CN217919101U - 一种高洁净度的立式晶圆出货盒 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种高洁净度的立式晶圆出货盒，包括盒体，盒体内固定安装有晶圆放置架，晶圆放置架包括相对设置的第一卡槽部与第二卡槽部，第一卡槽部与第二卡槽部分别相对应设有若干第一晶圆卡槽与若干第二晶圆卡槽，盒体的上端开口处设有盒盖，盒盖的下表面设有若干晶圆卡口，盒盖的四周边沿朝下设有连接边，连接边的下端面设有插槽，插槽内固定设有一圈密封泡沫垫，盒体的上端插入到插槽中并与密封泡沫垫挤压，盒体的四周通过若干卡接结构与盒盖可拆卸连接，盒体的上端与密封泡沫垫挤压能对盒体内部进行密封，保证了盒体内的高洁净度，卡接结构能快速拆装盒体与盒盖，比较方便。

Description

一种高洁净度的立式晶圆出货盒

技术领域

本实用新型涉及晶圆盒技术领域，具体涉及到一种高洁净度的立式晶圆出货盒。

背景技术

晶圆片在出货时，需要包装在出货盒内进行运输，并且由于晶圆片在保证高洁净度，在包装前，出货盒内部以及晶圆片均在无尘车间内经过了精密的清洗，因此在运输过程中也不能有灰尘等杂质进入到晶圆盒内污染晶圆片，通常为了保证晶圆盒内的高密封性，是采用多颗螺栓将盒体与盒盖连接固定，这样的方式在打开以及关闭的时候需要一个个拧动螺栓，较为不便。

发明内容

为了解决上述现有技术中的不足之处，本实用新型提出一种高洁净度的立式晶圆出货盒。

为了实现上述技术效果，本实用新型采用如下方案：

一种高洁净度的立式晶圆出货盒，包括盒体，所述盒体的上端开口并且朝下延伸形成内腔，所述内腔内固定安装有晶圆放置架，所述晶圆放置架包括相对设置的第一卡槽部与第二卡槽部，所述第一卡槽部上设有若干第一晶圆卡槽，所述第二卡槽部上设有若干与第一晶圆卡槽相对应的第二晶圆卡槽，所述盒体的上端开口处设有盒盖，所述盒盖的下表面设有若干与第一晶圆卡槽以及第二晶圆卡槽相对应的晶圆卡口，所述盒盖的四周边沿朝下弯折形成连接边，所述连接边的下端面朝上延伸设有插槽，所述插槽内固定设有一圈密封泡沫垫，所述插槽与盒体的上端相匹配，所述盒体的上端插入到插槽中并与密封泡沫垫挤压抵接，所述盒体的四周通过若干卡接结构与盒盖可拆卸连接，所述卡接结构包括固定设置于盒体外壁上的连接块，所述连接块的上端面朝下延伸设有插孔，所述插孔的横截面呈矩形状，所述盒盖的侧壁上固定设有竖直设置的插条，所述插条与插孔相匹配，所述插条由上至下插入到插孔中，所述插孔的侧壁上设有调节槽，所述调节槽内滑动设有调节件，所述调节件呈“山”形设置，所述调节槽包括水平设置的第一凹槽、第二凹槽以及第三凹槽，所述第一凹槽设置于调节孔内靠近盒体的一侧内壁上，所述第二凹槽以及第三凹槽分别设置于第一凹槽相邻的两侧内壁上并与第一凹槽连通，所述调节件包括位于第一凹槽内活动的第一调节杆，所述第一调节杆的长度方向与第一凹槽的长度方向一致，所述第一调节杆的两端分别朝向第二凹槽以及第三凹槽内延伸设有第二调节杆以及第三调节杆，所述第一调节杆的中部固定设有与第二调节杆以及第三调节杆相平行的限位杆，所述第一调节杆的后部通过若干弹簧与第一凹槽的内壁连接，所述插条上具有与限位杆对应的限位孔，所述限位杆的前端插入限位孔中，所述第二凹槽与第三凹槽朝向外侧的一端与连接块的外侧连通，所述连接块的外壁上设有用于调节第二调节杆以及第三调节杆滑动的调节器。

