CN217943111U - 一种晶圆夹持工装 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种晶圆夹持工装，包括：支撑盘以及设于支撑盘周侧的至少三处夹持部件。支撑盘绕轴线旋转。夹持部件包括连接于支撑盘外侧的支撑杆，支撑杆的末端铰接有压杆，压杆的后端设有配重块；支撑杆上设有沿支撑盘的法线方向移动的侧压板，用于压紧晶圆的侧面；侧压板与压杆之间设有一弹性部件，弹性部件呈长条结构，其一端铰接于侧压板，另一端铰接于压杆；当压杆的前端向下移动时，侧压板在弹性部件的推动作用下朝向支撑盘的中心方向移动。可自动实现对晶圆的夹持及松开，并且可使晶圆自动与夹持工装的旋转中心同轴，具有较高的装夹效率。

Description

一种晶圆夹持工装

技术领域

本实用新型属于半导体器件生产技术领域，尤其涉及一种晶圆夹持工装。

背景技术

晶圆在清洗时会通过离心力将其表面的清洗液体甩干，因此需要利用夹具将晶圆夹持固定，而且在夹持时需要保证晶圆与夹具的旋转中心同轴。现有的夹持装置多数利用螺栓调节的方式带动压板进行压紧，而且放置晶圆时需要反复调节晶圆的位置，以保证晶圆与夹具的旋转中心同轴，过程较为繁琐，安装及取出晶圆的效率较低。

实用新型内容

为解决现有技术不足，本实用新型提供一种晶圆夹持工装，旋转时自动实现对晶圆的夹持，且使晶圆与旋转中心同轴；当夹持工装停止旋转时，可自动松开对晶圆的夹持，具有较高的装夹效率。

为了实现本实用新型的目的，拟采用以下方案：

一种晶圆夹持工装，包括：支撑盘以及设于支撑盘周侧的至少三处夹持部件。

支撑盘绕轴线旋转设置。

夹持部件包括连接于支撑盘外侧的支撑杆，支撑杆的末端铰接有压杆，铰接位置处于压杆的中部，压杆的后端设有配重块；当工装旋转时，配重块将在离心力的作用下向上移动，压杆的前端将向下移动，以压紧晶圆的顶面；

支撑杆上设有沿支撑盘的法线方向移动的侧压板，用于压紧晶圆的侧面；

侧压板与压杆之间设有一弹性部件，弹性部件呈长条结构，其一端铰接于侧压板，另一端铰接于压杆，弹性部件与压杆的铰接位置处于压杆的中段，且位于压杆与支撑杆的铰接处与压杆的前端之间；

当压杆的前端向下移动时，侧压板在弹性部件的推动作用下朝向支撑盘的中心方向移动。

进一步的，支撑杆的顶面低于支撑盘。

进一步的，侧压板朝向支撑盘的一侧具有V型槽，V型槽的延伸方向垂直于支撑盘的顶面。

进一步的，支撑杆的顶面沿支撑盘的法线方向开设有滑槽，侧压板滑动设于滑槽内。

进一步的，弹性部件包括圆柱弹簧，圆柱弹簧的两端均设有铰接块，分别用于连接压杆及侧压板。

进一步的，夹持部件沿支撑盘的圆周阵列设有四处。

进一步的，支撑盘为圆盘结构，其直径小于晶圆的直径。

本实用新型的有益效果在于：夹持工装再旋转时可利用压杆自动将晶圆压紧，同时压杆在压紧晶圆的过程中推动侧压板移动，利用设于晶圆周侧的多个侧压板使晶圆的中心支撑盘的旋转轴线同轴，可快速安放及夹持晶圆。并且当夹持工装停止旋转时，压杆及侧压板将自动松开晶圆，方便晶圆取出。

附图说明

本文描述的附图只是为了说明所选实施例，而不是所有可能的实施方案，更不是意图限制本实用新型的范围。

图1示出了本申请的结构示意图。

图2示出了将晶圆放置于支撑盘上的状态示意图。

图3示出了夹持工装夹持晶圆时的状态示意图。

图中标记：支撑盘-1、夹持部件-2、支撑杆-3、滑槽-31、压杆-4、配重块-41、侧压板-5、V型槽-51、弹性部件-6。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本实用新型的实施方式进行详细说明，但本实用新型所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

如图1所示，一种晶圆夹持工装，包括：支撑盘1以及设于支撑盘1周侧的至少三处夹持部件2。

具体的，支撑盘1绕轴线旋转设置。

具体的，如图1至图3所示，夹持部件2包括连接于支撑盘1外侧的支撑杆3，支撑杆3的末端铰接有压杆4，铰接位置处于压杆4的中部，且铰接处的轴线垂直于支撑盘1的轴线，压杆4的后端设有配重块41。

如图2所示，当夹持工装未旋转时，压杆4的后端在配重块41的重力作用下自然下垂，压杆4的前端向上，以加大多个压杆4前端之间的空间，方便放入及取出晶圆。

如图3所示，当工装旋转时，配重块41将在离心力的作用下向上移动，压杆4的前端将向下移动，以压紧晶圆的顶面。

具体的，如图1、图3所示，支撑杆3上设有沿支撑盘1的法线方向移动的侧压板5，用于压紧晶圆的侧面。支撑杆3的顶面沿支撑盘1的法线方向开设有滑槽31，侧压板5滑动设于滑槽31内。

