CN218035560U - 检测装置 - Google Patents

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CN218035560U CN202222350084.4U CN202222350084U CN218035560U CN 218035560 U CN218035560 U CN 218035560U CN 202222350084 U CN202222350084 U CN 202222350084U CN 218035560 U CN218035560 U CN 218035560U
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朱宏华
贺国平
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Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
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TSMC China Co Ltd
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    • GPHYSICS
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Abstract

本申请公开了一种检测装置,该检测装置包括壁部和连接件,壁部包括测试壁部、围合壁部以及可视壁部,测试壁部、围合壁部以及可视壁部围合形成气压腔,测试壁部具有与气压腔连通的测试孔,测试孔用于连接待测件,测试壁部用于通过测试孔测试待测件的密封性,可视壁部用于观察气压腔内情况;多个连接件设置于围合壁部,连接件具有连通孔,连通孔与气压腔连通,连接件用于连接气泵和多个压力计,连通孔用于连通气压腔、气泵和压力计。本申请提供的检测装置具有较高的检测效率,能够用于检测压力计的测量准确性和密封件的密封性。

Description

检测装置
技术领域
本申请属于检测技术领域,尤其涉及一种检测装置。
背景技术
在许多的加工工艺过程中和在许多的实验过程中往往需要使用到压力计来测量气压,但现有的许多压力计在制造、存放或使用过程中容易导致其测量准确性的降低,因此,常需要对压力计的测量准确性进行检测。
并且,在许多设备中往往需要使用到一些密封件来保证设备的密封性,但现有的许多密封件在制造、存放或使用过程中容易导致其密封效果的降低,因此,常需要单独对密封件的密封性进行检测。
但是,现有的检测装置的检测效率较低,无法同时对压力计的测量准确性和密封件的密封性进行测量。
实用新型内容
本申请实施例提供了一种检测装置,该检测装置具有较高的检测效率,能够用于检测压力计的测量准确性和密封件的密封性。
本申请实施例提供一种检测装置,检测装置包括壁部和连接件,壁部包括测试壁部、围合壁部以及可视壁部,测试壁部、围合壁部以及可视壁部围合形成气压腔,测试壁部具有与气压腔连通的测试孔,测试孔用于连接待测件,测试壁部用于通过测试孔测试待测件的密封性,可视壁部用于观察气压腔内情况;多个连接件设置于围合壁部,连接件具有连通孔,连通孔与气压腔连通,连接件用于连接气泵和多个压力计。
根据本申请的前述实施方式,可视壁部与测试壁部在围合壁部在第一方向上的两侧相对设置。
根据本申请的前述任一实施方式,测试壁部与围合壁部可拆卸连接,和/或,可视壁部与围合壁部可拆卸连接。
根据本申请的前述任一实施方式,连接件包括第一连接件,连通孔包括设置于第一连接件的第一连通孔,第一连通孔与气压腔连通,多个第一连接件用于连接多个压力计,第一连通孔用于连通气压腔和压力计。
根据本申请的前述任一实施方式,第一连接件还包括参考连接件和被测连接件,参考连接件和被测连接件均具有第一连通孔,参考连接件用于与多个压力计中的参考压力计连接,被测连接件用于与多个压力计中的待测压力计连接,其中,参考压力计用于通过第一连通孔提供气压腔内的参考压力数值,待测压力计用于通过第一连通孔提供气压腔内的待测压力数值。
根据本申请的前述任一实施方式,检测装置还包括参考压力计,参考压力计与参考连接件连接。
