CN217860726U - 一种减薄机的气浮主轴 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于气浮主轴设备领域，尤其是一种减薄机的气浮主轴，针对现有的气浮主轴在工作时，会产生热量致使气浮主轴由于热变形而处于不稳定状态，导致容易老化的问题，现提出如下方案，其包括固定在减薄机上的底座，所述底座的顶部四角均设有螺栓孔，所述底座的顶部两侧均固定连接有加固板，包括设置在底座上的机壳，所述机壳内设有用于气浮主轴运转的主轴本体和飞轮，所述主轴本体内设有芯轴，所述主轴本体上设有用于降温的降温机构；还包括设置在底座顶部用于固定机壳的固定机构，所述机壳的一侧分别设有进气管和排水管，所述机壳的一端设有进水管，通过降温机构对主轴本体进行降温，延长使用寿命。

Description

一种减薄机的气浮主轴

技术领域

本实用新型涉及气浮主轴设备技术领域，尤其涉及一种减薄机的气浮主轴。

背景技术

减薄机主要用于衬底硅片制备阶段表面加工，以及集成电路封装前对晶圆背面多余的基体材料进行去除。随着IC制造技术的飞速发展，硅片大直径化、超薄化的发展趋势对硅片磨削的加工效率和加工质量提出了更高的要求。气浮主轴是减薄机实现超精密磨削的关键部件，其性能直接影响着磨削。

公告号CN207086924U公开了一种气浮主轴包括主轴机体、上挡盖和内部芯轴，所述主轴机体顶端设有缓冲胶条和上挡盖，且缓冲胶条位于主轴机体和上挡盖之间，所述上挡盖一侧设有内部芯轴，所述内部芯轴一侧设有内置飞盘，所述内置飞盘一侧设有内部通气孔。该技术方案中气浮主轴在工作时，会产生热量致使气浮主轴由于热变形而处于不稳定状态，导致容易老化，所以我们提出一种减薄机的气浮主轴，用于解决上述的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在气浮主轴在工作时，会产生热量致使气浮主轴由于热变形而处于不稳定状态，导致容易老化缺点，而提出的一种减薄机的气浮主轴。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种减薄机的气浮主轴，包括固定在减薄机上的底座，所述底座的顶部四角均设有螺栓孔，所述底座的顶部两侧均固定连接有加固板，

包括设置在底座上的机壳，所述机壳内设有用于气浮主轴运转的主轴本体和飞轮，所述主轴本体内设有芯轴，所述主轴本体上设有用于降温的降温机构；

还包括设置在底座顶部用于固定机壳的固定机构，所述机壳的一侧分别设有进气管和排水管，所述机壳的一端设有进水管，通过降温机构对主轴本体进行降温，延长使用寿命，通过固定机构便于拆卸更换。

优选的，降温机构包括有用于主轴本体降温的降温管，所述主轴本体内设有空腔，所述降温管的一侧与空腔的一侧固定连接，所述降温管的一端与进水管的一端固定连接，所述降温管的另一端与排水管的一端固定连接，冷水从进水管流至降温管内，随后从排水管流出，从而对主轴本体内进行降温，防止温度过高。

优选的，所述固定机构包括有固定板、螺杆、挡板和滑板，所述固定板的底部与底座的顶部固定连接，所述螺杆的一端与滑板的一侧转动连接，所述螺杆与固定板螺纹连接，所述滑板的底部与底座的顶部滑动连接，所述螺杆的另一端固定连接有便于螺杆转动的转动把手，用手转动把手，转动把手的转动带动了螺杆的转动，使螺杆的一端带动滑板进行横向移动，使滑板的一侧离开对机壳的固定，随后换上新的气浮主轴，气浮主轴的机壳先紧贴挡板的一侧，机壳的两侧贴合两个加固板，随后转动转动把手使滑板的一侧紧贴机壳的一端即可，从而便于拆卸更换。