优选的技术方案，所述调节器包括旋钮，所述连接块的外侧壁上具有圆形的转动孔，所述转动孔的内壁上环绕设有一圈限位槽，所述旋钮卡入转动孔内转动，所述旋钮的侧壁上设有一圈限位沿，所述限位沿卡入到限位槽中转动，所述第二凹槽以及第三凹槽与转动孔连通，所述第二调节杆与第三调节杆的外端抵触在旋钮上，所述旋钮上与第二调节杆以及第三调节杆相抵触的一侧面上设有一圈调节槽，所述第二调节杆与第三调节杆的外端插入到调节槽内滑动，所述调节槽平均分为两个调节部，两个调节部以调节槽的圆心为基点呈中心对称设置，所述第二调节杆以及第三调节杆分别插入两个调节部内滑动，所述调节部的一端设有一个最高点，所述调节部的另一端设有一个最低点，两个调节部之间的最高点与最低点相接，调节部内的槽的深度由最高点开始逐渐向最低点加深，所述限位杆插入限位孔中时，第二调节杆以及第三调节杆分别抵触在调节槽内的两个最低点。

优选的技术方案，所述第二调节杆与第三调节杆抵触在旋钮上的一端为半圆形。

优选的技术方案，所述旋钮上设有箭头，所述连接块的外壁上绕旋钮设有“开”以及“关”的汉字标识，所述箭头指向“关”字标识时，第二调节杆与第三调节杆分别抵触在调节槽内的两个最低点，所述箭头指向“开”字标识时，所述第二调节杆与第三调节杆分别抵触在调节槽内的两个最高点。

优选的技术方案，所述晶圆放置架上设有至少一个隔板，所述隔板侧立设置，所述隔板与第一卡槽部以及第二卡槽部之间的空间相匹配，所述隔板的一侧卡入到第一晶圆卡槽内，所述隔板的另一侧卡入到对应的第二晶圆卡槽内，所述隔板的下端与内腔底部相抵接。

优选的技术方案，所述第一晶圆卡槽、第二晶圆卡槽以及晶圆卡口的两侧内壁上均设有缓冲泡沫垫。

与现有技术相比，有益效果为：

本实用新型结构简单，使用方便，将盒体的上端插入到盒盖下方的插槽中，并且与插槽内的密封泡沫垫形成挤压，然后将盒体与盒盖经过卡接结构进行可拆卸连接，盒体的上端与密封泡沫垫挤压能对盒体内部进行密封，保证了盒体内的高洁净度，卡接结构能快速拆装盒体与盒盖，比较方便。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型盒盖结构示意图；

图3是本实用新型盒体结构示意图；

图4是本实用新型盒盖与盒体连接结构示意图；

图5是本实用新型中连接块第一视角截面示意图；

图6是本实用新型中连接块第二视角截面示意图；

图7是本实用新型中调节件与插条位置示意图；

图8是本实用新型调节槽结构示意图；

图9是本实用新型中调节槽展开示意图。

附图标记：1、盒体；2、盒盖；3、连接块；4、插条；5、旋钮；6、连接边；7、插槽；8、限位孔；9、晶圆卡口；10、第一卡槽部；11、第一晶圆卡槽； 12、第二卡槽部；13、第二晶圆卡槽；14、插孔；15、隔板；16、密封泡沫垫； 17、第一凹槽；18、第二凹槽；19、第一调节杆；20、第二调节杆；21、弹簧； 22、限位槽；23、限位沿；24、转动孔；25、第三凹槽；26、第三调节杆；27、限位杆；28、调节槽；29、最高点；30、最低点。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

