CN217981737U - 一种芯片测试治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种芯片测试治具，它包括：测试组件，所述测试组件包括主底板、固定在所述主底板顶部的测试底板、开设在所述测试底板顶部的手指槽以及设置在所述手指槽内的测试手指；载台组件，所述载台组件包括可移动地设置在所述主底板一侧的载台底板以及开设在所述载台底板顶部的芯片槽；转移组件，所述转移组件包括转移板、固定在所述转移板底部的吸板以及固定在所述吸板底部的吸嘴，所述转移板设置在测试组件和载台组件之间，所述转移板具有平移运动和升降运动，所述吸嘴用吸取芯片槽内的芯片。本实用新型芯片测试治具结构简单，整个过程不需要人工的投入，节省成本，提高了测试效率以及测试的准确率。

Description

一种芯片测试治具

技术领域

本实用新型属于芯片检测技术领域，具体涉及一种芯片测试治具。

背景技术

芯片在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上，通常应用在新能源、信息通讯和智能电网等领域。芯片包括芯片本体以及一体连接在芯片本体两侧的引脚，芯片在加工完成后，需要对其进行导通测试。

而在现有的芯片测试中，需要操作工将芯片放置在测试手指上，人工放置无法保证每个引脚都对准测试手指，因而无法保证测试结果的准确率，而且人工操作效率低，投入的成本高。

实用新型内容

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种芯片测试治具。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种芯片测试治具，它包括：

测试组件，所述测试组件包括主底板、固定在所述主底板顶部的测试底板、开设在所述测试底板顶部的手指槽以及设置在所述手指槽内的测试手指；

载台组件，所述载台组件包括可移动地设置在所述主底板一侧的载台底板以及开设在所述载台底板顶部的芯片槽；

转移组件，所述转移组件包括转移板、固定在所述转移板底部的吸板以及固定在所述吸板底部的吸嘴，所述转移板设置在测试组件和载台组件之间，所述转移板具有平移运动和升降运动，所述吸嘴用吸取芯片槽内的芯片。

优化地，所述测试组件还包括开设在所述主底板顶部的测试槽、开设在所述测试槽底部的通槽、固定在所述主底板顶部的测试盖板以及贯穿所述测试盖板的避让槽，所述测试底板固定在所述测试槽内。

优化地，所述测试组件还包括固定在所述测试盖板顶部的第一定位柱、一体连接在所述测试底板顶部的凸块以及设置在所述凸块相向一侧的避让面，所述凸块置于避让槽内。

优化地，所述载台组件还包括设置在所述芯片槽四周的斜面以及固定在所述载台底板顶部的第二定位柱。

优化地，所述转移组件还包括固定在所述转移板底部的定位板以及贯穿所述定位板的定位孔，所述定位孔分别与第一定位柱和第二定位柱相配合。

优化地，所述吸嘴包括固定在所述吸板底部的固定部、一体连接在所述固定部底部的吸嘴本体、贯穿所述吸板和吸嘴本体的气流通道、一体连接在所述吸嘴本体底部的引脚撑板以及开设在相邻引脚撑板之间的凹槽。

优化地，所述定位孔的直径等于第一定位柱和第二定位柱的直径。

优化地，所述引脚撑板的宽度等于所述手指槽的宽度。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型芯片测试治具结构简单，通过载台组件中转芯片，由转移组件将芯片从载台组件取至测试组件处，完成测试，通过定位孔与第一定位柱和第二定位柱的配合，确保芯片取放位置的准确，通过凹槽与凸块的配合，确保芯片引脚准确地放置在测试手指上，整个过程不需要人工的投入，节省成本，提高了测试效率以及测试的准确率。

