CN218014453U - 一种石英光掩膜板全自动清洗机 - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims abstract description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 13
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 54
- 239000006210 lotion Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 18
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 10
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 8
- 238000012797 qualification Methods 0.000 abstract description 3
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 abstract description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 5
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 241000347341 Bothus lunatus Species 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种石英光掩膜板全自动清洗机，包括机台，所述进料的两端分别设置有进料口和出料口，所述机台的下侧设置有若干并排分布的工作隔间，且若干工作隔间内从左到右依次设置有纯水喷淋机构、洗剂擦拭机构、滚刷刷洗机构、纯水超声清洗机构和风刀切水机构，其中在所述滚刷刷洗机构和所述纯水超声清洗机构之间也设置有纯水喷淋机构；所述机台的上侧设置有滑动模组，所述滑动模组上滑动连接有夹取机构。本实用新型提供的清洗机有效提高光掩膜板的清洗效果，减少光掩膜板上的脏污残留，彻底改善了光掩膜板的脏污问题，而且清洗过程中不易对光掩膜板表面造成划伤，提高了产品在清洗过程中的合格率，整个设备由系统自动化控制，因此大大提高了光掩膜板的清洗效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及光掩膜板制造技术领域，特别是一种石英光掩膜板全自动清洗机。
背景技术
半导体的生产过程中需要用到一种耗材，即光掩膜板，光掩膜板是一种硬面光掩膜材料，即光掩膜基板，它是当前及未来微细加工光掩膜制作的主流感光材料(相当于照相用的感光胶卷)。
由于光掩膜板在使用时对其表面的光洁度要求较高，因此光掩膜板在加工完成需要对其表面进行清洗，目前所采用的方法通常是采用滚轮式结构清洗机对光掩膜板进行清洗，通过滚轮对光掩膜板进行传动，由于滚轮的在使用过程会产生脏污或者粘附异物，因此可能会导致清洗不彻底，容易在光掩膜板的表面留下滚轮印，并且滚轮经过长时间的使用导致会出现毛刺和缺口等缺陷，容易造成光掩膜板表现划伤，从而降低了产品的合格率，因此需要对目前所使用的光掩膜板清洗机的结构进行改进。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决上述问题，设计了一种石英光掩膜板全自动清洗机。
实现上述目的本实用新型的技术方案为，一种石英光掩膜板全自动清洗机，包括机台，所述机台的两端分别设置有进料口和出料口，所述机台的下侧设置有若干并排分布的工作隔间，且若干工作隔间内从左到右依次设置有纯水喷淋机构、洗剂擦拭机构、滚刷刷洗机构、纯水超声清洗机构和风刀切水机构，其中在所述滚刷刷洗机构和所述纯水超声清洗机构之间也设置有纯水喷淋机构；
所述机台的上侧设置有滑动模组，所述滑动模组上滑动连接有夹取机构，所述夹取机构将光掩膜板夹取固定后并通过滑动模组驱动横向滑动，使得光掩膜板依次经过纯水喷淋机构、洗剂擦拭机构、滚刷刷洗机构、纯水喷淋机构、纯水超声清洗机构和风刀切水机构。
作为本实用新型的进一步补充，所述纯水喷淋机构包括设置于工作隔间内侧两侧的若干喷头，且若干喷头均与纯水管道连接。
作为本实用新型的进一步补充，所述洗剂擦拭机构包括设置于工作隔间外侧两侧的转动电机，且所述转动电机的转动杆伸入工作隔间内侧，所述转动电机的转动杆上设置有毛刷组件，且所述毛刷组件的中间设置有洗剂喷嘴。
作为本实用新型的进一步补充，所述滚刷刷洗机构包括设置于工作隔间外侧两侧的前后移动装置、以及安装在前后移动装置上的滚刷组件，所述夹取装置夹取光掩膜板并带动光掩膜板上下运动，使得滚刷组件沿着光掩膜板的表面上下滚刷清洗。
