CN217895728U - 一种偏压引入机构 - Google Patents

Abstract

本申请涉及真空镀膜领域，尤其是涉及一种偏压引入机构，其技术方案要点是：包括用于承托导向轴并供导向轴滑移的引电滑块、用于使电源接入引电滑块的电源接入件，以及使引电滑块与大地绝缘的绝缘座；达到了对连续式镀膜生产线上平移的镀膜工件加偏压，以提高此种镀膜方式下镀膜工件的镀膜质量的目的。

Description

一种偏压引入机构

技术领域

本申请涉及真空镀膜领域，尤其是涉及一种偏压引入机构。

背景技术

真空镀膜机往往根据工艺要求，需要在镀膜工件上加偏压，以增加镀膜的附着力和镀膜质量；其中，偏压（Bias）是指在镀膜过程中施加在镀膜工件上的负电压，通常做法为将偏压电源的正极接到真空腔室上且真空腔室同时接地，偏压电源的负极接到镀膜工件上。

参照图1和图2，相关技术中记载的一种单体旋转式真空镀膜机，包括接地的真空腔室12、设置在真空腔室12内部并用于安装镀膜工件的工件架13、用于驱动工件架13自转的驱动轴14和驱动电机（图中未示出）、套设在驱动轴14上的导电套15（一般为铜套）、固定在真空腔室12内部的固定座16，以及多个固定在固定座16上的电刷17，多个电刷17围绕导电套15设置且导电套15与各个电刷17时刻接触；此外，固定座16上还固定有一个绝缘杆18，绝缘杆18上固定有接电端子，接电端子与各个电刷17导电连接。

在进行真空镀膜前向接电端子通电，偏压电源依次通过电刷17、导电套15、驱动轴14和工件架13传导至镀膜工件上，上述过程即为旋转引电方式；在真空镀膜过程中，驱动轴14在多个电刷17之间转动且不影响电刷17与驱动轴14之间的导电接触。

上述单体镀膜机均需要在生产完一个批次后，使真空腔室12破真空以取出镀膜工件，然后在工件架13上重新装夹下一批镀膜工件进行镀膜。受其结构的限制，小型工件尚可采用单体镀膜机进行批次镀膜，而对于大型工件如板类工件，只能在单体镀膜机上进行小批量生产。而大规模的工件镀膜，目前常选择在连续式镀膜生产线上完成。

参照图3，连续式镀膜生产线一般由装载腔室、过渡腔室、根据工艺需求设置的一个或多个镀膜腔室、卸载腔室、工件载板19和传送系统等组成，上述腔室均为真空腔室12，镀膜工件安装在工件载板19上，工件载板19通过固接于自身底部的导向轴20实现与各个腔室底部稳定的滑动连接；安装有单个镀膜工件的工件载板19通过传送系统由装载腔室进入，在镀膜腔室内完成镀膜，最后由卸载腔室平移出整个生产线。

但若考虑到通过对镀膜工件施加偏压以提高镀膜质量，前述通过电刷17的旋转引电方式显然无法对平移的镀膜工件进行有效引电；因此，如何对连续式镀膜生产线上平移的镀膜工件加偏压，以提高此种镀膜方式下镀膜工件的镀膜质量，成为亟需解决的技术问题。

实用新型内容

为了达到对连续式镀膜生产线上平移的镀膜工件加偏压，以提高此种镀膜方式下镀膜工件的镀膜质量的目的，本申请提供一种偏压引入机构。

本申请提供的一种偏压引入机构采用如下的技术方案：

一种偏压引入机构，包括用于承托导向轴并供导向轴滑移的引电滑块、用于使电源负极接入引电滑块的电源接入件，以及使引电滑块与大地绝缘的绝缘座。

通过采用上述技术方案，使导向轴在各个腔室之间滑移的同时，在引电滑块上滑动，并使电源正极和真空腔室接地，由于电源负极接电，因此引电滑块处相对于真空腔室具有负电压，引电滑块进而通过与其接触的导向轴将负电压传导至位于工件载板上的镀膜工件上；这样，在不影响镀膜工件平移的同时，实现对连续式镀膜生产线上平移的镀膜工件加偏压，有利于提高此种镀膜方式下镀膜工件的镀膜质量。