附图说明

图1为本实用新型待测芯片的结构示意图；

图2为本实用新型测试组件的结构示意图；

图3为本实用新型主底板的结构示意图；

图4为本实用新型测试底板的结构示意图；

图5为本实用新型测试底板的俯视图；

图6为本实用新型主底板和测试底板的位置关系图；

图7为本实用新型测试底板的剖视图；

图8为本实用新型芯片放置在测试底板上的剖视图；

图9为本实用新型测试盖板的结构示意图；

图10为本实用新型载台组件的结构示意图；

图11为本实用新型载台组件的俯视图；

图12为本实用新型测试组件和转移组件的位置关系图；

图13为本实用新型转移组件的结构示意图；

图14为本实用新型吸嘴的结构示意图；

图15为本实用新型吸嘴吸取芯片后的结构示意图；

图16为本实用新型吸嘴吸取芯片后的剖视图；

图17为本实用新型测试组件、载台组件和转移组件三者位置关系的结构示意简图；

图18为本实用新型凸块与凹槽的位置关系图；

图19为本实用新型图18的剖视图；

附图标记说明：

1、测试组件；101、主底板；102、测试槽；103、通槽；104、测试底板；105、手指槽；106、测试手指；107、凸块；108、避让面；109、测试盖板；110、避让槽；111、第一定位柱；

2、载台组件；201、载台底板；202、芯片槽；203、斜面；204、第二定位柱；

3、转移组件；301、转移板；302、定位板；303、定位孔；304、吸板；305、吸嘴；3051、固定部；3052、吸嘴本体；3053、引脚撑板；3054、气流通道；3055、凹槽。

具体实施方式

下面结合附图所示的实施例对本实用新型作进一步描述。

本实用新型芯片测试治具通常固定在自动化机台上，用于对芯片进行导通测试(如图1所示，为待测芯片的结构示意图，芯片包括芯片本体以及一体连接在芯片本体侧边的引脚)，它包括测试组件1、载台组件2和转移组件3。

如图2所示，为测试组件1的结构示意图，测试组件1包括主底板101、测试底板104和测试盖板109。如图3所示，为主底板101的结构示意图，主底板101为金属材质的矩形板，通过螺丝紧固的方式固定在自动化机台上。测试槽102开设在主底板101的顶部(测试槽102用于固定测试底板104，图3中示出了两组测试槽102，在具体情况下，可根据实际要求增加测试槽102的数量)。通槽103开设在测试槽102的底部，测试手指106的上端部用于检测芯片，测试手指106的底部穿过通槽103而与显示屏相连，用于实时显示测试结果，因此通槽103用于为测试手指106的底部提供容置空间(测试手指106选用市面上常规的芯片测试手指即可)。

如图6所示，测试底板104固定在测试槽102的底部，每组测试槽102内固定有四组测试底板104，因此本实用新型芯片测试治具可同时完成八组芯片的检测(在实际生产中，可适当加长测试槽102的长度，以满足更多芯片的同步测试)。如图4、5所示，为测试底板104的结构示意图。手指槽105开设在测试底板104的顶部，测试手指106设置在手指槽105内，用于检测芯片的导通(手指槽105呈“十”字形，测试手指106的上端部位于手指槽105内，测试手指106的下端部穿过测试底板104而置于通槽103内，且测试手指106的数量与芯片的引脚数量相同；如图1所示，芯片的四条侧边均设有引脚，因此“十”字形的手指槽105可以满足四条侧边引脚的测试需求，在实际检测时，将芯片放置在“十”字形的手指槽105的中心部位处，此时芯片四条侧边处的引脚则位搭在测试手指106的上端部，如图8所示)。凸块107有四组，它们一体连接在测试底板104的顶部，避让面108设置在四组凸块107的相向一侧(凸块107设置在“十”字形的手指槽105的顶部，当芯片放置在“十”字形的手指槽105的中心部位处时，四组凸块107位于芯片的四个角处，凸块107是用来导向芯片的，确保芯片的引脚可以准确的搭在测试手指106的上端部，提高测试结果的准确性；在导向芯片时，为避免发生干涉，因此才需要在凸块107的相向一侧设置避让面108)。

