CN217815150U - 一种气液双通隔膜阀 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于阀门领域，提供了一种气液双通隔膜阀，包括：第一阀体，连接在第一阀体内的第一阀芯，与第一阀体连通的第二阀体，以及连接在第二阀体内的第二阀芯，第一阀体内设有通过第一阀芯位移实现连通或闭合的进液口和气液出口，第二阀体内开设有通过第二阀芯位移实现与气液出口连通或闭合的进气口，气液出口与进气口之间通过通道连通。本实用新型的一种气液双通隔膜阀，用于解决阀门气液双通、且同时完成阀门内除水、清洁的技术问题。

Description

一种气液双通隔膜阀

技术领域

本实用新型涉及阀门领域，尤其涉及一种气液双通隔膜阀。

背景技术

加工后的晶圆通常需要晶圆冲洗甩干设备对其进行清洗处理，现有的晶圆冲洗甩干设备的清洗工艺环节是：1、冲洗；2、电阻率监控；3、吹净；4、烘干。

传统的清洗方式，是通过独立的阀门及管路分别控制出水、出气，需要多组阀门实现，增加工序成本；而流程结束后，出水阀门内一般会留存有水汽，会产生水渍，影响后期纯水清洗的质量；如果每次清洗完成后，都对出水阀门拆除清洁、或安装其他清洁装置，又费时费力。

实用新型内容

本实用新型的一种气液双通隔膜阀，用于解决背景技术中阀门气液双通、且同时完成阀门除水、清洁的技术问题。

本实用新型提供的技术方案如下：一种气液双通隔膜阀，包括：第一阀体，连接在第一阀体内的第一阀芯，与第一阀体连通的第二阀体，以及连接在第二阀体内的第二阀芯，第一阀体内设有通过第一阀芯位移实现连通或闭合的进液口和气液出口，第二阀体内开设有通过第二阀芯位移实现与气液出口连通或闭合的进气口，气液出口与进气口之间通过通道连通。

进一步的，第一阀体内开设有第一腔体，第一阀体内开设有与第一腔体连通的第二腔体，第一阀体内开设有与第二腔体、气液出口和通道连通的第三腔体，第一腔体和第二腔体内分别连通有第一气路和第二气路，第一阀芯通过第一气路和第二气路在第一腔体、第二腔体和第三腔体内实现活塞运动。

进一步的，第二腔体内连接有第一密封圈，第一阀芯活动连接在第一密封圈内；第一阀芯包括：在第二腔体内、且与第一密封圈内圈贴合的第一限位杆，与第一限位杆一侧端部连接，在第三腔体内、且与进液口契合的第一活塞，以及与第一限位杆另一侧端部连接，且与第一腔体契合的第二活塞。

进一步的，第一气路在第一腔体和第二活塞之间；第二气路在第二活塞和第一密封圈之间。

进一步的，第二活塞和第二腔体之间连接有弹性件。

进一步的，第二阀体端部连接有气罐，气罐与第二阀体之间形成第四腔体，第二阀体内开设有与第四腔体连通的第五腔体，第二阀体内开设有与第五腔体、进气口和通道连通的第六腔体；第四腔体和第五腔体内分别连通有第三气路和第四气路，第二阀芯通过第三气路和第四气路在第四腔体、第五腔体及第六腔体内实现活塞运动。

进一步的，第五腔体内连接有第二密封圈，第二阀芯活动连接在第二密封圈内；第二阀芯包括：在第五腔体内、且与第二密封圈内圈贴合的第二限位杆，与第二限位杆一侧端部连接，在第六腔体内、且与进气口契合的第三活塞，以及与第二限位杆另一侧端部连接，且与第四腔体契合的第四活塞，第四活塞端部连接有与气罐内契合的气罐活塞。

进一步的，第三气路在气罐和第四活塞之间；第四气路在第四活塞和第二密封圈之间。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型的气液双通隔膜阀，通过设置第一阀芯和第二阀芯的位移配合，实现气液出口、进气口和进液口之间的开闭，从而实现气液双通的技术效果。

(2)本实用新型的气液双通隔膜阀，通过第一阀芯和第二阀芯的位移配合，实现气液出口、进气口和进液口之间的开闭，从而可以在出液完成后，阀门通道内转换为出气，气体可以将阀门内的水汽带出，从而实现阀门内除水、清洁的技术效果。

(3)本实用新型的气液双通隔膜阀，通过设置弹性件和气罐，使第一阀芯和第二阀芯在开闭时，进行缓冲，避免其快速开闭，影响使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型气液双通隔膜阀的剖视图；

图2是本实用新型气液双通隔膜阀的俯视图。

附图标记如下：1、第一阀体，11、进液口，12、气液出口，13、第一腔体，14、第二腔体，15、第三腔体，16、第一气路，17、第二气路，2、第一阀芯，21、第一限位杆，22、第一活塞，23、第一密封圈，24、第二活塞，25、弹性件，3、第二阀体，31、第四腔体，32、第五腔体，33、第六腔体，34、进气口，35、第三气路，36、第四气路，4、第二阀芯，41、第二限位杆，42、第三活塞，43、第二密封圈，44、第四活塞，45、气罐活塞，5、气罐，6、通道。

