CN217761936U - 一种可调节直线运动模组运动方向的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种可调节直线运动模组运动方向的装置，包括安装板、直线运动模组、方向调节器，所述安装板包括安装板边框、及安装板芯部，所述安装板芯部可偏移的设置在安装板边框内部；所述直线运动模组与安装板芯部固定连接，所述方向调节器与安装板芯部连接，用于调节安装板芯部在安装板边框内的偏移方向。本实用新型将直线运动模组固定在安装板芯部上，安装板芯部可偏移的设置在安装板边框内部、且设置有方向调整器，通过方向调整器使安装板芯部在安装板边框内部发生一定的角度偏移，改变直线运动模组的运动方向，克服了现有技术中需要人工多次敲击直线运动模组的技术问题，操作简单方便，降低了对操作工技术水平的依赖，提高生产效率。

Description

一种可调节直线运动模组运动方向的装置

技术领域

本实用新型涉及半导体设备中直线运动模组方向调节的技术领域，特别是涉及一种可调节直线运动模组运动方向的装置。

背景技术

在精度要求高的半导体设备中，直线运动模组固定在半导体设备的安装板上，直线运动模组运动方向的准确程度往往决定了一台设备的关键性能和精度指标。直线运动模组通常由丝杆、导轨、滑块组成，当使用一些直线运动模组时，直线运动模组的运动方向及角度往往不能满足高精度的要求。因此需要对直线运动模组的直线运动方向进行调整，并且在调整完成之后锁紧直线运动模组的运动方向。

为满足半导体设备的精度要求，传统的调整方式，通过由经验的操作工，反复的松开直线运动模组和安装板之间的固定螺丝，轻轻敲击直线运动模组，然后锁紧固定螺丝，实现对直线运动模组的角度或运动方向进行微调。传统调整方式对操作工经验与安装技术的要求高，偶然性较大，不能量化，并且往往费时费力。特别是多个直线运动模组平行布置，需要调整多条轴平行，或者需要调整这几条轴的垂直正交情况下，传统的调节方式对操作工的技术水平具有更高的要求，在直线运动模组的调节过程中，操作难度大，所需时间长。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型要解决的技术问题在于提供能够可量化直线运动模组调节角度或运动方向、操作简单、使用方便的一种可调节直线运动模组运动方向的装置。

为实现上述目的，本实用新型提供一种可调节直线运动模组运动方向的装置，包括安装板、直线运动模组、方向调节器，所述安装板包括安装板边框、及安装板芯部，所述安装板芯部可偏移的设置在安装板边框内部；所述直线运动模组与安装板芯部固定连接，所述方向调节器与安装板芯部连接，用于调节安装板芯部在安装板边框内的偏移方向。

优选的，所述安装板还包括连接片，所述连接片设置在安装板芯部和安装板边框之间，用于安装板芯部在安装板边框中的偏移；所述安装板为一体件。

优选的，所述连接片的数量为两个，两个连接片对侧分布在安装板芯部中心线的两侧、且两个连接片延长线的交点位于安装板芯部的中心线上。

优选的，所述方向调节器的数量为两个、且两个方向调节器对称设置在安装板芯部远离连接片的端部两侧。

优选的，所述安装板芯部远离连接片端部两侧的安装板边框上开设有调节孔，所述方向调节器可拆卸的安装在调节孔中。

优选的，所述方向调节器为螺旋测微头。

优选的，所述直线运动模组包括导轨、丝杆、滑块、以及驱动组件，所述丝杆转动连接在导轨中，所述滑块套设在丝杆上且与导轨可滑动连接，所述驱动组件与丝杆传动连接，所述导轨固定在安装板芯部上。

优选的，所述可调节直线运动模组运动方向的装置还包括安装背板，所述安装背板固定连接在安装板芯部远离直线运动模组的端面上、且安装背板还与安装板边框固定连接。

如上所述，本实用新型涉及的可调节直线运动模组运动方向的装置，具有以下有益效果：

1、本实用新型涉及的可调节直线运动模组运动方向的装置，将直线运动模组固定在安装板芯部上，安装板芯部可偏移的设置在安装板边框内部、且设置有方向调整器，通过方向调整器使安装板芯部在安装板边框内部发生一定的角度偏移，从而改变直线运动模组的运动方向，克服了现有技术中需要人工多次敲击直线运动模组，从而改变直线运动模组在安装板上的运动方向，操作简单、方便，降低了对操作工技术水平的依赖，提高生产效率。

