CN217997316U - 化学气相沉积装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种化学气相沉积装置，其包括壳体、门体和转动组件，壳体内设置有沉积腔，壳体具有与沉积腔连通的开口，门体转动设置在开口处，转动组件包括轴承、转轴和轴承座，转轴与门体连接，轴承座设置在壳体上，轴承设置在轴承座内，轴承包括内圈和外圈，转轴穿设在内圈内，内圈活动设置在外圈内，外圈的内侧壁为第一球形面，内圈的外侧壁为与第一球形面相适配的第二球形面。化学气相沉积装置能降低轴承的磨损，从而减低轴承因磨损而产生的研磨异物数量，进而提高该化学气相沉积装置对显示面板镀膜的质量。

Description

化学气相沉积装置

技术领域

本实用新型涉及显示面板技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积装置。

背景技术

在显示装置领域，镀膜工艺是一种利用化学反应方式，将反应物生成固态产物，并沉积在显示面板表面的技术，在显示面板镀膜过程中需要使用化学气相沉积装置进行气相沉积。目前，如图1和图2所示，化学气相沉积装置包括壳体1＇、和设置壳体1＇开口处的门体2＇，在壳体1＇上设置多个轴承座3＇，在轴承座3＇内设置滚珠轴承4＇，门体2＇和转轴5＇固定连接，并通过将转轴5＇穿设在滚珠轴承4＇内以实现门体2＇和壳体1＇的转动连接，门体2＇封堵在壳体1＇的开口处以使壳体1＇内形成密封的沉积腔。显示面板在沉积腔内镀膜时，沉积腔处于真空状态，当显示面板镀膜完成后，会打开门体2＇将显示面板移出沉积腔，当门体2＇打开后，沉积腔会进入释放真空的状态(即大气状态)；当新的显示面板进入沉积腔并关闭门体2＇后，沉积腔会重新进入真空状态。沉积腔在真空和大气两种状态切换过程中，气压也会随之改变，而转轴5＇会受到气压的作用而发生变形。现有技术存在以下缺陷：滚珠轴承4＇的内圈41＇和外圈42＇之间设置多个滚珠43＇，而滚珠43＇与内圈41＇和外圈42之间为点接触，在转轴变形过程中会对内圈41进行挤压，由于滚珠43＇与内圈41＇和外圈42＇之间为点接触，使得滚珠43＇和内圈41＇、外圈42＇的接触位置会受到较大的挤压力，部分滚珠会被压坏，从而导致滚珠轴承4＇产生异物，异物在重力作用下会掉落在镀膜的显示面板上，影响镀膜的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：提供一种化学气相沉积装置，其结构简单，镀膜效果好。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种化学气相沉积装置，包括壳体、门体和转动组件，所述壳体内设置有沉积腔，所述壳体具有与所述沉积腔连通的开口，所述门体转动设置在所述开口处，所述转动组件包括轴承、转轴和轴承座，所述转轴与所述门体连接，所述轴承座设置在所述壳体上，所述轴承设置在所述轴承座内，所述轴承包括内圈和外圈，所述转轴穿设在所述内圈内，所述内圈活动设置在所述外圈内，所述外圈的内侧壁为第一球形面，所述内圈的外侧壁为与所述第一球形面相适配的第二球形面。

作为化学气相沉积装置的一种优选方案，所述外圈包括第一构件和第二构件，所述第一构件凹设有第一弧形面，所述第二构件凹设有第二弧形面，所述第一弧形面和所述第二弧形面共同形成所述第一球形面，所述第一构件和所述第二构件可拆卸连接。

作为化学气相沉积装置的一种优选方案，还包括第一紧固件，所述第一构件的外侧壁设置有第一凸耳，所述第一凸耳上设置有第一固定孔，所述第二构件对应所述第一凸耳设置有第二凸耳，所述第二凸耳上设置有第二固定孔，所述第一紧固件穿设在所述第一固定孔和所述第二固定孔内。