根据本申请的前述任一实施方式,第一连接件具有第一本体以及凸出于第一本体的周向外表面设置的第一转接头,第一转接头具有用于容纳密封件的第一容纳槽,其中,第一连通孔贯穿第一本体,第一转接头用于与压力计通过卡箍连接。
根据本申请的前述任一实施方式,连接件包括第二连接件,连通孔包括设置于第二连接件的第二连通孔,第二连通孔与气压腔连通,第二连接件用于连接气泵,第二连通孔用于连通气压腔和气泵。
根据本申请的前述任一实施方式,检测装置还包括气泵,气泵连接于第二连接件,气泵用于通过第二连通孔控制气压腔内气压。
根据本申请的前述任一实施方式,连接件包括第三连接件,连通孔包括设置于第三连接件的第三连通孔,第三连通孔与气压腔连通,第三连接件用于连接气阀,第三连通孔用于连通气压腔与气阀。
根据本申请的前述任一实施方式,检测装置还包括气阀,气阀与第三连接件连接,气阀用于通过第三连通孔控制气压腔内气体的进入或排放。
本申请实施例提供的一种检测装置包括壁部和连接件,壁部的测试壁部、围合壁部以及可视壁部围合形成气压腔,气压腔内具有待测气压,可视壁部用于观察气压腔内情况。多个连接件设置于围合壁部,各连接件具有与气压腔相连通的连通孔,多个连接件能够用于连接气泵和多个压力计,连通孔用于连通气压腔、气泵和压力计。与连接件连接的气泵能够通过连通孔来向气压腔内加注或抽离气体,即气泵能够用于控制气压腔内的待测气压。多个与连接件连接的压力计能够通过连通孔来测试气压腔内的待测气压,使得可通过对比连接于同一气压腔的各个压力计的测量数值来判断各压力计的测量准确性,并且通过对比各个压力计的测量数值还能得出各压力计间的测量偏移量。测试壁部具有与气压腔连通的测试孔,测试孔用于连接待测件,使得与测试孔连接的待测件的密封性会影响气压腔内的待测气压的变化,即可通过观察与连接件连接的压力计的数值的变化来判断待测件的密封性,以实现检测装置对待测件的密封性的检测。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面所描述的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请一些实施例的检测装置一侧的示意图;
图2为本申请一些实施例的检测装置另一侧的示意图;
图3为本申请一些实施例的检测装置沿X方向的剖视图;
图4为本申请一些实施例的检测装置与待测件的连接示意图;
图5为图4沿Y方向的剖视图;
图6为本申请一些实施例的第一连接件与压力计的局部连接剖视图。
附图标记说明:
1-检测装置;
11-壁部;111-测试壁部;111a-测试孔;112-围合壁部;113-可视壁部;113a-透明部;114-气压腔;
12-连接件;121-第一连接件;121a-参考连接件;121b-被测连接件;1211-第一本体;1212-第一转接头;1213-第一容纳槽;122-第二连接件;123-第三连接件;124-连通孔;124a-第一连通孔;124b-第二连通孔;124c-第三连通孔;
13-待测件;
14-固定件;141-固定孔;
15-压力计;151-第二本体;152-第二转接头;153-第二容纳槽;
16-密封件;
17-卡箍;
X-第一方向;
Y-第二方向;
Z-第三方向。
具体实施方式
下面将详细描述本申请的各个方面的特征和示例性实施例,为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及具体实施例,对本申请进行进一步详细描述。应理解,此处所描述的具体实施例仅意在解释本申请,而不是限定本申请。对于本领域技术人员来说,本申请可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本申请的示例来提供对本申请更好的理解,在附图和下面的描述中,至少部分的公知结构和技术没有被示出,以便避免对本申请造成不必要的模糊;并且,为了清晰,可能夸大了部分结构的尺寸。此外,下文中所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。
需要说明的是,在本文中,除非另有说明,“多个”的含义是两个以上;术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。此外,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