2、本实用新型涉及的可调节直线运动模组运动方向的装置，方向调节器采用螺旋测微头，螺旋测微头具有粗调和微调的功能，能对安装板芯部的偏移进行量化，可以实现对直线运动模组运动方向及角度的精密调节，从而提高了半导体设备的性能。

3、本实用新型涉及的可调节直线运动模组运动方向的装置，方向调节器通过调节孔可拆卸的与安装板边框连接，因方向调节器属于精密仪器，成本昂贵，价格较高，因此在直线运动模组的偏移方向调节完成后，通过安装背板将安装板芯部与安装板边框进行相对锁紧固定，保持安装板芯部的偏移不发生变化，然后将方向调节器拆下，妥善保管，避免了方向调节器的损坏，降低生产成本。

附图说明

图1是本实用新型可调节直线运动模组运动方向的装置的第一角度空间示意图；

图2是本实用新型可调节直线运动模组运动方向的装置的第二角度空间示意图；

图3是本实用新型可调节直线运动模组运动方向的装置的第三角度空间示意图；

图4是本实用新型可调节直线运动模组运动方向的装置的仰视图；(去除安装背板)

图5是本实用新型可调节直线运动模组运动方向的装置的爆炸图。

附图标记说明：

1、直线运动模组；101、丝杆；102、滑块；103、驱动组件；104、导轨；

2、安装板；201、连接片；202、安装板边框；203、安装板芯部；204：调节孔；

3、方向调节器；

4、安装背板。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

须知，本说明书附图所绘的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”等的用语，亦仅为便于叙述明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

如图1、图4、图5所示，本实用新型提供一种可调节直线运动模组运动方向的装置，包括安装板2、直线运动模组1、方向调节器3，安装板2包括安装板边框202、及安装板芯部203，安装板芯部203可偏移的设置在安装板边框202内部；直线运动模组1与安装板芯部203通过螺栓紧固连接，方向调节器3与安装板芯部203抵接，用于调节安装板芯部203在安装板边框202内的偏移方向。

本实用新型涉及的可调节直线运动模组运动方向的装置，安装板芯部203的一端可偏移的连接在安装板边框202的一端内壁上，操作人员通过改变方向调节器3与安装板芯部203抵接的长度，然后使安装板芯部203在安装板边框202中的发生偏移，从而改变直线运动模组1运动方向的变化，克服了现有技术中操作人员依靠经验多次敲击直线运动模组1从而改变直线运动模组1的运动方向的技术问题，操作简单，提高了劳动效率。

优选的，如图4、图5所示，为实现安装板芯部203在安装板边框202中的偏移角度可以改变。安装板2还包括连接片201，连接片201设置在安装板芯部203和安装板边框202之间，用于安装板芯部203在安装板边框202中的方向偏移；安装板2为一体件。进一步的，在本实施例中，安装板边框202为梯形，安装板芯部203为矩形、且安装板芯部203的一端通过连接片201与安装板边框202的内壁连接。进一步的，在本实施例中，连接片201的数量为两个，两个连接片201对侧分布在安装板芯部203宽度边的中心线的两侧、且两个连接片201延长线的交点位于安装板芯部203的中心线上，两个连接片201延长线的交点也即为安装板芯部203的摆动中心。在本实施例中，如图4所示，连接片201延长线的交点位于安装板芯部203的内部，即连接片201是斜向的将安装板边框202与安装板芯部203连接。

优选的，如图2、图4所示，为实现安装板芯部203在安装板边框202中具有左右两个方向的偏移。方向调节器3的数量为两个、且两个方向调节器3以安装板芯部203中心线对称设置在安装板芯部203远离连接片201的端部两侧。如图4所示，当需要安装板芯部203在安装板边框202中向左偏移时，需操作右侧的方向调节器3，使右侧的方向调节器3提供一定的压力，从而使安装板芯部203以两个连接片201延长线的交点向左偏移。相应的，当需要安装板芯部203向右偏移时，操作左侧的方向调节器3。当安装板芯部203在安装板边框202中发生偏移时，固定在安装板芯部203上的直线运动模组1也相应的发生偏移，从而改变直线运动模组1的运动方向。

