CN217638742U - 光学检测设备 - Google Patents

Abstract

一种光学检测设备，包括：物镜；第一镜头组件；第二镜头组件；分光组件，连接于物镜、第一镜头组件及第二镜头组件；明场照明组件，连接于第一镜头组件并用于发出明场光源，明场光源的光束经第一镜头组件、分光组件及物镜后出射至待检测物上以形成明场照明光路；暗场照明组件，用于发出暗场光源，暗场光源的光束从物镜外部出射至待检测物上以形成暗场照明光路；通过分光组件将暗场光源下物镜所得的图像和明场光源下物镜所得的图像分别成像至第二镜头组件和第一镜头组件中，并由第二镜头组件和第一镜头组件进行二次成像。本实施例在同一个设备同时实现明场和暗场的检测，提高晶圆的缺陷检出率及检测效率。

Description

光学检测设备

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，特别是涉及一种光学检测设备。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的晶片，其原始材料通常是硅。其制作工艺为，将高纯度的多晶硅溶解后，掺入硅晶体中，然后再慢慢拉出，以形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后，以形成硅晶圆片，也就是晶圆。在晶圆制作的过程中，拉单晶、切片、磨片、抛光、增层、光刻、掺杂、热处理以及划片等一系列处理过程均可能使晶圆的表面产生缺陷。因此，为了防止存在缺陷的晶圆流入封装工序，需要借助晶圆检测设备来识别出晶圆表面的缺陷并分类、标记，以辅助晶圆分拣。

为了更全面的对晶圆进行检测，通常需要在明场光源和暗场光源，两种光源环境下进行检测。现有的光学检测设备通常通过设置两个或多个显微镜，然后通过不同的显微镜对晶圆分别进行明场环境的检测和暗场环境的检测。从明场光源环境换至暗场光源环境，或从暗场光源环境换至明场光源环境时，在检测过程中需要将晶圆移动到不同的检测工位，也无法实现对晶圆同时进行明场和暗场的检测，检测过程复杂、检测效率低。

实用新型内容

鉴于上述状况，有必要针对现有技术中晶圆进行明场和暗场的检测过程复杂，效率低问题，提供一种光学检测设备。

一种光学检测设备，包括：

物镜，用于获取待检测物在明场光源下的第一图像，以及用于获取待检测物在暗场光源下的第二图像；

第一镜头组件，用于在明场光源下所述第一图像进行二次成像；

第二镜头组件，用于对所述第二图像进行二次成像；

分光组件，连接于所述物镜、所述第一镜头组件及所述第二镜头组件；

明场照明组件，连接于所述第一镜头组件并用于发出所述明场光源，所述明场光源的光束经所述第一镜头组件、所述分光组件及所述物镜后出射至待检测物上以形成明场照明光路；

暗场照明组件，用于发出所述暗场光源，所述暗场光源的光束从所述物镜外部出射至待检测物上以形成暗场照明光路；

其中，所述分光组件能够将所述明场照明光路进行导向以使所述明场照明光路进入所述物镜，所述分光组件能够将所述第一图像的传输光路进行导向以使所述第一图像能够二次成像至所述第一镜头组件，以及，所述分光组件能够将所述第二图像的传输光路进行导向以使所述第二图像能够二次成像至所述第二镜头组件。

进一步的，上述光学检测设备，其中，所述分光组件包括分光镜筒和置于所述分光镜筒内的第一分光元件，所述分光镜筒设有用于连接所述物镜的第一连接端、与所述第一连接端邻向设置并用于连接所述第一镜头组件的第二连接端，以及与所述第一连接端对向设置并用于连接所述第二镜头组件的第三连接端，所述第一分光元件用于对所述明场光源的光束进行反射，并用于对所述第一图像的传输光路进行反射；以及，所述第一分光元件用于对所述第二图像的传输光路进行透射。

进一步的，上述光学检测设备，其中，所述第一镜头组件包括连接于所述第二连接端的移像镜筒、设于所述移像镜筒中的移像镜组以及连接于所述移像镜筒远离所述分光组件一端的明场成像组件，所述第一图像的传输光路经所述移像镜组传输至所述明场成像组件。