具体的，如图1、图3所示，侧压板5与压杆4之间设有一弹性部件6，弹性部件6呈长条结构，其一端铰接于侧压板5，另一端铰接于压杆4，铰接的轴线均与压杆4和支撑杆3铰接处的轴线平行。

更具体的，如图1、图2所示，弹性部件6与压杆4的铰接位置处于压杆4的中段，且位于压杆4与支撑杆3的铰接处与压杆4的前端之间。

当压杆4的前端向下移动时，侧压板5在弹性部件6的推动作用下朝向支撑盘1的中心方向移动，利用多处夹持部件2的侧压板5同时将晶圆推向支撑盘1的中心，以保证晶圆的中心与支撑盘1的旋转中心同轴。当周侧的侧压板5均与晶圆的侧壁接触，而压杆4的前端还未与晶圆表面接触时，压杆4的前端将会继续向下移动，此时弹性部件6将被压缩，并且利用弹性部件6因压缩而产生的弹力对晶圆进行压紧固定。随着夹持工装的旋转速度增加，压杆4前端向下的压力也将逐渐增加，以防止晶圆被甩出。当夹持工装停止旋转之后，在配重块41的作用下，压杆4的前端将向上翘起，同时利用弹性部件6拉动侧压板5向外侧移动，同时松开对晶圆顶面及侧面的压紧力。

优选的，如图1所示，支撑杆3的顶面低于支撑盘1，以避免支撑杆3影响晶圆支撑面的平面精度。

优选的，如图1、图2所示，侧压板5朝向支撑盘1的一侧具有V型槽51，以适应与不同直径的晶圆侧面侧和，V型槽51的延伸方向垂直于支撑盘1的顶面。

作为本申请一种优选的实施方案，如图1至图3所示，弹性部件6包括圆柱弹簧，圆柱弹簧的两端均设有铰接块，分别用于连接压杆4及侧压板5。

优选的，如图1至图3所示，夹持部件2沿支撑盘1的圆周阵列设有四处，以提高对晶圆的夹持稳定性，以及保证晶圆与支撑盘1的旋转中心同轴。

优选的，支撑盘1为圆盘结构，其直径小于晶圆的直径。以缩小侧压板4与支撑盘1之间的最小间距，从而夹持不同直径的晶圆。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并不表示是唯一的或是限制本实用新型。本领域技术人员应理解，在不脱离本实用新型的范围情况下，对本实用新型进行的各种改变或同等替换，均属于本实用新型保护的范围。

Claims (7)

1.一种晶圆夹持工装，其特征在于，包括：支撑盘（1）以及设于支撑盘（1）周侧的至少三处夹持部件（2）；

支撑盘（1）绕轴线旋转；

夹持部件（2）包括连接于支撑盘（1）外侧的支撑杆（3），支撑杆（3）的末端铰接有压杆（4），铰接位置处于压杆（4）的中部，压杆（4）的后端设有配重块（41）；当工装旋转时，配重块（41）将在离心力的作用下向上移动，压杆（4）的前端将向下移动，以压紧晶圆的顶面；

支撑杆（3）上设有沿支撑盘（1）的法线方向移动的侧压板（5），用于压紧晶圆的侧面；

侧压板（5）与压杆（4）之间设有一弹性部件（6），弹性部件（6）呈长条结构，其一端铰接于侧压板（5），另一端铰接于压杆（4），弹性部件（6）与压杆（4）的铰接位置处于压杆（4）的中段，且位于压杆（4）与支撑杆（3）的铰接处和压杆（4）的前端之间；

当压杆（4）的前端向下移动时，侧压板（5）在弹性部件（6）的推动作用下朝向支撑盘（1）的中心方向移动。

2.根据权利要求1所述的晶圆夹持工装，其特征在于，支撑杆（3）的顶面低于支撑盘（1）。

3.根据权利要求1所述的晶圆夹持工装，其特征在于，侧压板（5）朝向支撑盘（1）的一侧具有V型槽（51），V型槽（51）的延伸方向垂直于支撑盘（1）的顶面。

4.根据权利要求1所述的晶圆夹持工装，其特征在于，支撑杆（3）的顶面沿支撑盘（1）的法线方向开设有滑槽（31），侧压板（5）滑动设于滑槽（31）内。

5.根据权利要求1所述的晶圆夹持工装，其特征在于，弹性部件（6）包括圆柱弹簧，圆柱弹簧的两端均设有铰接块，分别用于连接压杆（4）及侧压板（5）。

6.根据权利要求1所述的晶圆夹持工装，其特征在于，夹持部件（2）沿支撑盘（1）的圆周阵列设有四处。

7.根据权利要求1所述的晶圆夹持工装，其特征在于，支撑盘（1）为圆盘结构，其直径小于晶圆的直径。

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