作为化学气相沉积装置的一种优选方案，还包括第一紧固件，所述第一构件沿其厚度方向贯穿设置有第三固定孔，所述第二构件沿其厚度方向贯穿设置有第四固定孔，所述第一紧固件穿设在所述第三固定孔和所述第四固定孔内。

作为化学气相沉积装置的一种优选方案，所述第一球形面设置有耐磨层，和/或；

所述第二球形面设置有耐磨层。

作为化学气相沉积装置的一种优选方案，所述耐磨层的厚度为2mm-3mm。

作为化学气相沉积装置的一种优选方案，所述耐磨层为碳化硼涂层。

作为化学气相沉积装置的一种优选方案，所述轴承座包括底座和轴承盖，所述底座设置在所述壳体上，所述底座设置有第一安装槽，所述轴承盖设置有第二安装槽，所述第一安装槽和所述第二安装槽共同形成用于安装所述外圈的安装孔，所述外圈设置在所述安装孔内，所述底座和所述轴承盖可拆卸连接。

作为化学气相沉积装置的一种优选方案，所述第一安装槽的槽壁和所述外圈之间设置有铁氟龙层；和/或，

所述第二安装槽的槽壁和所述轴承之间设置有铁氟龙层。

作为化学气相沉积装置的一种优选方案，所述轴承盖的一侧与所述底座通过第二紧固件连接，另一侧与所述底座抵接。

本实用新型的有益效果为：该化学气相沉积装置的轴承为滑动轴承，其内圈和外圈通过第一球形面和第二球形面滑动连接，因此内圈和外圈之间为面接触，两者的接触面积较大，转轴对轴承的挤压力会分散至整个球形面上，避免内圈或外圈局部集中受力而磨损。此外，由于内圈和外圈为滑动连接，内圈可以相对外圈具有沿其轴线方向滑动的空间，当内圈在受到转轴挤压时，内圈沿挤压力的方向相对外圈滑动，以降低轴承的磨损，从而减低轴承因磨损而产生的研磨异物数量，进而提高该化学气相沉积装置对显示面板镀膜的质量。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1为现有的化学气相沉积装置的结构示意图。

图2为现有的滚珠轴承的结构示意图。

图3为本实用新型实施例的化学气相沉积装置的结构示意图。

图4为本实用新型实施例的转动组件的结构示意图。

图5为本实用新型实施例的轴承的剖视图。

图6为本实用新型一实施例的轴承的剖视图。

图7为本实用新型另一实施例的轴承的剖视图。

图8为本实用新型又一实施例的轴承的剖视图。

图1和图2中：

1′、壳体；2′、门体；3′、轴承座；4′、滚珠轴承；41′、内圈；42′、外圈；43′、滚珠；5′、转轴。

图3至图8中：

1、壳体；11、限位板；2、门体；3、轴承；31、内圈；311、第二球形面；32、外圈；321、第一球形面；322、第一构件；3221、第一弧形面；3222、第一凸耳；3223、第一固定孔；3224、第三固定孔；323、第二构件；3231、第二弧形面；3232、第二凸耳；3233、第二固定孔；3234、第四固定孔；33、耐磨层；4、转轴；5、轴承座；51、底座；52、轴承盖；53、铁氟龙层；6、第一紧固件；7、电机；8、第二紧固件。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

以下，参照附图来详细描述本实用新型。

如图3和图5所示，本实用新型公开的化学气相沉积装置包括壳体1、门体2和转动组件，壳体1内设置有沉积腔，壳体1具有与沉积腔连通的开口，门体2转动设置在开口处，以封堵该开口，以使沉积腔成为密封的反应室。门体2通过转动组件与壳体1连接，通过转动组件驱动门体2在开口处实现开合，沉积腔对显示面板镀膜时，门体2关闭开口，从而能让沉积腔能进入真空状态对显示面板进行镀膜，当镀膜完成后，转动组件驱动门体2转动以使开口处于打开状态，并将完成镀膜的显示面板移出沉积腔。

