CN218037678U - 一种光阻剂吸管及光阻瓶 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种光阻剂吸管及光阻瓶，光阻剂吸管用于安装到光阻瓶上以吸取内部的光阻剂，包括：软管，所述软管位于所述光阻瓶内部的管体长度大于所述光阻瓶的深度；重力球，包括通过所述重力球的球心的通孔，所述通孔包括第一端和第二端，所述软管与所述第一端连接，所述光阻剂从所述第二端进入所述软管；所述重力球的密度大于所述光阻剂的密度。本申请可以最大程度地将光阻瓶内的光阻剂抽出，减少瓶内光阻剂的残留量，以提高材料利用率，降低生产成本。

Description

一种光阻剂吸管及光阻瓶

技术领域

本申请涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种光阻剂吸管及光阻瓶。

背景技术

涂布光阻剂是芯片制造至关重要的一道程序，工艺时光阻剂通过吸管从光阻瓶中进入涂布设备。由于光阻剂本身粘度较大并且不透明，吸管安装到光阻瓶上后，如果吸管的末端未处于光阻瓶的底部，则光阻瓶的底部常常会残留一部分光阻剂，造成浪费，由此间接增加了芯片的生产成本。

实用新型内容

针对上述技术问题，本申请提供一种光阻剂吸管及光阻瓶，可以改善现有技术中光阻瓶的底部常常会残留一部分光阻剂造成浪费增加了芯片的生产成本的问题。

为解决上述技术问题，第一方面，本申请实施例提供一种光阻剂吸管，用于安装到光阻瓶上以吸取内部的光阻剂，包括：

软管，所述软管位于所述光阻瓶内部的管体长度大于所述光阻瓶的深度；

重力球，包括通过所述重力球的球心的通孔，所述通孔包括第一端和第二端，所述软管与所述第一端连接，所述光阻剂从所述第二端进入所述软管；所述重力球的密度大于所述光阻剂的密度。

可选的，所述重力球的表面设置有凸起结构。

可选的，所述凸起结构包括多个在所述重力球的表面均匀分布的点状凸起。

可选的，所述凸起结构的表面为圆滑的曲面。

可选的，所述凸起结构为环绕所述重力球的环形凸起。

可选的，所述重力球内还设置有配重空腔，用于容纳质量块以改变所述重力球的密度，所述配重空腔与所述通孔间隔设置。

可选的，所述重力球包括由所述第一端向外延伸的连接部，所述软管通过所述连接部与所述第一端连接；

所述连接部设有中空部，所述中空部将所述软管与所述通孔连通。

可选的，所述第一端的直径小于所述第二端的直径，并且所述通孔的孔径由所述第二端向所述第一端圆滑过渡。

第二方面，本申请实施例还提供一种光阻瓶，包括设有瓶口的瓶体，和盖设于所述瓶口处的瓶塞，还包括如上各实施例所述的光阻剂吸管，所述光阻剂吸管贯穿所述瓶塞设置，所述重力球位于所述瓶体内。

可选的，所述光阻瓶还包括设置于所述瓶塞上的进气孔，用于连接进气管，以在涂光阻剂的工艺中向所述光阻瓶通入气体。

如上所述本申请的光阻剂吸管，由于软管位于光阻瓶内部的管体长度大于光阻瓶的深度，并且重力球的密度大于光阻剂的密度，因此，在重力的作用下，重力球可以沉入至光阻瓶内最低处，最大程度地将光阻瓶内的光阻剂抽出，减少瓶内光阻剂的残留量，以提高材料利用率，降低生产成本。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请实施例提供的一种光阻剂吸管在光阻瓶中的使用状态图；

图2是本申请实施例提供的一种光阻剂吸管的结构示意图；

图3是本申请实施例提供的一种重力球的结构示意图；

图4是本申请实施例提供的另一种重力球的结构示意图；

图5是本申请实施例提供的一种重力球的剖视结构示意图。

本申请目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。通过上述附图，已示出本申请明确的实施例，后文中将有更详细的描述。这些附图和文字描述并不是为了通过任何方式限制本申请构思的范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本申请的概念。

