CN217882239U - 一种真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置，包括本体，所述本体为法兰式凸台套管结构，所述本体顶部凸台内设有用于安装轴承的台阶式沉孔，所述本体设有轴向贯穿的通孔，所述本体底部法兰圆周上设有用于安装圆柱碳刷料、电刷螺钉及电刷弹簧的四个螺纹通孔，所述本体底部法兰上设有用于安装固定的四个通孔。本实用新型的优点是：能持续稳定地带有负电荷；接触面大，噪音小，工作性能稳定；占用空间小，利用率高，使用时间长，电荷输出更稳定，工作更安全可靠；同时操作简单，安装、拆卸方便，不会对真空腔体产生污染，基本解决了设备维护、换料周期过短的问题，极大地降低了生产成本，保证了镀膜质量。
Description
技术领域：
本实用新型涉及一种真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置，属于机械领域。
背景技术：
现有的真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置所采用的电刷结构，基本上都是安装在与转盘底部平面接触的位置上，噪音大、磨损大，电刷也容易损坏，更重要的是由于转盘的位置相对比较高位，电刷上面粉尘杂质会四处飘散，对真空腔体内部造成严重污染，最终落在镀膜工件上，从而极大地影响镀膜质量，同时还会不同程度影响到转盘的平稳运转，导致相关零件不同程度的磨损甚至掉落，造成所有镀膜产品产生不良而报废，严重影响镀膜工作的正常进行，另外，设备需要频繁停机检查及清理清洁，导致设备不能连续长时间地正常运转，严重影响工业生产。
实用新型内容：
本实用新型是为了解决上述不足，提供了一种真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置。
本实用新型的上述目的是通过以下的技术方案来实现：一种真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置，其特征在于：包括本体，所述本体为法兰式凸台套管结构，所述本体顶部凸台内设有用于安装轴承的台阶式沉孔，所述本体设有轴向贯穿的通孔，所述本体底部法兰圆周上设有用于安装圆柱碳刷料、电刷螺钉及电刷弹簧的四个螺纹通孔，所述本体底部法兰上设有用于安装固定的四个通孔。
主轴转盘电刷装置主要负责为转盘输出负电荷，确保完成镀膜工作，即主轴与圆柱碳刷料接触而使主轴和转盘带负电荷状态，与阴极碳靶过滤电弧源输出的带正电荷碳素离子相作用，再施加一定的偏压，使碳原子沉积在工件上，并且牢固地粘贴在工件上，以保证真空腔体内的工件正常镀膜。
本实用新型的设计及工作原理：
主轴转盘电刷装置工作原理是：电刷本体为纯铜制作，其内部的圆柱碳刷料与带有偏压的阴极电极连通，圆柱碳刷料带负电荷，通过与主轴的外圆表面接触从而使转盘带负电荷，安装在转盘上的镀膜工件也就带负电荷，并与阴极碳靶过滤电弧源输出的带正电荷碳素离子相作用，再施加一定的偏压，使碳原子沉积在工件上，并且牢固地粘贴在工件上，以保证真空腔体内的工件正常镀膜。
本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置，能持续稳定地带有负电荷；接触面大，噪音小，工作性能稳定；占用空间小，利用率高，使用时间长，电荷输出更稳定，工作更安全可靠；同时操作简单，安装、拆卸方便，不会对真空腔体产生污染，基本解决了设备维护、换料周期过短的问题，极大地降低了生产成本，保证了镀膜质量，同时，镀膜生产效率提高2~3倍。
附图说明：
图1是本实用新型的的外观示意图。
图2是本实用新型安装在真空镀膜设备的结构示意图。
图3是本实用新型安装在真空镀膜设备的外观示意图。
图4是本实用新型安装在真空镀膜设备中安装主轴转盘后的外观示意图。
具体实施方式：
下面结合附图对本实用新型进一步详述。
如图1、图2所示，一种真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置，包括本体1，所述本体1为法兰式凸台套管结构，所述本体1顶部凸台内设有用于安装轴承6的台阶式沉孔2，所述本体1设有轴向贯穿的通孔3，所述本体1底部法兰圆周上设有用于安装圆柱碳刷料7、电刷螺钉8及电刷弹簧9四个螺纹通孔4，所述本体1底部法兰上设有用于安装固定的四个通孔5。
如图2、图3、图4所示，装配时，先分别将圆柱碳刷料7、电刷弹簧9穿入本体1内，然后用电刷螺钉8穿过圆柱碳刷料7的电缆线旋紧锁死，再将轴承6安装在本体1顶部凸台内，再将装配好的本体1用螺钉固定在大齿轮11上，再将主轴10穿过本体1顶部凸台轴承6的中心孔，最后用键连接方式将转盘12固定在主轴10上，并加上垫圈用螺钉紧固锁死。
本实用新型的设计及工作原理：
主轴转盘电刷装置工作原理是：电刷本体为纯铜制作，其内部的圆柱碳刷料与带有偏压的阴极电极连通，圆柱碳刷料带负电荷，通过与主轴的外圆表面接触从而使转盘带负电荷，安装在转盘上的镀膜工件也就带负电荷，并与阴极碳靶过滤电弧源输出的带正电荷碳素离子相作用，再施加一定的偏压，使碳原子沉积在工件上，并且牢固地粘贴在工件上，以保证真空腔体内的工件正常镀膜。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (1)
1.一种真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置，其特征在于：包括本体，所述本体为法兰式凸 台套管结构，所述本体顶部凸台内设有用于安装轴承的台阶式沉孔，所述本体设有轴向贯穿 的通孔，所述本体底部法兰圆周上设有用于安装圆柱碳刷料、电刷螺钉及电刷弹簧的四个螺 纹通孔，所述本体底部法兰上设有用于安装固定的四个通孔。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221716584.9U CN217882239U (zh) | 2022-07-04 | 2022-07-04 | 一种真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN202221716584.9U CN217882239U (zh) | 2022-07-04 | 2022-07-04 | 一种真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN217882239U true CN217882239U (zh) | 2022-11-22 |
Family
ID=84098743
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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2022
- 2022-07-04 CN CN202221716584.9U patent/CN217882239U/zh active Active
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