CN217981588U - 一种便于放置探针卡的探针台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及探针台技术领域，公开了一种便于放置探针卡的探针台，包括底架，所述底架的顶部固接有工作平台，所述工作平台的顶部开设有放置槽，当探针卡放置于放置槽的内部后，通过转动摇杆，带动两个螺纹套块相向或相离运动，此时四个滑块分别在两个螺纹套块的内部滑动，并向滑动槽的四个端点或者向滑动槽的中心点处移动，从而利用四个滑块对探针卡进行夹持，当晶圆厚度薄于放置槽的深度，可利用气缸的伸缩，利用顶柱伸出滑动槽的外部，从而将探针卡顶起，之后在利用滑块固定探针卡，当取走探针卡，可利用顶柱将探针卡推出放置槽的内部，从而方便拿取探针卡，以及控制探针卡的摆放位置，也便于探针卡与晶圆的接触探测。

Description

一种便于放置探针卡的探针台

技术领域

本实用新型涉及探针台技术领域，具体为一种便于放置探针卡的探针台。

背景技术

在晶圆制作完成以后，需要对其功能进行测试，探针台是半导体生产过程中用于晶圆测试的一种设备，通过探针卡的探针和晶圆芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动测量的目的。探针卡通常需要固定在探针台上，探针卡的取放工作非常重要。

现有技术的探针台通过开设摆放槽，形成与探针卡相对应的凹槽作为探针卡放置区域，由于探针卡尺寸不一，探针卡在摆放槽内的摆放不够稳定，而探针卡表面没有把手以及其他着力点，使得探针卡的摆放及固定不够稳定的问题。

因此，基于上述技术问题，本领域的技术人员有必要研发一种便于放置探针卡的探针台。

实用新型内容

本实用新型目的是提供一种便于放置探针卡的探针台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括底架，所述底架的顶部固接有工作平台，所述工作平台的顶部开设有放置槽，所述放置槽的开设有滑动槽，所述滑动槽的内部滑动设置有四个相对称的滑块，所述工作平台的底部滑动设置有两个螺纹套块，两个所述螺纹套块的内部共同螺纹插接有一个双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的一端通过轴承固接于底架的内腔一侧，所述双向螺纹杆的另一端固接有摇杆，四个所述滑块的底部分别滑动设置于两个螺纹套块的内部，所述底架的内腔底部固接有气缸，所述气缸的顶部固接有固定盘，所述固定盘的顶部固接有四个顶柱。

优选的，所述滑动槽的形状为X形，所述放置槽为圆形，方便晶圆固定和拿取。

优选的，所述顶柱的数量为四个，四个所述顶柱对称设置于滑动槽的正下方，方便探针卡放入放置槽内部，相反，通过顶柱的升起，方便取出探针卡。

优选的，所述底架的形状为U形，且所述底架的底部固接有固定板，从而利用顶柱的升降控制放置槽内部探针卡的高度，以及通过固定板方便将底架与探针台机器螺纹固定。

优选的，两个所述螺纹套块的顶部均开设有凹槽，两个所述滑块的底部滑动设置于凹槽内部所述滑块的形状为T形，两个所述滑块为一组共两组，两组所述滑块分别滑动设置于螺纹套块的顶部，从而对探针卡进行夹持。

优选的，所述滑块的顶部固定套接有橡胶套，且所述橡胶套的高度等于放置槽的深度，对探针卡的夹持和固定提高摩擦力。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)通过本实用新型的摇杆和滑动槽的结构设计，当探针卡放置于放置槽的内部后，通过转动摇杆，利用双向螺纹杆的转动，带动两个螺纹套块相向或相离运动，此时四个滑块分别在两个螺纹套块的内部滑动，并向滑动槽的四个端点或者向滑动槽的中心点处移动，从而利用四个滑块对探针卡进行夹持，当晶圆厚度薄于放置槽的深度，可利用气缸的伸缩，利用顶柱伸出滑动槽的外部，从而将探针卡顶起，之后在利用滑块固定探针卡，当取走探针卡，可利用顶柱将探针卡推出放置槽的内部，从而方便拿取探针卡，以及控制探针卡的摆放位置，也便于探针卡与晶圆的接触探测。

(2)通过本实用新型的顶柱的结构设计，可将顶柱顶出放置槽的内部，方便探针卡放置于顶柱后，通过下降顶柱，方便探针卡放入放置槽内部，相反，通过顶柱的升起，方便取出探针卡。

(3)通过本实用新型的橡胶套的结构设计，对探针卡的夹持和固定提高摩擦力，保证探针卡的夹持稳定性。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的又一结构示意图；

图3为本实用新型的平面结构示意图；

图4为本实用新型的A-A方向剖面结构示意图。

附图标记中：1、底架；2、工作平台；3、固定板；4、滑动槽；5、橡胶套；6、放置槽；7、气缸；8、固定盘；9、顶柱；10、双向螺纹杆；11、摇杆；13、螺纹套块；14、滑块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。