可选的，引电滑块的上表面为可供导向轴贴合的导向面。

可选的，绝缘座上固定有基座，基座上滑动连接有导杆，引电滑块固定在导杆上并在导杆的作用下能够沿竖直方向移动，偏压引入机构还包括用于承托引电滑块的弹性件。

通过采用上述技术方案，当导向轴滑移至导向面上后，能够对导向面作用向下的压力并使引电滑块下移，此时弹性件受压形变并对引电滑块作用向上的弹力，导向面进而能够抵紧在导向轴上，通过提高导向轴与引电滑块之间的接触稳定性，以使镀膜工件能够被施加持续稳定的偏压。

可选的，基座内具有贯通的导孔，导杆插入导孔内部并延伸至基座下方，导杆的下端固定有无法进入导孔内的限位部。

通过采用上述技术方案，防止当导向轴从引电滑块上脱离后，由于引电滑块在弹性件的作用下向上移动，而导致导杆从基座内脱出。

可选的，引电滑块设置有两个且两个引电滑块在水平方向上相对设置，两个引电滑块相互靠近的一侧为可供导向轴贴合的导向面，两个导向面之间形成可供导向轴通过的空间。

通过采用上述技术方案，使得落到导向面上的镀膜粉尘能够沿导向面主动下滑，降低了由于导向面表面的大量镀膜粉尘而导致导向面与导向轴之间接触不良的可能性。

可选的，至少一个引电滑块上固定有能够使两个导向面之间间距增大或减小的弹性件，弹性件能够产生在两个引电滑块连线方向上的形变。

通过采用上述技术方案，当导向轴滑移至连个导向面之间后，能够对两个引电滑块作用水平方向上的推力，两个引电滑块之间的距离增大以使导向轴完全进入，弹性件形变后将对引电滑块作用向靠近另一引电滑块的推力，导向面进而能够抵紧在导向轴上，通过提高导向轴与引电滑块之间的接触稳定性，以使镀膜工件能够被施加持续稳定的偏压。

可选的，绝缘座上固定有支撑板，弹性件为固定在支撑板上的弹簧片，弹簧片延伸至支撑板上方。

通过采用上述技术方案，可通过增加弹簧片的个数以调整导向面对导向轴施加的压力大小。

可选的，弹簧片通过螺钉固定在支撑板上，支撑板上旋拧有预紧螺钉，预紧螺钉的端部抵紧在弹簧片上。

通过采用上述技术方案，通过旋拧预紧螺钉以及用于固定弹簧片与支撑板的螺钉，即可微调弹簧片与支撑板之间的距离，即微调两个引电滑块之间的初始距离，进而起到微调导向面对导向轴施加的压力大小的作用。

可选的，绝缘座底部设置有能够固定在真空腔室上的支撑座，绝缘座固定在支撑座上；绝缘座顶部固定有过渡座，引电滑块固定在过渡座上。

通过采用上述技术方案，降低绝缘座产生损坏的可能性。

可选的，过渡座、绝缘座以及支撑座上共同穿设有用于固定三者的固定螺钉，固定螺钉上套设有螺钉绝缘套。

通过采用上述技术方案，使得过渡座与支撑座相互绝缘，防止引电滑块接地。

综上所述，本申请具有以下技术效果：

1.通过设置了引电滑块、电源接入件以及绝缘座，在不影响镀膜工件平移的同时，实现对连续式镀膜生产线上平移的镀膜工件加偏压，有利于提高此种镀膜方式下镀膜工件的镀膜质量；