作为本实用新型的进一步补充，所述夹取机构包括升降模组，所述升降模组的侧边设置有传动电机，所述传动电机通过同步带与所述升降模组传动连接，所述升降模组上设置有滑板，所述升降模组通过丝杆与所述滑板传动连接，所述滑板上安装有夹持装置。
作为本实用新型的进一步补充，所述机台上还设置有控制柜。
其有益效果在于，本实用新型中夹取机构通过滑动模组运动，将光掩膜板夹取依次经过设置于机台下侧的各个机构进行纯水喷淋，喷涂洗剂并用毛刷组件进行擦拭，再通过滚刷刷洗，接着再经过纯水喷淋洗去脏污，然后通过纯水超声波进行清洗，最后通过风刀将光掩膜板表面的水分去除，夹取机构在工作时只会碰到光掩膜板的上侧棱边，与光掩膜板的接触面积小，取代了传统滚轮式传送，既解决了滚轮式传动时由于滚轮的脏污而导致光掩膜板上存在滚轮印的问题，又提高光掩膜板的清洗效果，减少光掩膜板上的脏污残留，彻底改善了光掩膜板的脏污问题，而且清洗过程中不易对光掩膜板表面造成划伤，提高了产品在清洗过程中的合格率，而且整个设备由系统自动化控制，因此大大提高了光掩膜板的清洗效率。
附图说明
图1是本实用新型的内部结构示意图；
图2是本实用新型的侧视内部结构示意图。
图中，1、机台；2、滑动模组；3、夹取机构；31、传动电机；32、升降模组；33、滑板；34、夹持装置；4、纯水喷淋机构；5、洗剂擦拭机构；51、转动电机；52、毛刷组件；6、滚刷刷洗机构；61、前后移动装置；62、滚刷组件；7、纯水超声清洗机构；8、风刀切水机构；9、控制柜。
具体实施方式
首先说明一下本实用新型的设计初衷，由于目前使用的滚轮式光掩膜板清洗机对光掩膜板进行清洗，存在清洗不彻底，容易在光掩膜板的表面留下滚轮印等缺陷，而且滚轮经过长时间的使用导致会出现毛刺和缺口等缺陷，容易造成光掩膜板划伤，因此为了解决上述问题，本实用新型提出了一种石英光掩膜板全自动清洗机，安装、维修和保养等方面更加方便快捷。
下面结合附图对本实用新型进行具体描述，如图1所示，该清洗机主要包括机台1、设置于机台1上侧的滑动模组2、安装在滑动模组2上的用于夹取光掩膜板的夹取机构3，其中在机台1的下侧设置有若干并排分布的工作隔间，并且从左到右在这些工作隔间内依次设置有纯水喷淋机构4、洗剂擦拭机构5、滚刷刷洗机构6、纯水超声清洗机构7和风刀清洗机构，其中在滚刷刷洗机构6和纯水超声清洗机构7之间也设置有纯水喷淋机构4，而在机台1的两端分别设置有进料口和出料口，光掩膜板的上下料都是通过人工进行的，光掩膜板的全部清洗流程都是通过系统自动控制的，因此可以极大节省人工成本，并能提高光掩膜板的清洗效率。
在清洗时首先人工将光掩膜板送入进料口，然后夹取机构3将光掩膜板夹取并通过滑动模组2运动，从左到右依次经过纯水喷淋机构4进行纯水喷洗、经过洗剂擦拭机构5进行喷洗剂并刷洗、经过滚刷刷洗机构6进行毛刷刷洗、再经过纯水喷淋机构4进行喷洗，然后纯水超声清洗机构7利用超声波对光掩膜板表面进行清洗，最后经过风刀切水机构8除去光掩膜板表面多余的水渍，使得光掩膜板表面无水渍残留，无水痕，而在机台1的最右端还设置有控制柜9，控制上述机构运动。
上述的夹取机构3包括升降模组32，在升降模组32的侧边设置有传动电机31，其中传动电机31通过同步带与升降模组32传动连接，而在升降模组32上设置有滑板33，升降模组32通过丝杆与滑板33传动连接，滑板33上安装有夹持装置34，传动电机31通过同步带驱动升降模组32上的丝杆转动，从而使得安装在滑板33上的夹持装置34沿着升降模组32上下移动，在清洗作业时，通过上述方式，光掩膜板会被伸入机台1下侧的若干工作隔间内，分工序进行清洗作业。
其中纯水喷淋机构4包括设置于工作隔间内侧两侧的若干喷头，且若干喷头均与纯水管道连接，夹持装置34会用过升降模组32向下运动，将光掩膜板移送到纯水喷淋机构4的工作隔间内，两侧的若干喷头会喷出纯水将光掩膜板两侧的表面淋湿，接着光掩膜板会通过夹取机构3移送到洗剂擦拭机构5的工作隔间内，洗剂擦拭机构5包括设置于工作隔间外侧两侧的转动电机51，且转动电机51的转动杆伸入工作隔间内侧，而在转动电机51的转动杆上设置有毛刷组件52，并且在毛刷组件52的中间位置设置有洗剂喷嘴，洗剂喷嘴会向光掩膜板表面喷涂洗剂，同时升降模组32会驱动夹持装置34由上往下运动，使光掩膜板的整个表面都被喷涂到洗剂，然后转动电机51会驱动毛刷组件52传动，对整个光掩膜板表面进行刷洗，等刷洗好了后光掩膜板会被移送到滚刷刷洗机构6的工作隔间内。