实施例

请参阅图1-4所示，本实用新型提供一种便于放置探针卡的探针台技术方案：包括底架1，所述底架1的顶部固接有工作平台2，所述工作平台2的顶部开设有放置槽6，所述放置槽6的开设有滑动槽4，所述滑动槽4的内部滑动设置有四个相对称的滑块14，所述工作平台2的底部滑动设置有两个螺纹套块13，两个所述螺纹套块13的内部共同螺纹插接有一个双向螺纹杆10，所述双向螺纹杆10的一端通过轴承固接于底架1的内腔一侧，所述双向螺纹杆10的另一端固接有摇杆11，四个所述滑块14的底部分别滑动设置于两个螺纹套块13的内部，所述底架1的内腔底部固接有气缸7，所述气缸7的顶部固接有固定盘8，所述固定盘8的顶部固接有四个顶柱9。

在本实施方式中，当探针卡放置于放置槽6的内部后，通过转动摇杆11，利用双向螺纹杆10的转动，带动两个螺纹套块13相向或相离运动，此时四个滑块14分别在两个螺纹套块13的内部滑动，并向滑动槽4的四个端点或者向滑动槽4的中心点处移动，从而利用四个滑块14对探针卡进行夹持，当晶圆厚度薄于放置槽6的深度，可利用气缸7的伸缩，利用顶柱9伸出滑动槽4的外部，从而将探针卡顶起，之后在利用滑块14固定探针卡，当取走探针卡，可利用顶柱9将探针卡推出放置槽6的内部，从而方便拿取探针卡，以及控制探针卡的摆放位置，也便于探针卡与晶圆的接触探测。

进一步的，所述滑动槽4的形状为X形，所述放置槽6为圆形。

在本实施方式中，便于四个滑块14在滑动槽4内部的滑动，从而将探针卡稳定夹持，方便晶圆固定和拿取。

进一步的，所述顶柱9的数量为四个，四个所述顶柱9对称设置于滑动槽4的正下方。

在本实施方式中，便于通过顶柱9的设置，可将顶柱9顶出放置槽6的内部，方便探针卡放置于顶柱9后，通过下降顶柱9，方便探针卡放入放置槽6内部，相反，通过顶柱9的升起，方便取出探针卡。

进一步的，所述底架1的形状为U形，且所述底架1的底部固接有固定板3。

在本实施方式中，便于在底架1的U形口内部设置气缸7、固定盘8和顶柱9，从而利用顶柱9的升降控制放置槽6内部探针卡的高度。

进一步的，两个所述螺纹套块13的顶部均开设有凹槽，两个所述滑块14的底部滑动设置于凹槽内部所述滑块14的形状为T形，两个所述滑块14为一组共两组，两组所述滑块14分别滑动设置于螺纹套块13的顶部。

在本实施方式中，便于在两个螺纹套块13滑动时，两组滑块14能分别在两个螺纹套块13内部滑动，从而对探针卡进行夹持。

进一步的，所述滑块14的顶部固定套接有橡胶套5，且所述橡胶套5的高度等于放置槽6的深度。

在本实施方式中，便于通过橡胶套5的摩擦力，对探针卡的夹持和固定提高摩擦力。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种便于放置探针卡的探针台，包括底架(1)，其特征在于，所述底架(1)的顶部固接有工作平台(2)，所述工作平台(2)的顶部开设有放置槽(6)，所述放置槽(6)的开设有滑动槽(4)，所述滑动槽(4)的内部滑动设置有四个相对称的滑块(14)，所述工作平台(2)的底部滑动设置有两个螺纹套块(13)，两个所述螺纹套块(13)的内部共同螺纹插接有一个双向螺纹杆(10)，所述双向螺纹杆(10)的一端通过轴承固接于底架(1)的内腔一侧，所述双向螺纹杆(10)的另一端固接有摇杆(11)，四个所述滑块(14)的底部分别滑动设置于两个螺纹套块(13)的内部，所述底架(1)的内腔底部固接有气缸(7)，所述气缸(7)的顶部固接有固定盘(8)，所述固定盘(8)的顶部固接有四个顶柱(9)。

2.根据权利要求1所述的一种便于放置探针卡的探针台，其特征在于：所述滑动槽(4)的形状为X形，所述放置槽(6)为圆形。

3.根据权利要求1所述的一种便于放置探针卡的探针台，其特征在于：所述顶柱(9)的数量为四个，四个所述顶柱(9)对称设置于滑动槽(4)的正下方。

4.根据权利要求1所述的一种便于放置探针卡的探针台，其特征在于：所述底架(1)的形状为U形，且所述底架(1)的底部固接有固定板(3)。

5.根据权利要求1所述的一种便于放置探针卡的探针台，其特征在于：两个所述螺纹套块(13)的顶部均开设有凹槽，两个所述滑块(14)的底部滑动设置于凹槽内部所述滑块(14)的形状为T形，两个所述滑块(14)为一组共两组，两组所述滑块(14)分别滑动设置于螺纹套块(13)的顶部。

6.根据权利要求1所述的一种便于放置探针卡的探针台，其特征在于：所述滑块(14)的顶部固定套接有橡胶套(5)，且所述橡胶套(5)的高度等于放置槽(6)的深度。

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