CN217691053U - 扫描电镜二次电子探测器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种扫描电镜二次电子探测器，所述扫描电镜二次电子探测器包括：筒体组件、栅网组件、高压筒体、导光柱、闪烁体、外壳、光电倍增镜和电源，高压筒体包括在筒体组件的轴向方向上连接的上高压筒段和下高压筒段。根据本实用新型的扫描电镜二次电子探测器，通过设置下高压筒段的外周壁的径向尺寸在上高压筒段至下高压筒段的方向上逐渐减小，使得高压筒体在传输高压时，最大程度避免高压放电现象的发生，从而最大程度避免高压放电现象对扫描电镜二次电子探测器的探测效率和成像效果的影响。

Description

扫描电镜二次电子探测器

技术领域

本实用新型涉及扫描电镜领域，尤其是涉及一种扫描电镜二次电子探测器。

背景技术

SEM(Scanning Electron Microscope，扫描电子显微镜)是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器，其在材料、生命科学等领域有着非常广泛的应用。SEM的测样动作是高能电子束打在固定在标准样品托表面的试样品上，试验品表面被高能电子束轰击出来并离开样品表面的样品原子的核外电子称为二次电子，由于二次电子对样品的表面形貌十分敏感，能有效的显示样品的表面形貌，因此SEM的主要成像方式是二次电子像。

其中，在SEM应用中，扫描电镜二次电子探测器用于收集和分析二次电子，而在扫描电镜二次电子探测器中，为闪烁体提供高压的高压筒体是必不可少的部件。在现有的扫描电镜二次电子探测器中，通过高压筒体传输高压时，容易发生高压放电现象，从而影响扫描电镜二次电子探测器的探测效率以及成像效果。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种扫描电镜二次电子探测器，所述扫描电镜二次电子探测器的探测效率更高、成像效果更清晰。

根据本实用新型实施例的扫描电镜二次电子探测器，包括：筒体组件，所述筒体组件内形成第一容纳空间，所述第一容纳空间的轴向两端敞开；栅网组件，所述栅网组件设于所述筒体组件的轴向一端；高压筒体，所述高压筒体设于所述第一容纳空间内，所述高压筒体包括在所述筒体组件的轴向方向上连接的上高压筒段和下高压筒段，所述下高压筒段位于所述上高压筒段的靠近所述栅网组件的一侧，所述下高压筒段的外周壁的径向尺寸在所述上高压筒段至所述下高压筒段的方向上逐渐减小；导光柱，所述导光柱设于所述上高压筒段内和所述下高压筒段内；闪烁体，所述闪烁体设于所述下高压筒段内且位于所述导光柱的朝向所述栅网组件的一侧，并与所述导光柱止抵；外壳，所述外壳具有第二容纳空间，所述外壳的一端与所述筒体组件的远离所述栅网组件的一端连接，所述第一容纳空间和所述第二容纳空间连通；光电倍增管，所述光电倍增管设于所述第二容纳空间内，所述导光柱的远离所述闪烁体的一端伸入所述第二容纳空间内与所述光电倍增管止抵；电源，所述电源设于所述第二容纳空间内且位于所述光电倍增管的远离所述导光柱的一侧且与所述光电倍增管连接。

根据本实用新型实施例的扫描电镜二次电子探测器，通过设置高压筒体包括在筒体组件的轴向方向上连接的上高压筒段和下高压筒段，下高压筒段的外周壁的径向尺寸在上高压筒段至下高压筒段的方向上逐渐减小，使得高压筒体在传输高压时，最大程度避免高压放电现象的发生，从而最大程度避免高压放电现象对扫描电镜二次电子探测器的探测效率和成像效果的影响。

根据本实用新型的一些实施例，所述上高压筒段和所述下高压筒段为一体件；或，所述上高压筒段和所述下高压筒段为相互连接的分体件。

根据本实用新型的一些实施例，所述下高压筒段的远离所述上高压筒段的一端设有向所述下高压筒段的中心线方向延伸的止挡部，所述闪烁体与所述止挡部的朝向所述上高压筒段的表面止抵。