进一步的，上述光学检测设备，其中，所述移像镜组包括多个同轴设置的透镜。

进一步的，上述光学检测设备，其中，所述明场成像组件包括第一镜筒、设于所述第一镜筒中的明场成像镜组以及设于所述第一镜筒远离所述移像镜筒一端的第一相机，所述第一图像的传输光路经所述明场成像镜组后传输至所述第一相机；所述第二镜头组件包括第二镜筒、设于所述第二镜筒中的暗场成像镜组以及设于所述第二镜筒远离所述分光组件一端的第二相机，所述第二图像的传输光路经所述暗场成像镜组后传输至所述第二相机。

进一步的，上述光学检测设备，其中，所述明场成像组件还包括设置在所述第一镜筒中的第二分光元件，所述第二分光元件能够将所述明场照明光路导向以使所述明场照明光路向远离所述第一相机的方向传输至待检测物上，所述第二分光元件能够将所述第一图像的传输光路导向以使所述第一图像二次成像至所述第一相机。

进一步的，上述光学检测设备，其中，所述明场成像组件还包括两端分别连接于所述移像镜筒和所述第一镜筒的反射镜筒以及设于所述反射镜筒中的第一反射镜，所述明场照明光路经所述第一反射镜反射至所述移像镜筒，所述第一图像的传输光路经所述反射镜反射至所述第一镜筒。

进一步的，上述光学检测设备，其中，所述第一镜筒垂直于所述移像镜筒，且所述第一镜筒与所述第二镜筒设于所述移像镜筒的同侧。

进一步的，上述光学检测设备，其中，所述分光组件包括分光镜筒和置于所述分光镜筒内的第一分光元件，所述分光镜筒设有用于连接所述物镜的第一连接端、与所述第一连接端邻向设置并用于连接所述第二镜头组件的第二连接端，以及与所述第一连接端对向设置并用于连接所述第一镜头组件的第三连接端，所述第一分光元件用于对所述明场光源的光束进行透射，并用于对所述第一图像的传输光路进行透射；以及，所述第一分光元件用于对所述第二图像的传输光路进行反射。

进一步的，上述光学检测设备，其中，所述第一分光元件为二向色镜。

本实用新型中，通过分光组件将暗场光源下物镜所得的图像和明场光源下物镜所得的图像分别成像至第二镜头组件和第一镜头组件中，并由第二镜头组件和第一镜头组件进行二次成像。实现了在一个检测设备中同时进行暗场检测和明场检测，简化了检测流程，提高晶圆的缺陷检出率及检测效率。

附图说明

图1为本实用新型第一实施例中的光学检测设备的结构示意图；

图2为本实用新型第一实施例中的光学检测设备的光路示意图；

图3为本实用新型第二实施例中的光学检测设备的结构示意图；

图4为本实用新型第二实施例中的光学检测设备的剖视图；

图5为本实用新型第二实施例中的光学检测设备的光路示意图；

图6为本实用新型另一实施例中的光线检测设备的光路图；

图7为本实用新型第三实施例中的光线检测设备的光路图。

主要元件符号说明

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供该实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。并且，本实用新型各实施例、实施例中的特征之间、实施例和实施例的特征在没有明显冲突矛盾的前提，可以自由组合。

请参阅图1，为本实用新型第一实施例中的光学检测设备，包括物镜10、第一镜头组件20、第二镜头组件30、分光组件40、明场照明组件50和暗场照明组件60。该分光组件40连接该物镜10、第一镜头组件20和第二镜头组件30。该明场照明组件50连接于第一镜头组件20并用于发出明场光源，该明场光源的光束经第一镜头组件20、分光组件40及物镜10后出射至待检测物上以形成明场照明光路。该暗场照明组件60用于发出暗场光源，暗场光源的光束从物镜10外部出射至待检测物上以形成暗场照明光路。

该物镜10为由若干个透镜组合而成的一个透镜组，利用光线使待检测物进行一次成像。该物镜10的下方为载物台70，该载物台70用于承载待检测物，该待检测物例如为晶圆。

该第一镜头组件20用于明场光源下对物镜10所得的第一图像进行二次成像。该第二镜头组件30用于暗场光源下对物镜10所得的第二图像进行二次成像。该分光组件40能够将明场照明光路进行导向以使明场照明光路进入物镜10，并且将物镜10所得的第一图像的传输光路进行导向，以使该第一图像能够二次成像至第一镜头组件20中。并且，该分光组件40能够将物镜10所得的第二图像的传输光路进行导向，以使该第二图像能够二次成像至第二镜头组件30。