具体地，转动组件包括轴承3、转轴4和轴承座5，转轴4与门体2连接，轴承座5设置在壳体1上，轴承3设置在轴承座5内，轴承3包括内圈31和外圈32，转轴4穿设在内圈31内，内圈31活动设置在外圈32内，外圈32的内侧壁为第一球形面321，内圈31的外侧壁为与第一球形面321相适配的第二球形面311。该轴承3为滑动轴承3，内圈31和外圈32通过第一球形面321和第二球形面311滑动连接，因此内圈31和外圈32之间为面接触，两者的接触面积较大，转轴4对轴承3的挤压力会分散至整个球形面上，避免内圈31或外圈32局部集中受力而磨损。此外，由于内圈31和外圈32为滑动连接，内圈31相对外圈32具有沿其轴线方向滑动的空间，当内圈31受到转轴4挤压时，内圈31沿挤压力的方向相对外圈32滑动，以降低轴承3的磨损，从而减低轴承3因磨损而产生的研磨异物数量，进而提高该化学气相沉积装置对显示面板镀膜的质量。可以理解的是，显示面板在沉积腔内镀膜时沉积腔处于真空状态，当显示面板镀膜完成后，需要打开门体2将显示面板移出沉积腔，当门体2打开后，沉积腔会进入释放真空的状态(即大气状态)；当新的显示面板进入沉积腔并关闭门体2后，沉积腔会重新进入真空状态。沉积腔在真空和大气两种状态切换过程中，气压也会随之改变，而转轴4会受到气压的作用而发生变形，以使转轴4会挤压轴承3，而由于该轴承3为滑动轴承3，轴承3的第一球形面321和第二球形面311之间具有较大接触面，从而能将挤压力分散至整个接触面，以降低转轴4形变而造成轴承3的磨损，进而减少因轴承3磨损而产生的研磨异物。

具体地，如图3所示，转动组件包括电机7，电机7设置在壳体1上，并且电机7的输出端与转轴4连接，以使电机7可驱动转轴4转动，从而带动门体2实现开合。

优选地，为了降低内圈31和外圈32之间滑动摩擦力，在内圈31和外圈32之间设置有润油层，从而提高转轴4在轴承3内转动的流畅性。

为了便于轴承3的装配，以及对轴承3内异物的的清理，如图6所示，外圈32由第一构件322和第二构件323，且第一构件322和第二构件323可拆卸连接。其中，第一构件322凹设有第一弧形面3221，第二构件323凹设有第二弧形面3231，第一弧形面3221和第二弧形面3231共同形成第一球形面321。

本实施例中，化学气相沉积装置还包括第一紧固件6，第一构件322的外侧壁设置有第一凸耳3222，第一凸耳上设置有第一固定孔3223，第二构件323对应第一凸耳3222设置有第二凸耳3232，第二凸耳3232上设置有第二固定孔3233，第一紧固件6穿设在第一固定孔3223和第二固定孔3233内。通过在第一构件322和第二构件323的外侧壁凸出设置有凸耳，以便于第一紧固件6对第一构件322和第二构件323的固定。具体地，至少在第一构件322的相对两侧设置有第一凸耳3222，同样的，在第二构件323的相对两侧设置有第二凸耳3232，并且所有第一凸耳3222和第二凸耳3232均通过第一紧固件6进行连接固定，从而提高第一构件322和第二构件323的连接稳定性。本实施例中，如图6所示，第一构件322和第二构件323为外圈32从厚度方向切割而成的两个环状结构。在其他实施例中，如图8所示，第一构件322和第二构件323为在外圈32的端部沿轴向切割而成两个半圆状的结构。