优选的，所述主轴本体上开设有多个圆孔，使进气更加的均匀。

优选的，所述机壳的内壁分别开设有用于空气流通的第一外部通气口和多个第一内部通气口，所述飞轮的内壁开设有第二外部通气口，高压气体通过外部通气口、多个第一内部通气口和第二外部通气口使芯轴进行转动。

优选的，所述底座的顶部开设有两个长型凹槽，两个长型凹槽的底部内壁均滑动连接有滑块，两个滑块顶部均与滑板固定连接，通过长型凹槽和滑块使滑板在移动时减小摩擦力，移动的更加顺畅。

有益效果：由于设置了降温管，冷水从进水管流至降温管内，随后从排水管流出，从而对主轴本体内进行降温，防止温度过高；

由于设置了螺杆、固定板和滑板，转动把手的转动带动了螺杆的转动，使滑板进行横向移动，使滑板的一侧离开对机壳的固定，随后换上新的气浮主轴，气浮主轴的机壳先紧贴挡板的一侧，机壳的两侧贴合两个加固板，随后转动转动把手使滑板的一侧紧贴机壳的一端即可，从而便于拆卸更换。

本实用新型结构合理，通过降温机构对主轴本体进行降温，延长使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种减薄机的气浮主轴的前视示意图；

图2为本实用新型提出的一种减薄机的气浮主轴的侧视示意图；

图3为本实用新型提出的一种减薄机的气浮主轴的剖视示意图；

图4为本实用新型提出的一种减薄机的气浮主轴的降温管示意图。

图中：1、底座；2、芯轴；3、机壳；4、固定板；5、进气管；6、排水管；7、长型凹槽；8、进水管；9、第一外部通气口；10、第一内部通气口；11、圆孔；12、主轴本体；13、第二外部通气口；14、降温管；15、飞轮；16、挡板；17、加固板；18、滑板；19、滑块；20、螺杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例一

参照图1-4，一种减薄机的气浮主轴，包括固定在减薄机上的底座1，底座1的顶部四角均设有螺栓孔，底座1的顶部两侧均固定连接有加固板17，包括设置在底座1上的机壳3，机壳3内设有用于气浮主轴运转的主轴本体12和飞轮15，主轴本体12内设有芯轴2，主轴本体12上设有用于降温的降温机构；还包括设置在底座1顶部用于固定机壳3的固定机构，机壳3的一侧分别设有进气管5和排水管6，机壳3的一端设有进水管8，通过降温机构对主轴本体12进行降温，延长使用寿命，通过固定机构便于拆卸更换。

实施例二

在实施例一的基础上改进：一种减薄机的气浮主轴，包括固定在减薄机上的底座1，底座1的顶部四角均设有螺栓孔，底座1的顶部两侧均固定连接有加固板17，

包括设置在底座1上的机壳3，机壳3的内壁分别开设有用于空气流通的第一外部通气口9和多个第一内部通气口10，飞轮15的内壁开设有第二外部通气口13，高压气体通过第一外部通气口9、多个第一内部通气口10和第二外部通气口13使芯轴2进行转动，机壳3内设有用于气浮主轴运转的主轴本体12和飞轮15，主轴本体12内设有芯轴2，主轴本体12上开设有多个圆孔11，使进气更加的均匀，主轴本体12上设有用于降温的降温机构；降温机构包括有用于主轴本体12降温的降温管14，主轴本体12内设有空腔，降温管14的一侧与空腔的一侧固定连接，降温管14的一端与进水管8的一端固定连接，降温管14的另一端与排水管6的一端固定连接，冷水从进水管8流至降温管14内，随后从排水管6流出，从而对主轴本体12内进行降温，防止温度过高。