根据本实用新型的一些实施例，所述上高压筒段与所述导光柱之间设有第一密封圈。

根据本实用新型的一些实施例，所述下高压筒段的周壁上开设排气孔。

根据本实用新型的一些实施例，所述筒体组件包括：屏蔽筒，所述栅网组件与所述屏蔽筒的轴向一端连接；第一法兰，所述第一法兰的轴向一端与所述屏蔽筒的远离所述栅网组件的一端连接，所述第一法兰和所述屏蔽筒限定出所述第一容纳空间，所述外壳与所述第一法兰连接；所述第一法兰套设于所述上高压筒段外，所述第一法兰和所述上高压筒段之间具有第二密封圈。

根据本实用新型的一些实施例，还包括：第二法兰，所述第二法兰与所述第一法兰连接且位于所述第一法兰的径向外侧，所述屏蔽筒的远离所述栅网组件的一端位于所述第一法兰和所述第二法兰之间；所述第一法兰和所述第二法兰之间设有第三密封圈。

根据本实用新型的一些实施例，所述扫描电镜二次电子探测器还包括：第三法兰，所述第三法兰套设在所述筒体组件和所述外壳外；所述第三法兰和所述筒体组件之间设有第四密封圈，所述第三法兰的朝向所述栅网组件的一侧表面上设有第五密封圈。

根据本实用新型的一些实施例，所述第三法兰上具有在所述第三法兰的厚度方向上贯穿所述第三法兰的贯穿孔，所述扫描电镜二次电子探测器还包括第一供电组件，所述第一供电组件包括连接板和设于所述连接板厚度方向两侧的连接柱，所述连接板与所述第三法兰连接，所述连接板一侧的所述连接柱穿设于所述贯穿孔，所述连接板和所述第三法兰之间设有密封垫。

根据本实用新型的一些实施例，还包括：压盖，所述压盖套设于所述导光柱上，所述第一法兰包括第一配合段和第二配合段，所述第一配合段套设于所述上高压筒段上，所述第二配合段套设于所述压盖上；所述第一配合段的朝向所述第二配合段的断面上设有配合槽，所述压盖的部分位于所述配合槽内。

根据本实用新型的一些实施例，所述外壳的一端套设于所述筒体组件外，所述扫描电镜二次电子探测器还包括：用于为所述高压筒体供电的第二供电组件，所述第二供电组件包括电阻、连接器和弹簧，所述电阻穿设于所述外壳和所述筒体组件上，所述连接器与所述电阻连接，所述弹簧设于所述电阻和所述高压筒体之间以连接所述电阻和所述高压筒体；绝缘套筒，所述绝缘套筒设于所述电阻和所述外壳之间以及所述电阻和所述筒体组件之间。

根据本实用新型的一些实施例，所述弹簧的远离所述电阻一端设有金属板，所述金属板与所述高压筒体止抵。

根据本实用新型的一些实施例，所述栅网组件包括：金属支架，所述金属支架形成为环形，所述金属支架设于所述筒体组件上；所述金属支架和所述筒体组件之间设有绝缘圈；栅网，所述栅网设于所述金属支架上。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型实施例的扫描电镜二次电子探测器的立体图；

图2是根据本实用新型实施例的扫描电镜二次电子探测器的剖面图；

图3是图2中A处的放大图；

图4是根据本实用新型实施例的扫描电镜二次电子探测器另一个角度的立体图，其中筒体组件、栅网组件和外壳隐藏。

附图标记：

100、扫描电镜二次电子探测器；

1、筒体组件；11、屏蔽筒；111、第一容纳空间；12、第一法兰；121、第二密封圈；122、第一配合段；1221、配合槽；123、第二配合段；13、第二法兰；131、第三密封圈；132、竖直段；133、延伸段；14、第三法兰；141、第四密封圈；142、第五密封圈；15、压盖；

2、栅网组件；21、金属支架；22、绝缘圈；23、栅网；

3、高压筒体；31、上高压筒段；32、下高压筒段；321、止挡部；322、排气孔；33、第一密封圈；

4、导光柱；

5、闪烁体；

6、外壳；61、第二容纳空间；62、壳体；63、端盖；631、电信号接头；

7、光电倍增管；71、凸接电头；

8、电源；81、凹槽；

91、第一供电组件；911、连接板；912、连接柱；

92、第二供电组件；921、电阻；922、连接器；923、弹簧；9231、金属板；924、绝缘套筒。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考图1-图4描述根据本实用新型实施例的扫描电镜二次电子探测器100。

