CN218017951U - 一种石英坩埚的表面处理装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种石英坩埚的表面处理装置，包括：操作台，操作台的顶面开设有用于放置石英坩埚的固定槽；固定槽的两侧分别设置有两个连接仓，每个连接仓内部滑动套接有升降块；两个升降块之间固定安装有固定板；储料仓，储料仓固定安装在固定板上；储料仓内设置有抽砂泵，抽砂泵的输出端连通有输料管，输料管的输出端连通有圆环形喷砂仓，喷砂仓的轴线和固定槽的轴线共线，喷砂仓的内壁上绕其轴线等间距设置有多个与喷砂仓内部连通的喷嘴；驱动组件，驱动组件设置在连接仓内，用于驱动升降块沿竖直方向移动；该装置代替了手工喷砂的方式，使得使得石英坩埚表面喷砂更加均匀，保证了喷砂效果，实现了喷砂自动化，提高了加工效率。

Description

一种石英坩埚的表面处理装置

技术领域

本公开一般涉及石英坩埚技术领域，具体涉及一种石英坩埚的表面处理装置。

背景技术

石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛，石英坩埚可在1450 度以下使用，分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

目前，传统的石英坩埚在表面处理时，常采用手工的方式对石英坩埚的表面进行喷砂，但是手工喷砂受操作者自身操作技术的影响，会导致在石英坩埚表面喷砂不均匀，影响喷砂效果，另外人工喷砂的加工效率低。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种石英坩埚的表面处理装置，包括：

操作台，所述操作台的顶面开设有用于放置石英坩埚的固定槽；所述固定槽的两侧分别设置有两个连接仓，每个所述连接仓内部滑动套接有升降块，所述升降块可沿竖直方向移动；两个所述升降块之间固定安装有固定板；

储料仓，所述储料仓固定安装在所述固定板上；所述储料仓内设置有抽砂泵，所述抽砂泵的输出端连通有输料管，所述输料管的输出端连通有圆环形喷砂仓，所述喷砂仓位于所述固定板和所述操作台之间，所述喷砂仓的轴线和所述固定槽的轴线共线，所述喷砂仓的内壁上绕其轴线等间距设置有多个与所述喷砂仓内部连通的喷嘴；

驱动组件，所述驱动组件设置在所述连接仓内，用于驱动所述升降块沿竖直方向移动。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述连接仓的第一侧壁沿竖直方向开设有第一滑槽，所述驱动组件包括：

电机，所述电机固定安装在所述第一滑槽的底壁上；

丝杆，所述丝杆的一端和所述电机的输出轴固定连接，另一端和所述第一滑槽的顶壁转动连接，所述丝杆上螺纹连接有滑块，所述滑块和所述升降块固定连接。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述连接仓的第二侧壁沿竖直方向开设有第二滑槽，所述第一侧壁和所述第二侧壁相对，所述第二滑槽内设置有限位杆，所述限位杆平行于所述丝杆，所述限位杆上滑动套设有限位块，所述限位块和所述升降块固定连接。

根据本申请实施例提供的技术方案，其中一个所述连接仓的外侧壁上固定安装有控制器，所述控制器分别和所述电机及所述抽砂泵电连接。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述喷砂仓的内径大于所述石英坩埚的外径。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述喷砂仓通过支撑杆和所述固定板的底面固定连接。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述储料仓的顶面设置有进料斗，所述进料斗和所述储料仓的内部相连通，所述进料斗的内部设置有过滤网。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述输料管的输入端和所述抽砂泵的输出端相连通，所述输料管的输出端贯穿所述储料仓的顶部，再贯穿所述固定板和所述喷砂仓相连通。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述操作台的底部阵列设置有四根支撑腿。