上述的滚刷刷洗机构6包括设置于工作隔间外侧两侧的前后移动装置61、以及安装在前后移动装置61上的滚刷组件62，前后移动装置61会驱动滚刷组件62前后移动，使得滚刷组件62紧紧贴合在光掩膜板的表面，然后夹取装置夹取光掩膜板并通过升降模组32带动光掩膜板上下运动，使得滚刷组件62沿着光掩膜板的表面上下滚刷洗，刷洗完成后再通过纯水喷淋机构4除去光掩膜板表面的洗剂，洗完后光掩膜板再被移送到纯水超声清洗机构7的工作隔间内，该工作隔间内装满有纯水，利用超声波原理，对光掩膜板表面的脏污进行进一步清洗，当清洗完成后最后被移送到风刀切水机构8的工作隔间内，利用风刀将光掩膜板表面的水渍刮除，清洗完成后光掩膜板从出料口出来，人工接料。
上述技术方案仅体现了本实用新型技术方案的优选技术方案，本技术领域的技术人员对其中某些部分所可能做出的一些变动均体现了本实用新型的原理，属于本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种石英光掩膜板全自动清洗机，包括机台(1)，其特征在于，所述机台(1)的两端分别设置有进料口和出料口，所述机台(1)的下侧设置有若干并排分布的工作隔间，且若干工作隔间内从左到右依次设置有纯水喷淋机构(4)、洗剂擦拭机构(5)、滚刷刷洗机构(6)、纯水超声清洗机构(7)和风刀切水机构(8)，其中在所述滚刷刷洗机构(6)和所述纯水超声清洗机构(7)之间也设置有纯水喷淋机构(4)；
所述机台(1)的上侧设置有滑动模组(2)，所述滑动模组(2)上滑动连接有夹取机构(3)，所述夹取机构(3)将光掩膜板夹取固定后并通过滑动模组(2)驱动横向滑动，使得光掩膜板依次经过纯水喷淋机构(4)、洗剂擦拭机构(5)、滚刷刷洗机构(6)、纯水喷淋机构(4)、纯水超声清洗机构(7)和风刀切水机构(8)。
2.根据权利要求1所述的一种石英光掩膜板全自动清洗机，其特征在于，所述纯水喷淋机构(4)包括设置于工作隔间内侧两侧的若干喷头，且若干喷头均与纯水管道连接。
3.根据权利要求1所述的一种石英光掩膜板全自动清洗机，其特征在于，所述洗剂擦拭机构(5)包括设置于工作隔间外侧两侧的转动电机(51)，且所述转动电机(51)的转动杆伸入工作隔间内侧，所述转动电机(51)的转动杆上设置有毛刷组件(52)，且所述毛刷组件(52)的中间设置有洗剂喷嘴。
4.根据权利要求1所述的一种石英光掩膜板全自动清洗机，其特征在于，所述滚刷刷洗机构(6)包括设置于工作隔间外侧两侧的前后移动装置(61)、以及安装在前后移动装置(61)上的滚刷组件(62)，所述夹取机构夹取光掩膜板并带动光掩膜板上下运动，使得滚刷组件(62)沿着光掩膜板的表面上下滚刷清洗。
5.根据权利要求1所述的一种石英光掩膜板全自动清洗机，其特征在于，所述夹取机构(3)包括升降模组(32)，所述升降模组(32)的侧边设置有传动电机(31)，所述传动电机(31)通过同步带与所述升降模组(32)传动连接，所述升降模组(32)上设置有滑板(33)，所述升降模组(32)通过丝杆与所述滑板(33)传动连接，所述滑板(33)上安装有夹持装置(34)。
6.根据权利要求1所述的一种石英光掩膜板全自动清洗机，其特征在于，所述机台(1)上还设置有控制柜(9)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222157498.5U CN218014453U (zh) | 2022-08-16 | 2022-08-16 | 一种石英光掩膜板全自动清洗机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222157498.5U CN218014453U (zh) | 2022-08-16 | 2022-08-16 | 一种石英光掩膜板全自动清洗机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218014453U true CN218014453U (zh) | 2022-12-13 |
Family
ID=84348190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202222157498.5U Active CN218014453U (zh) | 2022-08-16 | 2022-08-16 | 一种石英光掩膜板全自动清洗机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN218014453U (zh) |
-
2022
- 2022-08-16 CN CN202222157498.5U patent/CN218014453U/zh active Active
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|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |