CN217839193U - 大面积电热网格的旋转电解刻蚀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及大面积电热网格的旋转电解刻蚀装置，包括机架，内部安装支撑架，支撑架上布设轴向相互平行的送膜辊组、收膜辊组和成对设置的支撑辊、阴极刻蚀辊；阴极刻蚀辊外圆周面和其中一个送膜辊外圆周面均设置为金属圆周面，阴极刻蚀辊金属圆周面电性连接电源负极，送膜辊金属圆周面电性连接电源正极；阴极刻蚀辊金属圆周面上贴覆绝缘的薄膜，薄膜上开设镂空结构；由喷嘴组件向着支撑辊和阴极刻蚀辊的间隔间填充电解液；在电解液和电压作用下，镂空结构处的阴极刻蚀辊作为阴极与金属箔片发生电解，将其刻蚀成电热网格；整体结构简单，刻蚀操作方便，生产效率高，尤其适用于大面积电热网格薄膜的制作，并且对环境的负面影响小。

Description

大面积电热网格的旋转电解刻蚀装置

技术领域

本实用新型涉及电解加工技术领域，尤其是一种大面积电热网格的旋转电解刻蚀装置。

背景技术

柔性电热薄膜是一种超薄、可弯曲、电热转换效率高、升温快的加热元件。柔性电热薄膜一般由金属电热线路和贴覆在其外侧的绝缘薄膜组成，被广泛应用于航空航天、医疗器械、新能源、半导体产业等领域的加热需求。这其中，将柔性电热薄膜贴覆在飞行器、风电叶片等的迎风表面，可以起到电热防除冰的作用。在此类应用中，柔性电热薄膜的金属电热线路往往设计成电热网格形式，即电热网格薄膜，其优点是加热面积大、局部损坏不影响整体加热功能。

柔性电热网格薄膜生产中，最关键的环节是超薄金属电热网格的制备。此类金属电热网格往往采用厚度在数十微米至百余微米的超薄合金箔片通过减材制造方式获得。

现有技术中，这种电热网格制备工艺主要有三类。

其一，采用化学刻蚀方法，先将金属箔片(镍合金或不锈钢薄膜)贴覆在绝缘薄膜上，再在金属箔片上贴覆感光膜，然后对感光膜进行曝光，显出需要蚀刻去除的金属部分，再然后将此薄膜整体放入腐蚀机中进行化学腐蚀，腐蚀结束后取出硅胶薄膜并脱去感光膜，获得金属电热网格薄膜。这种工艺方法的缺陷在于：采用的腐蚀液体为酸性化学溶液，环保性差，且所生产的电热网格薄膜尺寸受到腐蚀机大小的限制。

其二，采用铣削加工方法制作电热网格箔片，这种方法适于加工多孔状电热箔片，电热网格图形无法进行复杂设计、网格电热线路宽度无法实现精细化，不利于电热网格的均匀加热。

其三，采用编织方法制备电热网格，利用现有金属电热丝作为原材料，电热线路宽度受到电热丝尺寸限制，且网格交点处的厚度至少是丝材直径的2倍，会造成电热网格薄膜厚度较大，与此同时需要确保网格交点处的两股电热丝的粘结具有一定的稳固性。

实用新型内容

本申请人针对上述现有生产技术中在制作金属电热网格时采用的酸性化学溶液环保性差、对环境有较大的负面影响，生产的电热网格薄膜尺寸受到腐蚀机大小的限制以及网格无法进行复杂设计而导致的生产效率低下、网格精度不高的缺点，提供一种结构合理的大面积电热网格的旋转电解刻蚀装置，从而能够可靠适用于大面积电热网格薄膜的制作，操作简单方便，生产效率高，生产成本低，并且对环境的负面影响小。

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种大面积电热网格的旋转电解刻蚀装置，包括机架，所述机架内部安装有支撑架，支撑架上布设有轴向相互平行的三组辊组，分别为送膜辊组、收膜辊组和成对设置的支撑辊、阴极刻蚀辊；所述阴极刻蚀辊的外圆周面，和送膜辊组中其中一个送膜辊的外圆周面均设置为金属圆周面，阴极刻蚀辊的金属圆周面电性连接电源的负极，送膜辊的金属圆周面电性连接电源的正极；所述阴极刻蚀辊的金属圆周面上贴覆有绝缘的薄膜，薄膜上开设有镂空结构；还包括喷嘴组件，由喷嘴组件向着支撑辊和阴极刻蚀辊的间隔间填充电解液。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述支撑辊和阴极刻蚀辊呈水平间隔布设，位于该水平间隔上方的机架上安装有喷嘴组件，位于该水平间隔下方的机架上设置有回收箱；所述回收箱和喷嘴组件均沿着水平间隔的长度方向布设。