一实施例中，如图7所示，第一构件322沿其厚度方向贯穿设置有第三固定孔3224，第二构件323沿其厚度方向贯穿设置有第四固定孔3234，第一紧固件6穿设在第三固定孔3224和第四固定孔3234内。该设计直接在第一构件322和第二构件323上开设固定孔，加工简单，制造成本低，此外，第一紧固件6旋拧在固定孔内，以使固定孔可以对第一紧固件6进行收纳，在轴承3外壁上没有局部的外凸，以使其结构更加紧凑，外形美观。

优选地，第一紧固件6为螺栓，第一构件322和第二构件323通过螺栓螺纹连接，螺纹连接的稳定性较高，拆装效率高。

本实施例中，如图5所示，第一球形面321设置有耐磨层33，第二球形面311设置有耐磨层33。耐磨层33具有较高的耐磨性能，因此通过在第一球形面321和第二球形面311上均设置有耐磨层33，其能减少内圈31和外圈32被挤压时的磨损。在其他实施例中，仅在第一球形面321设置耐磨层33，第二球形面311不设置耐磨层33；或，仅在第二球形面311设置耐磨层33，第一球形面321不设置耐磨层33，实际结构可根据需求设计，不以本实施例为限。

优选地，耐磨层33的厚度为2mm-3mm，该设计能保证内圈31和外圈32被挤压过程中具有较好的耐磨效果。当然，在其他实施例中，耐磨层33还可以是其他数值的厚度，不以本实施例为限。

优选地，耐磨层33为碳化硼涂层，碳化硅是一种超硬物质，本身具有润滑性，且耐磨损，大大提高了轴承3使用过程中的润滑性，减少零部件之间的摩擦损耗。

可选地，耐磨层33为氮化硅层，碳化硅是一种超硬物质，本身具有润滑性，且耐磨损，大大提高了轴承3使用过程中的润滑性，减少零部件之间的摩擦损耗。

当然，耐磨层33还可以是碳化硅层、硬质合金层或其他耐磨的涂层材料，不以本实施例为限。

本实施例中，一个轴承座5内设置有两个轴承3，转轴4设置在穿设在两个轴承3内，以提高转轴4在转动过程中的稳定性。现有的轴承座5内设置为滚珠轴承，其内圈31和外圈32的接触面积较小，因此轴承座5内需要设置四个轴承3，而由于本实施例的轴承3的内圈31和外圈32的接触面积较大，能承受较大的压力，因此在轴承座5内只需设置两个轴承3便能满足转轴4的力矩的要求，减少了设置轴承3数量，从而降低该化学气相沉积装置的制造成本。

本实施例中，如图4所示，轴承座5包括底座51和轴承盖52，底座51设置在壳体1上，底座51设置有第一安装槽，轴承盖52设置有第二安装槽，第一安装槽和第二安装槽共同形成用于安装轴承3的安装孔，外圈32设置在安装孔内，底座51和轴承盖52可拆卸连接。可拆卸连接的轴承盖52和底座51有利于对轴承3的安装，在安装时，将轴承盖52从底座51上拆除，并将轴承3放置在第一安装槽内，然后将轴承盖52安装到底座51上，并将轴承3卡入第二安装槽内，最后对轴承盖52进行锁紧后便完成轴承3在轴承座5上的安装，操作简单且高效。具体地，底座51和壳体1通过螺栓连接，螺栓连接的稳定性高，能承受较大载荷。在其他实施例中，底座51和壳体1之间还可以是焊接或者铆接，不以本实施例为限。

具体地，第一安装槽的槽壁和外圈32之间设置有铁氟龙层53，第二安装槽和外圈32之间设置有铁氟龙层53。铁氟龙具有一定的弹性，因此在装配过程中，轴承盖52和底座51对轴承3具有弹性的挤压力，不仅能提高轴承3的稳固性，还能降低对轴承3外圈32的损坏。此外，铁氟龙由四氟乙烯经聚合而成的高分子化合物，其具有优良的化学稳定性、耐腐蚀性、密封性、高润滑不粘性和抗老化耐力，因此铁氟龙不会被沉积腔内的反应物腐蚀，使用寿命较长。一些实施例中，仅在第一安装槽的槽壁设置铁氟龙层53，或仅在第二安装槽的槽壁设置铁氟龙层53，实际结构可根据需求设计，不以本实施例为限。