如图1-图4所示，根据本实用新型实施例的扫描电镜二次电子探测器100包括筒体组件1、栅网组件2、高压筒体3、导光柱4、闪烁体5、外壳6、光电倍增管7和电源8。

具体地，如图2所示，筒体组件1内形成第一容纳空间111，第一容纳空间111的轴向两端敞开，使得第一容纳空间111贯通。栅网组件2设于筒体组件1的轴向一端，高压筒体3设于所述第一容纳空间111内，高压筒体3包括在筒体组件1的轴向方向上连接的上高压筒段31和下高压筒段32，下高压筒段32位于上高压筒段31的靠近栅网组件2的一侧，下高压筒段32的外周壁的径向尺寸在上高压筒段31至下高压筒段32的方向上逐渐减小，通过这样的设置使得高压筒体3在传输高压时，可以最大程度避免高压放电现象的发生。其中，下高压筒段32的外周壁的径向尺寸为：以下高压筒段32的中心为中心，中心与下高压筒段32的外周壁的外边缘的连线方向为径向方向，径向方向的尺寸为径向尺寸。

进一步地，上高压筒段31的外周壁的径向尺寸在上高压筒段31至下高压筒段32的方向上保持不变。其中，上高压筒段31的外周壁的径向尺寸为：以上高压筒段31的中心为中心，中心与上高压筒段31的外周壁的外边缘的连线方向为径向方向，径向方向的尺寸为径向尺寸，这样的设置可以使扫描电镜二次电子探测器100装配时，上高压筒段31更方便装配至第一容纳空间111内。

可选地，上高压筒段31横截面的外轮廓为圆形，下高压筒段32横截面的外轮廓为圆形，即上高压筒段31的外轮廓为横截面尺寸恒定的圆柱状，下高压筒段的外轮廓32为横截面尺寸在上高压筒段31至下高压筒段32的方向上逐渐减小的圆台状。

更进一步地，上高压筒段31和下高压筒段32的外周壁在加工制作时进行精抛处理，进一步降低高压放电现象的发生。

如图2所示，导光柱4设于上高压筒段31内和下高压筒段32内，闪烁体5设于下高压筒段32内且位于导光柱4的朝向栅网组件2的一侧，并与导光柱4止抵。可以理解的是，扫描电镜二次电子探测器100是通过高压筒体3给闪烁体5供高压电，使得闪烁体5将栅网组件2吸收的电子转化为光信号，光信号再经导光柱4传输，通过设置下高压筒段32的外周壁的径向尺寸在上高压筒段31至下高压筒段32的方向上逐渐减小，可在最大程度避免使用扫描电镜二次电子探测器100时高压放电现象对探测效率和成像效果的影响。

外壳6具有第二容纳空间61，外壳6的一端与筒体组件1的远离栅网组件2的一端连接，第一容纳空间111和第二容纳空间61连通，光电倍增管7设于第二容纳空间61内，导光柱4的远离闪烁体5的一端伸入第二容纳空间61内与光电倍增管7止抵，从而使经导光柱4传输的光信号可以传输至光电倍增管7上，通过光电倍增管7使光信号转化为电信号后输出至外部进行成像。

电源8设于第二容纳空间61内且位于光电倍增管7的远离导光柱4的一侧且与光电倍增管7连接，通过电源8为光电倍增管7提供电压，光电倍增管7对电信号进行放大和滤波。进一步地，光电倍增管7的远离导光柱4的一侧可设置凸接电头71，电池的接近光电倍增管7的一侧设置有与凸接电头71配合的凹槽81，通过凸接电头71与凹槽81的配合实现电源8对光电倍增管7提供电压。

可选地，如图2所示，外壳6包括壳体62和端盖63，壳体62形成为筒状，壳体62的一端与筒体组件1的远离栅网组件2的一端连接，光电倍增管7和电源8设在壳体62内，端盖63设于壳体62的远离筒体组件1的一端，端盖63用于封堵壳体62的远离筒体组件1的一端的敞开口，由此便于光电倍增管7和电源8的安装和装配。同时，在端盖63上设有电信号接头631，通过电信号接头631将光电倍增管7转化的电信号输出至外接装置，通过检测的电信号的强弱可分析二次电子的产额，从而测出样品表面的形貌。

