CN217719554U - 一种晶圆设备的可调节定位装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆设备的可调节定位装置，包括设备主体、晶圆结构以及定位调节组件，定位调节组件包括通过支架支撑且转动设于支架上的转动套管、与转动套管左右两端螺旋套接的两根调节轴杆以及分别设于两根调节轴杆的末端且通过轴承座连接的垂向夹杆，实现通过调节螺栓对底板支撑晶圆结构底端的位置调节，驱动电机运行通过驱动轴上的转动齿盘对转动套管上的外齿轮产生传动作用力，转动套管的转动对左右两端螺接的垂向夹杆产生相对移动的作用力，从而通过垂向夹杆的相对移动，垂向夹杆末端内侧的橡胶夹板对晶圆结构的左右两侧夹持定位，具有可根据晶圆结构尺寸对晶圆结构可调节式定位于设备主体内部，提高对晶圆结构安装灵活性。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体设备技术领域，具体涉及一种晶圆设备的可调节定位装置。
背景技术
晶圆在配合设备安装时，设备内部需要根据晶圆的尺寸预留出对应尺寸的操作，用于对晶圆固定在设备内部，由于根据设备使用的用途范围不一样，所需要晶圆的尺寸也不一致，而传统的晶圆设备对晶圆安装的槽位尺寸固定，无法根据待安装的晶圆尺寸进行调节，导致对晶圆的安装造成一定的困扰。
所以，为了方便对晶圆设备内部可根据使用的需要对不同尺寸的晶圆固定，本实用新型提供了一种晶圆设备的可调定位装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆设备的可调节定位装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种晶圆设备的可调节定位装置，包括设备主体、晶圆结构以及定位调节组件，所述设备主体内左右两侧壁的纵向滑槽内设有底板，所述晶圆结构底端设于底板上顶面的卡槽内，所述设备主体上螺接有两根调节螺栓，两根所述调节螺栓的底端分别设于底板上表面的左右两侧；
定位调节组件包括通过支架支撑且转动设于支架上的转动套管、与转动套管左右两端螺旋套接的两根调节轴杆以及分别设于两根调节轴杆的末端且通过轴承座连接的垂向夹杆，所述垂向夹杆末端的夹块内侧设有与晶圆结构左右两侧夹持定位的橡胶夹板；
所述设备主体顶端的电机座内设有驱动电机，所述驱动电机上驱动轴末端的转动齿盘与转动套管中部的外齿轮啮合。
进一步的，所述卡槽内侧设有与晶圆结构表面接触的海绵防滑垫。
海绵防滑垫用于在底板对晶圆结构底端支撑时防护，避免对晶圆结构表面造成划伤。
进一步的，所述调节螺栓的顶端设于电机座的左右两侧且调节螺栓的顶端设有限位块。
限位块用于对调节螺栓贯穿设备主体的位置限定，并便于操作者对调节螺栓转动持握。
进一步的，所述夹块与调节轴杆的底端套接并通过螺栓固定。
橡胶夹板损坏时可通过拆卸螺栓对夹块与调节轴杆的底端分离更换。
进一步的，所述橡胶夹板的内侧设有与晶圆结构外缘卡接的限位夹槽，所述限位夹槽内壁上设有呈阶梯状的卡位。
限位夹槽用于对晶圆结构左右外缘随着垂向夹杆的相对移动产生夹持定位，卡位的设置用于配合限位夹槽对不同厚度的晶圆结构限位夹持。
进一步的，所述电机座内左侧转动设有末端与转动齿盘同轴心连接的支撑轴。
通过支撑轴配合驱动电机上的驱动轴对转动齿盘的转动支撑，保持转动齿盘转动对外齿轮啮合传动的稳定性。
本实用新型具有以下技术效果和优点：
该晶圆设备的可调节定位装置，将晶圆结构通过底板以及左右两侧的两个橡胶夹板固定在设备主体内部，需要对晶圆结构根据使用的需要更换时，通过调节螺栓对底板支撑晶圆结构底端的位置调节，驱动电机运行通过驱动轴上的转动齿盘对转动套管上的外齿轮产生传动作用力，转动套管的转动对左右两端螺接的垂向夹杆产生相对移动的作用力，从而通过垂向夹杆的相对移动，垂向夹杆末端内侧的橡胶夹板对晶圆结构的左右两侧夹持定位，具有可根据晶圆结构尺寸对晶圆结构可调节式定位于设备主体内部，提高对晶圆结构安装灵活性。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型图1的主剖图；
图3为本实用新型定位调节组件的结构示意图；
图4为本实用新型橡胶夹板的横剖面结构示意图。
图中：1、设备主体；2、晶圆结构；3、纵向滑槽；4、底板；5、卡槽；6、调节螺栓；7、转动套管；8、调节轴杆；9、轴承座；10、垂向夹杆；11、夹块；12、橡胶夹板；13、电机座；14、驱动电机；15、转动齿盘；16、外齿轮；17、海绵防滑垫；18、限位夹槽；19、卡位；20、支撑轴。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型提供了如图1-4所示的一种晶圆设备的可调节定位装置，包括设备主体1、晶圆结构2以及定位调节组件，设备主体1内左右两侧壁的纵向滑槽3内设有底板4，纵向滑槽3用于对底板4通过调节螺栓6调节升降时限位导向，晶圆结构2底端设于底板4上顶面的卡槽5内，卡槽5内侧设有与晶圆结构2表面接触的海绵防滑垫17。海绵防滑垫17用于在底板4对晶圆结构2底端支撑时防护，避免对晶圆结构2表面造成划伤；
设备主体1上螺接有两根调节螺栓6，两根调节螺栓6的底端分别设于底板4上表面的左右两侧，调节螺栓6的顶端设于电机座13的左右两侧且调节螺栓6的顶端设有限位块。限位块用于对调节螺栓6贯穿设备主体1的位置限定，并便于操作者对调节螺栓6转动持握；
定位调节组件包括通过支架支撑且转动设于支架上的转动套管7、与转动套管7左右两端螺旋套接的两根调节轴杆8以及分别设于两根调节轴杆8的末端且通过轴承座9连接的垂向夹杆10，垂向夹杆10末端的夹块11内侧设有与晶圆结构2左右两侧夹持定位的橡胶夹板12，夹块11与垂向夹杆10的底端套接并通过螺栓固定。橡胶夹板12损坏时可通过拆卸螺栓对夹块11与垂向夹杆10的底端分离更换，橡胶夹板12的内侧设有与晶圆结构2外缘卡接的限位夹槽18，限位夹槽18内壁上设有呈阶梯状的卡位19。限位夹槽18用于对晶圆结构2左右外缘随着垂向夹杆10的相对移动产生夹持定位，卡位19的设置用于配合限位夹槽18对不同厚度的晶圆结构2限位夹持；