下述描述中出现的方位词均为图中示出的方向,并不是对本申请的实施例的具体结构进行限定。在本申请的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可视具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
在许多的加工工艺过程中和在许多的实验过程中往往需要使用到压力计来测量气压,但现有的许多压力计在制造、存放或使用过程中容易导致其测量准确性的降低,因此,常需要对压力计的测量准确性进行检测。并且,在许多设备中往往需要使用到一些密封件来保证设备的密封性,但现有的许多密封件在制造、存放或使用过程中容易导致其密封效果的降低,因此,常需要单独对密封件的密封性进行检测。
但是,申请人研究发现,现有的用于检测压力计测量准确性的检测装置往往只能在一次检测过程中对一个压力计的测量准确性进行检测,使得检测装置的检测效率低下。并且,现有的检测装置无法同时对压力计的测量准确性和密封件的密封性进行测量,即现有的检测装置只能用于检测压力计的测量准确性和密封件的密封性的其中一者,该类检测装置无法利用同一气压环境来同时对压力计的测量准确性和密封件的密封性进行测量,使得压力计的测量准确性和密封件的密封性的检测效率低下。
为了解决上述技术问题,提供了本申请。为了更好地理解本申请,下面结合附图对本申请实施例的检测装置1进行详细描述。
图1为本申请一些实施例的检测装置1一侧的示意图,图2为本申请一些实施例的检测装置1另一侧的示意图,图3为本申请一些实施例的检测装置1沿X方向的剖视图,图4为本申请一些实施例的检测装置1与待测件13的连接示意图,图5为图4沿Y方向的剖视图,图6为本申请一些实施例的第一连接件121与压力计15的局部连接剖视图。图中X方向为第一方向X,Y方向为第二方向Y,Z方向为第三方向Z,第一方向X、第二方向Y与第三方向Z两两相交。
如图1至图6所示,本申请一些实施例提供的检测装置1包括壁部11和连接件12,壁部11包括测试壁部111、围合壁部112以及可视壁部113,测试壁部111、围合壁部112以及可视壁部113围合形成气压腔114,测试壁部111具有与气压腔114连通的测试孔111a,测试孔111a用于连接待测件13,测试壁部111用于通过测试孔111a测试待测件13的密封性,可视壁部113用于观察气压腔114内情况;多个连接件12设置于围合壁部112,连接件12具有连通孔124,连通孔124与气压腔114连通,连接件12用于连接气泵和多个压力计15。
本申请一些实施例提供的检测装置1包括壁部11和连接件12,壁部11的测试壁部111、围合壁部112以及可视壁部113围合形成气压腔114,气压腔114内具有待测气压,可视壁部113用于观察气压腔114内情况。多个连接件12设置于围合壁部112,各连接件12具有与气压腔114相连通的连通孔124,多个连接件12能够用于连接气泵和多个压力计15,连通孔124用于连通气压腔114、气泵和压力计15。与连接件12连接的气泵能够通过连通孔124来向气压腔114内加注或抽离气体,即气泵能够用于控制气压腔114内的待测气压。多个与连接件12连接的压力计15能够通过连通孔124来测试气压腔114内的待测气压,使得可通过对比连接于同一气压腔114的各个压力计15的测量数值来判断各压力计15的测量准确性,并且通过对比各个压力计15的测量数值还能得出各压力计15间的测量偏移量。测试壁部111具有与气压腔114连通的测试孔111a,测试孔111a用于连接待测件13,使得与测试孔111a连接的待测件13的密封性会影响气压腔114内的待测气压的变化,即可通过将压力计15与连接件12连接,并观察压力计15的数值的变化来判断待测件13的密封性,以实现检测装置1对待测件13的密封性的检测。
在本申请实施例中,在检测装置1对压力计15的测量准确性进行检测时,可将气泵以及多个压力计15分别与多个连接件12进行连接,可通过气泵来向气压腔114内加注或抽离气体,从而改变气压腔114内的待测气压,当待测气压到达一定值以区别外界大气压后,各压力计15会分别显示出其测得的气压腔114内待测气压的测量数值,可通过比对各压力计15间的测量数值是否存在差值,从而判断多个压力计15内是否存在具有较差测量准确性的压力计15。此外,还可通过对比各测量数值的差值来得出具有较差测量准确性的压力计15的测量偏移量。