本申请的有益效果为：在使用该装置时，先将石英坩埚放入至固定槽内，启动驱动组件，驱动组件驱动升降块沿竖直方向往复运动，升降块带动固定板沿竖直方向往复运动，进而使圆环形喷砂仓在石英坩埚的外表面沿竖直方向往复运动，与此同时，启动抽砂泵，抽砂泵将储料仓内的砂粒沿输料管输送到喷砂仓内，砂粒再从喷嘴处喷出，以对石英坩埚进行喷砂；该装置代替了手工喷砂的方式，使得石英坩埚表面喷砂更加均匀，保证了喷砂效果，实现了喷砂自动化，提高了加工效率。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为一种石英坩埚的表面处理装置的立体结构示意图；

图2为图1中升降仓结构拆分图；

图3为图1中固定板结构示意图；

图4为图2中A处结构放大示意图；

图5为图2中B处结构放大示意图；

图6为图3中C处结构放大示意图。

附图标记：1、操作台；2、固定槽；3、石英坩埚；4、连接仓；5、升降块；6、固定板；7、储料仓；8、输料管；9、喷砂仓；10、喷嘴； 11、支撑杆；12、电机；13、丝杆；14、滑块；15、限位杆；16、限位块；17、控制器；18、进料斗；19、过滤网；20、支撑腿。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

请参考图1-图6，一种石英坩埚的表面处理装置，包括：

操作台1，所述操作台1的顶面开设有用于放置石英坩埚3的固定槽2；所述固定槽2的两侧分别设置有两个连接仓4，每个所述连接仓4内部滑动套接有升降块5，所述升降块5可沿竖直方向移动；两个所述升降块5之间固定安装有固定板6；

储料仓7，所述储料仓7固定安装在所述固定板6上；所述储料仓7内设置有抽砂泵，所述抽砂泵的输出端连通有输料管8，所述输料管8的输出端连通有圆环形喷砂仓9，所述喷砂仓9位于所述固定板6和所述操作台1之间，所述喷砂仓9的轴线和所述固定槽2的轴线共线，所述喷砂仓9的内壁上绕其轴线等间距设置有多个与所述喷砂仓9内部连通的喷嘴10；

驱动组件，所述驱动组件设置在所述连接仓4内，用于驱动所述升降块5沿竖直方向移动。

具体的，如图2和图4所示，所述连接仓4的第一侧壁沿竖直方向开设有第一滑槽，所述驱动组件包括：

电机12，所述电机12固定安装在所述第一滑槽的底壁上；

丝杆13，所述丝杆13的一端和所述电机12的输出轴固定连接，另一端和所述第一滑槽的顶壁转动连接，所述丝杆13上螺纹连接有滑块14，所述滑块14和所述升降块5固定连接。

其中，所述电机12的输出轴可以周期性正反转。

具体的，如图2和图5所示，所述连接仓4的第二侧壁沿竖直方向开设有第二滑槽，所述第一侧壁和所述第二侧壁相对，所述第二滑槽内设置有限位杆15，所述限位杆15平行于所述丝杆13，所述限位杆15上滑动套设有限位块16，所述限位块16和所述升降块5固定连接；其中，所述限位杆15和所述限位块16使得所述升降块5更加稳定地沿竖直方向移动。