根据本实用新型实施例的扫描电镜二次电子探测器100，通过设置高压筒体3包括在筒体组件1的轴向方向上连接的上高压筒段31和下高压筒段32，下高压筒段32的外周壁的径向尺寸在上高压筒段31至下高压筒段32的方向上逐渐减小，使得高压筒体3在传输高压时，最大程度避免高压放电现象的发生，从而最大程度避免高压放电现象对扫描电镜二次电子探测器100的探测效率和成像效果的影响。

在本发明的一些实施例中，上高压筒段31的内周壁和下高压筒段32的内周壁平齐，上高压筒段31的内周壁的径向尺寸和下高压筒段32的内周壁的径向尺寸相同，且上高压筒段31的内周壁的径向尺寸和下高压筒段32的内周壁的径向尺寸与导光柱4的外周壁的径向尺寸可以大体相同，从而可以固定导光柱4，进一步保证扫描电镜二次电子探测器100运行时的可靠性。

在本实用新型的一些实施例中，上高压筒段31和下高压筒段32为一体件或上高压筒段31和下高压筒段32为相互连接的分体件。可以理解的是，上高压筒段31和下高压筒段32可以一体件形成高压筒体3，从而提升高压筒体3整体结构的稳定性和可靠性。需要说明的是，一体件可以是一体成型件，也可以是二次注塑成型件等；上高压筒段31和下高压筒段32也可以为分体件，通过装配连接形成高压筒体3，从而使上高压筒段31和下高压筒段32可以分别加工成符合各自外周壁的径向尺寸，同时，分体件的设计方便扫描电镜二次电子探测器100的装配。需要说明的是，上高压筒段31和下高压筒段32装配连接的具体方式不限，可以为不可拆卸的装配连接，例如铆接、焊接等；也可以为可拆卸地装配连接，例如螺纹连接、卡扣连接、磁吸连接等，从而可以根据需要拆卸上高压筒段31或下高压筒段32，以进行清洁、更换、维修等操作。

例如，在一些具体的实施例中，上高压筒段31靠近下高压筒段32的外周壁设置外螺纹，上下高压筒段32靠近上高压筒段31的内周壁设置与外螺纹相配合的内螺纹，通过内螺纹与外螺纹的配合实现上高压筒段31与下高压筒段32的连接。

在本实用新型的一些实施例中，如图2-图4所示，下高压筒段32的远离上高压筒段31的一端设有向下高压筒段32的中心线方向延伸的止挡部321，闪烁体5与止挡部321的朝向上高压筒段31的表面止抵。通过设置止挡部321对闪烁体5在在筒体组件1的轴向方向上进行限位，以使闪烁体5与导光柱4止抵，从而实现了闪烁体5的固定，，进一步保证扫描电镜二次电子探测器100运行时的可靠性，进而使闪烁体5转化的光信号可以通过导光柱4传输。

可以理解的是，通过在下高压筒段32设置与闪烁体5止抵的止挡部321，使高压筒体3与闪烁体5直接接触，从而使通过高压筒体3传输的高压可以直接传输给闪烁体5，无需在扫描电镜二次电子探测器100内设置连接高压筒体3和闪烁体5的高压电线，进而减少装配步骤、节约成本，减小扫描电镜二次电子探测器100的体积，同时相较于现有技术通过高压电线向闪烁体输送高压的方式，本实用新型的证扫描电镜二次电子探测器100可以避免高压电线在传输高压时对电信号产生干扰，进一步保证了二次电子成像的清晰度。

另外，闪烁体5的外周壁与下高压筒段32的内周壁可以接触，从而实现下高压筒段32与闪烁体5之间的电连接，从而使得高压筒体3可以为闪烁体5进行供电。

在本实用新型的一些实施例中，如图3所示，上高压筒段31与导光柱4之间设有第一密封圈33。导光柱4一端与闪烁体5止抵，另一端与光电倍增管7止抵，通过在上高压筒段31与导光柱4之间设置第一密封圈33，使得上高压筒段31与导光柱4之间存在一定的摩擦力，从而实现了导光柱4的固定。

在扫描电镜二次电子探测器100工作时，下高压筒段32、导光柱4部分、闪烁体5和栅网组件2需要处于真空环境中，因此，第一密封圈33还用于密封上高压筒段31与导光柱4之间的间隙，从而使外界空气无法通过上高压筒段31和导光柱4之间的间隙进入真空环境中。