如图9所示，为测试盖板109的结构示意图，测试盖板109通过螺丝紧固的方式固定在主底板101的顶部。避让槽110贯穿测试盖板109，当测试盖板109固定在主底板101上后，测试底板104上的凸块107穿在避让槽110内(测试盖板109压在测试底板104上，用于对测试底板104进一步定位，确保测试底板104在测试时不发生位置的偏移)。第一定位柱111固定在测试盖板109的顶部，第一定位柱111用于对转移组件3进行定位，确保转移组件3可以准确地将芯片放置在测试底板104上。

如图10、11所示，为载台组件2的结构示意图，载台组件2可移动地设置在测试组件1一侧，用于为测试组件1传输芯片，它包括载台底板201、芯片槽202、斜面203和第二定位柱204。载台底板201可移动地设置在主底板101的一侧，载台底板201的移动是依靠直线模组带动的，直线模组固定在自动化机台上，载台底板201固定在直线模组的滑动部上(直线模组带动载台底板201沿X轴移动，直线模组为现有的结构)。芯片槽202开设在载台底板201的顶部，芯片槽202用于放置待检测的芯片。斜面203设置在芯片的四周，斜面203与芯片槽下表面的夹角为钝角，方便芯片的取放。第二定位柱204固定在载台底板201的顶部，第二定位柱204用于对转移组件3进行定位，确保转移组件3可以准确地吸取载台组件2上的芯片(第二定位柱204的直径等于第一定位柱111的直径，以提高转移组件3的通用性)。

转移组件3设置在测试组件1和载台组件2之间，用于吸取载台组件2处的芯片，并将其放置在测试组件1处，完成测试。转移组件3具有水平移动和竖直升降两种运动，转移组件3的移动方向与载台组件2的移动方向相垂直，即转移组件3在直线模组的带动下沿Y轴移动，且在升降模组的带动下沿Z轴升降(如图17所示，测试组件1固定在自动化机台上，X轴直线模组固定在自动化机台上，且位于测试组件1一侧，载台组件2固定在X轴直线模组上；立板垂直固定在自动化机台的顶部，Y轴直线模组固定在立板上，Z轴升降模组固定在Y轴直线模组上，转移组件3固定在Z轴升降模组上，在Y轴直线模组和Z轴升降模组的带动下，转移组件3在测试组件1和载台组件2之间运动，用以转移芯片)。如图13所示，为转移组件3的结构示意图，它包括转移板301、定位板302、吸板304和吸嘴305。

转移板301固定在Z轴升降模组上，在Y轴直线模组和Z轴升降模组的带动下，在测试组件1和载台组件2之间运动。定位板302固定在转移板301的底部，定位孔303开设在定位板302的底部，定位孔303的直径等于第一定位柱111的直径(当载有芯片的载台组件2移动至转移组件3下方后，转移组件3下降，此时定位孔303插入第二定位柱204，确保吸嘴305准确地吸取芯片；然后转移组件3带动吸有芯片的吸嘴305移动至测试组件1上方，转移组件3下降，此时定位孔303插入第一定位柱111，确保吸嘴305将芯片准确地放置在手指槽105内)。

吸板304固定在转移板301的底部，吸嘴305固定在吸板304的底部，用于吸放芯片。如图14所示，吸嘴305包括固定部3051、吸嘴本体3052、引脚撑板3053、气流通道3054和凹槽3055。固定部3051固定在吸板304的底部，吸嘴本体3052一体连接在固定部3051的底部，气流通道3054贯穿吸嘴本体3052、固定部3051和吸板304(吸板304的顶部设有气泵，通过气流管道3054将芯片紧紧吸附在吸嘴本体3052底部)。引脚撑板3053固定在吸嘴本体3052的底部，当转移组件3吸取芯片时，芯片本体被吸至吸嘴本体3052底部，引脚则贴合在引脚撑板3053底部，如图16所示。凹槽3055设置在两组相邻的引脚撑板3053之间，吸嘴305吸取芯片之后，而后移动至测试组件1的上方，Z轴升降模组带动转移组件3下降，在下降过程中，凹槽3055下降至凸块107之间，如图18、19所示，依靠凹槽3055和凸块107的配合作用，确保芯片可以准确地放置在测试手指106的上端部(引脚撑板3053的宽度等于“十”字形的手指槽105的宽度，转移组件3下降的过程中，引脚撑板3053刚好可以插入手指槽105内，以次来确保在测试过程中，芯片不发生左右偏移)。

