CN217997336U - 酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置，包括底座，所述底座上端左部安装有溶解釜体，所述溶解釜体上端中部安装有加速混合装置，所述溶解釜体上端左部安装有进料口，所述溶解釜体左端下部安装有排渣口，所述溶解釜体右端下部安装有加热清理装置，所述所述底座上端右部安装有储存釜体，所述储存釜体右端下部安装有出料口，所述溶解釜体和储存釜体前端和后端共同安装有检测回流装置。本实用新型所述的酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置，通过加速混合装置和检测回流装置不仅提高了氯气使用效果和质量，而且也提高了蚀刻液的品质，通过加热清理装置避免残留氯气和蚀刻液直接排放会造成污染。

Description

酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置

技术领域

本实用新型涉及蚀刻液技术领域，特别涉及酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置。

背景技术

蚀刻液是通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体。从理论上讲，凡能氧化钢而生成可溶性铜盐的试剂，都可以用来蚀刻敷铜箔板。尤其是现如今的科技飞速发展，半导体的制作工艺也在飞速发展，所以蚀刻液的使用及生产就显得尤为重要。现有的酸性蚀刻液在进行电解提铜系统溶解吸收时，蚀刻液需要与氯气进行接触，但是蚀刻液与氯气接触时间短，导致蚀刻液与氯气的混合效果较差，使蚀刻液中的亚铜离子来不及转换成具有蚀刻能力的铜离子，就重新回到了蚀刻槽，不仅影响氯气使用效果和质量，同时也导致蚀刻液的品质较差。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置，包括底座，所述底座上端左部安装有溶解釜体，所述溶解釜体上端中部安装有加速混合装置，所述溶解釜体上端左部安装有进料口，所述溶解釜体左端下部安装有排渣口，所述溶解釜体右端下部安装有加热清理装置，所述底座上端右部安装有储存釜体，所述储存釜体右端下部安装有出料口，所述溶解釜体和储存釜体前端和后端共同安装有检测回流装置。

优选的，所述加速混合装置包括电机和支撑板，所述电机输出端固定安装有转轴，所述转轴外表面安装有两个搅拌叶，所述支撑板上端安装有射流器，所述射流器上端左部安装有氯气接口，所述支撑板安装在溶解釜体左端上部，所述电机安装在溶解釜体上端中部。蚀刻液首先通过进料口进入溶解釜体内，此时通过加速混合装置上的射流器将氯气导入溶解釜体内，同时再通过电机带动转轴进行转动，转轴从而带动其上的搅拌叶进行转动，从而搅动溶解釜体内的蚀刻液，使其能够更好地与氯气进行混合。

优选的，所述检测回流装置包括控制器，所述控制器右端下部安装有水质传感器，所述控制器安装在储存釜体前端下部，所述溶解釜体和储存釜体前端下部共同安装有输送泵，所述溶解釜体和储存釜体后端下部共同安装有回流泵。蚀刻液混合完毕后通过检测回流装置上的输送泵将蚀刻液送入储存釜体内，接着通过水质传感器对蚀刻液进行检测，当其达不到标准时，通过回流泵将其又输送至溶解釜体内进行再处理，不仅提高了氯气使用效果和质量，而且也提高了蚀刻液的品质。

优选的，所述加热清理装置包括加热器，所述加热器左端安装有连接座，所述连接座左端安装有加热管，所述加热器通过连接座安装在溶解釜体右端下部。当蚀刻液处理完成后，通过进料口将清洗液导入溶解釜体内，此时通过搅拌叶对清洗液进行搅动，并通过加热清理装置上的加热器带动加热管将清洗液加热，从而对溶解釜体内氯气和蚀刻液进行净化处理，不仅避免溶解釜体内会有残留物，同时也避免残留氯气和蚀刻液直接排放会造成污染。

优选的，所述搅拌叶与溶解釜体之间存在间隙，且搅拌叶下端面高于加热管上端面。

优选的，所述控制器与水质传感器之间为电性连接。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、蚀刻液首先通过进料口进入溶解釜体内，此时通过加速混合装置上的射流器将氯气导入溶解釜体内，同时再通过电机带动转轴进行转动，转轴从而带动其上的搅拌叶进行转动，从而搅动溶解釜体内的蚀刻液，使其能够更好地与氯气进行混合，混合完毕后通过检测回流装置上的输送泵将蚀刻液送入储存釜体内，接着通过水质传感器对蚀刻液进行检测，当其达不到标准时，通过回流泵将其又输送至溶解釜体内进行再处理，不仅提高了氯气使用效果和质量，而且也提高了蚀刻液的品质。

2、当蚀刻液处理完成后，通过进料口将清洗液导入溶解釜体内，此时通过搅拌叶对清洗液进行搅动，并通过加热清理装置上的加热器带动加热管将清洗液加热，从而对溶解釜体内氯气和蚀刻液进行净化处理，不仅避免溶解釜体内会有残留物，同时也避免残留氯气和蚀刻液直接排放会造成污染。

附图说明

图1为本实用新型酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置的加速混合装置的整体结构示意图；

图3为本实用新型酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置的检测回流装置的整体结构示意图；

图4为本实用新型酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置的加热清理装置的整体结构示意图。

图中：1、底座；2、加速混合装置；3、检测回流装置；4、加热清理装置；5、溶解釜体；6、储存釜体；7、进料口；8、排渣口；9、出料口；20、电机；21、支撑板；22、转轴；23、搅拌叶；24、射流器；25、氯气接口； 30、控制器；31、水质传感器；32、输送泵；33、回流泵；40、加热器；41、连接座；42、加热管。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-4所示，酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置，包括底座1，底座1上端左部安装有溶解釜体5，溶解釜体5上端中部安装有加速混合装置2，溶解釜体5上端左部安装有进料口7，溶解釜体5左端下部安装有排渣口8，溶解釜体5右端下部安装有加热清理装置4，底座1上端右部安装有储存釜体 6，储存釜体6右端下部安装有出料口9，溶解釜体5和储存釜体6前端和后端共同安装有检测回流装置3。