在本实用新型的一些实施例中，如图4所示，下高压筒段32的周壁上开设排气孔322。这样的设置保证扫描电镜二次电子探测器100在真空抽气时下高压筒段32内的气体全部被抽出，从而保证扫描电镜二次电子探测器100工作时处于真空环境。

图4中显示了三个排气孔322用于示例说明的目的，但是普通技术人员在阅读了下面的技术方案之后、显然可以理解该方案排气孔322设置为一个、两个、四个或者更多的技术方案也落入本实用新型的保护范围之内。当然，排气孔322还可以围绕下高压筒的周壁均匀或不均匀设置多个。需要说明的是，排气孔322的形状在此不做限制，可以是腰形孔、圆形孔、椭圆形孔、长方形孔、正方形孔或其他异形孔。

在本实用新型的一些实施例中，如图2和图3所示，筒体组件1包括屏蔽筒11和第一法兰12。其中，屏蔽筒11的轴向一端与栅网组件2连接，第一法兰12的轴向一端与屏蔽筒11的远离栅网组件2的一端连接，第一法兰12和屏蔽筒11限定出第一容纳空间111。可以理解的是，高压筒体3设于第一法兰12和屏蔽筒11内，屏蔽筒11可以屏蔽噪声，从而减少电信号的噪声污染，使二次电子成像更加清晰。

外壳6与第一法兰12连接实现了第一容纳空间111和第二容纳空间61的连通。可选地，外壳6与第一法兰12通螺栓紧固连接。第一法兰12套设于上高压筒段31外，第一法兰12和上高压筒段31之间具有第二密封圈121。第二密封圈121用于密封上高压筒段31与第一法兰12之间的间隙，从而使外界空气无法通过上高压筒段31与第一法兰12之间的间隙进入真空环境中。

在本实用新型的一些实施例中，如图2和图3所示，筒体组件1还包括第二法兰13。其中，第二法兰13与第一法兰12连接且位于第一法兰12的径向外侧，屏蔽筒11的远离栅网组件2的一端位于第一法兰12和第二法兰13之间。通过设置第二法兰13可以更好地固定屏蔽筒11，从而保证扫描电镜二次电子探测器100整体结构的稳定性。可选地，第二法兰13与第一法兰12通过螺栓紧固连接。第一法兰12和所述第二法兰13之间设有第三密封圈131。第三密封圈131用于密封第一法兰12与第二法兰13之间的间隙，从而使外界空气无法通过第一法兰12与第二法兰13之间的间隙进入真空环境中。

在本实用新型的一些实施例中，如图2和图3所示，扫描电镜二次电子探测器100还包括第三法兰14，第三法兰14套设在筒体组件1和外壳6外，第三法兰14和筒体组件1之间设有第四密封圈141，第三法兰14的朝向栅网组件2的一侧表面上设有第五密封圈142。可以理解的是，在扫描电镜二次电子探测器100装配至试验品检测空间预留的装配孔时，第三法兰14朝向栅网组件2的部分位于检测空间内部，第四密封圈141用于密封第三法兰14与筒体组件1之间的间隙，第五密封圈142用于密封第三法兰14与SEM之间的间隙，从而使外界空气无法通过第三法兰14与筒体组件1之间的间隙和第三法兰14与SEM之间的间隙进入真空环境中。

在本实用新型的一些实施例中，如图1所示，第三法兰14上具有在第三法兰14的厚度方向上贯穿第三法兰14的贯穿孔，扫描电镜二次电子探测器100还包括第一供电组件91，第一供电组件91包括连接板911和设于连接板911厚度方向两侧的连接柱912，连接板911与第三法兰14连接，连接板911一侧的连接柱912穿设于贯穿孔。可以理解的是，第一供电组件91设于第三法兰14上且通过穿设筒体组件1的导线(图中未示出)为栅网组件2供电。连接板911和第三法兰14之间设有密封垫，密封垫的设置可以密封连接板911和第三法兰14之间的间隙，从而使扫描电镜二次电子探测器100工作时外界空气无法通过贯穿孔进入真空环境中。