具体的，如图1所示，其中一个所述连接仓4的外侧壁上固定安装有控制器17，所述控制器17分别和所述电机12及所述抽砂泵电连接。

具体的，如图1所示，所述喷砂仓9的内径大于所述石英坩埚3 的外径。

具体的，如图3所示，所述喷砂仓9通过支撑杆11和所述固定板 6的底面固定连接。

具体的，如图6所示，所述储料仓7的顶面设置有进料斗18，所述进料斗18和所述储料仓7的内部相连通，所述进料斗18的内部设置有过滤网19。

具体的，如图3所示，所述输料管8的输入端和所述抽砂泵的输出端相连通，所述输料管8的输出端贯穿所述储料仓7的顶部，再贯穿所述固定板6和所述喷砂仓9相连通。

具体的，所述操作台1的底部阵列设置有四根支撑腿20。

工作过程：在使用该装置时，先将用于喷砂的砂粒从进料斗18 加入进储料仓7内，过滤网19对砂粒进行过滤，保证砂粒大小一致；再先将石英坩埚3放入至操作台1上的固定槽2内，工作人员通过控制器17将电机12启动，电机12周期性正反转，驱动丝杆13周期性正反转，进一步驱动升降块5沿竖直方向往复运动，升降块5带动固定板6沿竖直方向往复运动，进而使圆环形喷砂仓9在石英坩埚3的外表面沿竖直方向往复运动；与此同时，启动抽砂泵，抽砂泵将储料仓7内的砂粒沿输料管8输送到喷砂仓9内，砂粒再从喷嘴10处喷出，以对石英坩埚3进行喷砂；该装置代替了手工喷砂的方式，使得石英坩埚3表面喷砂更加均匀，保证了喷砂效果，实现了喷砂自动化，提高了加工效率。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于) 具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (9)

1.一种石英坩埚的表面处理装置，其特征在于，包括：

操作台(1)，所述操作台(1)的顶面开设有用于放置石英坩埚(3)的固定槽(2)；所述固定槽(2)的两侧分别设置有两个连接仓(4)，每个所述连接仓(4)内部滑动套接有升降块(5)，所述升降块(5)可沿竖直方向移动；两个所述升降块(5)之间固定安装有固定板(6)；

储料仓(7)，所述储料仓(7)固定安装在所述固定板(6)上；所述储料仓(7)内设置有抽砂泵，所述抽砂泵的输出端连通有输料管(8)，所述输料管(8)的输出端连通有圆环形喷砂仓(9)，所述喷砂仓(9)位于所述固定板(6)和所述操作台(1)之间，所述喷砂仓(9)的轴线和所述固定槽(2)的轴线共线，所述喷砂仓(9)的内壁上绕其轴线等间距设置有多个与所述喷砂仓(9)内部连通的喷嘴(10)；

驱动组件，所述驱动组件设置在所述连接仓(4)内，用于驱动所述升降块(5)沿竖直方向移动。

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚的表面处理装置，其特征在于，所述连接仓(4)的第一侧壁沿竖直方向开设有第一滑槽，所述驱动组件包括：

电机(12)，所述电机(12)固定安装在所述第一滑槽的底壁上；

丝杆(13)，所述丝杆(13)的一端和所述电机(12)的输出轴固定连接，另一端和所述第一滑槽的顶壁转动连接，所述丝杆(13)上螺纹连接有滑块(14)，所述滑块(14)和所述升降块(5)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚的表面处理装置，其特征在于，所述连接仓(4)的第二侧壁沿竖直方向开设有第二滑槽，所述第一侧壁和所述第二侧壁相对，所述第二滑槽内设置有限位杆(15)，所述限位杆(15)平行于所述丝杆(13)，所述限位杆(15)上滑动套设有限位块(16)，所述限位块(16)和所述升降块(5)固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种石英坩埚的表面处理装置，其特征在于，其中一个所述连接仓(4)的外侧壁上固定安装有控制器(17)，所述控制器(17)分别和所述电机(12)及所述抽砂泵电连接。

5.根据权利要求4所述的一种石英坩埚的表面处理装置，其特征在于，所述喷砂仓(9)的内径大于所述石英坩埚(3)的外径。

6.根据权利要求5所述的一种石英坩埚的表面处理装置，其特征在于，所述喷砂仓(9)通过支撑杆(11)和所述固定板(6)的底面固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种石英坩埚的表面处理装置，其特征在于，所述储料仓(7)的顶面设置有进料斗(18)，所述进料斗(18)和所述储料仓(7)的内部相连通，所述进料斗(18)的内部设置有过滤网(19)。

8.根据权利要求7所述的一种石英坩埚的表面处理装置，其特征在于，所述输料管(8)的输入端和所述抽砂泵的输出端相连通，所述输料管(8)的输出端贯穿所述储料仓(7)的顶部，再贯穿所述固定板(6)和所述喷砂仓(9)相连通。

9.根据权利要求8所述的一种石英坩埚的表面处理装置，其特征在于，所述操作台(1)的底部阵列设置有四根支撑腿(20)。

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