具体实施方式

以下结合附图和实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1-2所示，本实用新型是一种气液双通隔膜阀，包括：第一阀体1，连接在第一阀体1内的第一阀芯2，与第一阀体1连通的第二阀体3，以及连接在第二阀体3内的第二阀芯4，第一阀体1内设有通过第一阀芯2位移实现连通或闭合的进液口11和气液出口12，第二阀体3内开设有通过第二阀芯4位移实现与气液出口12连通或闭合的进气口34，气液出口12与进气口34之间通过通道6连通。

具体的，当需要出液时，第二阀芯4将进气口34堵塞闭合，纯水从进液口11进入，从气液出口12出。

具体的，当需要出气时，第一阀芯2将进液口11堵塞闭合，氮气从进气口34进入，通过通道6从气液出口12出；同时将通道6内的水汽带出。

进一步的，第一阀体1内开设有第一腔体13，第一阀体1内开设有与第一腔体13连通的第二腔体14，第一阀体1内开设有与第二腔体14、气液出口12和通道6连通的第三腔体15，第一腔体13和第二腔体14内分别连通有第一气路16和第二气路17，第一阀芯2通过第一气路16和第二气路17在第一腔体13、第二腔体14和第三腔体15内实现活塞运动。

本实施例的气液出口12和通道6为横向设置。

本实施例的第一腔体13、第二腔体14和第三腔体15为纵向设置。

本实施例的第三腔体15与气液出口12和通道6之间呈十字状。

本实施例的第一阀芯2在第一腔体13、第二腔体14和第三腔体15内纵向活动，且在任意位置不会堵塞气液出口12和通道6。

进一步的，第二腔体14内连接有第一密封圈23，第一阀芯2活动连接在第一密封圈23内；第一阀芯2包括：在第二腔体14内、且与第一密封圈23内圈贴合的第一限位杆21，与第一限位杆21一侧端部连接，在第三腔体15内、且与进液口11契合的第一活塞22，以及与第一限位杆21另一侧端部连接，且与第一腔体13契合的第二活塞24。

进一步的，第一气路16在第一腔体13和第二活塞24之间；第二气路17在第二活塞24和第一密封圈23之间。

本实施例的第一密封圈23与第一限位杆21外部紧密连接，用于避免第二气路17的进气穿过第一密封圈23进入第三腔体15；同时，避免经过第三腔体15的气液穿过第一密封圈23。

本实施例的第二活塞24与第一腔体13内契合，避免第一气路16的进气穿过第二活塞24；同时，避免第二气路17的进气穿过第二活塞24。

具体的，当第一阀芯2将进液口11闭合，第一气路16进气，推动第二活塞24，使其下移，通过第一活塞22将进液口11堵塞闭合。

具体的，当第一阀芯2将进液口11打开，第二气路17进气，推动第二活塞24，使其上移，第一活塞22远离进液口11。

进一步的，第二活塞24和第二腔体14之间连接有弹性件25。

本实施例的弹性件25为弹簧，对第一阀芯2位移进行缓冲，避免第一阀芯2撞击其他部件，造成损坏。

进一步的，第二阀体3端部连接有气罐5，气罐5与第二阀体3之间形成第四腔体31，第二阀体3内开设有与第四腔体31连通的第五腔体32，第二阀体3内开设有与第五腔体32、进气口34和通道6连通的第六腔体33；第四腔体31和第五腔体32内分别连通有第三气路35和第四气路36，第二阀芯4通过第三气路35和第四气路36在第四腔体31、第五腔体32及第六腔体33内实现活塞运动。

本实施例的第四腔体31为气罐5底部壁与第二阀体3内开设的腔体之间。

本实施例的第四腔体31、第五腔体32及第六腔体33为纵向设置。

本实施例的第六腔体33与进气口34和通道6之间呈倒置的T字结构。

本实施例的第二阀体3在第四腔体31、第五腔体32及第六腔体33内纵向活动，且在任意位置不会堵塞通道6。

进一步的，第五腔体32内连接有第二密封圈43，第二阀芯4活动连接在第二密封圈43内；第二阀芯4包括：在第五腔体32内、且与第二密封圈43内圈贴合的第二限位杆41，与第二限位杆41一侧端部连接，在第六腔体33内、且与进气口34契合的第三活塞42，以及与第二限位杆41另一侧端部连接，且与第四腔体31契合的第四活塞44，第四活塞44端部连接有与气罐5内契合的气罐活塞45。

