CN217668714U - 一种抛光垫粘贴装置 - Google Patents

Abstract

本申请实施例公开了一种抛光垫粘贴装置，包括压紧件、夹持舒展组件和驱动组件。夹持舒展组件在驱动组件的作用下贴合抛光垫的上下表面运动，使抛光垫处于舒展状态，压紧件在驱动组件的作用下沿着抛光垫的上表面运动，对粘贴在大盘上的抛光垫施加压紧力，使抛光垫平整粘贴在抛光机的大盘上。夹持舒展组件对抛光垫进行夹持舒展，舒展后的抛光垫粘贴在大盘上，压紧件同时对粘贴在大盘上的抛光垫进行压紧，使抛光垫在大盘上粘贴平整。本申请公开的抛光垫粘贴装置能够实现抛光垫在大盘上的自动粘贴，相对于现有技术中通过人工手动粘贴的方式，降低了抛光垫粘贴的人工劳动强度。

Description

一种抛光垫粘贴装置

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，特别涉及一种抛光垫粘贴装置。

背景技术

现有技术中，抛光垫一般是通过工作人员手动贴布在抛光机的大盘上，导致抛光垫的贴布效率低，人工劳动强度大。

因此，如何提高抛光垫的贴布效率，降低抛光垫贴布的人工劳动强度，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本申请提出了一种抛光垫粘贴装置，以提高抛光垫的贴布效率，降低抛光垫贴布的人工劳动强度。

为了实现上述目的，本申请提供了一种抛光垫粘贴装置，包括：

压紧件，能够位于抛光垫的上表面，用于向所述抛光垫施加压紧力；

夹持舒展组件，能够夹持所述抛光垫，使所述抛光垫处于舒展状态；

驱动组件，与所述压紧件和所述夹持舒展组件连接，用于驱动所述夹持舒展组件在所述抛光垫上运动，同时驱动所述压紧件沿所述抛光垫的上表面运动，以压紧所述抛光垫在抛光机的大盘上。

优选地，在上述抛光垫粘贴装置中，所述夹持舒展组件包括上夹持件、下夹持件和连接组件，

所述连接组件用于连接所述上夹持件和所述下夹持件；

所述上夹持件和所述下夹持件平行且能够分别位于所述抛光垫的上表面和下表面，所述上夹持件与所述下夹持件之间的距离至少等于所述抛光垫的厚度。

优选地，在上述抛光垫粘贴装置中，所述上夹持件为滚筒或夹板，所述下夹持件为滚筒或夹板。

优选地，在上述抛光垫粘贴装置中，所述上夹持件和所述下夹持件为长度可调夹持件，所述长度可调夹持件的最大长度至少等于所述抛光垫的直径，所述长度可调夹持件的长度方向的两端分别设置所述连接组件。

优选地，在上述抛光垫粘贴装置中，所述驱动组件包括：

圆形滑轨，所述圆形滑轨的直径至少等于所述大盘的直径；

第一滑杆，能够在所述圆形滑轨上滑动，所述第一滑杆的个数为两个，且分别与所述连接组件连接，所述第一滑杆与所述压紧件连接。

优选地，在上述抛光垫粘贴装置中，所述连接组件包括：

第一连接杆，与所述上夹持件连接；

第二连接杆，与所述下夹持件连接；

第三连接杆，所述第三连接杆的两端分别与所述第一连接杆和所述第二连接杆连接，所述第三连接杆与所述驱动组件连接。

优选地，在上述抛光垫粘贴装置中，所述第一连接杆通过调节螺杆与所述第三连接杆连接，和/或，所述第二连接杆通过调节螺杆与所述第三连接杆连接。

优选地，在上述抛光垫粘贴装置中，所述压紧件通过拉杆或链条或钢丝绳与所述驱动组件连接。

优选地，在上述抛光垫粘贴装置中，所述压紧件为棱柱形压紧件，所述棱柱形压紧件的其中一个棱柱面压紧在所述抛光垫上。

优选地，在上述抛光垫粘贴装置中，还包括测距传感器，与所述驱动组件连接，用于检测所述测距传感器与所述大盘的上表面之间的第一距离以及所述测距传感器与所述抛光垫的上表面之间的第二距离。

本申请实施例提供的抛光垫粘贴装置，包括压紧件、夹持舒展组件和驱动组件配合。夹持舒展组件在驱动组件的作用下贴合抛光垫的上下表面运动，使抛光垫处于舒展状态，压紧件在驱动组件的作用下对粘贴在大盘上的抛光垫施加压紧力，使抛光垫平整粘贴在抛光机的大盘上。夹持舒展组件对抛光垫进行夹持舒展，舒展后的抛光垫粘贴在大盘上，压紧件同时对粘贴在大盘上的抛光垫进行压紧，使抛光垫在大盘上粘贴平整。本申请公开的抛光垫粘贴装置能够实现抛光垫在大盘上的自动粘贴，相对于现有技术中通过人工手动粘贴的方式，降低了抛光垫粘贴的人工劳动强度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些示例或实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图，而且还可以根据提供的附图将本申请应用于其它类似情景。除非从语言环境中显而易见或另做说明，图中相同标号代表相同结构或操作。

图1是本申请的抛光垫粘贴装置的结构示意图；

图2是本申请的夹持舒展组件的结构示意图。

其中：

1、压紧件，2、抛光垫，3、夹持舒展组件，31、上夹持件， 32、下夹持件，33、连接组件，4、驱动组件，41、圆形滑轨，42、第一滑杆，5、拉杆，6、测距传感器。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关申请，而非对该申请的限定。所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关申请相关的部分。在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

应当理解，本申请中使用的“系统”、“装置”、“单元”和/或“模块”是用于区分不同级别的不同组件、元件、部件、部分或装配的一种方法。然而，如果其他词语可实现相同的目的，则可通过其他表达来替换该词语。

如本申请和权利要求书中所示，除非上下文明确提示例外情形，“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数，也可包括复数。一般说来，术语“包括”与“包含”仅提示包括已明确标识的步骤和元素，而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列，方法或者设备也可能包含其它的步骤或元素。由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、商品或者设备中还存在另外的相同要素。

其中，在本申请实施例的描述中，除非另有说明，“/”表示或的意思，例如，A/B可以表示A或B；本文中的“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，在本申请实施例的描述中，“多个”是指两个或多于两个。

以下，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

本申请中使用了流程图用来说明根据本申请的实施例的系统所执行的操作。应当理解的是，前面或后面操作不一定按照顺序来精确地执行。相反，可以按照倒序或同时处理各个步骤。同时，也可以将其他操作添加到这些过程中，或从这些过程移除某一步或数步操作。

请参阅图1-图2。

本申请一些实施例公开了一种抛光垫粘贴装置，包括夹持舒展组件3、压紧件1和驱动组件4。

其中，

压紧件1能够位于抛光垫2的上表面，用于向抛光垫2施加压紧力；

夹持舒展组件3能够夹持抛光垫2，使抛光垫2处于舒展状态，防止抛光垫2粘贴在大盘上时出现褶皱或气泡；

驱动组件4与压紧件1和夹持舒展组件3连接，驱动夹持舒展组件3和压紧件1同步在大盘上运动。

驱动组件4驱动夹持舒展组件3贴着抛光垫2的上下表面运动，使抛光垫2始终处于舒展状态，经夹持舒展组件3舒展后的抛光垫 2在重力作用下落在大盘上，随即粘贴在大盘上；

驱动组件4驱动压紧件1在抛光垫2的上表面运动，以对粘贴在大盘上的抛光垫进行压紧，使抛光垫2平整粘贴在大盘上。

夹持舒展组件3距离大盘一定距离，夹持舒展组件3对抛光垫 2进行夹持时，抛光垫2也会距离大盘一定距离，防止抛光垫2在舒展之前粘贴在大盘上。随着夹持舒展组件3贴着抛光垫2的上表面和下表面运动，抛光垫2被舒展的部分在重力作用下贴附在大盘上，抛光垫2没有被舒展的部分仍然与大盘之间保持一定距离，或被工人员手持或被夹持舒展组件3夹持。

压紧件1与夹持舒展组件3之间有一定的距离，在夹持舒展组件3对抛光垫2的一端舒展后，压紧件1才对舒展后的抛光垫2进行压紧，即在工作过程中，夹持舒展组件3先作用下抛光垫2上，压紧件2后作用在抛光垫2上。

本申请公开的抛光垫粘贴装置，包括压紧件1、夹持舒展组件 3和驱动组件4。夹持舒展组件3对抛光垫2进行夹持舒展，舒展后的抛光垫2粘贴在大盘上，压紧件1同时对粘贴在大盘上的抛光垫2进行压紧，使抛光垫2在大盘上粘贴平整，夹持舒展组件3和压紧件1的运动动力均来自驱动组件4。本方案通过压紧件1、夹持舒展组件3和驱动组件4实现抛光垫2在大盘上的自动舒展、自动粘贴和自动压紧，相对于现有技术中抛光垫通过人工粘贴的方式，提高了抛光垫的贴布效率，降低了抛光垫2贴布的人工劳动强度。