设备主体1顶端的电机座13内设有驱动电机14，驱动电机14上驱动轴末端的转动齿盘15与转动套管7中部的外齿轮16啮合，电机座13内左侧转动设有末端与转动齿盘15同轴心连接的支撑轴20。通过支撑轴20配合驱动电机14上的驱动轴对转动齿盘15的转动支撑，保持转动齿盘15转动对外齿轮16啮合传动的稳定性。
该晶圆设备的可调节定位装置，晶圆结构2通过底板4以及左右两侧的两个橡胶夹板12固定在设备主体1内部，需要对晶圆结构2根据使用的需要更换时，通过调节螺栓6对底板4支撑晶圆结构2底端的位置调节，设备主体1内壁上的纵向滑槽3对底板4的提升后或下降导向限位，用于对晶圆结构2底端支撑的位置调节，驱动电机14运行通过驱动轴上的转动齿盘15对转动套管7上的外齿轮16产生传动作用力，转动套管7的转动对左右两端螺接的垂向夹杆10产生相对移动的作用力，从而通过垂向夹杆10的相对移动，垂向夹杆10末端内侧的橡胶夹板12对晶圆结构2的左右两侧夹持定位，具有可根据晶圆结构2尺寸对晶圆结构2可调节式定位于设备主体1内部，提高对晶圆结构2安装灵活性。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种晶圆设备的可调节定位装置，包括设备主体（1）、晶圆结构（2）以及定位调节组件，其特征在于：所述设备主体（1）内左右两侧壁的纵向滑槽（3）内设有底板（4），所述晶圆结构（2）底端设于底板（4）上顶面的卡槽（5）内，所述设备主体（1）上螺接有两根调节螺栓（6），两根所述调节螺栓（6）的底端分别设于底板（4）上表面的左右两侧；定位调节组件包括通过支架支撑且转动设于支架上的转动套管（7）、与转动套管（7）左右两端螺旋套接的两根调节轴杆（8）以及分别设于两根调节轴杆（8）的末端且通过轴承座（9）连接的垂向夹杆（10），所述垂向夹杆（10）末端的夹块（11）内侧设有与晶圆结构（2）左右两侧夹持定位的橡胶夹板（12）；所述设备主体（1）顶端的电机座（13）内设有驱动电机（14），所述驱动电机（14）上驱动轴末端的转动齿盘（15）与转动套管（7）中部的外齿轮（16）啮合。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆设备的可调节定位装置，其特征在于：所述卡槽（5）内侧设有与晶圆结构（2）表面接触的海绵防滑垫（17）。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆设备的可调节定位装置，其特征在于：所述调节螺栓（6）的顶端设于电机座（13）的左右两侧且调节螺栓（6）的顶端设有限位块。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆设备的可调节定位装置，其特征在于：所述夹块（11）与垂向夹杆（10）的底端套接并通过螺栓固定。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆设备的可调节定位装置，其特征在于：所述橡胶夹板（12）的内侧设有与晶圆结构（2）外缘卡接的限位夹槽（18），所述限位夹槽（18）内壁上设有呈阶梯状的卡位（19）。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆设备的可调节定位装置，其特征在于：所述电机座（13）内左侧转动设有末端与转动齿盘（15）同轴心连接的支撑轴（20）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202220873650.7U CN217719554U (zh) | 2022-04-15 | 2022-04-15 | 一种晶圆设备的可调节定位装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202220873650.7U CN217719554U (zh) | 2022-04-15 | 2022-04-15 | 一种晶圆设备的可调节定位装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN217719554U true CN217719554U (zh) | 2022-11-01 |
Family
ID=83791803
Family Applications (1)
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| CN202220873650.7U Active CN217719554U (zh) | 2022-04-15 | 2022-04-15 | 一种晶圆设备的可调节定位装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN217719554U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116564873A (zh) * | 2023-06-05 | 2023-08-08 | 江苏纳沛斯半导体有限公司 | 一种半导体晶圆定点定位机构及定点定位步骤 |
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2022
- 2022-04-15 CN CN202220873650.7U patent/CN217719554U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN116564873A (zh) * | 2023-06-05 | 2023-08-08 | 江苏纳沛斯半导体有限公司 | 一种半导体晶圆定点定位机构及定点定位步骤 |
| CN116564873B (zh) * | 2023-06-05 | 2024-05-10 | 江苏纳沛斯半导体有限公司 | 一种半导体晶圆定点定位机构及定点定位步骤 |
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