所述回收箱和喷嘴组件之间连通管路，管路上串联设置过滤器和泵，构成电解液的输送回路。

所述支撑架包括有间隔布设的两组立柱，其中一组立柱之间从上至下依次转动布设有送膜辊组和收膜辊组，该组立柱的侧面与另一组立柱顶面之间共同安装有横架，横架上转动安装有水平设置的支撑辊和阴极刻蚀辊。

所述送膜辊组中的其中一个送膜辊、收膜辊组中的其中一个收膜辊，以及阴极刻蚀辊的轴向均衔接有转动动力机构带动转动。

所述送膜辊组中的其中一个送膜辊两端、收膜辊组中的其中一个收膜辊两端均安装有压力调节机构，由压力调节机构调整辊组之间的相对间隔距离；所述支撑辊两端安装有同样的压力调节机构，通过压力调节机构调整支撑辊相对于阴极刻蚀辊的间隔距离。

所述阴极刻蚀辊通过快拆装结构安装于横架上；所述阴极刻蚀辊的金属圆周面上贴覆薄膜，采用低功率密度的激光束对该薄膜进行雕刻，形成预设的镂空结构。

所述快拆装结构的具体结构为：包括从阴极刻蚀辊两端端部的中心向外延伸构成的凸块，安装于横架上沿着阴极刻蚀辊轴向对称布设的衔接轴，两个衔接轴相对的端面上开设有供凸块插装相配的凹槽，从上至下径向贯穿衔接轴和凸块锁装有紧固件。

所述阴极刻蚀辊和电性连接电源正极的送膜辊均由绝缘的环氧树脂制作形成辊本体，辊本体的圆周壁面上固套金属滚筒构成金属圆周面；所述辊本体端部的辊轴上安装有导电滑环，导电滑环经电刷与金属圆周面电性连接。

由金属箔片贴覆绝缘薄膜构成电热薄膜，电热薄膜依次穿设于送膜辊组、支撑辊与阴极刻蚀辊之间和收膜辊组中，金属箔片朝向阴极刻蚀辊和电性连接电源正极的送膜辊。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型结构紧凑、合理，操作方便，在电解液和电压作用下，镂空结构处的阴极刻蚀辊作为阴极与金属箔片发生电解，将其刻蚀成电热网格；整体结构简单，刻蚀操作方便，生产效率高，尤其适用于大面积电热网格薄膜的制作，并且对环境的负面影响小；

本实用新型还包括如下优点：

贴覆有绝缘薄膜的金属箔片由送膜辊组、支撑辊和收膜辊组支撑并持续传动，配合阴极刻蚀辊的持续转动，从而在金属箔片上进行持续刻蚀，有效助力于大面积电热网格薄膜的制作，生产方便快速持续；

回收箱和喷嘴组件之间构成电解液的输送回路，实现了电解液的重复回收利用，并且可以采用中性盐溶液的电解液结合电解方法来刻蚀获得金属电热网格，与传统的酸性溶液化学腐蚀工艺相比环保性更好，且无需对每一张待刻蚀薄膜进行贴覆感光胶、曝光、显影等繁琐操作，既适于单件或小批量生产，也适用于大批量生产。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型支撑架上辊组的安装示意图。