需说明的是，该暗场光源可以采用外部光源，光源设计较为灵活，简便。暗场光源的光束从物镜10的外部出射至待检测物上以使物镜10能够获取待检测物在暗场环境下的图像。明场检测环境采用垂直光照射待检测物，为了保障明场环境下光路的稳定性，该明场光源的光束经第一镜头组件20、分光组件40及物镜10出射至待检测物上，以使物镜10能够获取待检测物在明场环境下的图像。

如图2所示，基于上述结构，该光学检测设备的工作机理为：

明场光源的光束经第一镜头组件20、分光组件40及物镜出射至待检测物上，并经待检测物反射至物镜10中，以在物镜10中形成第一图像，该第一图像再通过分光组件40导向至第一镜头组件20中，并在第一镜头组件20中进行二次成像，以此可以获得明场环境下待检测物的图像；

暗场光源的光束从外部出射至待检测物上，使得物镜10能够获取待检测物在暗场环境下的第二图像，再通过分光组件40将该第二图像导向至第二镜头组件30中，以在第二镜头组件30中进行二次成像，以此可以获得暗场环境下待检测物的图像。

本实施例中，通过分光组件将暗场光源下物镜所得的图像和明场光源下物镜所得的图像分别成像至第二镜头组件和第一镜头组件中，并由第二镜头组件和第一镜头组件进行二次成像。实现了在一个检测设备中同时进行暗场检测和明场检测，简化了检测流程，提高晶圆的缺陷检出率及检测效率。

请参阅图3至图4，为本实用新型第二实施例中的光学检测设备，包括载物台70、物镜10、第一镜头组件20、第二镜头组件30、分光组件40、明场照明组件50和暗场照明组件60。

该载物台70位于物镜10的下方用于承载待检测物，该待检测物例如为晶圆。该物镜10为由若干个透镜组合而成的一个透镜组，利用光线使待检测物进行第一次成象。在明场光源环境下，物镜10所得的图像为第一图像，在暗场光源环境下物镜10所得的图像为第二图像。

该分光组件40连接物镜10、第二镜头组件20及第一镜头组件30。该分光组件40包括分光镜筒41和置于分光镜筒41内的第一分光元件42。分光镜筒41设有用于连接物镜10的第一连接端、与第一连接端邻向设置并用于连接第一镜头组件20的第二连接端，以及与第一连接端对向设置并用于连接第二镜头组件30的第三连接端。具体的，该分光镜筒40可以为方形结构，该第一镜头组20、第二镜头组件30和该物镜10分别连接在该分光镜筒的三个相邻的端面。其中，该第二镜头组件30和该物镜10设置在该分光镜筒41分别上端面和下端面，该第一镜头组件20设置在该分光镜筒41的侧面。

该设计中，第一分光元件42可用于对暗场光源的光束进行透射，对明场光源的光束进行反射。具体的，该第一分光元件42可采用二向色镜，该二向色镜反射490nm以上波段的光(明场光源)，透射490nm及以下波段的光(暗场光源)。

该第一镜头组件20用于明场光源下对物镜10所得的第一图像进行二次成像。具体的，该第一镜头组件20包括连接于该第二连接端的移像镜筒21、设于移像镜筒21中的移像镜组22以及连接于移像镜筒21远离分光组件40一端的明场成像组件23。

其中，该明场成像组件23包括第一镜筒231、设于第一镜筒231中的明场成像镜组232和第二分光元件233、设于第一镜筒231远离移像镜筒21一端的第一相机234，以及两端分别连接于移像镜筒21和第一镜筒231的反射镜筒235以及设于反射镜筒235中的第一反射镜236。该第二分光元件233和明场成像镜232组依次位于该第一反射镜236的正上方。

明场成像镜组322由多个镜片组成，用于对明场光源下所得的第一图像进行二次成像。该第二分光元件233用于将明场照明光路导向以使明场照明光路向远离第一相机234的方向传输至待检测物上，以及将物镜所得的第一图像的传输光路导向以使第一图像在明场成像镜组中进行二次成像。具体的，本实施例中该第二分光元件233可采用偏振光分棱镜。