在本实用新型的一些实施例中，如图2和图3所示，筒体组件1还包括压盖15。压盖15套设于导光柱4上，第一法兰12包括第一配合段122和第二配合段123，第一配合段122套设于上高压筒段31上，第二配合段123套设于压盖15上，第一配合段122的朝向第二配合段123的断面上设有配合槽1221，压盖15的部分位于配合槽1221内。压盖15的设置可以进一步保证在检测空间内的扫描电镜二次电子探测器100处于真空密封环境，同时隔绝外部光源对扫描电镜二次电子探测器100的干扰。另外，通过在第一法兰12上设置与压盖15配合的配合槽1221，增加了电子在压盖15和第一法兰12表面上的爬行距离，从而使传输至高压筒体3的高压性能更好，进一步防止真空放电产生信号干扰。优选地，压盖15和第一法兰12采用聚醚醚酮材料制成。需要说明的是，配合槽1221的数量在此不做限制。

当然，也可以在第二配合段123上设有凸块，压盖15上开设有与凸块配合的槽，以实现压盖15与第一法兰12的连接，同时增加电子在压盖15和第一法兰12表面上的爬行距离。

进一步地，第二配合段123的外轮廓的径向尺寸大于第一配合段122的外轮廓的径向尺寸，外壳6与第二配合段123连接，第二法兰13套设在第一配合段122外。这样的设置使得第二法兰13套设在第一配合段122外与第一法兰12连接时，第二法兰13的外轮廓的径向尺寸可以小于外壳6的外轮廓的径向尺寸，从而使外壳6可以覆盖第一法兰12和第二法兰13，进而保护第一法兰12和第二法兰13，增强扫描电镜二次电子探测器100整体结构的稳定性。

更进一步地，第二法兰13包括竖直段132和延伸段133，竖直段132套设在第一配合段122外，屏蔽筒11的远离栅网组件2的一端设于竖直段132和第一配合段122之间，延伸段133与竖直段132的远离栅网组件2的一端连接且与第二配合段123的朝向栅网组件2的表面配合。这样的设置可以进一步固定屏蔽筒11，避免扫描电镜二次电子探测器100在真空抽气时屏蔽筒11发生偏移。

在本实用新型的一些实施例中，如图2和图3所示，外壳6的一端套设于筒体组件1外，扫描电镜二次电子探测器100还包括绝缘套筒924和用于为高压筒体3供电的第二供电组件92，第二供电组件92包括电阻921、连接器922和弹簧923。其中，电阻921穿设于外壳6和筒体组件1上，连接器922与电阻921连接，弹簧923设于电阻921和高压筒体3之间以连接电阻921和高压筒体3。可以理解的是，连接器922输的高压经电阻921、弹簧923传输至高压筒体3上，通过弹簧923的设置允许电阻921与高压筒体3装配时可以存在一定的弹性误差，避免扫描电镜二次电子探测器100装配时电阻921与高压筒体3过远导致的接触不良，或是电阻921过于挤压高压筒体3造成损坏。

绝缘套筒924设于电阻921和外壳6之间以及电阻921和筒体组件1之间。这样的设置可以有效避免电阻921传输的高电压接触空气发生气体击穿现象，同时避免外壳6上有高压电造成触电。

在本实用新型的一些实施例中，如图3所示，弹簧923的远离电阻921一端设有金属板9231，金属板9231与高压筒体3止抵。可以理解的是，电阻921传输的高压电通过金属板9231传递至高压筒体3，金属板9231的设置增加了弹簧923与高压筒体3的接触面积，提升高压电的传输效率。

在本实用新型的一些实施例中，如图1所示，栅网组件2包括金属支架21和栅网23，栅网23设于金属支架21上，金属支架21形成为环形，从而使栅网23远离试验品的一端成环形，进而提高栅网组件2吸收二次电子的效率。金属支架21设于筒体组件1上，金属支架21和筒体组件1之间设有绝缘圈22，绝缘圈22的设置可以有效绝缘金属支架21与筒体组件1。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (13)

1.一种扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，包括：

筒体组件，所述筒体组件内形成第一容纳空间，所述第一容纳空间的轴向两端敞开；

栅网组件，所述栅网组件设于所述筒体组件的轴向一端；

高压筒体，所述高压筒体设于所述第一容纳空间内，所述高压筒体包括在所述筒体组件的轴向方向上连接的上高压筒段和下高压筒段，所述下高压筒段位于所述上高压筒段的靠近所述栅网组件的一侧，所述下高压筒段的外周壁的径向尺寸在所述上高压筒段至所述下高压筒段的方向上逐渐减小；