本申请对连接件12在围合壁部112上的具体排布方式不做限定,连接件12在围合壁部112上的排布方式可以以方便观察与连接件12连接的压力计15的读数来进行设置。在一些实施例中,连接件12可在围合壁部112上阵列分布设置。
如图4和图5所示,在一些实施例中,测试壁部111上用于连接待测件13的测试孔111a的具体尺寸和具体结构可根据待测件13的尺寸和结构来进行设置,即测试孔111a的具体尺寸和具体结构需以满足当测试孔111a与待测件13进行连接时气压腔114内的待测气压仅会受待测件13本身的密封性的影响而发生变化来进行设置,即当待测件13本身的密封性不良时,气压腔114内的待测气压会通过待测件13受外界大气压的影响而产生变化。
可选地,在检测装置1对待测件13的密封性进行检测时,可将气泵和压力计15与连接件12进行连接,可通过气泵来向气压腔114内加注或抽离气体,从而改变气压腔114内的待测气压,压力计15会显示出其测得的气压腔114内待测气压的测量数值,当待测气压到达一定值以区别外界大气压后,停止气泵的工作,使得气泵不再影响气压腔114内的待测气压,然后通过观察压力计15的测量数值是否发生变化来判断气压腔114内的待测气压是否发生变化,从而判断待测件13的密封性的优良情况。
如图5所示,可选地,待测件13与测试壁部111间还设置有密封件16,使得待测件13与测试壁部111的连接关系不易对气压腔114内的待测气压产生影响,使得气压腔114内的待测气压仅会受待测件13本身的密封性的影响而发生变化。
请参照图4和图5,在一些实施例中,检测装置1还可设置有与测试壁部111固定连接的固定件14,固定件14内可设置有固定孔141,固定孔141可用于容纳待测件13,使得测件与测试壁部111的相对移动得到限制,以提高检测装置1检测待测件13的密封性时的检测稳定性。
本申请对可与测试孔111a连接的待测件13不做限定,在一些实施例中,待测件13可为用于密封的器件,可选地,待测件13可为磁流体密封件、密封轴承等其他用于密封的器件。
如图1所示,在一些实施例中,可视壁部113上具有能够用于观察气压腔114内情况的透明部113a,可选地,透明部113a可为透明玻璃、透明塑料或其他透明制品。
如图1和图2所示,在一些实施例中,可视壁部113与测试壁部111在围合壁部112在第一方向X上的两侧相对设置。使得检测装置1在对待测件13的密封性进行检测时,便于从可视壁部113观察到与测试壁部111连接的待测件13的情况。
可选地,围合壁部112在第二方向Y和/或第三方向Z上的至少一侧设置有连接件12,连接件12在围合壁部112上设置的越多,越能使得检测装置1能够同时对更多的压力计15进行检测,提高了检测装置1的检测效率。例如,围合壁部112在第二方向Y上的两侧均设置有连接件12,围合壁部112在第三方向Z上的一侧设置有连接件。
在一些实施例中,测试壁部111与围合壁部112可拆卸连接,和/或,可视壁部113与围合壁部112可拆卸连接。通过设置测试壁部111与围合壁部112可拆卸连接,提高了对检测装置1进行检查维修的便利性,并且,当需要测试不同结构或不同尺寸的待测件13时,可以仅更换安装具有与待测件13的尺寸或结构相对应的测试孔111a的测试壁部111,从而实现对不同的待测件13进行检测,提高了检测装置1对不同的待测件13的适配性。通过设置可视壁部113与围合壁部112的可拆卸连接,使得可视壁部113能够被便于进行拆卸清洗,提高了可视壁部113的工作寿命。
如图1至图6所示,在一些实施例中,连接件12包括第一连接件121,连通孔124包括设置于第一连接件121的第一连通孔124a,第一连通孔124a与气压腔114连通,多个第一连接件121用于连接多个压力计15,第一连通孔124a用于连通气压腔114和压力计15。使得压力计15能够通过第一连接件121连接于检测装置1,并且,各压力计15能够通过第一连通孔124a来测得气压腔114内的气压。