一种高洁净度的立式晶圆出货盒，包括盒体1，所述盒体1的上端开口并且朝下延伸形成内腔，所述内腔内固定安装有晶圆放置架，所述晶圆放置架包括相对设置的第一卡槽部10与第二卡槽部12，所述第一卡槽部10上设有若干第一晶圆卡槽11，所述第二卡槽部12上设有若干第二晶圆卡槽13，若干第一晶圆卡槽11与若干第二晶圆卡槽13一一对应，晶圆片侧立放置，晶圆片的一侧卡在第一晶圆卡槽11内，晶圆片的另一端卡在第二晶圆卡槽13内，所述盒体1 的上端开口处设有盒盖2，所述盒盖2的下表面设有若干与第一晶圆卡槽11以及第二晶圆卡槽13相对应的晶圆卡口9，晶圆片的上端卡在晶圆卡口9内，从多个方向卡住晶圆片，避免晶圆片在运输过程中随意晃动，所述盒盖2的四周边沿朝下弯折形成连接边6，所述连接边6的下端面朝上延伸设有插槽7，所述插槽7内固定设有一圈密封泡沫垫16，所述插槽7与盒体1的上端相匹配，所述盒体1的上端插入到插槽7中并与密封泡沫垫16挤压抵接，从而对盒体1的内部进行密封，避免灰尘等杂质通过盒体1与盒盖2的连接处进入到盒体1的内部，保证了盒体1内部的高洁净度，所述盒体1的四周通过若干卡接结构与盒盖2可拆卸连接，所述卡接结构包括固定设置于盒体1外壁上的连接块3，所述连接块3的上端面朝下延伸设有插孔14，所述插孔14的横截面呈矩形状，所述盒盖2的侧壁上固定设有竖直设置的插条4，所述插条4与插孔14相匹配，所述插条4由上至下插入到插孔14中，所述插孔14的内壁上设有调节槽28，所述调节槽28内滑动设有调节件，所述调节件呈“山”形设置，所述调节槽28 包括水平设置的第一凹槽17、第二凹槽18以及第三凹槽25，所述第一凹槽17 设置于调节孔内靠近盒体1的一侧内壁上，所述第二凹槽18以及第三凹槽25 分别设置于第一凹槽17相邻的两侧内壁上并与第一凹槽17连通，所述调节件包括位于第一凹槽17内活动的第一调节杆19，所述第一调节杆19的长度方向与第一凹槽17的长度方向一致，所述第一调节杆19的两端分别朝向第二凹槽 18以及第三凹槽25内延伸设有第二调节杆20以及第三调节杆26，所述第一调节杆19的中部固定设有与第二调节杆20以及第三调节杆26相平行的限位杆27，所述第一调节杆19的后部通过若干弹簧21与第一凹槽17的内壁连接，所述插条4上具有与限位杆27对应的限位孔8，所述限位杆27的前端插入限位孔8中，所述第二凹槽18与第三凹槽25朝向外侧的一端与连接块3的外侧连通，所述连接块3的外壁上设有用于调节第二调节杆20以及第三调节杆26滑动的调节器。

通过调节器调节第二调节杆20以及第三调节杆26在第二凹槽18以及第三凹槽25内滑动，第二调节杆20与第三调节杆26朝内滑动时，带动第一调节杆 19朝向内侧滑动，并且压缩弹簧21，同时限位杆27跟随第一调节杆19移动至第一凹槽17内，此事插孔14内没有限制，将盒盖2盖在盒体1的上端，插条4 插入插孔14内，然后调节第二调节杆20以及第三调节杆26沿着第二凹槽18 以及第三凹槽25朝向外侧移动，带动第一调节杆19朝外移动，同时限位杆27 插入插孔14中，并且从插条4的限位孔8内穿过，对插条4进行限位，从而将盒盖2固定在盒体1上，要取下盒盖2时，驱动第一调节杆19带动限位杆27 朝内侧方向移动退出限位孔8内即可。

