CN217881427U - 门体调节机构及晶圆分选设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种门体调节机构及晶圆分选设备。本实用新型的门体调节机构包括：至少一个连接件，所述接件与位于门体上的转动件连接，所述连接件与门体的相对位置能分别沿着第一方向和第二方向进行调整；至少一个限位件，所述限位件用于对所述连接件一和所述连接件二中的至少一个的调节距离进行限定。本实用新型能对门体的移动距离进行小幅调整和控制，给门体位置调节提供方便。

Description

门体调节机构及晶圆分选设备

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种门体调节机构及晶圆分选设备。

背景技术

在工业生产和人们的日常生活中，人们经常需要对门体与其安装环境中的固定部件的相对位置进行调节，以确保门体与固定部件的连接处不会出现太大的缝隙。尤其是在半导体加工装备中，由于晶圆的处理环境需要保证足够的洁净度，而门体的安装位置则极易造成泄露，因而，必须最大程度的减少门体与固定部件的连接处的缝隙。

但是，在对进行门体调节时，需要调整的距离往往都很小，而现有的门体调节机构则无法较为准确的控制门体每次调整的幅度，因而，不得不反复来回调整，给实际应用带来较大不便。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型提供了一种门体调节机构及晶圆分选设备。

本实用新型的门体调节机构用于对门体的设置位置进行调整，所述门体上设置有至少一个转动件，还包括：至少一个连接件，所述接件与所述转动件连接，所述连接件与门体的相对位置能分别沿着第一方向和第二方向进行调整，所述连接件包括连接件一和连接件二；至少一个限位件，所述限位件用于对所述连接件一和所述连接件二中的至少一个的调节距离进行限定。因而，本实用新型通过设置限位件，能对连接件在第一方向和第二方向的移动距离进行小幅度的调整，便于进行门体的微调整，由此，在进行门体调节时，即可较为精确的对移动距离进行控制，不用多次反复的来回调整，便于对门体的位置进行调节。

进一步的，所述连接件一与所述转动件连接，所述连接件一与门体连接，且所述连接件一在所述门体上的设置位置能沿着第一方向调节；所述连接件二与所述转动件连接，所述连接件二能带动所述门体沿着第二方向移动。

更进一步的，所述连接件一包括调节板一，在所述调节板一上设置有沿第一方向设置的至少一个调节孔一，还包括与所述调节板一连接的固定件一，所述固定件一在所述调节孔一中的设置位置能沿着第一方向调整。因而，在将连接件一沿着第一方向移动至合适的位置后，再利用固定件一将调节板一与门体进行固定即可实现对门体在第一方向的设置位置的调整。

更进一步的，所述连接件一还包括与所述调节板一连接的安装板一，所述限位件包括限位件一，所述限位件一与所述安装板一连接，所述限位件一能朝向靠近或远离所述固定件一的方向移动。因而，通过对限位件一与固定件一之间的距离的调节，而实现门体在第一方向的移动空间的调节，当需要移动的距离较小时，只需将限位件一与固定件一之间的相对距离保留的较小，而移动固定件一与调节板一的固定位置，由此实现对门体在第一方向的移动距离的精细调整。

更进一步的，所述连接件一还包括与所述调节板一连接的固定板一，所述固定板一与所述转动件连接，所述连接件一呈阶梯状，所述调节板一所在的阶梯面的高度低于所述固定板一所在的阶梯面，所述转动件与所述固定板一的靠近所述调节板一的一侧表面连接。因而，在转动件一与连接件一连接后，能使得转动件的远离固定板一一侧的表面与调节板一基本处于相同的高度，使得整体的结构紧凑，占用空间小。

更进一步的，所述连接件二包括调节板二，在所述调节板二上设置有沿第二方向设置的至少一个调节孔二，还包括与所述调节板二连接的固定件二，所述固定件二在所述调节孔二中的设置位置能沿着第二方向调整。因而，在将连接件二沿着第二方向移动至合适的位置后，再利用固定件二将调节板二与和门体连接的固定部件进行固定即可实现对门体在第二方向的设置位置的调整。

更进一步的，所述连接件二还包括：固定板二，所述固定板二与所述转动件连接；过渡板，所述过渡板分别与所述固定板二和调节板二连接；至少一个安装板二，所述安装板二与所述调节板二连接，所述固定件二与所述安装板二连接。

更进一步的，所述固定板二与所述调节板二相平行设置，所述安装板二向所述固定板二的方向延伸。因而，固定件二位于由安装板二、过渡板和固定板二形成的腔体内，整体结构更加紧凑。