2.通过设置了基座、导杆以及弹性件，提高了导向轴与引电滑块之间的接触稳定性，进而使镀膜工件能够被施加持续稳定的偏压；

3.通过设置了支撑板和弹簧片，提高了导向轴与引电滑块之间的接触稳定性，进而使镀膜工件能够被施加持续稳定的偏压。

附图说明

图1是相关技术中记载的一种单体旋转式真空镀膜机的立体结构示意图；

图2是相关技术中记载的偏压引入机构的立体结构示意图；

图3是相关技术中记载的一种连续式镀膜生产线的局部主视图；

图4是实施例一中的偏压引入机构的立体结构示意图；

图5是实施例一中的偏压引入机构的半剖结构示意图；

图6是导向轴滑移至实施例一中的偏压引入机构时的结构示意图；

图7是实施例二中的偏压引入机构的立体结构示意图；

图8是导向轴滑移至实施例二中的偏压引入机构时的结构示意图。

图中，1、引电滑块；2、接电螺钉；3、绝缘座；4、导向面；5、支撑组件；51、基座；511、导孔；52、导杆；53、弹簧；54、限位部；55、弹簧片；56、支撑板；57、固定板；58、预紧螺钉；59、紧固螺钉；6、支撑座；7、过渡座；8、固定螺钉；9、螺钉绝缘套；10、地脚螺钉；11、调高螺钉；12、真空腔室；13、工件架；14、驱动轴；15、导电套；16、固定座；17、电刷；18、绝缘杆；19、工件载板；20、导向轴；21、导入面。

具体实施方式

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“水平”、“竖直”、“靠近”、“远离”、“上”、“下”、“内部”等均为基于附图所示的相对关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的工艺或模块必须具有特定的方位、状态和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

以下结合附图对本申请作进一步详细说明。

实施例一：

参照图4至图6，本申请提供了一种偏压引入机构，在一些实施例中，其包括固定在真空腔室12底部的支撑座6，真空腔室12接地，支撑座6上固定有绝缘座3，绝缘座3采用陶瓷、绝缘塑料或橡胶等材料制成，绝缘座3上固定有过渡座7，过渡座7上方设置有用于承托导向轴20的引电滑块1，导向轴20能够在引电滑块1上沿自身轴向滑移，过渡座7上设置有用于固定引电滑块1的支撑组件5；此外，引电滑块1上设置有一个使电源负极接入引电滑块1的电源接入件，电源接入件可以是设置在引电滑块1上的接电螺钉2，通过配套的螺母夹紧电源线缆以实现电源负极的接入，当然电源接入件也可以是设置在引电滑块1上的插座，通过在电源线缆的上接驳与该插座相适配的插头即可实现电源负极的接入；电源正极则接地或与真空腔室12接通。

在另一些实施例中，绝缘座3直接固定在真空腔室12的底部，引电滑块1直接固定在绝缘座3上，或同样在绝缘座3上设置用于固定引电滑块1的支撑组件5；以能够实现绝缘座3固定在真空腔室12底部，且引电滑块1固定在绝缘座3上为准。

在连续式镀膜生产线上的各个真空腔室12内设置一个或多个上述偏压引入机构，以使导向轴20能够在真空腔室12内或相邻真空腔室12之间平滑移动，并使工件载板19能够持续被施加偏压。

由于电源正极接地且电源负极接入引电滑块1，因此引电滑块1相对于真空腔室12具有负电压，引电滑块1进而通过与其接触的导向轴20将负电压传导至位于工件载板19上的镀膜工件上，在不影响镀膜工件平移的同时，实现对连续式镀膜生产线上平移的镀膜工件加偏压，有利于提高此种镀膜方式下镀膜工件的镀膜质量。