优选的技术方案，所述调节器包括旋钮5，所述连接块3的外侧壁上具有圆形的转动孔24，所述转动孔24的内壁上环绕设有一圈限位槽22，所述旋钮5 卡入转动孔24内转动，所述旋钮5的侧壁上设有一圈限位沿23，所述限位沿 23卡入到限位槽22中转动，所述第二凹槽18以及第三凹槽25与转动孔24连通，所述第二调节杆20与第三调节杆26的外端由于弹簧21的弹力作用抵触在旋钮5上，所述旋钮5上与第二调节杆20以及第三调节杆26相抵触的一侧面上设有一圈调节槽28，所述第二调节杆20与第三调节杆26的外端插入到调节槽28内滑动，转动旋钮5，第二调节杆20与第三调节杆26抵触在调节槽28内滑动，所述调节槽28平均分为两个调节部，两个调节部以调节槽28的圆心为基点呈中心对称设置，所述第二调节杆20以及第三调节杆26分别插入两个调节部内滑动，所述调节部的一端设有一个最高点29，所述调节部的另一端设有一个最低点30，两个调节部之间的最高点29与最低点30相接，调节部内的槽的深度由最高点29开始逐渐向最低点30加深，所述限位杆27插入限位孔8中时，第二调节杆20以及第三调节杆26分别抵触在调节槽28内的两个最低点30，转动旋钮5，第二调节杆20与第三调节杆26抵触在调节槽28内逐渐向两个最高点29的位置滑动，由于调节槽28深度的变化，逐渐变浅，因此推动第二调节杆20以及第三调节杆26逐渐朝向后侧方向移动，从而逐渐带动限位杆27推出限位孔8中。

优选的技术方案，所述第二调节杆20与第三调节杆26抵触在旋钮5上的一端为半圆形，便于第二调节杆20与第三调节杆26滑动。

优选的技术方案，所述旋钮5上设有箭头，所述连接块3的外壁上绕旋钮5 设有“开”以及“关”的汉字标识，所述箭头指向“关”字标识时，第二调节杆20与第三调节杆26分别抵触在调节槽28内的两个最低点30，所述箭头指向“开”字标识时，所述第二调节杆20与第三调节杆26分别抵触在调节槽28内的两个最高点29。

优选的技术方案，所述晶圆放置架上设有至少一个隔板15，所述隔板15侧立设置，所述隔板15与第一卡槽部10以及第二卡槽部12之间的空间相匹配，所述隔板15的一侧卡入到第一晶圆卡槽11内，所述隔板15的另一侧卡入到对应的第二晶圆卡槽13内，所述隔板15的下端与内腔底部相抵接，通过至少一个隔板15将晶圆放置架分隔为多个部分，当某一个部分内的晶圆片破碎后，其碎渣不会污染到其他部分内的晶圆片。

优选的技术方案，所述第一晶圆卡槽11、第二晶圆卡槽13以及晶圆卡口9 的两侧内壁上均设有缓冲泡沫垫。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

Claims (6)