更进一步的，所述限位件还包括对应于所述连接件二设置的限位件二，所述限位件二与所述安装板二连接，所述限位件二能朝向靠近或远离所述固定件二的方向移动。

本实用新型还提供了一种晶圆分选设备，其包括前述的门体调节机构。

附图说明

图1为本实用新型实施例一的门体调节机构与固定部件连接时的立体结构示意图；

图2为本实用新型实施例一的门体调节机构的立体结构示意图；

图3为本实用新型实施例一的连接件一的立体结构示意图；

图4为本实用新型实施例一的连接件二的立体结构示意图。

图中：

1、门体；2、固定部件；3、转动件；

41、连接件一；411、安装板一；412、调节板一；4121、调节孔一；413、固定板一；

42、连接件二；421、调节板二；4211、调节孔二；422、固定板二；423、过渡板；424、安装板二；

51、限位件一；52、限位件二。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

实施例一：

参见附图1和2所示，本实施例提供了一种门体调节机构，其用于对门体1在固定部件2（如框架，或箱体）的设置位置进行调整。

在所述门体1上设置有至少一个转动件3，以实现门体1相对于固定部件2的转动。在一些实施方式中转动件3为穿设有转轴的合页，很显然，转动部件也可以为其他能实现门体1相对固定部件2转动的结构，如销轴和套管结构。

本实用新型的门体调节机构包括至少一个连接件和至少一个限位件。所述连接件与所述转动件3连接，所述连接件与门体1的相对位置能分别沿着第一方向和第二方向进行调整；所述限位件用于对所述连接件一41和所述连接件二42中的至少一个的调节距离进行限定。因而，通过限位件的作用，能对连接件在第一方向和第二方向的移动距离进行较为准确的控制，通过限位件提供需要的准确的调整距离，由此，在进行门体1调节时，即可较为精确的对移动距离进行控制，不用多次反复的来回调整。

在一些实施方式中，所述连接件包括：连接件一41和连接件二42，所述连接件一41与所述转动件3连接，所述连接件一41与门体1连接，且所述连接件一41在所述门体1上的设置位置能沿着垂直于固定部件2的第一方向调节；所述连接件二42与所述转动件3连接，所述连接件二42能带动所述门体1沿着平行于固定部件2的第二方向移动。

参见附图3所示，所述连接件一41包括依次连接的安装板一411，调节板一412和固定板一413。

在所述调节板一412上设置有沿第一方向设置的至少一个调节孔一4121，还包括与所述调节板一412连接的固定件一，所述固定件一在所述调节孔一4121中的设置位置能沿着第一方向调整。因而，在将连接件一41沿着第一方向移动至合适的位置后，再利用固定件一将调节板一412与门体1进行固定即可实现对门体1在第一方向的设置位置的调整。

所述固定板一413与所述转动件3连接，所述连接件一41呈两级设置的阶梯状，所述调节板一412所在的阶梯面的高度低于所述固定板一413所在的阶梯面，所述转动件3与所述固定板一413的靠近所述调节板一412的一侧表面连接。因而，在转动件3与连接件一41连接后，能使得转动件3的远离固定板一413一侧的表面与调节板一412基本处于相同的高度，使得整体的结构紧凑，占用空间小。

在一些实施方式中，所述限位件包括限位件一51，所述限位件一51与所述安装板一411连接，所述限位件一51能朝向靠近或远离所述固定件一的方向移动。因而，通过对限位件一51与固定件一之间的距离的调节，而实现门体1在第一方向的移动空间的调节，当需要移动的距离较小时，只需将限位件一51与固定件一之间的相对距离保留的较小，而移动固定件一与调节板一412的固定位置，由此实现对门体1在第一方向的移动距离的精细调整。

在一些实施方式中，限位件一51可以为调节螺栓或调节柱，或带有刻度的调节杆等部件，以在需要对门体1在第一方向的远离固定部件2的一侧进行移动时为例进行说明，初始时，将限位件一51的末端与固定件一相抵接，在需要调节时，首先将限位件一51向远离固定部件2的一侧转动或拉出，因而限位件一51与固定件一之间即可留出调节空间，此时，松开固定件一，将门体1向靠近安装板一411的一侧进行移动后，将固定件一再次与门体1固定好即可。也可在初始时，不将限位件一51与固定件一进行抵接，让二者间存在一定的调节间隙，通过对调节间隙的宽窄度进行测量和控制而实现对连接件一41与门体1的相对位置的较为准确的调整。