夹持舒展组件3包括上夹持件31、下夹持件32和连接组件33。

其中，连接组件33用于连接上夹持件31和下夹持件32，保证上夹持件31和下夹持件32在使用过程中相对位置不变；

上夹持件31和下夹持件32平行且分别位于抛光垫2的上表面和下表面，上夹持件31和下夹持件32之间的距离至少等于抛光垫2的厚度，防止抛光垫2被拉扯变形，且保证抛光垫2能够在重力作用下自动下落。

优选地，上夹持件31和下夹持件32沿竖直方向平行布置。

上夹持件31和下夹持件32可以为固定长度夹持件，也可以为长度可调夹持件。

在上夹持件31和下夹持件32为长度可调夹持件的实施例中，长度可调夹持件的最大长度至少等于抛光垫2的直径，长度可调夹持件的长度方向的两端分别设置连接组件33。

优选地，上夹持件31和下夹持件32的长度相等。

在上夹持件31和下夹持件32为长度可调夹持件的实施例中，驱动组件4包括：

圆形滑轨41，圆形滑轨41的直径至少等于大盘的直径；

第一滑杆42，能够在圆形滑轨41上滑动，第一滑杆42的个数为两个，且分别与连接组件33连接，第一滑杆42与压紧件1连接。

两个第一滑杆42可以同时或飞同时沿圆形滑轨41运动，两个第一滑杆42的运动轨迹的组合为圆环；

两个第一滑杆42可以仅一个沿圆形滑轨41运动，另一个不动，此时运动的第一滑杆42的运动轨迹为圆形。

抛光垫2粘贴初期，两个第一滑杆42之间的距离最短，上夹持件31和下夹持件32的长度也最短；两个第一滑杆42同时或非同时沿着圆形滑轨41滑动或其中一个第一滑杆42沿圆形滑轨41 运动，两个滑杆之间的距离增大，上夹持件31和下夹持件32被第一滑杆42拉长，在两个第一滑杆42所在的直线经过大盘的圆心时，两个第一滑杆42之间的距离达到最大，上夹持件31和下夹持件32 的长度达到最长；两个第一滑杆42继续同时或非同时沿着圆形滑轨41滑动或其中一个第一滑杆42继续沿环形滑轨运动，两个滑杆之间的距离缩短，上夹持件31和下夹持件32的长度缩短，在抛光垫2粘贴末期，两个第一滑杆42之间的距离最短，上夹持件31和下夹持件32的长度也达到最短。

上夹持件31和下夹持件32可以为同种夹持件，也可以为非同种夹持件。

在上夹持件31和下夹持件32为同种夹持件的实施例中，上夹持件31和下夹持件32可以为长度可调滚筒，也可以为长度可调夹板。

在上夹持件31和下夹持件32为不同种夹持件的实施例中，上夹持件31为长度可调滚筒，下夹持件32为长度可调夹板，或者，上夹持件31为长度可调夹板，下夹持件32为长度可调滚筒。

上夹持件31和下夹持件32不限于滚筒和夹板的形式，还可以为其他结构形式，在此不做具体限定。

在上夹持件31和下夹持件32为长度可调滚筒的实施例中，长度可调滚筒包括至少两节同轴布置的滚筒，相邻两节滚筒插接连接。如图2所示，长度可调滚筒包括三节同轴布置的滚筒，相邻两节滚筒插接连接。

在上夹持件31和下夹持件32为长度可调夹板的实施例中，长度可调夹板包括至少两节夹板，相邻两节夹板滑动连接。

在上夹持件31和下夹持件32为固定长度夹持件的实施例中，固定长度夹持件的长度至少等于抛光垫2的直径，固定长度夹持件的两端分别设置连接组件33。

优选地，上夹持件31和下夹持件32的长度相等。

在上夹持件31和下夹持件32为固定长度夹持件的实施例中，驱动组件4包括：

直线型滑轨，直线型滑轨包括两条滑道，两条滑道平行布置；

第二滑杆，个数为两个，能够分别在两条滑道上滑动，且两个第二滑杆分别与连接组件33连接，第二滑杆与压紧件1连接。

两条滑道之间的距离至少等于大盘的直径，两个滑道的长度至少等于大盘的直径，两个第二滑杆分别沿着两条滑道滑动，带动固定长度夹持件沿滑道运动，实现固定长度夹持件自大盘的一端运动至大盘的另一端，此处需要说明的是，大盘的一端和另一端相对，分别位于大盘的径向方向的两端。