1.一种高洁净度的立式晶圆出货盒，其特征在于，包括盒体，所述盒体的上端开口并且朝下延伸形成内腔，所述内腔内固定安装有晶圆放置架，所述晶圆放置架包括相对设置的第一卡槽部与第二卡槽部，所述第一卡槽部上设有若干第一晶圆卡槽，所述第二卡槽部上设有若干与第一晶圆卡槽相对应的第二晶圆卡槽，所述盒体的上端开口处设有盒盖，所述盒盖的下表面设有若干与第一晶圆卡槽以及第二晶圆卡槽相对应的晶圆卡口，所述盒盖的四周边沿朝下弯折形成连接边，所述连接边的下端面朝上延伸设有插槽，所述插槽内固定设有一圈密封泡沫垫，所述插槽与盒体的上端相匹配，所述盒体的上端插入到插槽中并与密封泡沫垫挤压抵接，所述盒体的四周通过若干卡接结构与盒盖可拆卸连接，所述卡接结构包括固定设置于盒体外壁上的连接块，所述连接块的上端面朝下延伸设有插孔，所述插孔的横截面呈矩形状，所述盒盖的侧壁上固定设有竖直设置的插条，所述插条与插孔相匹配，所述插条由上至下插入到插孔中，所述插孔的侧壁上设有调节槽，所述调节槽内滑动设有调节件，所述调节件呈“山”形设置，所述调节槽包括水平设置的第一凹槽、第二凹槽以及第三凹槽，所述第一凹槽设置于调节孔内靠近盒体的一侧内壁上，所述第二凹槽以及第三凹槽分别设置于第一凹槽相邻的两侧内壁上并与第一凹槽连通，所述调节件包括位于第一凹槽内活动的第一调节杆，所述第一调节杆的长度方向与第一凹槽的长度方向一致，所述第一调节杆的两端分别朝向第二凹槽以及第三凹槽内延伸设有第二调节杆以及第三调节杆，所述第一调节杆的中部固定设有与第二调节杆以及第三调节杆相平行的限位杆，所述第一调节杆的后部通过若干弹簧与第一凹槽的内壁连接，所述插条上具有与限位杆对应的限位孔，所述限位杆的前端插入限位孔中，所述第二凹槽与第三凹槽朝向外侧的一端与连接块的外侧连通，所述连接块的外壁上设有用于调节第二调节杆以及第三调节杆滑动的调节器。

2.如权利要求1所述的高洁净度的立式晶圆出货盒，其特征在于，所述调节器包括旋钮，所述连接块的外侧壁上具有圆形的转动孔，所述转动孔的内壁上环绕设有一圈限位槽，所述旋钮卡入转动孔内转动，所述旋钮的侧壁上设有一圈限位沿，所述限位沿卡入到限位槽中转动，所述第二凹槽以及第三凹槽与转动孔连通，所述第二调节杆与第三调节杆的外端抵触在旋钮上，所述旋钮上与第二调节杆以及第三调节杆相抵触的一侧面上设有一圈调节槽，所述第二调节杆与第三调节杆的外端插入到调节槽内滑动，所述调节槽平均分为两个调节部，两个调节部以调节槽的圆心为基点呈中心对称设置，所述第二调节杆以及第三调节杆分别插入两个调节部内滑动，所述调节部的一端设有一个最高点，所述调节部的另一端设有一个最低点，两个调节部之间的最高点与最低点相接，调节部内的槽的深度由最高点开始逐渐向最低点加深，所述限位杆插入限位孔中时，第二调节杆以及第三调节杆分别抵触在调节槽内的两个最低点。

3.如权利要求2所述的高洁净度的立式晶圆出货盒，其特征在于，所述第二调节杆与第三调节杆抵触在旋钮上的一端为半圆形。

4.如权利要求2所述的高洁净度的立式晶圆出货盒，其特征在于，所述旋钮上设有箭头，所述连接块的外壁上绕旋钮设有“开”以及“关”的汉字标识，所述箭头指向“关”字标识时，第二调节杆与第三调节杆分别抵触在调节槽内的两个最低点，所述箭头指向“开”字标识时，所述第二调节杆与第三调节杆分别抵触在调节槽内的两个最高点。

5.如权利要求1所述的高洁净度的立式晶圆出货盒，其特征在于，所述晶圆放置架上设有至少一个隔板，所述隔板侧立设置，所述隔板与第一卡槽部以及第二卡槽部之间的空间相匹配，所述隔板的一侧卡入到第一晶圆卡槽内，所述隔板的另一侧卡入到对应的第二晶圆卡槽内，所述隔板的下端与内腔底部相抵接。

6.如权利要求1所述的高洁净度的立式晶圆出货盒，其特征在于，所述第一晶圆卡槽、第二晶圆卡槽以及晶圆卡口的两侧内壁上均设有缓冲泡沫垫。

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