该第二镜头组件30位于该分光组件40的正上方，该第二镜头组件30包括第二镜筒31、设于第二镜筒31中的暗场成像镜组32以及设于第二镜筒31远离该分光组件40一端的第二相机33。该暗场成像镜组32由多个镜片组成，其用于对暗场光源下物镜所得的第二图像进行二次成像。

进一步的，为了便于实际操作和光学检测设备整体结构的小型化和合理化设计。该第一镜筒231垂直于移像镜筒21，且第一镜筒231与第二镜筒31设于移像镜筒21的同侧。具体来说，即该明场成像镜组232的中轴线、第二分光元件233的中心和第一反射镜236的中心位于第一直线上，第一反射镜236、移像镜组22和第一分光元件42的中心均位于第二直线上，该第一直线与第二直线垂直，且该第二镜头组件30与该第一直线平行，并与该明场成像组件23位于该第二直线的同一侧。通过该设计一方面可以使得暗场检测和明场检测方向相同，便于检测工位的布置，方便检测，同时也减少占地空间；另一方面也使得暗场环境检测和明场环境检测独立开，避免干扰。

该明场照明组件50固设于第一镜头组件20的一侧。具体的，作为一种可实施的方式，该明场照明组件50可以包括组件壳体(图未示)，以及置于组件壳体内的明场光源51和第二反射镜52，该照明组件壳体与第一镜筒231的内部连通，该明场光源的光束可通过第二反射镜52反射至第二分光元件233上。由于明场环境检测对光线波段以及照射角度要求较为严格，本实施例中，该明场光源采用的是内部光源，可以极大地降低环境光的干扰，提高检测精度。

进一步的，该移像镜组22包括同轴设置的多个透镜，多个透镜与第一分光元件42以及第一反射镜236的中心位于同一直线上，如本实施例中，该移像组件具体由六个同轴设置的透镜组成，通过该六个透镜使得明场光源可以稳定的传输，同时起到对明场光源下对物镜所得的图像移像至明场成像组件中的作用。

如图5所示，在明场环境下，光路传输过程为：明场光源的光束依次经过第二分光元件233和第一反射镜236反射后通过移像镜组22传输至第一分光元件42，并由第一分光元件42反射后通过物镜10到达待检测物，再经待检测物反射后，再依次经过物镜10、第一分光元件42、移像镜组22和第二分光元件233后射入明场成像组件23中。该过程中，明场光源的光束经射至物镜10中时，在物镜10中进行一次成像，得到第一图像，之后该第一图像的传输光路由该第一分光元件42导向至该移像组件23中，并通过该移像组件23将该第一图像移像至第一反射镜236，之后该第一图像的传输光路再通过第二分光元件233后到达明场成像镜组232中，以在明场成像镜组232中形成待检测物的图像，并由第一相机进行拍摄，以得到明场环境下待检测物的图像。

在暗场环境下，光路传输过程为：该暗场光源的光束从物镜10的外部出射至待检测物上，由待检测物反射至物镜10，再经该第一分光元件42透射至第二镜头组件30。该过程中，暗场光源的光束射至物镜10中时，在物镜10中进行一次成像，得到第二图像，之后该第二图像的传输光路由该第一分光元件42导向至该暗场成像镜组32中进行二次成像后传输至第二相机33，并由第二相机33进行拍摄以得到暗场环境下待检测物的图像。

本实施例中的光学检测设备具有两种检测系统，其中，该载物台70、物镜10、分光组件40、第一镜头组件20形成明场检测系统，用于明场光源环境下待检测物的检测。载物台70、物镜10、第二镜头组件30和分光组件40形成暗场检测系统，用于暗场光源环境下待检测物的检测。为了在一个检测设备中同时实现明场检测和暗场检测，本实施例对明场光路传输进行设计，使得明场光源的光线可以经第二分光元件233、第一反射镜236、移像镜组22和第一分光元件42照射至待检测物，并经待检测物反射后过物镜10，再沿光路返回至明场检测端。暗场检测系统和明场检测系统中，载物台70、物镜10和分光组件40为共同的部分，简化了明场检测和暗场检测所用的设备，降低成本。