在一些实施方式中，在调节板一412上设置的调节孔一4121为两个，并且为上下设置，相对应的，每个调节孔一4121分别设置有一个固定件一。

参见附图4所示，在一些实施方式中，所述连接件二42包括调节板二421，固定板二422，过渡板423和至少一个安装板二424。在所述调节板二421上设置有沿第二方向设置的至少一个调节孔二4211，还包括与所述调节板二421连接的固定件二，所述固定件二在所述调节孔二4211中的设置位置能沿着第二方向调整。因而，在将连接件二42沿着第二方向移动至合适的位置后，再利用固定件二将调节板二421与和门体1连接的固定部件2进行固定即可实现对门体1在第二方向的设置位置的调整。

本实用新型的所述固定板二422与所述转动件3连接，过渡板423分别与所述固定板二和调节板二421连，所述安装板二424与所述调节板二421连接，所述固定件二与所述安装板二424连接。所述固定板二422与所述调节板二421相平行设置，所述安装板二424向所述固定板二422的方向延伸。因而，固定件二位于由安装板二424、过渡板423和固定板二422形成的腔体内，整体结构更加紧凑。

在一些实施方式中，所述限位件还包括对应于所述连接件二42设置的限位件二52，所述限位件二52与所述安装板二424连接，所述限位件二52能朝向靠近或远离所述固定件二的方向移动。

在一些实施方式中，安装板二424的数量为两个，分别靠近调节板二421的上端和下端设置。并分别相对应两个安装板二424设置有一个限位件二52。限位件二52用于在第二方向对门体1进行移动。限位件二52可采用与限位件一51同样的部件。通过转动或拉动限位件二52使其靠近或远离固定件二，由此，实现对门体1在第二方向的移动距离的准确而小幅的控制。

在一些实施方式中，第一方向为沿着水平方向设置，第二方向为沿着与水平面垂直的方向设置。也可以将第一方向设置为与水平方向倾斜一定角度，只需确保其具有水平方向的分量即可；并将第二方向设置为与垂直于水平方向倾斜一定角度，只需确保其具有垂直于水平方向的分量即可。

实施例二：

本实施例为一种晶圆分选设备，其包括实施例一的门体调节机构。

以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种门体调节机构，用于对门体的设置位置进行调整，所述门体上设置

有至少一个转动件，其特征在于，还包括：

至少一个连接件，所述连接件与所述转动件连接，所述连接件与门体的相对位置能分别沿着第一方向和第二方向进行调整，所述连接件包括连接件一和连接件二；

至少一个限位件，所述限位件用于对所述连接件一和所述连接件二中的至少一个的调节距离进行限定。

2.根据权利要求1所述的门体调节机构，其特征在于，所述连接件一与所述

转动件连接，所述连接件一与门体连接，且所述连接件一在所述门体上的设置位置能沿着第一方向调节；

所述连接件二与所述转动件连接，所述连接件二能带动所述门体沿着第二方向移动。

3.根据权利要求2所述的门体调节机构，其特征在于，所述连接件一包括调节板一，在所述调节板一上设置有沿第一方向设置的至少一个调节孔一，还包括与所述调节板一连接的固定件一，所述固定件一在所述调节孔一中的设置位置能沿着第一方向调整。

4.根据权利要求3所述的门体调节机构，其特征在于，所述连接件一还包括与所述调节板一连接的安装板一，所述限位件包括限位件一，所述限位件一与所述安装板一连接，所述限位件一能朝向靠近或远离所述固定件一的方向移动。

5.根据权利要求4所述的门体调节机构，其特征在于，所述连接件一还包括与所述调节板一连接的固定板一，所述固定板一与所述转动件连接，所述连接件一呈阶梯状，所述调节板一所在的阶梯面的高度低于所述固定板一所在的阶梯面，所述转动件与所述固定板一的靠近所述调节板一的一侧表面连接。

6.根据权利要求5所述的门体调节机构，其特征在于，所述连接件二包括调节板二，在所述调节板二上设置有沿第二方向设置的至少一个调节孔二，还包括与所述调节板二连接的固定件二，所述固定件二在所述调节孔二中的设置位置能沿着第二方向调整。

7.根据权利要求6所述的门体调节机构，其特征在于，所述连接件二还包括：

固定板二，所述固定板二与所述转动件连接；

过渡板，所述过渡板分别与所述固定板二和调节板二连接；

至少一个安装板二，所述安装板二与所述调节板二连接，所述固定件二与所述安装板二连接。

8.根据权利要求7所述的门体调节机构，其特征在于，所述固定板二与所述调节板二相平行设置，所述安装板二向所述固定板二的方向延伸。

9.根据权利要求7所述的门体调节机构，其特征在于，所述限位件还包括对应于所述连接件二设置的限位件二，所述限位件二与所述安装板二连接，所述限位件二能朝向靠近或远离所述固定件二的方向移动。

10.一种晶圆分选设备，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的门体调节机构。

Images