具体实施方式

这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本申请相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本申请的一些方面相一致的装置和方法的例子。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素，此外，本申请不同实施例中具有同样命名的部件、特征、要素可能具有相同含义，也可能具有不同含义，其具体含义需以其在该具体实施例中的解释或者进一步结合该具体实施例中上下文进行确定。

应当理解，尽管在本文可能采用术语第一、第二、第三等来描述各种信息，但这些信息不应限于这些术语。这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。例如，在不脱离本文范围的情况下，第一信息也可以被称为第二信息，类似地，第二信息也可以被称为第一信息。取决于语境，在本文中所使用的，单数形式“一”、“一个”和“该”旨在也包括复数形式，除非上下文中有相反的指示。

应当理解的是，术语“顶”、“底”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

请参阅图1和图2，图1是本申请实施例提供的一种光阻剂吸管在光阻瓶中的使用状态图，图2是本申请实施例提供的一种光阻剂吸管的结构示意图。光阻剂吸管100安装到光阻瓶上以吸取内部的光阻剂。本实施例的光阻剂吸管100，包括软管10和重力球20。软管10可以采用常用的塑料制作，比如聚乙烯、聚丙烯等等，软管10位于光阻瓶内部的管体长度大于光阻瓶的深度。重力球20包括通过重力球20的球心的通孔21，通孔21包括第一端211和第二端212，软管10与第一端211连接，光阻剂从第二端212进入软管10；重力球20的密度大于光阻剂的密度。

涂布光阻剂的工艺中，可以向光阻瓶中加压，光阻剂从重力球20的通孔21的第二端212进入软管10，并流出至涂布设备中。由于软管10位于光阻瓶内部的管体长度大于光阻瓶的深度，并且重力球20的密度大于光阻剂的密度，因此，在重力的作用下，重力球20可以沉入至光阻瓶内最低处，比如图1中光阻瓶处于倾斜状态下，重力球20可以下沉至角落处，最大程度地将光阻瓶内的光阻剂抽出，减少瓶内光阻剂的残留量，以提高材料利用率，降低生产成本。

优选的，请参阅图5，图5是本申请实施例提供的一种重力球的剖视结构示意图，重力球20的通孔21的第一端211的直径小于第二端212的直径，并且通孔21的孔径由第二端212向第一端211圆滑过渡。比如，通孔21可以是喇叭形。当光阻剂从第二端212进入通孔21时，在光阻瓶内的气压不变的情况下，随着孔径的缩小，光阻剂的压力逐渐增大，从而可以提高光阻剂向外抽取的速度。本实施例的重力球结构可以在较小的气压下实现光阻剂的抽取。

作为一些示例，软管10与重力球20的连接端可以设置刚性的连接结构，连接结构可以与软管10一体化成型，与通孔21的第一端211可以通过螺纹连接。本申请实施例还提供了另一种连接方法，请继续参与图2，重力球20包括由第一端211向外延伸的连接部24，软管10通过连接部24与第一端211连接，比如软管10套接在连接部24外侧。连接部24设有中空部241，241将软管10与通孔21连通。

在一个实施例中，重力球20的表面设置有凸起结构。由于光阻剂粘度较大，并且光阻瓶底部边缘一般也是圆滑的曲面，光阻剂下沉至光阻瓶的底部停留时间过长时，可能与光阻瓶的内壁发生粘连，凸起结构可以减小重力球20与光阻瓶底部圆滑的曲面的接触面积，避免重力球20与光阻瓶完全粘连。

作为一个示例，请参阅图3，图3是本申请实施例提供的一种重力球的结构示意图。该重力球20的表面设置有多个凸起结构，凸起结构包括多个在重力球20的表面均匀分布的点状凸起22A。点状凸起22A的数量以及形状，本申请实施例不作特别限定。优选的，点状凸起22A的表面为圆滑的曲面，比如，可以是半球形，使点状凸起22A与光阻瓶的内壁为点状接触，减小两者之间的接触面积。

作为一个示例，请参阅图4，图4是本申请实施例提供的另一种重力球的结构示意图。该重力球20的表面设置有多个凸起结构，凸起结构为环绕重力球20的环形凸起22B。环形凸起22B的环绕方向可以是纵向环绕，也可以是横向环绕，还可以是任意角度的倾斜环绕。需要说明的是，环形凸起22B可以只设置一个，也可以设置多个。本申请实施例对环形凸起22B的环绕方向以及设置数量不作特别限定。