本实用新型芯片测试治具的测试原理：

首先由人工或者机械手将待测试的芯片放置在芯片槽202内，在X轴直线模组的带动下，载有芯片的载台组件2移动至测试组件1的下方；Z轴升降模组带动转移组件3下降，定位孔303插入第二定位柱204，气泵通过气流管道3054将芯片紧紧吸附在吸嘴本体3052底部(此时引脚则贴合在引脚撑板3053底部)，Z轴升降模组复位；Y轴直线模组带动吸有芯片的转移组件3移动至测试组件1上方，Z轴升降模组带动转移组件3下降，定位孔303插入第一定位柱111(此时凹槽3055下降至凸块107之间，引脚撑板3053刚好可以插入手指槽105内)，芯片引脚则搭在测试手指106的上端部，依靠测试手指106完成导通测试即可。

能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种芯片测试治具，所述芯片包括芯片本体以及一体连接在所述芯片本体侧边的引脚，其特征在于，它包括：

测试组件(1)，所述测试组件(1)包括主底板(101)、固定在所述主底板(101)顶部的测试底板(104)、开设在所述测试底板(104)顶部的手指槽(105)以及设置在所述手指槽(105)内的测试手指(106)；

载台组件(2)，所述载台组件(2)包括可移动地设置在所述主底板(101)一侧的载台底板(201)以及开设在所述载台底板(201)顶部的芯片槽(202)；

转移组件(3)，所述转移组件(3)包括转移板(301)、固定在所述转移板(301)底部的吸板(304)以及固定在所述吸板(304)底部的吸嘴(305)，所述转移板(301)设置在测试组件(1)和载台组件(2)之间，所述转移板(301)具有平移运动和升降运动，所述吸嘴(305)用吸取芯片槽(202)内的芯片。

2.根据权利要求1所述的一种芯片测试治具，其特征在于：所述测试组件(1)还包括开设在所述主底板(101)顶部的测试槽(102)、开设在所述测试槽(102)底部的通槽(103)、固定在所述主底板(101)顶部的测试盖板(109)以及贯穿所述测试盖板(109)的避让槽(110)，所述测试底板(104)固定在所述测试槽(102)内。

3.根据权利要求2所述的一种芯片测试治具，其特征在于：所述测试组件(1)还包括固定在所述测试盖板(109)顶部的第一定位柱(111)、一体连接在所述测试底板(104)顶部的凸块(107)以及设置在所述凸块(107)相向一侧的避让面(108)，所述凸块(107)置于避让槽(110)内。

4.根据权利要求3所述的一种芯片测试治具，其特征在于：所述载台组件(2)还包括设置在所述芯片槽(202)四周的斜面(203)以及固定在所述载台底板(201)顶部的第二定位柱(204)。

5.根据权利要求4所述的一种芯片测试治具，其特征在于：所述转移组件(3)还包括固定在所述转移板(301)底部的定位板(302)以及贯穿所述定位板(302)的定位孔(303)，所述定位孔(303)分别与第一定位柱(111)和第二定位柱(204)相配合。

6.根据权利要求1所述的一种芯片测试治具，其特征在于：所述吸嘴(305)包括固定在所述吸板(304)底部的固定部(3051)、一体连接在所述固定部(3051)底部的吸嘴本体(3052)、贯穿所述吸板(304)和吸嘴本体(3052)的气流通道(3054)、一体连接在所述吸嘴本体(3052)底部的引脚撑板(3053)以及开设在相邻引脚撑板(3053)之间的凹槽(3055)。

7.根据权利要求5所述的一种芯片测试治具，其特征在于：所述定位孔(303)的直径等于第一定位柱(111)和第二定位柱(204)的直径。

8.根据权利要求6所述的一种芯片测试治具，其特征在于：所述引脚撑板(3053)的宽度等于所述手指槽(105)的宽度。

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