图3为图2中A处的局部放大图。

图4为本实用新型电热薄膜在辊组中的传送示意图。

图5为本实用新型旋转电解刻蚀的原理结构图。

图6为本实用新型刻蚀前电热薄膜的结构示意图。

图7为本实用新型刻蚀后电热网格薄膜的结构示意图。

其中：1、电源电控组件；2、送膜辊组；3、电热薄膜；4、支撑辊；5、收膜辊组；6、回收箱；7、喷嘴组件；8、阴极刻蚀辊；9、支撑架；10、机架；

11、转轴；12、气缸；13、衔接座；

21、送膜辊一；22、送膜辊二；

31、金属箔片；32、绝缘薄膜；33、辅助导线；34、导线；35、电热网格；

51、收膜辊一；52、收膜辊二；

71、泵；72、过滤器；

81、镂空结构；82、紧固件；83、凸块；84、凹槽；85、衔接轴；86、导电滑环；87、电刷；

91、立柱；92、横架。

具体实施方式

下面结合附图，说明本实用新型的具体实施方式。

如图1和图5所示，本实施例的大面积电热网格的旋转电解刻蚀装置，包括机架10，机架10内部安装有支撑架9，支撑架9上布设有轴向相互平行的三组辊组，分别为送膜辊组2、收膜辊组5和成对设置的支撑辊4、阴极刻蚀辊8；阴极刻蚀辊8的外圆周面，和送膜辊组2中其中一个送膜辊的外圆周面均设置为金属圆周面，阴极刻蚀辊8的金属圆周面电性连接电源的负极，送膜辊的金属圆周面电性连接电源的正极；阴极刻蚀辊8的金属圆周面上贴覆有绝缘的薄膜，薄膜上开设有镂空结构81；还包括喷嘴组件7，由喷嘴组件7向着支撑辊4和阴极刻蚀辊8的间隔间填充电解液。

本实施例中，电解液和电压作用下，镂空结构81处的阴极刻蚀辊8作为阴极与金属箔片31发生电解，将其刻蚀成电热网格35。

本实施例中，贴覆有绝缘薄膜32的金属箔片31由送膜辊组2、支撑辊4和收膜辊组5支撑并持续传动，配合阴极刻蚀辊8的持续转动，从而在金属箔片31上进行持续刻蚀，有效助力于大面积电热网格薄膜的制作，生产方便快速持续。

支撑辊4和阴极刻蚀辊8呈水平间隔布设，从而在相互之间构成上下贯通的间隔距离，便于从上至下流动的电解液的填充；位于该水平间隔上方的机架10上安装有喷嘴组件7，位于该水平间隔下方的机架10上设置有回收箱6；回收箱6和喷嘴组件7均沿着水平间隔的长度方向布设。

回收箱6和喷嘴组件7之间连通管路，管路上串联设置过滤器72和泵71，构成电解液的输送回路。

回收箱6和喷嘴组件7之间构成电解液的输送回路，实现了电解液的重复回收利用，并且可以采用中性盐溶液的电解液结合电解方法来刻蚀获得金属电热网格，与传统的酸性溶液化学腐蚀工艺相比环保性更好，且无需对每一张待刻蚀薄膜进行贴覆感光胶、曝光、显影等繁琐操作，既适于单件或小批量生产，也适用于大批量生产。

如图2所示，支撑架9包括有间隔布设的两组立柱91，其中一组立柱91之间从上至下依次转动布设有送膜辊组2和收膜辊组5，该组立柱91的侧面与另一组立柱91顶面之间共同安装有横架92，横架92上转动安装有水平设置的支撑辊4和阴极刻蚀辊8。

作为本实用新型的一个实施例，送膜辊组2包括有上下平行设置的送膜辊一21、送膜辊二22，收膜辊组5包括有上下平行设置的收膜辊一51、收膜辊二52，其上下布置并共同转动支承安装于支撑架9的一个立柱91上；支撑辊4平行布设于该立柱91侧面外部的横架92上，在高度上支撑辊4可以位于送膜辊组2和收膜辊组5之间；

使用时，电热薄膜3从送膜辊一21、送膜辊二22的圆周间隔之间穿过，绕经支撑辊4的圆周外壁面后，电热薄膜3从收膜辊一51、收膜辊二52的圆周间隔之间穿出，实现外部输送机构对电热薄膜3传送过程中的支承。

送膜辊组2中的其中一个送膜辊、收膜辊组5中的其中一个收膜辊，以及阴极刻蚀辊8的轴向均衔接有转动动力机构带动转动；比如送膜辊二22、收膜辊一51轴向端部分别衔接电机，通过对滚旋转实现电热薄膜3的传动。

送膜辊组2中的其中一个送膜辊两端、收膜辊组5中的其中一个收膜辊两端均安装有压力调节机构，由压力调节机构调整辊组之间的相对间隔距离，比如送膜辊一21和收膜辊二52，在其端部安装有压力调节机构，从而来调节相对的间隔距离；支撑辊4两端安装有同样的压力调节机构，通过压力调节机构调整支撑辊4相对于阴极刻蚀辊8的间隔距离。