在一个实施例中，请继续参阅图5，该重力球20内还设置有配重空腔23，用于容纳质量块以改变重力球20的密度，配重空腔23与通孔21间隔设置。从而可以扩展光阻剂吸管100的应用范围，以适用其他密度的试剂。具体应用时，可以将重力球20设置为可拆卸的两部分或多个部分，以便于对配重空腔23内的质量块进行更换。需要说明的是，上述可拆卸的结构采用本领域常规方法即可，本申请实施例不作赘述。

本申请实施例还提供了一种光阻瓶，请继续参阅图1，该光阻瓶包括瓶体30、瓶塞40和光阻剂吸管100。其中，瓶体30包括瓶口31，瓶塞40设于瓶口31处，光阻剂吸管100贯穿瓶塞40设置，重力球20位于瓶体30内。

本实施例的光阻瓶，由于光阻剂吸管100的软管10位于光阻瓶内部的管体长度大于光阻瓶的深度，并且重力球20的密度大于光阻剂的密度，因此，在重力的作用下，重力球20可以沉入至光阻瓶内最低处，最大程度地将光阻瓶内的光阻剂抽出，减少瓶内光阻剂的残留量，以提高材料利用率，降低生产成本。

在一个实施例中，光阻瓶还可以的瓶塞40上还可以设置进气孔41，进气孔41用于连接进气管101，以在涂光阻剂的工艺中向光阻瓶内通入气体，光阻剂在气压的作用下，从重力球20的通孔21进入光阻剂吸管100的软管10，并流向涂布设备。

以上对本申请所提供的一种光阻剂吸管及光阻瓶进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述。需要说明的是，在本申请中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述或记载的部分，可以参见其它实施例的相关描述。

本申请技术方案的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本申请记载的范围。

以上仅为本申请的优选实施例，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种光阻剂吸管，用于安装到光阻瓶上以吸取内部的光阻剂，其特征在于，包括：

软管，所述软管位于所述光阻瓶内部的管体长度大于所述光阻瓶的深度；

重力球，包括通过所述重力球的球心的通孔，所述通孔包括第一端和第二端，所述软管与所述第一端连接，所述光阻剂从所述第二端进入所述软管；所述重力球的密度大于所述光阻剂的密度。

2.根据权利要求1所述的光阻剂吸管，其特征在于，所述重力球的表面设置有凸起结构。

3.根据权利要求2所述的光阻剂吸管，其特征在于，所述凸起结构包括多个在所述重力球的表面均匀分布的点状凸起。

4.根据权利要求3所述的光阻剂吸管，其特征在于，所述凸起结构的表面为圆滑的曲面。

5.根据权利要求2所述的光阻剂吸管，其特征在于，所述凸起结构为环绕所述重力球的环形凸起。

6.根据权利要求1所述的光阻剂吸管，其特征在于，所述重力球内还设置有配重空腔，用于容纳质量块以改变所述重力球的密度，所述配重空腔与所述通孔间隔设置。

7.根据权利要求1-6任一项所述的光阻剂吸管，其特征在于，所述重力球包括由所述第一端向外延伸的连接部，所述软管通过所述连接部与所述第一端连接；

所述连接部设有中空部，所述中空部将所述软管与所述通孔连通。

8.根据权利要求7所述的光阻剂吸管，其特征在于，所述第一端的直径小于所述第二端的直径，并且所述通孔的孔径由所述第二端向所述第一端圆滑过渡。

9.一种光阻瓶，包括设有瓶口的瓶体，和盖设于所述瓶口处的瓶塞，其特征在于，还包括权利要求1-8任一项所述的光阻剂吸管，所述光阻剂吸管贯穿所述瓶塞设置，所述重力球位于所述瓶体内。

10.根据权利要求9所述的光阻瓶，其特征在于，还包括设置于所述瓶塞上的进气孔，用于连接进气管，以在涂光阻剂的工艺中向所述光阻瓶通入气体。

Images