在偏压引入机构中引电滑块1设置有一个，引电滑块1的上表面为可供导向轴20贴合的导向面4，导向面4为与导向轴20等径的弧面；支撑组件5包括固定在过渡座7上的基座51，基座51内部穿设有一个或多个竖直设置的导杆52，基座51上开设有可供导杆52穿过的导孔511，导孔511内部设置有滑动衬套以降低导杆52与基座51之间的摩擦，在本实施例中导杆52具有两个并沿水平方向间隔设置；引电滑块1的底部固定有位于基座51上方的滑块座，导杆52的上端固定在滑块座上，滑块座与基座51之间设置有用于为引电滑块1作用持续向上的弹力的弹性件，在本实施例中弹性件采用套设在导杆52上的弹簧53，弹簧53的上端与滑块座下表面相抵接，弹簧53的下端与基座51抵接；当然也可省略设置滑块座，直接使导杆52的上端固定在引电滑块1上，并使弹簧53的上端抵接在引电滑块1的下表面上。

在其它一些实施例中，弹性件还可采用能够在竖直方向产生弹性形变的弹片、橡胶块或硅胶块等，以能够实现对引电弹簧53作用向上的弹力为准。

当导向轴20从导向面4上脱离后，在弹簧53的作用下引电滑块1上移，导杆52也随之上移，为了防止导杆52从导孔511内部脱出，导杆52的底部固定有限位部54，限位部54无法进入导孔511内部以对导杆52在向上移动的过程中起到限位作用；例如，限位部54的横截面形状可以是直径大于导孔511直径的圆形，或最大宽度大于导孔511直径的多边形等，以能够实现限位部54无法进入导孔511内为准。

为了使得导向轴20能够平滑到达引电滑块1上并与导向面4贴合，引电滑块1的两端加工有与导向面4衔接的导入面21，导入面21为锥面且导入面21的直径沿着逐渐靠近导向面4的方向逐渐变小，导入面21靠近导向面4的一端与导向面4等径，这样导向轴20在接触引电滑块1时，导向轴20的端部边缘将对导入面21施加向下的压力，以使引电滑块1克服弹簧53弹力并向下移动，直至导向轴20的周面与导向面4完全贴合。

过渡座7、绝缘座3以及支撑座6上共同穿设有固定螺钉8，以实现三者之间的固定；但此时势必使得过渡座7和支撑座6之间通过固定螺钉8接通，为此固定螺钉8上套设有螺钉绝缘套9以使过渡座7与大地绝缘，进而防止电源断路的情况发生。

进一步地，支撑座6上穿设有旋入真空腔室12底部或地面内的地脚螺钉10，地脚螺钉10的头部抵紧在支撑座6的上表面；支撑座6上还旋拧有调高螺钉11，调高螺钉11的头部抵紧在真空腔室12底部或地面上；当需要调整引电滑块1的高度以使引电滑块1与导向轴20之间的具有良好的接触条件。

实施例二：

参照图7和图8，本实施例与实施例一的区别在于引电滑块1的数量和支撑组件5的不同，本实施例中引电滑块1具有两个引电滑块1在水平方向上相对设置，两个引电滑块1相互靠近的一侧为可供导向轴20贴合的导向面4，导向面4为与导向轴20等径的弧面，两个导向面4之间形成可供导向轴20通过的圆柱形空间，每个引电滑块1的两端同样加工有导入面21，导入面21相对于导入面21的开设方式与实施例一相同，这里不再赘述；这样，使得落到导向面4上的镀膜粉尘能够沿导向面4主动下滑，降低了由于导向面4表面的大量镀膜粉尘、而导致导向面4与导向轴20之间接触不良的可能性。

本实施例中的支撑组件5包括两个能够产生在水平方向上的形变的弹性件，两个引电滑块1分别固定在相应的弹性件上；两个弹性件相互背离的一侧设置有竖直螺接在过渡座7上的支撑板56，弹性件固定在支撑板56上；进一步地，两个支撑板56之间成型有螺接在过渡板上的固定板57，当然支撑板56也可一体成型或焊接在过渡板上，以实现支撑板56与过渡板之间的固定为准。

在一些实施例中，弹性件采用轴线水平设置的弹簧，弹簧的一端固定在支撑板56上，另一端固定在引电滑块1上，弹簧内部穿设有固定在引电滑块1上的杆件，杆件的另一端与支撑板56滑动连接。