本实施例中的晶圆检测设备能够同时满足对晶圆的明场环境检测以及暗场环境检测，大幅简化了该晶圆检测设备的结构，另外，在分别对晶圆进行明场环境检测以及暗场环境检测的过程中，晶圆可以处于同一个检测工位上，从而对晶圆的移动需求较小，极大的简化了对晶圆的检测程序。

上述实施例中光学检测设备的结构设计只是为了说明本申请的可实施性，但这并不代表本申请的光学检测设备只有上述唯一一种结构设计，相反的，只要能够将本申请的光学检测设备实施起来，都可以被纳入本申请的可行实施方案。如图6所示，为本实用新型另一实施例中的光线检测设备的光路图，其与第二实施例不同的是，该光学检测设备可以不用设计第一反射镜236，该第一镜筒231与移像镜筒21位于同一直线上，且第二镜筒31与移像镜筒21垂直设置。即本实施例中，该明场成像镜组232的中轴线、第二分光元件233的中心、移像镜组22的中轴线和第一分光元件42的中心均位于同一直线上，且与该第二镜头组件30和物镜10所在的直线垂直。明场光源的光束经该第二分光元件233反射后，依序经过移像镜组22和第一分光元件42，并由该第一分光元件42反射后通过物镜10到达待检测物，再经待检测物反射后沿光路返回至第二分光元件233，并由第二分光元件233透射至明场成像镜组232中进行成像。

在本实用新型第二实施例中第一分光元件42起到对暗场光源光束的透射作用，对明场光源光束起到反射作用。需要说明的是，第一分光元42件对明场光源光束和暗场光源光束的处理方式，是根据第一镜头组件20、第二镜头组件30和物镜10在分光组件40上的安装位置来确定。

例如，请参阅图7，为本实用新型第三实施例中光学检测设备的光路示意图，与第二实施例不同的是，该第三实施例中，该第一镜头组件20和物镜10可以设置于该分光组件40相对的两端面，第二镜头组件30置于该分光组件40的一侧，且，该第一镜头组件20中不设移像组件22和第一反射镜236，该第二镜头组件30中设置移像组件22和第一反射镜236。本实施例中第一分光元件42用于对该暗场光源的光束进行反射，对明场光源的光束进行透射。具体的，本实施例中，该第二镜头组件30包括与分光镜筒连接的移像镜筒、设于移像镜筒中的移像组件22，以及连接于移像镜筒远离分光镜筒一端的第二镜筒，以及设于第二镜筒内的暗场成像镜组32和第一反射镜236，以及设于第二镜筒远离该移像组件一端的第二相机33。

本实施例中，在明场环境下，光路传输过程为：明场光源的光束射至第二分光元件233中，并经过第二分光元件233反射后传输至第一分光元件42，再由第一分光元件42透射至物镜10并到达待检测物，再经待检测物反射后，依次经过物镜10、第一分光元件42和第二分光元件233后射入明场成像镜组232中。该过程中，明场光源的光束经射至物镜10中时，在物镜10中进行一次成像，得到第一图像，之后该第一图像的传输光路由该第一分光元件42导向至明场成像镜组232中，以在明场成像镜组232中形成待检测物的图像，该第一图像的传输光路经明场成像镜组后传输至第一相机234，并由第一相机234进行拍摄，以得到明场环境下待检测物的图像。

在暗场环境下，光路传输过程为：该暗场光源的光束从物镜10的外部出射至待检测物上，由待检测物反射至物镜10，再经该第一分光元件42反射至移像镜组22，并经移像组件传至第一反射镜236，再经第一反射镜236反射至暗场成像镜组32中。该过程中，暗场光源的光束射至物镜10中时，在物镜10中进行一次成像，得到第二图像，之后该第二图像的传输光路由该第一分光元件42导向至该移像组件23中，并通过该移像组件23将该第二图像移像至第一反射镜236，之后该第一图像的传输光路经过第一反射镜236反射至达暗场成像镜组23中，以在暗场成像镜组23中形成待检测物的图像，并由第二相机进行拍摄，以得到暗场环境下待检测物的图像。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种光学检测设备，其特征在于，包括：