加速混合装置2包括电机20和支撑板21，电机20输出端固定安装有转轴22，转轴22外表面安装有两个搅拌叶23，支撑板21上端安装有射流器24，射流器24上端左部安装有氯气接口25，支撑板21安装在溶解釜体5左端上部，电机20安装在溶解釜体5上端中部；搅拌叶23与溶解釜体5之间存在间隙，且搅拌叶23下端面高于加热管42上端面。蚀刻液首先通过进料口7 进入溶解釜体5内，此时通过加速混合装置2上的射流器24将氯气导入溶解釜体5内，同时再通过电机20带动转轴22进行转动，转轴22从而带动其上的搅拌叶23进行转动，从而搅动溶解釜体5内的蚀刻液，使其能够更好地与氯气进行混合。

检测回流装置3包括控制器30，控制器30右端下部安装有水质传感器 31，控制器30安装在储存釜体6前端下部，溶解釜体5和储存釜体6前端下部共同安装有输送泵32，溶解釜体5和储存釜体6后端下部共同安装有回流泵33；控制器30与水质传感器31之间为电性连接。蚀刻液混合完毕后通过检测回流装置3上的输送泵32将蚀刻液送入储存釜体6内，接着通过水质传感器31对蚀刻液进行检测，当其达不到标准时，通过回流泵33将其又输送至溶解釜体5内进行再处理，不仅提高了氯气使用效果和质量，而且也提高了蚀刻液的品质。

加热清理装置4包括加热器40，加热器40左端安装有连接座41，连接座41左端安装有加热管42，加热器40通过连接座41安装在溶解釜体5右端下部。当蚀刻液处理完成后，通过进料口7将清洗液导入溶解釜体5内，此时通过搅拌叶23对清洗液进行搅动，并通过加热清理装置4上的加热器40 带动加热管42将清洗液加热，从而对溶解釜体5内氯气和蚀刻液进行净化处理，不仅避免溶解釜体5内会有残留物，同时也避免残留氯气和蚀刻液直接排放会造成污染。

需要说明的是，本实用新型为酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置，首先将蚀刻液由进料口7进入溶解釜体5内，此时通过加速混合装置2上的射流器24将氯气导入溶解釜体5内，同时再通过电机20带动转轴22进行转动，转轴22从而带动其上的搅拌叶23进行转动，从而搅动溶解釜体5内的蚀刻液，使其能够更好地与氯气进行混合，蚀刻液混合完毕后通过检测回流装置3上的输送泵32将蚀刻液送入储存釜体6内，接着通过水质传感器31 对蚀刻液进行检测，当其达不到标准时，通过回流泵33将其又输送至溶解釜体5内进行再处理，不仅提高了氯气使用效果和质量，而且也提高了蚀刻液的品质，最后当蚀刻液处理完成后，通过进料口7将清洗液导入溶解釜体5 内，此时通过搅拌叶23对清洗液进行搅动，并通过加热清理装置4上的加热器40带动加热管42将清洗液加热，从而对溶解釜体5内氯气和蚀刻液进行净化处理，不仅避免溶解釜体5内会有残留物，同时也避免残留氯气和蚀刻液直接排放会造成污染。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上端左部安装有溶解釜体(5)，所述溶解釜体(5)上端中部安装有加速混合装置(2)，所述溶解釜体(5)上端左部安装有进料口(7)，所述溶解釜体(5)左端下部安装有排渣口(8)，所述溶解釜体(5)右端下部安装有加热清理装置(4)，所述底座(1)上端右部安装有储存釜体(6)，所述储存釜体(6)右端下部安装有出料口(9)，所述溶解釜体(5)和储存釜体(6)前端和后端共同安装有检测回流装置(3)。

2.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置，其特征在于：所述加速混合装置(2)包括电机(20)和支撑板(21)，所述电机(20)输出端固定安装有转轴(22)，所述转轴(22)外表面安装有两个搅拌叶(23)，所述支撑板(21)上端安装有射流器(24)，所述射流器(24)上端左部安装有氯气接口(25)，所述支撑板(21)安装在溶解釜体(5)左端上部，所述电机(20)安装在溶解釜体(5)上端中部。

3.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置，其特征在于：所述检测回流装置(3)包括控制器(30)，所述控制器(30)右端下部安装有水质传感器(31)，所述控制器(30)安装在储存釜体(6)前端下部，所述溶解釜体(5)和储存釜体(6)前端下部共同安装有输送泵(32)，所述溶解釜体(5)和储存釜体(6)后端下部共同安装有回流泵(33)。

4.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置，其特征在于：所述加热清理装置(4)包括加热器(40)，所述加热器(40)左端安装有连接座(41)，所述连接座(41)左端安装有加热管(42)，所述加热器(40)通过连接座(41)安装在溶解釜体(5)右端下部。

5.根据权利要求2所述的酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置，其特征在于：所述搅拌叶(23)与溶解釜体(5)之间存在间隙，且搅拌叶(23)下端面高于加热管(42)上端面。

6.根据权利要求3所述的酸性蚀刻液电解提铜系统溶解吸收装置，其特征在于：所述控制器(30)与水质传感器(31)之间为电性连接。

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