在一些实施例中,第一连接件121还包括参考连接件121a和被测连接件121b,参考连接件121a和被测连接件121b均具有第一连通孔124a,参考连接件121a用于与多个压力计15中的参考压力计连接,被测连接件121b用于与多个压力计15中的待测压力计连接,其中,参考压力计用于通过第一连通孔124a提供气压腔114内的参考压力数值,待测压力计用于通过第一连通孔124a提供气压腔114内的待测压力数值。使得可通过将参考压力计与参考连接件121a连接,将待测压力计与被测连接件121b连接,从而比对参考压力计与待测压力计间测得气压腔114内待测气压的测量数值,使得能够更为准确的判断待测压力计的测量准确性,以及待测压力计的测量偏移量。
在一些实施例中,检测装置1还包括参考压力计(图中未示出),参考压力计与参考连接件121a连接。
在本申请实施例中,与参考连接件121a连接的参考压力计在测量气压腔114内待测气压时所显示的测量数值是较为准确的,使得将参考压力计的测量数值与待测压力计的测量数值进行比对,能够得到针对较为待测压力计的测量准确性的较为准确的测量结果,并且也能够得到针对待测压力计的测量偏移量的较为准确的测量结果。
在一些实施例中,参考连接件121a可以仅设置一个。可选地,被测连接件121b可以设置多个,通过设置多个被测连接件121b可以提高检测装置1的检测效率。
可选地,参考连接件121a和被测连接件121b的尺寸或结构可以相同,即与参考连接件121a连接的参考压力计可以和与被测连接件121b连接的待测压力计的种类相同。
本申请对第一连接件121的具体结构和具体形状不做限定,第一连接件121的具体结构和具体形状可根据与其相连接的压力计15的具体结构和具体形状进行设置,因此,本申请也不限制第一连接件121与压力计15之间的连接方式。
如图6所示,在一些实施例中,第一连接件121具有第一本体1211以及凸出于第一本体1211的周向外表面设置的第一转接头1212,第一转接头1212具有用于容纳密封件16的第一容纳槽1213,其中,第一连通孔124a贯穿第一本体1211,第一转接头1212用于与压力计15通过卡箍17连接。通过卡箍17连接的第一转接头1212与压力计15间设置有密封件16,能够使得第一转接头1212与压力计15的连接关系不易对气压腔114内的待测气压产生影响,提高了检测装置1的检测准确性。
在一些实施例中,与第一连接件121连接的压力计15也具有与第一连接件121类似或相同的结构。可选地,压力计15也具有第二本体151以及凸出于第二本体151的周向外表面设置的第二转接头152,第二转接头152具有用于容纳密封件16的第二容纳槽153。当压力计15与第一连接件121连接时,第一容纳槽1213与第二容纳槽153内容纳有同一密封件16,第一转接头1212与第二转接头152通过卡箍17连接。
本申请对用于设置在待测件13与测试壁部111间的密封件16以及用于设置在第一连接件121与压力计15间的密封件16不做限定。可选地,密封件16可为密封圈。
如图1所示,在一些实施例中,连接件12包括第二连接件122,连通孔124包括设置于第二连接件122的第二连通孔124b,第二连通孔124b与气压腔114连通,第二连接件122用于连接气泵,第二连通孔124b用于连通气压腔114和气泵。使得气泵能够通过第二连接件122连接于检测装置1,并且,气泵能够通过第二连通孔124b来向气压腔114内加注或抽离气体。
可选地,第二连接件122的结构可以与第一连接件121的结构类似或相同,使得第二连接件122和气泵的连接方式可以与第一连接件121和压力计15的连接方式相同,便于检测装置1的制造和加工。
在一些实施例中,检测装置1还包括气泵(图中未示出),气泵连接于第二连接件122,气泵用于通过第二连通孔124b控制气压腔114内气压。
如图1所示,在一些实施例中,连接件12包括第三连接件123,连通孔124包括设置于第三连接件123的第三连通孔124c,第三连通孔124c与气压腔114连通,第三连接件123用于连接气阀,第三连通孔124c用于连通气压腔114与气阀。使得气阀能够通过第三连接件123连接于检测装置1,并且,气阀能够通过第三连通孔124c来连通气压腔114与外界环境。
可选地,第三连接件123的结构可以与第一连接件121的结构类似或相同,使得第三连接件123和气阀的连接方式可以与第一连接件121和压力计15的连接方式相同,便于检测装置1的制造和加工。
