滤板和第二滤板的间距为1-3cm，从锥形出口流出时，由于第一滤板和第二滤板之间的锥形出口位交错设置，因此液压油中的杂质首先会落向过滤层，被过滤层吸附过滤，锥形出口高于过滤层，使得杂质不易通过锥形出口流出两个滤板之外，由于第一滤板上方为密闭式内腔没有液压油快速对流贯穿通过，因此流速较小，通过支撑柱的支撑，使过滤层和滤板之间具有间距，增加滤膜上下层的流动性，进一步增加了过滤效果，实现了对液压油的有效过滤，增加油缸的使用寿命，其中，外接油泵为现有技术的市购件，其对油缸的第一油道和第二油道的输入、输出以及切换均为现有技术，液压油为循环使用，在此不做赘述。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (8)

1.一种用于半导体芯片封装压机油缸的油路密封结构，包括：缸体，所述缸体活动连接有活塞杆，所述缸体可拆卸的设置有与活塞杆活动连接的缸盖，其特征在于，包括：

套设于所述活塞杆端部且滑动密封式装配于所述缸体的密封套，缸盖开设有连通于缸体一侧内腔的第一油道，所述缸体的另一端开设有连通其内腔的第二油道；

承载于所述缸体的过滤机构，所述过滤机构包括：设置于所述活塞杆端部的抵接柱、两组对称套设于所述抵接柱且活动连接于所述缸体内腔的第一滤板和第二滤板、分别开设于第一滤板和第二滤板外侧的锥形孔、一端连通于所述锥形孔的过滤流道、以及连通于所述过滤流道另一端且突出于滤板的锥形出口、若干分别设置于第一滤板和第二滤板内侧的支撑柱、以及设置于所述支撑柱且低于锥形出口的过滤层，所述第一滤板和第二滤板的锥形出口交错设置；以及，

承载于所述缸体的缓冲组件。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片封装压机油缸的油路密封结构，其特征在于，所述缓冲组件包括：设置于所述抵接柱端部的直孔板、一端活动抵接于所述直孔板且另一端抵接于所述缸体内壁的弹簧。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片封装压机油缸的油路密封结构，其特征在于，所述活塞杆周向设置有收窄斜面，所述密封套的上侧开口部设置有与收窄斜面相适配的抵接斜面。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片封装压机油缸的油路密封结构，其特征在于，所述缸盖的内周侧和所述密封套的外周侧环设有若干密封环，所述密封套外周侧的中部环设有应力槽。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片封装压机油缸的油路密封结构，其特征在于，所述密封套的内周侧的上侧环设有适配于活塞杆的锥形密封圈。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片封装压机油缸的油路密封结构，其特征在于，所述过滤层为附毛滤层。

7.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片封装压机油缸的油路密封结构，其特征在于，所述过滤流道的内径、锥形开口的出口的直径相同，为0.5-2mm。

8.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片封装压机油缸的油路密封结构，其特征在于，所述缸盖和缸体之间为法兰连接。

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