还包括设置在底座1顶部用于固定机壳3的固定机构，固定机构包括有固定板4、螺杆20、挡板16和滑板18，固定板4的底部与底座1的顶部固定连接，螺杆20的一端与滑板18的一侧转动连接，螺杆20与固定板4螺纹连接，滑板18的底部与底座1的顶部滑动连接，底座1的顶部开设有两个长型凹槽7，两个长型凹槽7的底部内壁均滑动连接有滑块19，两个滑块19顶部均与滑板18固定连接，通过长型凹槽7和滑块19使滑板18在移动时减小摩擦力，移动的更加顺畅，螺杆20的另一端固定连接有便于螺杆20转动的转动把手，用手转动把手，转动把手的转动带动了螺杆20的转动，使螺杆20的一端带动滑板18进行横向移动，使滑板18的一侧离开对机壳3的固定，随后换上新的气浮主轴，气浮主轴的机壳3先紧贴挡板16的一侧，机壳3的两侧贴合两个加固板17，随后转动转动把手使滑板18的一侧紧贴机壳3的一端即可，从而便于拆卸更换，机壳3的一侧分别设有进气管5和排水管6，机壳3的一端设有进水管8。

本实用新型工作原理：在需要使用之前，先把气体连接管连接到进气管5上，冷水管连接至进水管8上，然后开始使用，高压气体通过进气管5进入第一外部通气口9里面，第一外部通气口9内的气体通过多个第一内部通气口10进入主轴本体12里面，随后气体会输送至第二外部通气口13，从而使芯轴2进行转动，由于在主轴本体12开设了多个圆孔11，使进气更加的均匀，在转动过程中，由于设置了降温管14，冷水从进水管8流至降温管14内，随后从排水管6流出，从而对主轴本体12内进行降温，防止温度过高，在当气浮主轴损坏了需要更换时，用手转动把手，转动把手的转动带动了螺杆20的转动，使螺杆20的一端带动滑板18进行横向移动，使滑板18的一侧离开对机壳3的固定，随后换上新的气浮主轴，气浮主轴的机壳3先紧贴挡板16的一侧，机壳3的两侧贴合两个加固板17，随后转动转动把手使滑板18的一侧紧贴机壳3的一端即可，从而便于拆卸更换。主轴本体12与授权公告号为CN207086924 U的气浮主轴工作原理相同。

以上，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种减薄机的气浮主轴，包括固定在减薄机上的底座(1)，所述底座(1)的顶部四角均设有螺栓孔，所述底座(1)的顶部两侧均固定连接有加固板(17)，其特征在于：

包括设置在底座(1)上的机壳(3)，所述机壳(3)内设有用于气浮主轴运转的主轴本体(12)和飞轮(15)，所述主轴本体(12)内设有芯轴(2)，所述主轴本体(12)上设有用于降温的降温机构；

还包括设置在底座(1)顶部用于固定机壳(3)的固定机构，所述机壳(3)的一侧分别设有进气管(5)和排水管(6)，所述机壳(3)的一端设有进水管(8)。

2.根据权利要求1所述的一种减薄机的气浮主轴，其特征在于：所述降温机构包括有用于主轴本体(12)降温的降温管(14)，所述主轴本体(12)内设有空腔，所述降温管(14)的一侧与空腔的一侧固定连接，所述降温管(14)的一端与进水管(8)的一端固定连接，所述降温管(14)的另一端与排水管(6)的一端固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种减薄机的气浮主轴，其特征在于：所述固定机构包括有固定板(4)、螺杆(20)、挡板(16)和滑板(18)，所述固定板(4)的底部与底座(1)的顶部固定连接，所述螺杆(20)的一端与滑板(18)的一侧转动连接，所述螺杆(20)与固定板(4)螺纹连接，所述滑板(18)的底部与底座(1)的顶部滑动连接，所述螺杆(20)的另一端固定连接有便于螺杆(20)转动的转动把手。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种减薄机的气浮主轴，其特征在于：所述主轴本体(12)上开设有多个圆孔(11)。

5.根据权利要求1所述的一种减薄机的气浮主轴，其特征在于：所述机壳(3)的内壁分别开设有用于空气流通的第一外部通气口(9)和多个第一内部通气口(10)，所述飞轮(15)的内壁开设有第二外部通气口(13)。

6.根据权利要求1所述的一种减薄机的气浮主轴，其特征在于：所述底座(1)的顶部开设有两个长型凹槽(7)，两个长型凹槽(7)的底部内壁均滑动连接有滑块(19)，两个滑块(19)顶部均与滑板(18)固定连接。

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