上夹持件31和下夹持件32可以为同种夹持件，也可以为非同种夹持件。

在上夹持件31和下夹持件32为同种夹持件的实施例中，上夹持件31和下夹持件32可以为固定长度滚筒，也可以为固定长度夹板。

在上夹持件31和下夹持件32为不同种夹持件的实施例中，上夹持件31为固定长度滚筒，下夹持件32为固定长度夹板，或者，上夹持件31为固定长度夹板，下夹持件32为固定长度滚筒。

上夹持件31和下夹持件32不限于滚筒和夹板的形式，还可以为其他结构形式，在此不做具体限定。

在上夹持件31和下夹持件32均为滚筒的实施例中，上夹持件31 和下夹持件32沿抛光垫2的上表面和下表面运动时，上夹持件31和下夹持件32与抛光垫2滚动配合，一方面能够降低夹持舒展组件3 对抛光垫2的损伤，另一方面能够降低夹持舒展组件3在抛光垫2上运动的阻力。

在上夹持件31和下夹持件32沿抛光垫2的上表面和下表面运动时，上夹持件31与下夹持件32的滚动方向相反。

在上夹持件31和下夹持件32均为夹板的实施例中，上夹持件31 和下夹持件32沿抛光垫2的上表面和下表面运动时，上夹持件31和下夹持件32与抛光垫2滑动配合。优选地，夹板与抛光垫2滑动配合的面为光滑平面，以避免损伤抛光垫2。

在本申请的一些实施例中，连接组件33包括第一连接杆、第二连接杆和第三连接杆。

其中，第一连接杆与上夹持件31连接，第二连接杆与下夹持件 32连接，第三连接杆用于连接第一连接杆和第二连接杆，具体的，第三连接杆的两端分别与第一连接杆和第二连接杆连接。优选地，第一连接杆、第二连接杆和第三连接杆组成U型结构，第一连接杆和第二连接杆构成U型结构的侧部，第三连接杆构成U型结构的底部。

第三连接杆与驱动组件4连接，具体的，在驱动组件4为上述结构的实施例中，第三连接杆与驱动组件4的滑杆连接。

如图1所示，第三连接杆通过第四连接杆与滑杆连接，在夹持舒展组件3沿抛光垫2的上表面和下表面运动上，夹持舒展组件3的角度不发生改变。

为了使本申请公开的抛光垫粘贴装置能够适用于不同厚度的抛光垫2，本申请公开的连接组件33能够对上夹持件31和下夹持件32 之间的距离进行调节。

具体的，第一连接杆通过调节螺杆与第三连接杆连接，和/或，第二连接杆通过调节螺杆与第三连接杆连接。

本申请公开了三种连接组件33的调节形式。

第一种，第一连接杆通过调节螺杆与第三连接杆连接，通过转动调节螺杆，调节第一连接杆的位置，调节上夹持件31与下夹持件32 之间的距离；

第二种，第二连接杆通过调节螺杆与第三连接杆连接，通过转动调节螺杆，调节第二连接杆的位置，调节上夹持件31与下夹持件32 之间的距离；

第三种，第一连接杆和第二连接杆均通过调节螺杆与第三连接杆连接，通过转动至少一个调节螺杆，调节上夹持件31与下夹持件32 之间的距离。

如图1所示，压紧件1通过拉杆5或链条或钢丝绳与驱动组件4 连接，具体的，压紧件1通过拉杆5或链条或钢丝绳与驱动组件4的滑杆连接。

压紧件1的长度方向的两端均设置拉杆5或链条或钢丝绳，拉杆 5或链条或钢丝绳分别与驱动组件4的两个滑杆连接。上述设计能够使压紧件1的两端受力均匀，保证压紧件1能够沿抛光垫2的上表面运动。

压紧件1为不对抛光垫2造成表面损伤的无棱材质。

压紧件1为棱柱形压紧件，棱柱形压紧件的其中一个面与抛光垫 2的表面贴合。如图1所示，压紧件1为六棱柱形压紧件。

在本申请的一些实施例中，压紧件1为大理石压紧件。

本申请公开的抛光垫粘贴装置不仅实现抛光垫的自动粘贴，而且还能够对抛光垫粘贴的平整度进行检测。

本申请公开的抛光垫粘贴装置还包括测距传感器6，测距传感器6用于检测测距传感器6与大盘的上表面之间的第一距离，以及测距传感器6与抛光垫2的上表面之间的第二距离。

测距传感器与驱动组件4连接，具体的，测距传感器6安装在驱动组件4的滑杆上，能够随驱动组件4的滑杆同步运动，对各个抛光垫各个位置的粘贴平整度进行检测。

抛光垫2粘贴在大盘上之前，测距传感器6获取测距传感器6与大盘的上表面之间的第一距离；抛光垫2在大盘上粘贴的过程中，测距传感器6随滑杆运动，获取测距传感器6与抛光垫的上表面之间的第二距离。