本实施例中，如图4所示，轴承盖52的一侧与底座51通过第二紧固件8连接，另一侧与底座51抵接，由于轴承盖52为金属材料，硬度较高，因此只要对轴承盖52的一侧进行固定，另一侧便无法转动或者移动，便能将轴承3限位在安装孔内，而且该结构的拆装效率较高。另外，该化学气相沉积装置由于一些功能需要，在壳体1上设置有限位板11，而且限位板11邻近于轴承座52，因此该轴承座5的结构能避免与限位板11进行干涉，在轴承盖5邻近限位板11的一侧不设置固定部，仅在轴承盖52远离限位板11的一侧设置固定部，并且固定部通过第二紧固件8与底座51固定。优选地，第二紧固件8为螺丝，轴承盖52和底座51通过螺丝连接的稳定性高，拆装方便。

具体地，壳体1内间隔设置有多个沉积腔，通过多个沉积腔可以同时对多个显示面板进行镀膜，从而提高该化学气相沉积装置镀膜的效率。本实施例中，沉积腔设置有三个，因此门体2同样设置有三个，并且三个门体2均通过一个转动组件与壳体1连接。在其他实施例中，门体2可以是一个、两个或者其他数量，不以本实施例为限。

尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。

Claims (10)

1.一种化学气相沉积装置，包括壳体、门体和转动组件，所述壳体内设置有沉积腔，所述壳体具有与所述沉积腔连通的开口，所述门体转动设置在所述开口处，所述转动组件包括轴承、转轴和轴承座，所述转轴与所述门体连接，所述轴承座设置在所述壳体上，所述轴承设置在所述轴承座内，所述轴承包括内圈和外圈，所述转轴穿设在所述内圈内，其特征在于，所述内圈活动设置在所述外圈内，所述外圈的内侧壁为第一球形面，所述内圈的外侧壁为与所述第一球形面相适配的第二球形面。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述外圈包括第一构件和第二构件，所述第一构件凹设有第一弧形面，所述第二构件凹设有第二弧形面，所述第一弧形面和所述第二弧形面共同形成所述第一球形面，所述第一构件和所述第二构件可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的化学气相沉积装置，其特征在于，还包括第一紧固件，所述第一构件的外侧壁设置有第一凸耳，所述第一凸耳上设置有第一固定孔，所述第二构件对应所述第一凸耳设置有第二凸耳，所述第二凸耳上设置有第二固定孔，所述第一紧固件穿设在所述第一固定孔和所述第二固定孔内。

4.根据权利要求2所述的化学气相沉积装置，其特征在于，还包括第一紧固件，所述第一构件沿其厚度方向贯穿设置有第三固定孔，所述第二构件沿其厚度方向贯穿设置有第四固定孔，所述第一紧固件穿设在所述第三固定孔和所述第四固定孔内。

5.根据权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述第一球形面设置有耐磨层，和/或；

所述第二球形面设置有耐磨层。

6.根据权利要求5所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述耐磨层的厚度为2mm-3mm。

7.根据权利要求5所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述耐磨层为碳化硼涂层。

8.根据权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述轴承座包括底座和轴承盖，所述底座设置在所述壳体上，所述底座设置有第一安装槽，所述轴承盖设置有第二安装槽，所述第一安装槽和所述第二安装槽共同形成用于安装所述轴承的安装孔，所述轴承设置在所述安装孔内，所述底座和所述轴承盖可拆卸连接。

9.根据权利要求8所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述第一安装槽的槽壁和所述轴承之间设置有铁氟龙层；和/或，

所述第二安装槽的槽壁和所述轴承之间设置有铁氟龙层。

10.根据权利要求8所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述轴承盖的一侧与所述底座通过第二紧固件连接，另一侧与所述底座抵接。

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