优选的，如图1、图2、图3、图4所示，为实现方向调节器3的循环使用。安装板芯部203远离连接片201端部两侧的安装板边框202上开设有调节孔204，方向调节器3可拆卸的安装在调节孔204中。进一步的，方向调节器3具有粗调和微调的功能。在本实施例中，方向调节器3采用螺旋测微头，通过螺旋测微头精准控制安装板芯部203向左或向右偏转的距离，从而对直线运动模组1的运动方向偏移调节进行量化，降低现有技术中对直线运动模组1的运动方向调节需要操作工的依赖性。进一步的，在本实施例中，调节孔204中开设有内螺纹，螺旋测微头的外周上开设有外螺纹，螺旋测微头通过螺纹拧在调节孔204中、且螺旋测微头拧在调节孔204时，螺旋测微头的端部刚好与安装板芯部203的侧壁接触，同时螺旋测微头的度数为0刻度。在其他实施例中，方向调节器3也可以通过螺钉、螺栓、卡簧等部件紧固连接在调节孔204中。在其他实施例中，方向调节器3也可以为气缸、直线电机等方式，但需要满足的是连接片201、安装板芯部203、安装板边框202为一体件，安装板芯部203的偏移距离很小，故气缸、直线电机的行程要满足微调的前提。

优选的，如图1、图3所示，为使直线运动模组1能直线运动。直线运动模组1包括导轨104、丝杆101、滑块102、以及驱动组件103，丝杆101通过轴承转动连接在导轨104中，滑块102套设在丝杆101上且与导轨104可滑动连接，驱动组件103与丝杆101传动连接，导轨104通过螺栓紧固在安装板芯部203上。在本实施例中，滑块102的两侧壁上设置有凸头，导轨104上开设有滑槽，凸头的尺寸与滑槽的尺寸相匹配，故当丝杆101旋转时，滑块102在丝杆101的作用力下沿导轨104运动。在本实施例中，驱动组件103采用电机驱动，丝杆101与电机的电机轴通过联轴器固定连接。在其他实施例中，驱动组件103也可以为摇杆、手轮等。

优选的，如图2、图5所示，为使方向调节器3能循环使用，同时安装板芯部203的偏移不会回弹。可调节直线运动模组运动方向的装置还包括安装背板4，安装背板4通过螺栓固定在安装板芯部203的底端面上、且安装背板4还与安装板边框202的底端面通过螺栓连接。

在本实施例中，如图5所示，安装背板4的中部开设有八个螺纹孔，八个螺纹孔分为两列，分别与安装板芯部203底端面上开设的螺纹孔在数量、位置上一一对应，并且在上述八个螺纹孔中紧固有螺栓，用来将安装背板4与安装板芯部203固定。安装板芯部203中部的外侧还开设有八个螺纹孔，八个螺纹孔分为两列，分别与安装板边框202底端面上开设的螺纹孔在数量、位置上一一对应，并在上述八个螺纹孔中紧固有螺栓，用来将安装背板4与安装板边框202固定。由此，当使用方向调节器3对安装板芯部203在安装板边框202中进行偏移调整后，使用安装背板4将安装板芯部203与安装板边框202进行连接固定，避免安装板芯部203在安装板2边控中的偏移回弹，从而可以将方向调节器3从调节孔204中取出，重复循环利用方向调节器3。

直线运动模组1的导轨104上还开设有八个螺纹孔，八个螺纹孔分为两列，分别与安装板芯部203顶端面上开设的螺纹孔在数量、位置上一一对应，并且在上述八个螺纹孔中紧固有螺栓，用来将直线运动模组1与安装板芯部203固定，从而在安装板芯部203发生偏移时，直线运动模组1同步进行偏移。

本实用新型涉及的可调节直线运动模组运动方向的装置，在需要调节直线运动模组1的运动方向时，操作步骤如下：

1、对直线运动模组1的运动方向进行初步确定。首先将直线运动模组1通过导轨104上的螺纹孔固定在安装板芯部203的顶端面上，依靠安装板边框202的边与导轨104之间的夹角来初步确定直线运动模组1的运动方向(默认状态下，导轨104与安装板边框202的边互相平行)。

2、当操作人员需要向左调节直线运动模组1的运动方向时，操作人员将一个螺旋测微头通过螺纹拧紧在右侧的调节孔204中，拧紧后的螺旋测微头刚好与安装板芯部203的右侧壁抵接，然后操作人员先粗调右侧的螺旋测微头使右侧的螺旋测微头向左伸出，推动安装板芯部203绕两个连接片201延伸线的交点向左偏移，然后再微调右侧的螺旋测微头，从而对安装板芯部203的偏移进行精准量化。