在一些实施例中,检测装置1还包括气阀(图中未示出),气阀与第三连接件123连接,气阀用于通过第三连通孔124c控制气压腔114内气体的进入或排放。当检测装置1完成对压力计15的测量准确性的检测和/或待测件13的密封性的检测后,可通过打开与第三连接件123连接的气阀,使得气压腔114与外界环境相同,以将气压腔114内的气压与外界的大气压相平衡,使得便于压力计15和/或待测件13的拆卸与安装。
可选地,气阀可以为手阀,手阀能够使得操作人员较为方便的进行操作。
以上所述,仅为本申请的具体实施方式,所属领域的技术人员可以清楚地了解到,为了描述的方便和简洁,上述描述的系统、模块和单元的具体工作过程,可以参考前述方法实施例中的对应过程,在此不再赘述。应理解,本申请的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内,可轻易想到各种等效的修改或替换,这些修改或替换都应涵盖在本申请的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种检测装置,其特征在于,包括:
壁部,所述壁部包括测试壁部、围合壁部以及可视壁部,所述测试壁部、所述围合壁部以及所述可视壁部围合形成气压腔,所述测试壁部具有与所述气压腔连通的测试孔,所述测试孔用于连接待测件,所述测试壁部用于通过所述测试孔测试所述待测件的密封性,所述可视壁部用于观察所述气压腔内情况;
连接件,多个所述连接件设置于所述围合壁部,所述连接件具有连通孔,所述连通孔与所述气压腔连通,所述连接件用于连接气泵和多个压力计。
2.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述可视壁部与所述测试壁部在所述围合壁部在第一方向上的两侧相对设置。
3.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述测试壁部与所述围合壁部可拆卸连接,和/或,所述可视壁部与所述围合壁部可拆卸连接。
4.根据权利要求1-3任一项所述的检测装置,其特征在于,所述连接件包括第一连接件,所述连通孔包括设置于所述第一连接件的第一连通孔,所述第一连通孔与所述气压腔连通,多个所述第一连接件用于连接多个压力计,所述第一连通孔用于连通所述气压腔和所述压力计。
5.根据权利要求4所述的检测装置,其特征在于,所述第一连接件还包括参考连接件和被测连接件,所述参考连接件和所述被测连接件均具有所述第一连通孔,所述参考连接件用于与多个所述压力计中的参考压力计连接,所述被测连接件用于与多个所述压力计中的待测压力计连接,
其中,所述参考压力计用于通过所述第一连通孔提供所述气压腔内的参考压力数值,所述待测压力计用于通过所述第一连通孔提供所述气压腔内的待测压力数值。
6.根据权利要求5所述的检测装置,其特征在于,所述检测装置还包括参考压力计,所述参考压力计与所述参考连接件连接。
7.根据权利要求4所述的检测装置,其特征在于,所述第一连接件具有第一本体以及凸出于所述第一本体的周向外表面设置的第一转接头,所述第一转接头具有用于容纳密封件的第一容纳槽,
其中,所述第一连通孔贯穿所述第一本体,所述第一转接头用于与所述压力计通过卡箍连接。
8.根据权利要求1-3任一项所述的检测装置,其特征在于,所述连接件包括第二连接件,所述连通孔包括设置于所述第二连接件的第二连通孔,所述第二连通孔与所述气压腔连通,所述第二连接件用于连接气泵,所述第二连通孔用于连通所述气压腔和所述气泵。
9.根据权利要求8所述的检测装置,其特征在于,所述检测装置还包括气泵,所述气泵连接于所述第二连接件,所述气泵用于通过所述第二连通孔控制所述气压腔内气压。
10.根据权利要求1-3任一项所述的检测装置,其特征在于,所述连接件包括第三连接件,所述连通孔包括设置于所述第三连接件的第三连通孔,所述第三连通孔与所述气压腔连通,所述第三连接件用于连接气阀,所述第三连通孔用于连通所述气压腔与所述气阀。
11.根据权利要求10所述的检测装置,其特征在于,所述检测装置还包括气阀,所述气阀与所述第三连接件连接,所述气阀用于通过所述第三连通孔控制所述气压腔内气体的进入或排放。
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