如图3所示，将相应辊轴向中心的轴统称为转轴11，其通过转轴11实现转动安装；压力调节机构的具体结构为：包括气缸12，气缸12输出端沿着转轴11径向，气缸12输出端安装有衔接座13，转轴11贯穿套装于衔接座13内，从而通过气缸12的动作，来实现转轴11的移动调节，从而调整辊与辊之间的距离。

具体为：送膜辊一21和收膜辊二52的压力调节机构中，气缸12的输出端呈竖直布置，用于调整送膜辊组2、收膜辊组5中的辊间间距；支撑辊4的压力调节机构中，气缸12的输出端呈水平布置，用于调节支撑辊4与阴极刻蚀辊8之间的间隔距离。

可以在支撑架9上相应位置开设容纳气缸12、并供衔接座13上下或水平移动的容纳槽，从而在气缸12动作时，由容纳槽为衔接座13提供上下或水平移动的导向，使得转轴11随之在上下或左右方向上移动，实现间隔的稳定、可靠调整。

阴极刻蚀辊8通过快拆装结构安装于横架92上；阴极刻蚀辊8的金属圆周面上贴覆薄膜，采用低功率密度的激光束对该薄膜进行雕刻，形成预设的镂空结构81。

贴覆于阴极刻蚀辊8上的薄膜由低功率密度的激光束，结合自动化的方式来成型镂空结构81，其可以根据实际需求成型简单或复杂的镂空结构81，不仅成型速度快，而且成型效果稳定，成型灵活性高，有效助力于不同电热网格薄膜的可靠制取。

阴极刻蚀辊8设置为快拆型的安装结构，便于快速拆下来安装薄膜，并对薄膜进行雕刻，而后再快速安装；便利于日常的操作使用，可靠，方便。

快拆装结构的具体结构为：包括从阴极刻蚀辊8两端端部的中心向外延伸构成的凸块83，安装于横架92上沿着阴极刻蚀辊8轴向对称布设的衔接轴85，两个衔接轴85相对的端面上开设有供凸块83插装相配的凹槽84，从上至下径向贯穿衔接轴85和凸块83锁装有紧固件82，从而实现阴极刻蚀辊8与衔接轴85的快速安装，便于拆卸；其中一个衔接轴85端部衔接有旋转动力机构，从而由衔接轴85的转动带动阴极刻蚀辊8的转动。

阴极刻蚀辊8和电性连接电源正极的送膜辊均由绝缘的环氧树脂制作形成辊本体，辊本体的圆周壁面上固套金属滚筒构成金属圆周面；辊本体端部的辊轴上安装有导电滑环86，导电滑环86经电刷87与金属圆周面电性连接。

如图4和图6所示，由金属箔片31贴覆绝缘薄膜32构成电热薄膜3，电热薄膜3依次穿设于送膜辊组2、支撑辊4与阴极刻蚀辊8之间和收膜辊组5中，金属箔片31朝向阴极刻蚀辊8和电性连接电源正极的送膜辊。

本实施例中，可以事先通过自动覆膜机在金属箔片31上贴覆绝缘薄膜32，形成单侧覆膜的电热薄膜3；金属箔片31的厚度为0.03mm～0.08mm，绝缘薄膜32的厚度为0.08mm～0.2mm。

本实施例中送膜辊一21的圆周表面设置为金属圆周面，其电性连接外部电源的正极，在使用过程中，送膜辊一21贴合接触金属箔片31，金属箔片31经相贴合的送膜辊一21圆周表面电性连接正极。

金属箔片31传送方向的两端可以均缩进于绝缘薄膜32，位于传送尾端处的金属箔片31连接有辅助导线33，如图6所示；在电解刻蚀后期，金属箔片31传送越过送膜辊一21之后，金属箔片31经与送膜辊一21贴合接触的辅助导线33电性连接正极。辅助导线33为无表皮的裸露导线，便于与送膜辊一21的可靠接触以及电性的稳定传递。