在另一些实施例中，弹性件采用竖直设置的弹簧片55，弹簧片55的上端延伸至支撑板56的上方，引电滑块1靠近弹簧片55的上端设置；这样，当导向轴20滑移至连个导向面4之间后，能够对两个引电滑块1作用水平方向上的推力，两个引电滑块1之间的距离增大以使导向轴20完全进入，弹簧片55形变后将对引电滑块1作用向靠近另一引电滑块1的推力，导向面4进而能够抵紧在导向轴20上，通过提高导向轴20与引电滑块1之间的接触稳定性，以使镀膜工件能够被施加持续稳定的偏压。

当需要调整导向面4对导向轴20施加的压力大小时，通过增减每个支撑板56上弹簧片55的叠加数量或更换其它弹性模量的弹簧即可。

进一步地，弹簧片55上穿设有旋拧在支撑板56上的紧固螺钉59，紧固螺钉59的头部抵紧在弹簧片55上，支撑板56上还旋拧有端部抵紧在弹簧片55靠近支撑板56一侧的预紧螺钉58，通过旋拧预紧螺钉58和紧固螺钉59以微调调弹簧片55与支撑板56之间的距离，通过微调两个引电滑块1之间的初始距离以起到微调导向面4对导向轴20施加的压力大小的效果。

本具体实施例仅仅是对本申请的解释，其并不是对本申请的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本申请的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (10)

1.一种偏压引入机构，其特征在于：包括用于承托导向轴(20)并供导向轴(20)滑移的引电滑块(1)、用于使电源负极接入引电滑块(1)的电源接入件，以及使引电滑块(1)与大地绝缘的绝缘座(3)。

2.根据权利要求1所述的偏压引入机构，其特征在于：引电滑块(1)的上表面为可供导向轴(20)贴合的导向面(4)。

3.根据权利要求2所述的偏压引入机构，其特征在于：绝缘座(3)上固定有基座(51)，基座(51)上滑动连接有导杆(52)，引电滑块(1)固定在导杆(52)上并在导杆(52)的作用下能够沿竖直方向移动，偏压引入机构还包括用于承托引电滑块(1)的弹性件。

4.根据权利要求3所述的偏压引入机构，其特征在于：基座(51)内具有贯通的导孔(511)，导杆(52)插入导孔(511)内部并延伸至基座(51)下方，导杆(52)的下端固定有无法进入导孔(511)内的限位部(54)。

5.根据权利要求1所述的偏压引入机构，其特征在于：引电滑块(1)设置有两个且两个引电滑块(1)在水平方向上相对设置，两个引电滑块(1)相互靠近的一侧为可供导向轴(20)贴合的导向面(4)，两个导向面(4)之间形成可供导向轴(20)通过的空间。

6.根据权利要求5所述的偏压引入机构，其特征在于：至少一个引电滑块(1)上固定有能够使两个导向面(4)之间间距增大或减小的弹性件，弹性件能够产生在两个引电滑块(1)连线方向上的形变。

7.根据权利要求6所述的偏压引入机构，其特征在于：绝缘座(3)上固定有支撑板(56)，弹性件为固定在支撑板(56)上的弹簧片(55)，弹簧片(55)延伸至支撑板(56)上方。

8.根据权利要求7所述的偏压引入机构，其特征在于：弹簧片(55)通过螺钉固定在支撑板(56)上，支撑板(56)上旋拧有预紧螺钉(58)，预紧螺钉(58)的端部抵紧在弹簧片(55)上。

9.根据权利要求1所述的偏压引入机构，其特征在于：绝缘座(3)底部设置有能够固定在真空腔室(12)上的支撑座(6)，绝缘座(3)固定在支撑座(6)上；绝缘座(3)上固定有过渡座(7)，引电滑块(1)固定在过渡座(7)上。

10.根据权利要求9所述的偏压引入机构，其特征在于：过渡座(7)、绝缘座(3)以及支撑座(6)上共同穿设有用于固定三者的固定螺钉(8)，固定螺钉(8)上套设有螺钉绝缘套(9)。

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