导光柱，所述导光柱设于所述上高压筒段内和所述下高压筒段内；

闪烁体，所述闪烁体设于所述下高压筒段内且位于所述导光柱的朝向所述栅网组件的一侧，并与所述导光柱止抵；

外壳，所述外壳具有第二容纳空间，所述外壳的一端与所述筒体组件的远离所述栅网组件的一端连接，所述第一容纳空间和所述第二容纳空间连通；

光电倍增管，所述光电倍增管设于所述第二容纳空间内，所述导光柱的远离所述闪烁体的一端伸入所述第二容纳空间内与所述光电倍增管止抵；

电源，所述电源设于所述第二容纳空间内且位于所述光电倍增管的远离所述导光柱的一侧且与所述光电倍增管连接。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述上高压筒段和所述下高压筒段为一体件；

或，所述上高压筒段和所述下高压筒段为相互连接的分体件。

3.根据权利要求1所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述下高压筒段的远离所述上高压筒段的一端设有向所述下高压筒段的中心线方向延伸的止挡部，所述闪烁体与所述止挡部的朝向所述上高压筒段的表面止抵。

4.根据权利要求1所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述上高压筒段与所述导光柱之间设有第一密封圈。

5.根据权利要求1所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述下高压筒段的周壁上开设排气孔。

6.根据权利要求1所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述筒体组件包括：

屏蔽筒，所述栅网组件与所述屏蔽筒的轴向一端连接；

第一法兰，所述第一法兰的轴向一端与所述屏蔽筒的远离所述栅网组件的一端连接，所述第一法兰和所述屏蔽筒限定出所述第一容纳空间，所述外壳与所述第一法兰连接，所述第一法兰套设于所述上高压筒段外，所述第一法兰和所述上高压筒段之间具有第二密封圈。

7.根据权利要求6所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，还包括：

第二法兰，所述第二法兰与所述第一法兰连接且位于所述第一法兰的径向外侧，所述屏蔽筒的远离所述栅网组件的一端位于所述第一法兰和所述第二法兰之间，所述第一法兰和所述第二法兰之间设有第三密封圈。

8.根据权利要求1所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述扫描电镜二次电子探测器还包括：

第三法兰，所述第三法兰套设在所述筒体组件和所述外壳外，所述第三法兰和所述筒体组件之间设有第四密封圈，所述第三法兰的朝向所述栅网组件的一侧表面上设有第五密封圈。

9.根据权利要求8所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述第三法兰上具有在所述第三法兰的厚度方向上贯穿所述第三法兰的贯穿孔，所述扫描电镜二次电子探测器还包括第一供电组件，所述第一供电组件包括连接板和设于所述连接板厚度方向两侧的连接柱，所述连接板与所述第三法兰连接，所述连接板一侧的所述连接柱穿设于所述贯穿孔，所述连接板和所述第三法兰之间设有密封垫。

10.根据权利要求6所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，还包括：

压盖，所述压盖套设于所述导光柱上，所述第一法兰包括第一配合段和第二配合段，所述第一配合段套设于所述上高压筒段上，所述第二配合段套设于所述压盖上，所述第一配合段的朝向所述第二配合段的断面上设有配合槽，所述压盖的部分位于所述配合槽内。

11.根据权利要求1所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述外壳的一端套设于所述筒体组件外，所述扫描电镜二次电子探测器还包括：

用于为所述高压筒体供电的第二供电组件，所述第二供电组件包括电阻、连接器和弹簧，所述电阻穿设于所述外壳和所述筒体组件上，所述连接器与所述电阻连接，所述弹簧设于所述电阻和所述高压筒体之间以连接所述电阻和所述高压筒体；

绝缘套筒，所述绝缘套筒设于所述电阻和所述外壳之间以及所述电阻和所述筒体组件之间。

12.根据权利要求11所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述弹簧的远离所述电阻一端设有金属板，所述金属板与所述高压筒体止抵。

13.根据权利要求1所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述栅网组件包括：

金属支架，所述金属支架形成为环形，所述金属支架设于所述筒体组件上，所述金属支架和所述筒体组件之间设有绝缘圈；

栅网，所述栅网设于所述金属支架上。

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