在实际使用过程中，将电热薄膜3穿设于阴极刻蚀辊8和支撑辊4之间时，将金属箔片31的传动前端越过阴极刻蚀辊8，即在端部留有预设距离的刻蚀空白；在电解刻蚀收尾时，在金属箔片31的传动尾端亦留有预设距离的刻蚀空白；两端的刻蚀空白构成引电带；在刻蚀结束后，将辅助导线33拆除，裁减掉多余的绝缘薄膜32，在金属箔片31首尾两端的引电带上分别连接导线34，并在金属箔片31裸露的侧面贴覆另一层绝缘薄膜32，形成电热网格薄膜，如图7所示；导线34带有绝缘外皮，用于在实际使用过程中与外部电源的连接。

本实用新型中，可以通过较小尺寸的阴极刻蚀辊8的设置，来对大面积的电热薄膜3进行旋转电解刻蚀，获得大面积的电热网格薄膜，制作电热网格薄膜的灵活性高，使其不受装置大小的限制，并且能够根据镂空结构81的设置不同，来应对制作不同结构特征的电热网格薄膜。

本实用新型的使用方式为：

在金属箔片31上贴覆绝缘薄膜32，构成待刻蚀的电热薄膜3；

将阴极刻蚀辊8从横架92上取下来，在其表面贴覆一层绝缘的薄膜，根据电热网格35的设计数据，采用较低功率密度的激光束在薄膜上雕刻出设计好的镂空结构81，并将阴极刻蚀辊8重新安装至横架92上；

将电热薄膜3依次穿设于送膜辊组2、阴极刻蚀辊8和支撑辊4之间、以及收膜辊组5中，电热薄膜3的金属箔片31朝向送膜辊一21和阴极刻蚀辊8；

调整送膜辊组2、收膜辊组5中的压力调节机构，使得电热薄膜3被可靠支承，并且先调整确保送膜辊一21的金属圆周壁面紧密接触贴合电热薄膜3中金属箔片31，并压紧电热薄膜3，然后调整收膜辊组5，确保其压紧电热薄膜3；

根据刻蚀要求调节支撑辊4端部压力调节机构，来调整电热薄膜3与阴极刻蚀辊8之间的距离，使其达到预设的刻蚀要求；

开启电源电控组件1，依次启动阴极刻蚀辊8的转动驱动动力、送膜辊组2中送膜辊二22的转动驱动动力、收膜辊组5中收膜辊一51的转动驱动动力；启动泵71；

在送膜辊二22与收膜辊一51的旋转作用下，待刻蚀的电热薄膜3连续进给，同时阴极刻蚀辊8旋转，上方喷嘴组件7向下释放出长条形的电解液，电解液在自重作用下落到待刻蚀的电热薄膜3与阴极刻蚀辊8间距之间，阴极刻蚀辊8上被薄膜遮挡的部分不会发生电解刻蚀，从镂空结构81上裸露出的金属圆周面作为阴极参与电解刻蚀金属箔片31，成为电热网格35；

随着电热薄膜3的传送，阴极刻蚀辊8的转动，电解刻蚀持续进行，直至电热薄膜3传送完毕，一次旋转电解刻蚀结束。

在实际使用过程中，在制作电热薄膜3时，可以将绝缘薄膜32在传送方向上的长度大于金属箔片31的长度，以便于传送时的固定；在不锈钢合金箔片的一端连接两根裸露金属的辅助导线33，在电热薄膜3进给到末端时，经辅助导线33使得不锈钢合金箔片与送膜辊一21圆周壁面之间仍然保持连接通电。

在实际刻蚀过程中，可以在金属箔片31传送方向的两端分别留置刻蚀空白，就留出一段未刻蚀的金属箔片31，作为导电带；在刻蚀结束后，去掉辅助导线33，按照要求裁剪掉多余的绝缘薄膜32，在首尾两个引电带上布置导线34，再通过自动覆膜机贴覆另一层绝缘薄膜32，最终形成电热网格薄膜。

本实用新型操作简单，刻蚀简便快速，生产效率高，尤其适用于大面积电热网格薄膜的制作，并且对环境的负面影响小。

以上描述是对本实用新型的解释，不是对实用新型的限定，本实用新型所限定的范围参见权利要求，在本实用新型的保护范围之内，可以作任何形式的修改。

Claims (10)