物镜，用于获取待检测物在明场光源下的第一图像，以及用于获取待检测物在暗场光源下的第二图像；

第一镜头组件，用于对所述第一图像进行二次成像；

第二镜头组件，用于对所述第二图像进行二次成像；

分光组件，连接于所述物镜、所述第一镜头组件及所述第二镜头组件；

明场照明组件，连接于所述第一镜头组件并用于发出所述明场光源，所述明场光源的光束经所述第一镜头组件、所述分光组件及所述物镜后出射至待检测物上以形成明场照明光路；

暗场照明组件，用于发出所述暗场光源，所述暗场光源的光束从所述物镜外部出射至待检测物上以形成暗场照明光路；

其中，所述分光组件能够将所述明场照明光路进行导向以使所述明场照明光路进入所述物镜，所述分光组件能够将所述第一图像的传输光路进行导向以使所述第一图像能够二次成像至所述第一镜头组件，以及，所述分光组件能够将所述第二图像的传输光路进行导向以使所述第二图像能够二次成像至所述第二镜头组件。

2.如权利要求1所述的光学检测设备，其特征在于，所述分光组件包括分光镜筒和置于所述分光镜筒内的第一分光元件，所述分光镜筒设有用于连接所述物镜的第一连接端、与所述第一连接端邻向设置并用于连接所述第一镜头组件的第二连接端，以及与所述第一连接端对向设置并用于连接所述第二镜头组件的第三连接端，所述第一分光元件用于对所述明场光源的光束进行反射，并用于对所述第一图像的传输光路进行反射；以及，所述第一分光元件用于对所述第二图像的传输光路进行透射。

3.如权利要求2所述的光学检测设备，其特征在于，所述第一镜头组件包括连接于所述第二连接端的移像镜筒、设于所述移像镜筒中的移像镜组以及连接于所述移像镜筒远离所述分光组件一端的明场成像组件，所述第一图像的传输光路经所述移像镜组传输至所述明场成像组件。

4.如权利要求3所述的光学检测设备，其特征在于，所述移像镜组包括多个同轴设置的透镜。

5.如权利要求3所述的光学检测设备，其特征在于，所述明场成像组件包括第一镜筒、设于所述第一镜筒中的明场成像镜组以及设于所述第一镜筒远离所述移像镜筒一端的第一相机，所述第一图像的传输光路经所述明场成像镜组后传输至所述第一相机；所述第二镜头组件包括第二镜筒、设于所述第二镜筒中的暗场成像镜组以及设于所述第二镜筒远离所述分光组件一端的第二相机，所述第二图像的传输光路经所述暗场成像镜组后传输至所述第二相机。

6.如权利要求5所述的光学检测设备，其特征在于，所述明场成像组件还包括设置在所述第一镜筒中的第二分光元件，所述第二分光元件能够将所述明场照明光路导向以使所述明场照明光路向远离所述第一相机的方向传输至待检测物上，所述第二分光元件能够将所述第一图像的传输光路导向以使所述第一图像二次成像至所述第一相机。

7.如权利要求5所述的光学检测设备，其特征在于，所述明场成像组件还包括两端分别连接于所述移像镜筒和所述第一镜筒的反射镜筒以及设于所述反射镜筒中的第一反射镜，所述明场照明光路经所述第一反射镜反射至所述移像镜筒，所述第一图像的传输光路经所述反射镜反射至所述第一镜筒。

8.如权利要求7所述的光学检测设备，其特征在于，所述第一镜筒垂直于所述移像镜筒，且所述第一镜筒与所述第二镜筒设于所述移像镜筒的同侧。

9.如权利要求1所述的光学检测设备，其特征在于，所述分光组件包括分光镜筒和置于所述分光镜筒内的第一分光元件，所述分光镜筒设有用于连接所述物镜的第一连接端、与所述第一连接端邻向设置并用于连接所述第二镜头组件的第二连接端，以及与所述第一连接端对向设置并用于连接所述第一镜头组件的第三连接端，所述第一分光元件用于对所述明场光源的光束进行透射，并用于对所述第一图像的传输光路进行透射；以及，所述第一分光元件用于对所述第二图像的传输光路进行反射。

10.如权利要求2-9任一项所述的光学检测设备，其特征在于，所述第一分光元件为二向色镜。

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