CN217766548U - 一种探针台 - Google Patents

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吴贵阳
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Silicon Electric Semiconductor Equipment Shenzhen Co ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种探针台,用于测试倒装LED芯粒。所述探针台包括,用于支撑倒装LED芯粒的透光支撑板,能够将倒装LED芯粒的光线穿透至另一侧;用于收集光线的收光组件,收光口开口方向垂直于透光支撑板并正对应倒装LED芯粒的光照方向;用于检测位置的光纤传感器,其检测方向垂直于透光支撑板并与收光组件分布于透光支撑板两侧;安装有光纤传感器的竖直调位机构,利用光纤传感器不同聚焦位置的位置差得出距离;利用光纤传感器非接触检测收光组件到透光支撑板的距离,不会损坏收光组件;且便于实时调整收光组件的位置,位置检测精度高。

Description

一种探针台
技术领域
本实用新型涉及一种探针台。
背景技术
用于测试倒装LED芯粒的探针台,需要检测支撑倒装LED芯粒玻璃的厚度以及玻璃到收光组件的距离,从而提升倒装LED芯粒光参数测试的准确性。
而当前玻璃的厚度依据厂商的接触测试结论;探针台领域中,收光组件到玻璃的距离无法测量,仅仅采用收光组件足够靠近玻璃而默认没有光线从收光组件到玻璃之间的间隙溢出。
实用新型内容
为解决探针台中,收光组件到透光支撑板的距离,本实用新型提出一种探针台技术方案。
本实用新型的技术方案为:一种探针台,用于测试倒装LED芯粒,包括,
用于支撑倒装LED芯粒的透光支撑板,能够将倒装LED芯粒的光线穿透至另一侧;
用于收集光线的收光组件,收光口开口方向垂直于透光支撑板并正对应倒装LED芯粒的光照方向;
用于检测位置的光纤传感器,其检测方向垂直于透光支撑板并与收光组件分布于透光支撑板两侧;安装有光纤传感器的竖直调位机构,利用光纤传感器不同聚焦位置的位置差得出距离。
进一步的,所述透光支撑板为玻璃,玻璃厚度2.3毫米~2.4毫米。
进一步的,所述收光组件连接有光谱仪,用于对收光组件收集的光线进行光参数分析。
进一步的,所述竖直调位机构连接有位置识别系统,用于对相对位置自动化读取。
进一步的,所述光纤传感器竖直设置。
本实用新型的有益效果在于:利用光纤传感器非接触检测收光组件到透光支撑板支撑板的距离,不会损坏收光组件;且便于实时调整收光组件的位置,位置检测精度高。
附图说明
图1为本实用新型的探针台结构示意图;
图2为本实用新型倒装LED芯粒测试发光示意图。
具体实施方式
为便于本领域技术人员理解本实用新型的技术方案,下面将本实用新型的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。
如图1所示,一种探针台100,用于测试倒装LED芯粒101,所述倒装LED芯粒101是指发光面1011背离扎针面1012的LED芯粒(如图2),包括,
用于支撑倒装LED芯粒的透光支撑板20,能够将倒装LED芯粒101的光线穿透至另一侧;所述透光支撑板20既能够支撑倒装LED芯粒101,便于对倒装LED芯粒扎针面1012电连接测试,同时贴合于透光支撑板20的发光面1011发出的光线能够穿透透光支撑板20;所述透光支撑板20为玻璃;
用于收集光线的收光组件30,收光口31开口方向垂直于透光支撑板20并正对应倒装LED芯粒101的光照方向;使所述收光组件30能够接收发光面1011发出的光线;所述收光组件30为积分球或光感应组件,为常规的能够对光线进行收集并分析光参数的装置;
用于检测位置的光纤传感器40,其检测方向a垂直于透光支撑板20并与收光组件30分布于透光支撑板20两侧;安装有光纤传感器40的竖直调位机构50,利用光纤传感器40不同聚焦位置的位置差得出距离;当需要测试透光支撑板20的厚度时,利用光纤传感器40分别聚焦透光支撑板20上表面和下表面时,所述竖直调位机构50的运动距离即为透光支撑板20的厚度;当需要测试收光组件30的上表面至透光支撑板20下表面的距离时,只需要调节使光纤传感器40聚焦于收光组件30的上表面,以及光纤传感器40聚焦于透光支撑板20下表面的竖直调位机构50的运动距离,即为需测试距离。
采用上述技术方案,采用光纤传感器40的非接触聚焦定位,利用光纤传感器40在不同位置聚焦定位的相对位移作为需测试的距离,减小常规接触式距离测试对待测物的损坏;而且,光纤传感器40的定位精度高,测量的数据稳定可靠。
如图1所示,所述透光支撑板20为玻璃,玻璃厚度2.3毫米~2.4毫米;当玻璃太薄时,在倒装LED芯粒101测试时,易造成玻璃变形;当玻璃太后时,在倒装LED芯粒101测试时,易造成倒装LED芯粒101穿透玻璃的光线散射,影响收光组件30收光,从而影响对倒装LED芯粒101的光参数测试;当玻璃厚度为2.3毫米时,玻璃发散光线少,玻璃能够支撑倒装LED芯粒101的测试;当玻璃厚度为2.4毫米时,玻璃充分足够支撑倒装LED芯粒101的测试,发散的光线满足倒装LED芯粒101光参数测试要求;玻璃厚度为2.35毫米时,玻璃的制造能够达到该精度,且成本合适;此时玻璃的厚度标准为2.35
Figure 91015DEST_PATH_IMAGE002
0.05毫米。
采用上述技术方案,综合玻璃的支撑强度、透射光的发散率、制造成本等因素,选取最佳的玻璃厚度;使测试的倒装LED芯粒101光参数准确可靠。
如图1所示,所述收光组件30连接有光谱仪,用于对收光组件30收集的光线进行光参数分析;实现对倒装LED芯粒101的光参数测试。
如图1所示,所述竖直调位机构50连接有位置识别系统,用于对相对位置自动化读取,从而自动化实现对竖直调位机构50的位置识别。
如图1所示,所述光纤传感器40竖直设置;所述光纤传感器40的竖直运动距离与光纤传感器40的待检测距离相同,增加距离测试的准确性。
以上是本实用新型的较佳实施例,不用于限定本实用新型的保护范围。应当认可,本领域技术人员在理解了本实用新型技术方案后所作的非创造性变形和改变,应当也属于本实用新型的保护和公开的范围。

Claims (5)

1.一种探针台,用于测试倒装LED芯粒,其特征在于:包括,
用于支撑倒装LED芯粒的透光支撑板,能够将倒装LED芯粒的光线穿透至另一侧;
用于收集光线的收光组件,收光口开口方向垂直于透光支撑板并正对应倒装LED芯粒的光照方向;
用于检测位置的光纤传感器,其检测方向垂直于透光支撑板并与收光组件分布于透光支撑板两侧;安装有光纤传感器的竖直调位机构,利用光纤传感器不同聚焦位置的位置差得出距离。
2.根据权利要求1所述的探针台,其特征在于:所述透光支撑板为玻璃,玻璃厚度2.3毫米~2.4毫米。
3.根据权利要求1所述的探针台,其特征在于:所述收光组件连接有光谱仪,用于对收光组件收集的光线进行光参数分析。
4.根据权利要求1所述的探针台,其特征在于:所述竖直调位机构连接有位置识别系统,用于对相对位置自动化读取。
5.根据权利要求1所述的探针台,其特征在于:所述光纤传感器竖直设置。
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