如果第一距离与第二距离的差值较抛光布的厚度大0.1mm，则抛光垫2粘贴不平整，需要人工处理后，再次通过测距传感器6对第二距离进行测量，至第一距离与第二距离的差值较抛光度的厚度小0.1mm，则抛光垫2粘贴平整，抛光垫的粘贴工作继续，测距传感器6继续扫描。

第二距离是随着滑杆的移动实时对测距传感器6与抛光垫2的上表面之间的距离进行检测，如果发现某一位置粘贴不平整，则进行人工处理，至检测结果合格。

测距传感器6作为在线检测结构，处理信息部分包含报警信息反馈，报警后测距传感器6停止检测工作，人工处理后至合格后再进行移动。

本申请公开的抛光垫粘贴装置，结构简单，通用性强，能够实现抛光垫2的自动粘贴和平整度的自动检测。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。本申请中所涉及的申请范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离上述申请构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于) 具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (10)

1.一种抛光垫粘贴装置，其特征在于，包括：

压紧件(1)，能够位于抛光垫(2)的上表面，用于向所述抛光垫(2)施加压紧力；

夹持舒展组件(3)，能够夹持所述抛光垫(2)，使所述抛光垫(2)处于舒展状态；

驱动组件(4)，与所述压紧件(1)和所述夹持舒展组件(3)连接，用于驱动所述夹持舒展组件(3)在所述抛光垫(2)上运动，同时驱动所述压紧件(1)沿所述抛光垫(2)的上表面运动，以压紧所述抛光垫(2)在抛光机的大盘上。

2.根据权利要求1所述的抛光垫粘贴装置，其特征在于，所述夹持舒展组件(3)包括上夹持件(31)、下夹持件(32)和连接组件(33)，

所述连接组件(33)用于连接所述上夹持件(31)和所述下夹持件(32)；

所述上夹持件(31)和所述下夹持件(32)平行且能够分别位于所述抛光垫(2)的上表面和下表面，所述上夹持件(31)与所述下夹持件(32)之间的距离至少等于所述抛光垫(2)的厚度。

3.根据权利要求2所述的抛光垫粘贴装置，其特征在于，所述上夹持件(31)为滚筒或夹板，所述下夹持件(32)为滚筒或夹板。

4.根据权利要求2-3中任一项所述的抛光垫粘贴装置，其特征在于，所述上夹持件(31)和所述下夹持件(32)为长度可调夹持件，所述长度可调夹持件的最大长度至少等于所述抛光垫(2)的直径，所述长度可调夹持件的长度方向的两端分别设置所述连接组件(33)。

5.根据权利要求4所述的抛光垫粘贴装置，其特征在于，所述驱动组件(4)包括：

圆形滑轨(41)，所述圆形滑轨(41)的直径至少等于所述大盘的直径；

第一滑杆(42)，能够在所述圆形滑轨(41)上滑动，所述第一滑杆(42)的个数为两个，且分别与所述连接组件(33)连接，所述第一滑杆(42)与所述压紧件(1)连接。

6.根据权利要求2所述的抛光垫粘贴装置，其特征在于，所述连接组件(33)包括：

第一连接杆，与所述上夹持件(31)连接；

第二连接杆，与所述下夹持件(32)连接；

第三连接杆，所述第三连接杆的两端分别与所述第一连接杆和所述第二连接杆连接，所述第三连接杆与所述驱动组件(4)连接。

7.根据权利要求6所述的抛光垫粘贴装置，其特征在于，所述第一连接杆通过调节螺杆与所述第三连接杆连接，和/或，所述第二连接杆通过调节螺杆与所述第三连接杆连接。

8.根据权利要求1所述的抛光垫粘贴装置，其特征在于，所述压紧件(1)通过拉杆(5)或链条或钢丝绳与所述驱动组件(4)连接。

9.根据权利要求1所述的抛光垫粘贴装置，其特征在于，所述压紧件(1)为棱柱形压紧件，所述棱柱形压紧件的其中一个棱柱面压紧在所述抛光垫上。

10.根据权利要求1所述的抛光垫粘贴装置，其特征在于，还包括测距传感器(6)，与所述驱动组件(4)连接，用于检测所述测距传感器(6)与所述大盘的上表面之间的第一距离以及所述测距传感器(6)与所述抛光垫(2)的上表面之间的第二距离。

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