本实施例的气罐5内有一定的气压，并通过气罐活塞45，使与之连接的第二阀芯4实现位移缓冲。

进一步的，第三气路35在气罐5和第四活塞44之间；第四气路36在第四活塞44和第二密封圈43之间。

本实施例的第二密封圈43与第二限位杆41外部紧密连接，用于避免第四气路36的进气穿过第二密封圈43进入第六腔体33内。

本实施例的第四活塞44与第四腔体31内契合，避免第三气路35的进气穿过第四活塞44；同时，避免第四气路36的进气穿过第四活塞44。

具体的，当第二阀芯4将进气口34闭合，第三气路35进气，推动第四活塞44下移，通过第三活塞42将进气口34堵塞闭合。

具体的，当第二阀芯4将进气口34打开，第四气路36进气，推动第四活塞44上移，带动气罐活塞45在气罐5内位移，使第三活塞42远离进气口34。

工作原理：当需要出液冲洗时，第三气路35进气，推动第四活塞44下移，通过第三活塞42将进气口34堵塞闭合；第二气路17进气，推动第二活塞24上移，第一活塞22远离进液口11，纯水从进液口11进入，从气液出口12出；

当完成冲洗后，需要氮气时，第一气路16进气，推动第二活塞24，使其下移，通过第一活塞22将进液口11堵塞闭合；第四气路36进气，推动第四活塞44上移，带动气罐活塞45在气罐5内位移，使第三活塞42远离进气口34，氮气通过进气口34进入，通过通道6从气液出口12出；同时将通道6及第三腔体15内的水汽带出。

Claims (8)

1.一种气液双通隔膜阀，包括：第一阀体(1)，连接在所述第一阀体(1)内的第一阀芯(2)，与所述第一阀体(1)连通的第二阀体(3)，以及连接在所述第二阀体(3)内的第二阀芯(4)，其特征在于，所述第一阀体(1)内设有通过所述第一阀芯(2)位移实现连通或闭合的进液口(11)和气液出口(12)，所述第二阀体(3)内开设有通过所述第二阀芯(4)位移实现与所述气液出口(12)连通或闭合的进气口(34)，所述气液出口(12)与所述进气口(34)之间通过通道(6)连通。

2.如权利要求1所述的一种气液双通隔膜阀，其特征在于，所述第一阀体(1)内开设有第一腔体(13)，所述第一阀体(1)内开设有与所述第一腔体(13)连通的第二腔体(14)，所述第一阀体(1)内开设有与所述第二腔体(14)、所述气液出口(12)和所述通道(6)连通的第三腔体(15)，所述第一腔体(13)和所述第二腔体(14)内分别连通有第一气路(16)和第二气路(17)，所述第一阀芯(2)通过所述第一气路(16)和所述第二气路(17)在所述第一腔体(13)、所述第二腔体(14)和所述第三腔体(15)内实现活塞运动。

3.如权利要求2所述的一种气液双通隔膜阀，其特征在于，所述第二腔体(14)内连接有第一密封圈(23)，所述第一阀芯(2)活动连接在所述第一密封圈(23)内；所述第一阀芯(2)包括：在所述第二腔体(14)内、且与所述第一密封圈(23)内圈贴合的第一限位杆(21)，与所述第一限位杆(21)一侧端部连接，在所述第三腔体(15)内、且与所述进液口(11)契合的第一活塞(22)，以及与所述第一限位杆(21)另一侧端部连接，且与所述第一腔体(13)契合的第二活塞(24)。

4.如权利要求3所述的一种气液双通隔膜阀，其特征在于，所述第一气路(16)在所述第一腔体(13)和所述第二活塞(24)之间；所述第二气路(17)在所述第二活塞(24)和所述第一密封圈(23)之间。

5.如权利要求3所述的一种气液双通隔膜阀，其特征在于，所述第二活塞(24)和所述第二腔体(14)之间连接有弹性件(25)。

6.如权利要求1所述的一种气液双通隔膜阀，其特征在于，所述第二阀体(3)端部连接有气罐(5)，所述气罐(5)与所述第二阀体(3)之间形成第四腔体(31)，所述第二阀体(3)内开设有与所述第四腔体(31)连通的第五腔体(32)，所述第二阀体(3)内开设有与所述第五腔体(32)、所述进气口(34)和所述通道(6)连通的第六腔体(33)；所述第四腔体(31)和所述第五腔体(32)内分别连通有第三气路(35)和第四气路(36)，所述第二阀芯(4)通过所述第三气路(35)和所述第四气路(36)在所述第四腔体(31)、所述第五腔体(32)及所述第六腔体(33)内实现活塞运动。

7.如权利要求6所述的一种气液双通隔膜阀，其特征在于，所述第五腔体(32)内连接有第二密封圈(43)，所述第二阀芯(4)活动连接在所述第二密封圈(43)内；所述第二阀芯(4)包括：在所述第五腔体(32)内、且与所述第二密封圈(43)内圈贴合的第二限位杆(41)，与所述第二限位杆(41)一侧端部连接，在所述第六腔体(33)内、且与所述进气口(34)契合的第三活塞(42)，以及与所述第二限位杆(41)另一侧端部连接，且与所述第四腔体(31)契合的第四活塞(44)，所述第四活塞(44)端部连接有与所述气罐(5)内契合的气罐活塞(45)。

8.如权利要求7所述的一种气液双通隔膜阀，其特征在于，所述第三气路(35)在所述气罐(5)和所述第四活塞(44)之间；所述第四气路(36)在所述第四活塞(44)和所述第二密封圈(43)之间。

Images