3、当操作人员需要向右调节直线运动模组1的运动方向时，操作人员将一个螺旋测微头通过螺纹拧紧在左侧的调节孔204中，拧紧后的螺旋测微头刚好与安装板芯部203的左侧壁抵接，然后操作人员先粗调左侧的螺旋测微头使左侧的螺旋测微头向右伸出，推动安装板芯部203绕两个连接片201延伸线的交点向右偏移，然后再微调左侧的螺旋测微头，从而对安装板芯部203的偏移进行精准量化。

4、当对安装板芯部203的偏移量化调节到符合要求时，操作人员将安装背板4通过上述十六个螺纹孔以及螺纹孔中的螺栓将安装板芯部203与安装板边框202固定连接，从而保证安装板芯部203始终处于偏移状态。

5、对螺旋测微头拆卸。当安装背板4完成安装后，操作人员反向拧动螺旋测微头，螺旋测微头从调节孔204中脱离，操作人员对螺旋测微头进行妥善保管，避免螺旋测微头损坏，同时螺旋测微头也可以循环使用。

6、直线运动模组1运动方向的校对。通过驱动组件103驱动丝杆101转动，从而滑块102在丝杆101的作用力下沿导轨104运动，操作人员对滑块102的运动方向进行校对，若无误差，直线运动模组1的运动方向调节作业完成；若有误差，重复上述步骤1-6，直到无误差。

本实用新型涉及的可调节直线运动模组运动方向的装置，将螺旋测微头作为方向调节器3，可以实现直线运动模组1的极精密调节，调节精度可以达到微米级别，从而提升半导体设备的性能。通过改变安装板芯部203在安装板边框202中的偏移，从而间接改变直线运动模组1的运动方向，克服了现有技术中需要操作工多次敲击直线运动模组1，直线运动模组1的调节可以进行量化控制，降低了对操作工技术水平的依赖，节省了调节所需的时间，提高了生产效率。在使用螺旋测微头对安装板芯部203偏移调节完成后，通过安装背板4对偏移后的安装板芯部203进行锁紧固定，避免安装板芯部203出现偏移回弹，然后可以将螺旋测微头拆除，重复循环使用，降低了生产成本。

综上所述，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (8)

1.一种可调节直线运动模组运动方向的装置，其特征在于：包括安装板(2)、直线运动模组(1)、方向调节器(3)，所述安装板(2)包括安装板边框(202)、及安装板芯部(203)，所述安装板芯部(203)可偏移的设置在安装板边框(202)内部；所述直线运动模组(1)与安装板芯部(203)固定连接，所述方向调节器(3)与安装板芯部(203)连接，用于调节安装板芯部(203)在安装板边框(202)内的偏移方向。

2.根据权利要求1所述的可调节直线运动模组运动方向的装置，其特征在于：所述安装板(2)还包括连接片(201)，所述连接片(201)设置在安装板芯部(203)和安装板边框(202)之间，用于安装板芯部(203)在安装板边框(202)中的偏移；所述安装板(2)为一体件。

3.根据权利要求2所述的可调节直线运动模组运动方向的装置，其特征在于：所述连接片(201)的数量为两个，两个连接片(201)对侧分布在安装板芯部(203)中心线的两侧、且两个连接片(201)延长线的交点位于安装板芯部(203)的中心线上。

4.根据权利要求1所述的可调节直线运动模组运动方向的装置，其特征在于：所述方向调节器(3)的数量为两个、且两个方向调节器(3)对称设置在安装板芯部(203)远离连接片(201)的端部两侧。

5.根据权利要求4所述的可调节直线运动模组运动方向的装置，其特征在于：所述安装板芯部(203)远离连接片(201)端部两侧的安装板边框(202)上开设有调节孔(204)，所述方向调节器(3)可拆卸的安装在调节孔(204)中。

6.根据权利要求1所述的可调节直线运动模组运动方向的装置，其特征在于：所述方向调节器(3)为螺旋测微头。

7.根据权利要求1所述的可调节直线运动模组运动方向的装置，其特征在于：所述直线运动模组(1)包括导轨(104)、丝杆(101)、滑块(102)、以及驱动组件(103)，所述丝杆(101)转动连接在导轨(104)中，所述滑块(102)套设在丝杆(101)上且与导轨(104)可滑动连接，所述驱动组件(103)与丝杆(101)传动连接，所述导轨(104)固定在安装板芯部(203)上。

8.根据权利要求1所述的可调节直线运动模组运动方向的装置，其特征在于：还包括安装背板(4)，所述安装背板(4)固定连接在安装板芯部(203)远离直线运动模组(1)的端面上、且安装背板(4)还与安装板边框(202)固定连接。

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