1.一种大面积电热网格的旋转电解刻蚀装置，包括机架(10)，其特征在于：所述机架(10)内部安装有支撑架(9)，支撑架(9)上布设有轴向相互平行的三组辊组，分别为送膜辊组(2)、收膜辊组(5)和成对设置的支撑辊(4)、阴极刻蚀辊(8)；所述阴极刻蚀辊(8)的外圆周面，和送膜辊组(2)中其中一个送膜辊的外圆周面均设置为金属圆周面，阴极刻蚀辊(8)的金属圆周面电性连接电源的负极，送膜辊的金属圆周面电性连接电源的正极；所述阴极刻蚀辊(8)的金属圆周面上贴覆有绝缘的薄膜，薄膜上开设有镂空结构(81)；还包括喷嘴组件(7)，由喷嘴组件(7)向着支撑辊(4)和阴极刻蚀辊(8)的间隔间填充电解液。

2.如权利要求1所述的大面积电热网格的旋转电解刻蚀装置，其特征在于：所述支撑辊(4)和阴极刻蚀辊(8)呈水平间隔布设，位于该水平间隔上方的机架(10)上安装有喷嘴组件(7)，位于该水平间隔下方的机架(10)上设置有回收箱(6)；所述回收箱(6)和喷嘴组件(7)均沿着水平间隔的长度方向布设。

3.如权利要求2所述的大面积电热网格的旋转电解刻蚀装置，其特征在于：所述回收箱(6)和喷嘴组件(7)之间连通管路，管路上串联设置过滤器(72)和泵(71)，构成电解液的输送回路。

4.如权利要求1所述的大面积电热网格的旋转电解刻蚀装置，其特征在于：所述支撑架(9)包括有间隔布设的两组立柱(91)，其中一组立柱(91)之间从上至下依次转动布设有送膜辊组(2)和收膜辊组(5)，该组立柱(91)的侧面与另一组立柱(91)顶面之间共同安装有横架(92)，横架(92)上转动安装有水平设置的支撑辊(4)和阴极刻蚀辊(8)。

5.如权利要求1或4所述的大面积电热网格的旋转电解刻蚀装置，其特征在于：所述送膜辊组(2)中的其中一个送膜辊、收膜辊组(5)中的其中一个收膜辊，以及阴极刻蚀辊(8)的轴向均衔接有转动动力机构带动转动。

6.如权利要求1或4所述的大面积电热网格的旋转电解刻蚀装置，其特征在于：所述送膜辊组(2)中的其中一个送膜辊两端、收膜辊组(5)中的其中一个收膜辊两端均安装有压力调节机构，由压力调节机构调整辊组之间的相对间隔距离；所述支撑辊(4)两端安装有同样的压力调节机构，通过压力调节机构调整支撑辊(4)相对于阴极刻蚀辊(8)的间隔距离。

7.如权利要求4所述的大面积电热网格的旋转电解刻蚀装置，其特征在于：所述阴极刻蚀辊(8)通过快拆装结构安装于横架(92)上；所述阴极刻蚀辊(8)的金属圆周面上贴覆薄膜，采用低功率密度的激光束对该薄膜进行雕刻，形成预设的镂空结构(81)。

8.如权利要求7所述的大面积电热网格的旋转电解刻蚀装置，其特征在于：所述快拆装结构的具体结构为：包括从阴极刻蚀辊(8)两端端部的中心向外延伸构成的凸块(83)，安装于横架(92)上沿着阴极刻蚀辊(8)轴向对称布设的衔接轴(85)，两个衔接轴(85)相对的端面上开设有供凸块(83)插装相配的凹槽(84)，从上至下径向贯穿衔接轴(85)和凸块(83)锁装有紧固件(82)。

9.如权利要求1所述的大面积电热网格的旋转电解刻蚀装置，其特征在于：所述阴极刻蚀辊(8)和电性连接电源正极的送膜辊均由绝缘的环氧树脂制作形成辊本体，辊本体的圆周壁面上固套金属滚筒构成金属圆周面；所述辊本体端部的辊轴上安装有导电滑环(86)，导电滑环(86)经电刷(87)与金属圆周面电性连接。

10.如权利要求1所述的大面积电热网格的旋转电解刻蚀装置，其特征在于：由金属箔片(31)贴覆绝缘薄膜(32)构成电热薄膜(3)，电热薄膜(3)依次穿设于送膜辊组(2)、支撑辊(4)与阴极刻蚀辊(8)之间和收膜辊组(5)中，金属箔片(31)朝向阴极刻蚀辊(8)和电性连接电源正极的送膜辊。

Images